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快速退火对Si/NdFeCo/Cr薄膜微结构与磁性的影响 被引量:2
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作者 童六牛 高成 +2 位作者 何贤美 李婷婷 邓朋 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期322-330,共9页
采用射频(RF)磁控溅射方法,在2种基底温度(TS=25,310℃)的基片上制备了结构为Si(111)/NdFeCo(610 nm)/Cr(10 nm)的薄膜样品,溅射氩气压保持在pAr=0.1 Pa。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、振动样品磁强计(VSM)、原子力... 采用射频(RF)磁控溅射方法,在2种基底温度(TS=25,310℃)的基片上制备了结构为Si(111)/NdFeCo(610 nm)/Cr(10 nm)的薄膜样品,溅射氩气压保持在pAr=0.1 Pa。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、振动样品磁强计(VSM)、原子力显微镜(AFM)和磁力显微镜(MFM)等实验技术,研究了一步和三步快速退火(RTA-I和RTA-II)工艺对两种薄膜微结构和磁性的影响。结果显示,室温基底上沉积的样品呈非晶态,磁畴为面内磁畴结构;而加热基底上制备的样品则析出了Nd2Fe17和Nd6Fe13Si纳米晶,垂直磁各向异性(PMA)反常增强,垂直磁各向异性能为K⊥=1.18×105J·m-3,磁畴为平行条纹畴。在TA=500℃经过RTA-I/-II工艺后,基底加热样品析出的Nd2Fe17和Nd6Fe13Si纳米晶继续长大,磁畴由条纹畴转变为磁斑畴。而室温基底上制备的薄膜经RTA-I/-II退火后则没有观察到界面硅化物,却发现结晶出的Fe Co和Nd2Fe15Co2纳米晶粒大小和取向敏感地依赖于退火工艺。即一步快速退火工艺有利于析出(111)织构的Nd2Fe15Co2纳米晶,而三步快速退火工艺则易于诱导出(200)织构的Fe Co纳米晶。实验结果表明,基底加热薄膜中析出的Nd2Fe17纳米晶与Nd6Fe13Si界面硅化物的热膨胀特性正好相反,由此产生的残余内应力与磁弹各向异性,是导致基底加热薄膜PMA反常增强的主要原因。 展开更多
关键词 ndfeco薄膜 垂直磁各向异性 磁畴 快速退火热处理
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氧化热处理优化NdFeCo磁粉的吸波性能 被引量:1
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作者 罗玉亮 王磊 +2 位作者 陈宗椅 邹贤斌 张莉丽 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第9期49-54,共6页
采用熔炼-高能球磨-氧化热处理的工艺,制备 NdFeCo 磁粉。借助 X 射线衍射仪和网络矢量分析仪等,研究氧化热处理对NdFeCo磁粉的相组成和吸波性能的影响。结果表明,经过100℃的氧化热处理后, NdFeCo磁粉中出现Nd2O3和少量Fe2O3相。当涂... 采用熔炼-高能球磨-氧化热处理的工艺,制备 NdFeCo 磁粉。借助 X 射线衍射仪和网络矢量分析仪等,研究氧化热处理对NdFeCo磁粉的相组成和吸波性能的影响。结果表明,经过100℃的氧化热处理后, NdFeCo磁粉中出现Nd2O3和少量Fe2O3相。当涂层厚度为2.0mm时,经过氧化热处理的Nd23.25Fe76.75-xCox(x=10, 20, 30, 40)系列磁粉的反射率最低值从-5.5,-16.5,-11.8,-6.5dB分别降至-22.5,-23.1,-27.2,-15.8dB,说明氧化处理可以有效地增强NdFeCo磁粉的吸波性能,经分析证明吸波性能增强的主要原因是由于阻抗匹配的优化。 展开更多
关键词 ndfeco磁粉 吸波性能 氧化热处理 阻抗匹配 电磁参数
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Microwave absorbing properties of NdFeCo magnetic powder
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作者 王磊 林培豪 +1 位作者 潘顺康 周怀营 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期529-533,共5页
NdFeCo magnetic powder was prepared by the process of smelting, high-energy ball milling and oxidation heat treating. The effects of oxidation heat treatment and Co content on phase composition and microwave absorbing... NdFeCo magnetic powder was prepared by the process of smelting, high-energy ball milling and oxidation heat treating. The effects of oxidation heat treatment and Co content on phase composition and microwave absorbing properties of NdFeCo magnetic powder were investigated by an X-ray diffractometer (XRD) and vector network analyzer. The minimum reflectivity of Nd23.25Fe36.75Co40 powder before oxidation heat treatment was 4.2 dB, and that of oxidized powder decreased to -14.0 dB. The microwave absorbing properties of NdFeCo magnetic powder could be improved effectively by oxidation heat treatment. With the increase of Co content, the Fe2O3 reduced and the Nd2O3 increased; Fe3CO7 phase appeared when the content of Co increased to 40% (mass ratio); the absorption peak was found to move towards lower frequency region first, and then it moved towards a higher frequency region. Nd23.25Fe06.75Co10 powder had better comprehensive properties in absorbing microwave in the frequency band of 3-13 GHz. The value of minimum reflectivity and absorption peak frequency, when the coating thickness (d) was 1.8 mm, were -19.7 dB and 4.8 GHz, respectively. 展开更多
关键词 ndfeco absorbing property oxidation heat treatment rare earths
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