期刊文献+
共找到166篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
Studies of Atomic Structure and Physical Properties of Metal Clusters in MgO by HREM and Nano-probe Methods
1
作者 Nobuo Tanaka (Dept. of Applied Physics, School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, 464-01, Japan) 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 1997年第4期265-270,共6页
Nanometer-sized metal clusters were prepared inside single crystalline MgO films by vacuum co-deposition of metals and MgO. The atomic structure was studied by high-resolution electron microscopy (HREM) and nm-area el... Nanometer-sized metal clusters were prepared inside single crystalline MgO films by vacuum co-deposition of metals and MgO. The atomic structure was studied by high-resolution electron microscopy (HREM) and nm-area electron diffraction. The size of the clusters is ranging from 1 nm to 3 nm without those larger than 5 nm, and most of them have definite epitaxial orientations with the MgO matrix films. The character of the composite films is very much useful for the studies of various kinds of physical properties with anisotroPy. The physical properties such as electric transport, magnetic, optical absorption, sintering and catalytic ones were thus measured on the same samples analyzed by HREM by using high sensitivity apparatus with interest of clarifying the retationship between the atomic structure and physical properties 展开更多
关键词 FIGURE NANO Studies of Atomic Structure and Physical Properties of Metal Clusters in MgO by HREM and nano-probe Methods HREM MGO
在线阅读 下载PDF
Synthesis of 1,8-naphthalimide-based fluorescent nano-probes and their application in pH detection 被引量:2
2
作者 Langping Zhou Zechen Jin +4 位作者 Xiaoxiang Fan Yuhua Yao Zhaoyang Chen Weibing Zhang Junhong Qian 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第10期1500-1502,共3页
Two kinds of fluorescent nano-probes(pH-A and pH-B) with different diameters for the determination of H+concentration, based on photo-induced electron transfer mechanism, were synthesized through click reaction. In... Two kinds of fluorescent nano-probes(pH-A and pH-B) with different diameters for the determination of H+concentration, based on photo-induced electron transfer mechanism, were synthesized through