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Improved performance of back-gate MoS2 transistors by NH3-plasma treating high-k gate dielectrics
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作者 Jian-Ying Chen Xin-Yuan Zhao +1 位作者 Lu Liu Jing-Ping Xu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期338-344,共7页
NH3-plasma treatment is used to improve the quality of the gate dielectric and interface. Al2O3 is adopted as a buffer layer between HfO2 and MoS2 to decrease the interface-state density. Four groups of MOS capacitors... NH3-plasma treatment is used to improve the quality of the gate dielectric and interface. Al2O3 is adopted as a buffer layer between HfO2 and MoS2 to decrease the interface-state density. Four groups of MOS capacitors and back-gate transistors with different gate dielectrics are fabricated and their C–V and I–V characteristics are compared. It is found that the Al2O3/HfO2 back-gate transistor with NH3-plasma treatment shows the best electrical performance: high on–off current ratio of 1.53 × 107, higher field-effect mobility of 26.51 cm2/V·s, and lower subthreshold swing of 145 m V/dec.These are attributed to the improvements of the gate dielectric and interface qualities by the NH3-plasma treatment and the addition of Al2O3 as a buffer layer. 展开更多
关键词 mos2 transistor high-k dielectric NH3-plasma treatment oxygen vacancy mobility
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Field-effect transistors based on two-dimensional materials for logic applications 被引量:2
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作者 王欣然 施毅 张荣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期147-161,共15页
Field-effect transistors (FETs) for logic applications, graphene and MoS2, are discussed. These materials have based on two representative two-dimensional (2D) materials, drastically different properties and requi... Field-effect transistors (FETs) for logic applications, graphene and MoS2, are discussed. These materials have based on two representative two-dimensional (2D) materials, drastically different properties and require different consider- ations. The unique band structure of graphene necessitates engineering of the Dirac point, including the opening of the bandgap, the doping and the interface, before the graphene can be used in logic applications. On the other hand, MoS2 is a semiconductor, and its electron transport depends heavily on the surface properties, the number of layers, and the carrier density. Finally, we discuss the prospects for the future developments in 2D material transistors. 展开更多
关键词 graphene mos2 two-dimensional (2D) materials field-effect transistors
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氧等离子体对少层MoS2及其场效应晶体管的影响研究
