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纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对 被引量:1
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作者 褚巍 赵学增 +1 位作者 肖增文 王伟杰 《中国计量学院学报》 2003年第3期165-169,173,共6页
 现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求.目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致...  现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求.目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致.国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一.文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍. 展开更多
关键词 纳米计量 线宽 nanol CD测量 国际关键比对 集成电路 极限尺寸 数据存储器 微机电系统 显微镜
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磁控溅射制备纳米TiO_2半导体薄膜的工艺研究与光谱分析 被引量:3
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作者 刘亚丽 吴奎 王安福 《光谱实验室》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期47-50,共4页
通过射频反应磁控溅射在玻璃基片上制备TiO2薄膜。采用X射线衍射仪和Raman光谱仪研究退火温度对薄膜晶体结构的影响;还探讨了磁控溅射氧分压对薄膜性能的影响。结果表明:磁控溅射制备的薄膜在不同温度下退火。300℃退火时薄膜没有结晶;... 通过射频反应磁控溅射在玻璃基片上制备TiO2薄膜。采用X射线衍射仪和Raman光谱仪研究退火温度对薄膜晶体结构的影响;还探讨了磁控溅射氧分压对薄膜性能的影响。结果表明:磁控溅射制备的薄膜在不同温度下退火。300℃退火时薄膜没有结晶;400℃退火出现锐钛矿结构;500℃退火后薄膜锐钛矿结构更完善,(101)方向开始优先生长,是因为锐钛矿结构更完整。随着退火温度的升高晶粒长大拉曼光谱出现红移,拉曼光谱所反应的锐钛矿信息增强,500℃退火时197cm-1出现了Eg振动模式。和标准的单晶TiO2体材料相比,拉曼峰位置都略有红移是纳米量子尺寸效应造成的。氩氧比分别为9∶1、7∶3和6∶4溅射制备的薄膜通过400℃退火后的XRD衍射谱没有明显的区别,但拉曼光谱显示氩氧比为7∶3时结晶要完善些。 展开更多
关键词 射频反应磁控溅射 纳米二氧化钛薄膜 锐钛矿 退火 氩氧比
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零价金属在不同水质条件下对铬污染的处理研究
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作者 秦序 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2015年第5期53-56,59,共5页
铬是一般工业上经常使用的原料,故在工业区附近的地下水中,铬为最常见的污染物之一,近年来,利用零价铁处理铬污染的潜力也逐渐被重视.由于零价铁的比表面积以及钝化膜为影响其去除效率极为重要的因子,而纳米化后的铁粉既具备较大的比表... 铬是一般工业上经常使用的原料,故在工业区附近的地下水中,铬为最常见的污染物之一,近年来,利用零价铁处理铬污染的潜力也逐渐被重视.由于零价铁的比表面积以及钝化膜为影响其去除效率极为重要的因子,而纳米化后的铁粉既具备较大的比表面积也具备较薄的钝化膜,故在应用上远比商用铁粉更有效率,因此本文主要比较J.T.Baker牌商业铁粉和自制纳米级铁粉对于六价铬的去除效果.研究结果显示氯离子和硫酸根能增加商业铁粉对六价铬的去除效果,而硝酸根、高氯酸根及磷酸根则会使商业铁粉去除六价铬的效果变差. 展开更多
关键词 六价铬 商业铁粉 纳米铁粉
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纤维素纳米晶体提升柚皮素抗氧化活性的研究 被引量:5
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作者 刘艳新 李湘洲 +4 位作者 周军 刘庆坚 韩俊源 王玥 王玉珑 《中国造纸》 CAS 北大核心 2019年第9期8-13,共6页
柚皮素是一种黄酮类化合物,具有广泛的药理活性,具有抗炎、抗氧化、抗癌、降血脂等药理作用。然而,柚皮素在水中溶解性能差,生物利用度低,限制了其在临床中的应用。本研究以纤维素纳米晶体(Cellulose nanocrystals,CNCs)为载体,以柚皮... 柚皮素是一种黄酮类化合物,具有广泛的药理活性,具有抗炎、抗氧化、抗癌、降血脂等药理作用。然而,柚皮素在水中溶解性能差,生物利用度低,限制了其在临床中的应用。本研究以纤维素纳米晶体(Cellulose nanocrystals,CNCs)为载体,以柚皮素为疏水药物模型,利用反溶剂重结晶法成功制备了CNCs/柚皮素纳米复合物,并表征了所得纳米复合物的性能,分析了纳米复合物中柚皮素的溶出性能和抗氧化活性。结果表明,形成CNCs/柚皮素纳米复合物后,柚皮素得到充分的纳米化和稳定分散,从结晶态转变为无定型态。负载CNCs的柚皮素在水中的溶出性能得到显著提升,120min时累积溶出度达到93.4%;经CNCs负载后,当柚皮素浓度为50μg/mL时,羟基自由基清除率达44.3%,柚皮素的体外抗氧化活性显著提高。 展开更多
关键词 纤维素纳米晶体 柚皮素 纳米化 溶解性能 抗氧化活性
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