click reaction. In which 1,8-naphthalimide was employed as the fluorophore and N,N-dimethylethylenediamine as the receptor. The effects of particle size and linker length on the photophysical properties of the probe were studied. The results revealed that the nano-probes were more sensitive toward pH with increasing particle size. The fluorescence intensity at 529 nm(I529) of the nano-probe p H-A of 120 nm exhibited good linear relationship with solution's pH in the range of 6–8. The probe p H-A displayed excellent selectivity and competition toward proton over other possible coexisted ions, and it could be applied to detect pH in realistic samples(river water, urine). 展开更多
关键词 Fluorescent probe NANO-PARTICLES NAPHTHALIMIDE pH detection Realistic samples
原文传递
Anti-VCAM-l-functionalized Core/Shell Nanoparticles as Selective Nano-probes for Inflammatory Endothelial Cell Dual-modality Imaging
3
作者 Ying Li Hong Yang Chun-Hui Wu Yi-Yao Liu 《中国动脉硬化杂志》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期I0078-I0078,共1页
关键词 血管内皮细胞 荧光成像 纳米粒子 纳米探针 炎症 VCAM-1 超顺磁性氧化铁 细胞粘附分子
在线阅读 下载PDF
Measuring the Interfacial Thickness of Immiscible Polymer Blends by Nano-probing of Atomic Force Microscopy 被引量:2
4
作者 Tian-Tian Li Si-Bo Cheng +3 位作者 Lian-Fang Feng Xue-Ping Gu Cai-Liang Zhang Guo-Hua Hu 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第4期421-430,共10页
Immiscible polymer blends are an important family of polymer materials.The interfacial thickness between different phases is a very important parameter that dictates,to a great extent,the morphology and properties of ... Immiscible polymer blends are an important family of polymer materials.The interfacial thickness between different phases is a very important parameter that dictates,to a great extent,the morphology and properties of such a blend.This work explores and optimizes an up-to-date atomic force microscopy(AFM)of type NanoIR2^(TM) system in order to quantitatively measure the interfacial thickness of immiscible polymer blends.This system is equipped with two nano-probes capable of detecting the response of a material to an infrared pulse called AFM-infrared spectroscopy mode(AFM-IR)or conducting resonance called AFM-Lorentz Contact Resonance mode(AFM-LCR),respectively.Its potential