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作者 张亚东 贾昆鹏 +1 位作者 吴振华 田汉民 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期67-72,共6页
通过氧等离子体对MoS2材料及其场效应晶体管进行处理,用AFM、拉曼光谱、XPS和I-V测试对材料和器件性能进行表征,系统研究了氧等离子体对MoS2材料及其器件性能的影响。实验结果表明,氧等离子体处理可以有效去除MoS2材料和器件制备过程中... 通过氧等离子体对MoS2材料及其场效应晶体管进行处理,用AFM、拉曼光谱、XPS和I-V测试对材料和器件性能进行表征,系统研究了氧等离子体对MoS2材料及其器件性能的影响。实验结果表明,氧等离子体处理可以有效去除MoS2材料和器件制备过程中引入的有机杂质,将MoS2的表面粗糙度降低到了0.27 nm。同时氧等离子体将表层MoS2氧化成MoO3,降低了器件接触区域MoS2与金属之间的费米能级钉扎效应,使器件开关比高达3.3×10^6。对MoS2器件沟道进行处理时,氧离子穿过MoO3插入到MoS2晶格中从而对沟道形成p型掺杂。 展开更多
关键词 二硫化钼 场效应晶体管 氧等离子体 拉曼光谱 掺杂
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基于CVD单层MoS_2 FET的光电探测器
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作者 战俊 粟雅娟 +2 位作者 贾昆鹏 罗军 闫祥宇 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第7期437-443,共7页
通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比... 通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比可达到105数量级,场效应迁移率约为1 cm2·V-1·s-1,栅极漏电流为10-10 A数量级;对MoS2FET器件的光电特性进行了表征,该光电探测器具有普通光电导探测器的基本光电特性,其光电流随光照强度的增强以及源漏电压的增加而增加,同时由于栅极的调制提高了光电探测器的灵活性。通过控制栅极电压能够控制MoS2FET光电探测器的暗电流大小,实现对探测器η参数的有效调制。最后通过器件能带图对MoS_2 FET光电探测器的光电特性进行了阐释,为其走向实际应用奠定了理论基础。 展开更多
关键词 二硫化钼(mos2) 场效应晶体管(FET) 二维(2D)半导体材料 光电探测器 过渡金属硫属化合物(TMD)
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用于FET的PECVD SiN_x掺杂MoS_2的有效性与可控性
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作者 战俊 粟雅娟 +3 位作者 罗军 贾昆鹏 段宁远 闫祥宇 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第4期229-234,共6页
通过化学气相沉积(CVD)工艺成功生长出少层MoS_2薄膜,用Raman光谱仪对材料进行表征,验证了三层MoS_2材料的存在。基于CVD生长出的三层MoS_2薄膜材料完成了背栅场效应晶体管(FET)的制作工艺研发。对MoS_2FET器件进行了电学特性表征,研制... 通过化学气相沉积(CVD)工艺成功生长出少层MoS_2薄膜,用Raman光谱仪对材料进行表征,验证了三层MoS_2材料的存在。基于CVD生长出的三层MoS_2薄膜材料完成了背栅场效应晶体管(FET)的制作工艺研发。对MoS_2FET器件进行了电学特性表征,研制的MoS_2FET器件的开关比可达到1.45×10~6,器件的电子载流子场效应迁移率约为1 cm^2·V^(-1)·s^(-1)。对等离子增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅(SiN_x)工艺掺杂MoS_2材料进行了研究,掺杂后器件的驱动电流提高了3倍多,验证了SiN_x掺杂MoS_2材料的有效性。通过控制PECVD SiN_x时间工艺参数对SiN_x薄膜厚度与掺杂浓度的关系进行了研究,随着SiN_x薄膜厚度增加器件的驱动电流逐渐增强,验证了SiN_x掺杂MoS_2材料的可控性。最后,对PECVD SiN_x工艺掺杂MoS_2材料的机理进行了讨论。 展开更多
关键词 二硫化钼场效应晶体管(mos2 FET) 掺杂 二维(2D)半导体材料 过渡金属硫化物(TMD) 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
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MoS2场效应晶体管的太赫兹近场显微成像表征
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作者 胡玉红 李星宇 +1 位作者 金钻明 游冠军 《光学仪器》 2026年第1期43-52,共10页
二维过渡金属硫化物(two-dimensional transition metal dichalcogenides,TMDs)因其独特的电学和光学特性,在下一代电子和光电器件中展现出巨大的应用潜力。但在微纳尺度,有关TMDs载流子分布的原位探测研究仍显不足。结合太赫兹散射式... 二维过渡金属硫化物(two-dimensional transition metal dichalcogenides,TMDs)因其独特的电学和光学特性,在下一代电子和光电器件中展现出巨大的应用潜力。但在微纳尺度,有关TMDs载流子分布的原位探测研究仍显不足。结合太赫兹散射式扫描近场光学显微镜(terahertz scattering-type scanning near-field optical microscopy,THz s-SNOM)和开尔文探针力显微镜(Kelvin probe force microscopy,KPFM),系统研究了少层MoS_(2)场效应晶体管在光激发和背栅调控下的微纳尺度载流子分布与费米能级的变化。研究表明,THz s-SNOM能灵敏地探测由外场激发导致的器件沟道载流子浓度变化,并且能够对载流子的非均匀分布进行原位成像检测。此外,基于有限偶极子模型计算,建立了太赫兹近场信号与载流子浓度之间的定量关系,为深入理解光激发和背栅调控载流子行为的微观机制提供了有力支持。 展开更多