for quantitatively measuring the interfacial thickness of immiscible polymer blends is evaluated using blends composed of polyamide 6(PA6)and polyolefin elastomer(POE)in the presence or absence of a POE containing maleic anhydride(POE-g-MAH)as a compatibilizer.Surface roughness affects adversely the signal intensity and consequently an accurate measurement of the interfacial thickness.Optimum sample surface preparation procedures are proposed. 展开更多
关键词 Polymer blends Interfacial thickness Atomic force microscopy nano-probing Surface roughness
原文传递
微纳米三坐标测量机的技术进展
5
作者 何亚雄 李瑞君 +2 位作者 黄强先 程真英 范光照 《光学精密工程》 北大核心 2025年第23期3672-3690,共19页
超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinat... 超精密器件是国家重大装备与高端仪器的关键组成部分,其几何特征尺寸常介于数百微米至数百毫米之间,而精度要求高达数十至数百纳米。为确保此类器件的质量,必须实现其三维形貌的超精密测量。本文首先综述了微纳米三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)的研究进展,从整机结构设计、误差补偿技术、纳米测头研制、测量环境控制及整机应用测试等方面进行了系统性归纳。其次,详细介绍了团队历经四代样机的研究成果与最新进展。进而,阐述了一种基于阿贝与布莱恩原则的空间误差建模与补偿创新方法,在此基础上,实现了对尺度小于100μm且具有高深宽比的内尺寸特征的纳米级精度测量。最后,对微纳米三坐标测量机未来的研究方向与应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 精密测量 微机电系统(MEMS) 三坐标测量机(CMM) 高深宽比结构 纳米探头 阿贝误差 空间误差补偿
在线阅读 下载PDF
有机小分子荧光探针结合静电纺丝用于爆炸物检测研究进展 被引量:1
6
作者 成乐琴 陶韵琦 +1 位作者 张跃伟 于雪 《发光学报》 北大核心 2025年第1期126-139,共14页
近年来,随着炸药制备和隐蔽性水平的进一步提高,爆炸物探测也面临更加严峻的挑战。有机小分子荧光探针具有高灵敏度、高选择性、低检测限等优点,近年来在爆炸物识别方面得到了广泛应用。然而,这些荧光探针对爆炸物的识别通常需要在溶液... 近年来,随着炸药制备和隐蔽性水平的进一步提高,爆炸物探测也面临更加严峻的挑战。有机小分子荧光探针具有高灵敏度、高选择性、低检测限等优点,近年来在爆炸物识别方面得到了广泛应用。然而,这些荧光探针对爆炸物的识别通常需要在溶液中进行,导致其应用受到很大限制。静电纺丝是一种制备直径可控、形态均匀的纳米纤维的有效技术。将荧光探针与静电纺丝技术结合制备出具有携带方便、可重复性好、检测限低等优点的荧光纳米纤维膜,有效地拓宽了荧光探针在检测爆炸物方面的应用。本文对有机小分子材料的荧光传感单元结构进行分类,总结了有机小分子荧光纳米纤维膜传感器对常见爆炸物三硝基甲苯(Trinitrotoluene,TNT)、三硝基苯酚(Trinitrophenol,TNP)、2,4-二硝基甲苯(2,4-Dinitrotoluene,DNT)、环三亚甲基三硝胺(Cyclotrimethylene trinitramine,RDX)、三过氧化三丙酮(Triacetone triperoxide,TATP)等进行荧光识别和检测,为实际爆炸物检测中静电纺荧光纳米纤维膜的设计提供指导,同时为荧光探针在复杂环境中的实际应用提供了新思路。 展开更多
关键词 荧光探针 静电纺丝 爆炸物检测 纳米薄膜纤维
在线阅读 下载PDF
三维原子探针纳米针尖制备装置研制及应用
7
作者 赵磊 吴雨菲 +3 位作者 刘吉梓 吴森达 祖莉 吴志林 《实验技术与管理》 北大核心 2025年第5期169-173,共5页
三维原子探针是一种先进的材料表征设备,可用来分析样品在纳米尺度空间中化学元素的分布及含量。为克服目前人工制备三维原子探针纳米针尖样品效率低、质量差的问题,该文设计了金属纳米针尖制备专用装置,分为粗抛、清洗和精抛三个部分,... 三维原子探针是一种先进的材料表征设备,可用来分析样品在纳米尺度空间中化学元素的分布及含量。为克服目前人工制备三维原子探针纳米针尖样品效率低、质量差的问题,该文设计了金属纳米针尖制备专用装置,分为粗抛、清洗和精抛三个部分,通过电控系统实现制备过程的自动化。使用该装置分别制备了5种金属材料(Al、Al基合金、Mo、Fe基合金、Ti合金)的纳米针尖,制备出的纳米针尖质量高,且制备效率高、成功率高。该装置可用于实验室纳米针尖的制备,也可用于材料分析与测试相关领域的实验教学工作。 展开更多
关键词 三维原子探针 纳米针尖 电化学抛光 专用制样装置
在线阅读 下载PDF
激光微纳加工的原位表征技术研究进展(特邀) 被引量:1
8
作者 谭志勇 倪洁蕾 +5 位作者 韦芊屹 潘嘉晖 张聿全 张柯 袁小聪 闵长俊 《光学学报(网络版)》 2025年第2期4-26,共23页
近年来,随着激光加工技术在微纳尺度材料和器件上的广泛应用,面向激光加工的表征技术研究为深入理解激光与材料的相互作用、优化加工工艺、提升加工质量提供了重要支持,已被广泛应用于微纳光电器件制造、生物医学材料处理等领域。然而,... 近年来,随着激光加工技术在微纳尺度材料和器件上的广泛应用,面向激光加工的表征技术研究为深入理解激光与材料的相互作用、优化加工工艺、提升加工质量提供了重要支持,已被广泛应用于微纳光电器件制造、生物医学材料处理等领域。然而,随着加工精度的提高和应用范围的扩展,对激光加工的微纳结构进行原位、快速、实时表征成为一个关键技术挑战。本文介绍了当前主流的激光微纳加工的原位表征技术,并将其归纳为几何量原位表征、超高时空分辨原位表征两大类。在几何量原位表征中,扫描电子显微镜、结构光三维成像等技术被广泛应用于表面形貌和微观结构的高分辨率成像,对激光加工后的微纳结构进行快速原位表征。超高时空分辨原位表征包括泵浦-探测成像和单脉冲超快成像等,通过皮秒至飞秒级的时间分辨率,可以观察材料在激光加工中的瞬态演变过程,揭示微观结构和材料性能的变化,为深入理解激光与材料的相互作用提供重要支持。最后,本文总结了相关激光原位表征技术并且对该技术的未来发展方向进行展望。 展开更多
关键词 激光加工表征 微纳加工 原位表征 泵浦-探测成像 超快成像
在线阅读 下载PDF
基于扫描热探针技术的二维材料物性调控研究进展
9
作者 赵世杰 马浩南 刘霞 《物理学报》 北大核心 2025年第3期58-66,共9页
随着微观领域探索的不断深入,以光刻和各类刻蚀工艺为代表的微纳加工技术已被广泛应用于微米及纳米尺度的结构与器件制造,推动了集成电路、微纳光电器件、微机电系统等领域的不断革新.这不仅带动了设备性能的提升,还为微观物性调控机制... 随着微观领域探索的不断深入,以光刻和各类刻蚀工艺为代表的微纳加工技术已被广泛应用于微米及纳米尺度的结构与器件制造,推动了集成电路、微纳光电器件、微机电系统等领域的不断革新.这不仅带动了设备性能的提升,还为微观物性调控机制的基础科学研究带来了新的机遇.近年来,作为一种新兴的微纳加工技术,扫描热探针技术在二维材料加工、物性调控和纳米级灰度结构制造方面获得了实践应用,并展现出独特优势.本文将从扫描热探针技术的原理及特点出发,分析其在二维材料微纳加工及物性调控领域的最新研究进展,最后展望该技术的广阔应用前景. 展开更多
关键词 扫描热探针技术 二维材料 微纳加工 物性调控
在线阅读 下载PDF
扫描探针显微镜校准装置
10
作者 徐小芳 张旭敏 《模具制造》 2025年第9期42-44,共3页
依据计量标准考核规范要求,结合扫描探针电子显微镜计量标准工作的方法原理和校准方法,对测量结果进行了重复性、稳定性考核,对校准结果进行了不确定度评定,并用比对法对校准结果和测量结果的不确定度进行了验证。结果表明,该装置符合... 依据计量标准考核规范要求,结合扫描探针电子显微镜计量标准工作的方法原理和校准方法,对测量结果进行了重复性、稳定性考核,对校准结果进行了不确定度评定,并用比对法对校准结果和测量结果的不确定度进行了验证。结果表明,该装置符合量值溯源和传递要求,可开展扫描探针显微镜校准工作。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 校准 纳米台阶高度标准样板 二维格栅样板
在线阅读 下载PDF
单细胞水平光合细菌资源挖掘的研究进展
11
作者 成栋 徐智广 +1 位作者 孟宇 荆晓艳 《微生物学通报》 北大核心 2025年第8期3410-3426,共17页
光合细菌是一类具有原始光能合成机制的原核生物,在多种环境中广泛分布,其在废水处理、饲料添加剂等领域的应用备受关注。然而,传统研究光合细菌的方法存在如过程复杂耗时费力、稳定性维持困难、可塑性差等诸多局限性。单细胞技术的发... 光合细菌是一类具有原始光能合成机制的原核生物,在多种环境中广泛分布,其在废水处理、饲料添加剂等领域的应用备受关注。然而,传统研究光合细菌的方法存在如过程复杂耗时费力、稳定性维持困难、可塑性差等诸多局限性。单细胞技术的发展为其研究带来了新机遇。本文综述了单细胞水平下挖掘环境光合细菌资源的研究进展,包括纳米二次离子质谱技术(nano-scale secondary ion mass spectrometry,NanoSIMS)、单细胞拉曼光谱法及其与稳定同位素标记结合等技术在光合细菌资源挖掘和机理解析方面的应用。这些技术有助于深入理解光合细菌的光合机制、代谢途径及环境适应机制,为其在污水处理、生物能源生产等领域的应用提供了理论依据和技术支持,对推动环境保护和可持续发展具有重要意义。 展开更多
关键词 单细胞 光合细菌 纳米二次离子质谱技术 拉曼光谱 稳定同位素标记
原文传递