关键词 太赫兹散射式扫描近场光学显微镜 开尔文探针力显微镜 mos2场效应晶体管 光激发 背栅调控
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垂直短沟道二硫化钼场效应晶体管 被引量:2
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作者 田金朋 王硕培 +1 位作者 时东霞 张广宇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第21期359-364,共6页
基于二维材料的场效应晶体管在超大规模集成技术方面具有非常大的应用潜力,因此开发高性能的短沟道二维半导体场效应晶体管是构建超大规模集成的必经之路.对于二维材料,获得10 nm以下沟道长度的二维半导体晶体管难度较大,目前很少有稳... 基于二维材料的场效应晶体管在超大规模集成技术方面具有非常大的应用潜力,因此开发高性能的短沟道二维半导体场效应晶体管是构建超大规模集成的必经之路.对于二维材料,获得10 nm以下沟道长度的二维半导体晶体管难度较大,目前很少有稳定制备亚10 nm二维半导体晶体管的方法.本文使用石墨烯作为接触材料,氮化硼作为间隔,可以稳定制备垂直短沟道二硫化钼场效应晶体管.基于此方法,制备了8 nm氮化硼间隔的垂直短沟道二硫化钼场效应晶体管.该器件展现出良好的开关特性,在不同的源漏电压下其开关比大于10^(7);同时关态电流小于100 fA/μm,对源漏直接隧穿效应有很好的抑制作用.此外,该方法同样适用于其他二维半导体短沟道晶体管的制备,为快速筛选出可适用于超大规模集成的二维材料提供了一种有效途径. 展开更多
关键词 二维材料 二硫化钼 场效应晶体管 短沟道效应
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杂质对二硫化钼场效应晶体管磁滞效应的影响 被引量:1
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作者 方佳佳 杨启志 王权 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2017年第4期52-55,共4页
二硫化钼(Mo S_2)具有优异的理化性能,但是磁滞效应限制了其在半导体器件上的大量应用。研究了化学气相沉积法(CVD)生长的Mo S2薄膜制备的悬置和非悬置场效应晶体管在室温下(20℃左右)的电学特性曲线。发现非悬置场效应晶体管和悬置场... 二硫化钼(Mo S_2)具有优异的理化性能,但是磁滞效应限制了其在半导体器件上的大量应用。研究了化学气相沉积法(CVD)生长的Mo S2薄膜制备的悬置和非悬置场效应晶体管在室温下(20℃左右)的电学特性曲线。发现非悬置场效应晶体管和悬置场效应晶体管中都存在磁滞现象,但是非悬置场效应晶体管的磁滞现象比悬置场效应晶体管更强。说明在样品制备过程中引入的水分子和氧分子等杂质吸附在样品表面和衬底与样品之间的界面上,这些杂质能从沟道材料的导带中转移电子充当载流子导致了磁滞效应的发生。 展开更多
关键词 mos2 场效应晶体管 悬置 非悬置 磁滞 电学特性曲线
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基于二维半导体的模拟电路最新进展 被引量:1
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作者 卢文栋 杨冠华 +1 位作者 卢年端 李泠 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期501-514,共14页
摩尔定律驱动的器件持续微缩已经开始给硅基晶体管的模拟性能带来潜在问题,其中本征增益作为最重要的模拟指标会随着技术节点的缩小而降低。二维半导体因其平坦的界面、原子级厚度的几何结构,允许极好的栅静电控制,并且不受短通道效应... 摩尔定律驱动的器件持续微缩已经开始给硅基晶体管的模拟性能带来潜在问题,其中本征增益作为最重要的模拟指标会随着技术节点的缩小而降低。二维半导体因其平坦的界面、原子级厚度的几何结构,允许极好的栅静电控制,并且不受短通道效应的影响而引起了广泛的关注。这些优异的特性使二维半导体在提高模拟电路性能中表现出巨大的潜力。本文中,我们回顾了基于二维半导体的模拟电路的最新研究进展。文章首先介绍了衡量模拟电路性能的重要指标,然后重点介绍了基于二维半导体的单级放大器的实现、接触工程、和互补技术,并进一步讨论了基于二维晶体管的复杂电路,如电流镜、运算放大器、射频电路。最后我们讨论了基于二维晶体管的模拟电路的应用前景和面临的关键挑战。 展开更多
关键词 二维半导体 二维过渡金属硫化物 二硫化钼 场效应晶体管 模拟电路
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面向生物分子检测的MoS_2膜流体场效应管的制备
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作者 沙菁 徐伟 +2 位作者 徐冰 邹益人 陈云飞 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期913-917,共5页
为提高生物分子检测的灵敏度,通过氮化硅基底的制备、二硫化钼(MoS_2)薄膜的铺陈以及金属电极的制备等步骤研制了MoS_2流体场效应管.将制备好的场效应管进行电学表征并分别在空气和浸润环境中进行性能测试.实验结果表明:当背栅电压为0 V... 为提高生物分子检测的灵敏度,通过氮化硅基底的制备、二硫化钼(MoS_2)薄膜的铺陈以及金属电极的制备等步骤研制了MoS_2流体场效应管.将制备好的场效应管进行电学表征并分别在空气和浸润环境中进行性能测试.实验结果表明:当背栅电压为0 V时,漏极电流与电压呈线性关系,电极与二硫化钼样品之间的接触为欧姆接触;用机械剥离方法制备出的MoS_2薄膜为单层;浸润环境下场效应管上二硫化钼的电阻比空气中的小,这是由于浸润环境下样品杂质掺杂浓度提高所致;随着液栅电压的增加,漏极电流与电压的曲线斜率也会随之增加,场效应增强.作为一种新型的二维材料,二硫化钼可以用来制备流体场效应管和提高生物分子检测的灵敏度. 展开更多