高效液相-核磁共振仪联用技术及微量探头技术在天然产物分析中的应用 被引量:8
12
作者 王映红 贺文义 +3 位作者 李小妹 李斌 刘欣 林茂 《波谱学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期325-336,共12页
以下工作在VARIAN公司的INOVA 50 0MHz仪器上完成 ,使用了高灵敏度的LC NMR联用探头及先进的WET脉冲序列进行溶剂峰压制 .通过运用高效液相 核磁共振仪联用技术及微量探头技术对几个天然产物混合物进行分析 ,展示了高效液相 核磁共振联... 以下工作在VARIAN公司的INOVA 50 0MHz仪器上完成 ,使用了高灵敏度的LC NMR联用探头及先进的WET脉冲序列进行溶剂峰压制 .通过运用高效液相 核磁共振仪联用技术及微量探头技术对几个天然产物混合物进行分析 ,展示了高效液相 核磁共振联用(HPLC NMR)技术及微量探头技术在天然产物分析中的优势 ,既高效 ,快速 ,微量 .二者结合使用 。 展开更多
关键词 高效液相-核磁共振仪 天然产物分析 高效液相-核磁共振联用 HPLC-NMR 微量探头技术 核磁共振谱 药物研究 植物药
暂未订购
分子印迹荧光纳米探针在食品安全检测中的研究进展 被引量:7
13
作者 刘秀英 梁维月 +4 位作者 苏丽红 朱力杰 汤轶伟 高雪 励建荣 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期369-374,共6页
荧光纳米材料因具有独特的发光性质,已成为分析检测等领域中极具应用前景的标记材料。分子印迹聚合物是一种人工合成的对特定模板分子具有较强特异识别能力"仿生"材料。分子印迹荧光纳米探针是将分子印迹技术的高选择性和荧... 荧光纳米材料因具有独特的发光性质,已成为分析检测等领域中极具应用前景的标记材料。分子印迹聚合物是一种人工合成的对特定模板分子具有较强特异识别能力"仿生"材料。分子印迹荧光纳米探针是将分子印迹技术的高选择性和荧光纳米材料的发光特性相结合,进而将微观分子识别过程转化为可读的荧光信号,具有识别选择性高、稳定性好、制备过程简单、灵敏度高、实用性强等特点。该类探针的研究对分析检测技术的发展具有积极推动作用。本文概述了分子印迹荧光纳米探针的检测原理及优点,重点介绍了该技术的分类及其近几年在食品安全检测方面的应用,并对发展趋势进行展望。 展开更多
关键词 分子印迹聚合物 荧光纳米探针 食品安全检测 研究进展
原文传递
双链DNA中汞/银离子-嘧啶碱基对间结合作用及其在检测技术方面的应用研究进展 被引量:3
14
作者 马佳 刘楠 +5 位作者 马新华 李晓丽 刘亚楠 李亚 梁伟杰 周志江 《应用与环境生物学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期848-853,共6页
核酸及其类似物在生物学和生物化学领域得到了长足进展.金属离子-碱基对结合代表一种简洁的在特定位置将核酸功能化的方法,其出现拓宽了功能核酸及其类似物的应用范围.在这类碱基对中,比较典型的是T-Hg2+-T和C-Ag+-C碱基对.本文总结T-Hg... 核酸及其类似物在生物学和生物化学领域得到了长足进展.金属离子-碱基对结合代表一种简洁的在特定位置将核酸功能化的方法,其出现拓宽了功能核酸及其类似物的应用范围.在这类碱基对中,比较典型的是T-Hg2+-T和C-Ag+-C碱基对.本文总结T-Hg2+-T和C-Ag+-C碱基对的研究进展及其在分析和检测方面的应用进展,包括Hg2+/Ag+与T/C结合的方式、结合比例、对DNA螺旋结构的稳定作用、T-Hg2+-T和C-Ag+-C碱基对相关的晶型结构及其在DNA螺旋中的3D排布信息等;同时总结Hg2+/Ag+-嘧啶碱基对结构和形成机理的研究现状以及在检测技术方面的应用,包括各种形式的金属离子探针、蛋白质探针、小分子探针和单核甘酸多态性检测等.其中金属离子检测的应用最为广泛,与光谱技术、可视化技术和放大技术等的结合使用大大推动了快速灵敏检测技术的发展.建议今后加强T-Hg2+-T和C-Ag+-C结合作用机理的研究,同时在研究方法上注重与其它新型技术的结合,进一步拓宽其在实际应用中的范围. 展开更多
关键词 分子信标 功能核酸 嘧啶碱基 金属离子 分子探针
原文传递
新型纳米荧光探针在微流控细菌芯片检测中的应用 被引量:7
15
作者 蒋艳 徐溢 +2 位作者 王人杰 苏喜 董春燕 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1240-1250,共11页
微流控芯片分析技术可以集成不同的生物化学分析功能单元,广泛应用于生化分析领域,在细菌检测方面具有传统检测方法不可比拟的优越性。近来年,在微流控细菌芯片中引入高荧光强度、低背景荧光干扰和高选择性的纳米荧光探针为实现细菌高... 微流控芯片分析技术可以集成不同的生物化学分析功能单元,广泛应用于生化分析领域,在细菌检测方面具有传统检测方法不可比拟的优越性。近来年,在微流控细菌芯片中引入高荧光强度、低背景荧光干扰和高选择性的纳米荧光探针为实现细菌高效检测分析提供了新的研究途径和技术手段。本文通过对细菌检测中的几类新型荧光标记探针的介绍和比较,分析其荧光效应和应用特点,尤其是在细菌检测中的应用特性,重点综述了新型高效的纳米荧光探针与微流控细菌芯片分析方法和技术结合,实现微尺度空间和荧光检测模式下的细菌高效检测。 展开更多
关键词 纳米荧光探针 微流控芯片 细菌检测
原文传递
基于双纳米金探针杂交法检测HBV DNA 被引量:3
16
作者 邢亚斯 邹能利 +4 位作者 毛红菊 徐霞 葛玉卿 金庆辉 赵建龙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1420-1425,共6页
利用双纳米金探针结合基因芯片平台建立了一种检测乙肝病毒基因(HBV DNA)的新方法.根据HBVDNA的保守序列设计捕获探针和信号报告探针,通过一对互补的纳米金检测探针的双杂交法对HBV DNA进行信号放大,最后进行银染,达到对HBV DNA的可视... 利用双纳米金探针结合基因芯片平台建立了一种检测乙肝病毒基因(HBV DNA)的新方法.根据HBVDNA的保守序列设计捕获探针和信号报告探针,通过一对互补的纳米金检测探针的双杂交法对HBV DNA进行信号放大,最后进行银染,达到对HBV DNA的可视化检测.该方法的灵敏度高,可检测10 fmol/L的HBV DNA,且能在1.5 h内完成检测.其具有的快速、高灵敏度及低成本等优势使其有望发展成为一种检测HBV DNA的新方法. 展开更多
关键词 双纳米金探针 杂交 基因芯片 银染 乙肝病毒基因(HBV DNA)
在线阅读 下载PDF
纳米金生物探针及其应用 被引量:8
17
作者 王楠 徐淑坤 王文星 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第2期408-413,共6页
纳米技术与生物技术的融合,使纳米生物技术获得了很多重要的进展。纳米金作为研究较早的一种纳米材料,其在纳米生物探针方面的应用是最近几年较为活跃的研究方向。本文评述了近年来纳米金探针在生物分析中的应用及进展,阐述了纳米金与... 纳米技术与生物技术的融合,使纳米生物技术获得了很多重要的进展。纳米金作为研究较早的一种纳米材料,其在纳米生物探针方面的应用是最近几年较为活跃的研究方向。本文评述了近年来纳米金探针在生物分析中的应用及进展,阐述了纳米金与生物大分子作用的机理,介绍了纳米金探针在核酸分析、免疫分析、单细胞分析和靶向药物载体4个方面应用的最新进展,并对其未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 纳米金 探针 生物分析
在线阅读 下载PDF
微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统 被引量:6
18
作者 陈叶金 范光照 刘玉圣 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第1期12-17,共6页
采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程... 采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。 展开更多
关键词 计量学 微/纳米探头 激光读取头 聚焦误差信号 音圈马达 磁滞补偿
在线阅读 下载PDF
扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法(英文) 被引量:11
19
作者 刘俭 谷康 +4 位作者 李梦周 由小玉 刘辰光 王宇航 谭久彬 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第4期549-556,共8页
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,... 扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。 展开更多
关键词 计量学 深度测量 微纳结构 扫描探针显微镜
在线阅读 下载PDF
基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统 被引量:5
20
作者 李志渤 黄强先 +2 位作者 史科迪 韩彬 余惠娟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-6,共6页
微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量... 微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头在z向以轻敲模式接触,在x、y向以摩擦模式接触。经过试验验证,由该测头与三维纳米定位平台、数据处理及反馈控制系统相结合构建成的三维谐振纳米触发定位系统在x、y、z三个方向的触发分辨力都达到了亚纳米量级,分别为0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三维重复性误差分别为26 nm、36 nm、10 nm。试验结果证实了新型三维谐振测头及其系统的有效性。 展开更多
关键词 微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部