关键词 二硫化钼 场效应晶体管 背栅电压 转移过程 生物分子检测
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二硫化钼场效应晶体管金属接触的研究进展 被引量:2
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作者 张亚东 贾昆鹏 +1 位作者 吴振华 田汉民 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第2期109-118,共10页
二硫化钼(MoS2)作为一种代表性的半导体二维原子晶体材料,具有优异的物理及电学特性,这使其在光电器件尤其是逻辑器件的应用中具有广泛的前景。总结了MoS2的表面电荷转移掺杂和替位掺杂,并分析了不同掺杂方法的优劣,同时介绍了降低费米... 二硫化钼(MoS2)作为一种代表性的半导体二维原子晶体材料,具有优异的物理及电学特性,这使其在光电器件尤其是逻辑器件的应用中具有广泛的前景。总结了MoS2的表面电荷转移掺杂和替位掺杂,并分析了不同掺杂方法的优劣,同时介绍了降低费米能级钉扎效应的两种接触电阻的优化方法。依据肖特基理论改变金属功函数可以调节金属与MoS2的肖特基势垒高度,但由于金属与MoS2之间存在费米能级钉扎效应,接触时会产生较大的肖特基势垒,降低载流子的发射效率,从而增加金属与MoS2之间的接触电阻。最后,指出MoS2器件接触电阻的研究趋势并展望了MoS2的应用前景。 展开更多
关键词 二硫化钼(mos2) 场效应晶体管 二维晶体材料 金属-半导体接触 功函数
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基于FET结构的MoS_(2)器件的研究进展 被引量:1
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作者 潘苏敏 黄玲琴 陶化文 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期210-217,共8页
对带隙可调的二维层状半导体二硫化钼(MoS_(2))的材料特性以及基于MoS_(2)薄膜的器件性能和应用进行了简单阐述,重点分析了多种MoS_(2)场效应晶体管(FET)的结构特点,并对MoS_(2) FET的制备工艺、电学性能(载流子迁移率、电流开关比、亚... 对带隙可调的二维层状半导体二硫化钼(MoS_(2))的材料特性以及基于MoS_(2)薄膜的器件性能和应用进行了简单阐述,重点分析了多种MoS_(2)场效应晶体管(FET)的结构特点,并对MoS_(2) FET的制备工艺、电学性能(载流子迁移率、电流开关比、亚阈值摆幅等)以及栅极介质层材料对器件性能的影响等进行了综述。在此基础上进一步总结了近年来国内外基于FET结构的MoS_(2)光电器件及传感器的研究进展,分别对其结构、光响应度以及灵敏度等性能进行了分析讨论。最后,对MoS_(2)薄膜制备以及基于FET结构的MoS_(2)电子器件、光电器件和传感器未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 二硫化钼(MoS_(2)) 场效应晶体管(FET) 光电器件 传感器 二维层状半导体
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Ballistic transport in single-layer MoS2 piezotronic transistors 被引量:1
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作者 Xin Huang Wei Liu +2 位作者 Aihua Zhang Yan Zhang Zhonglin Wang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第2期282-290,共9页
Because of the coupling between semiconducting and piezoelectric properties in wurtzite materials, strain-induced piezo-charges can tune the charge transport across the interface or junction, which is referred to as t... Because of the coupling between semiconducting and piezoelectric properties in wurtzite materials, strain-induced piezo-charges can tune the charge transport across the interface or junction, which is referred to as the piezotronic effect. For devices whose dimension is much smaller than the mean free path of carriers (such as a single atomic layer of MoS2), ballistic transport occurs. In this study, transport in the monolayer MoS2 piezotronic transistor is studied by presenting analytical solutions for two-dimensional (2D) MoS2. Furthermore, a numerical simulation for guiding future 2D piezotronic nanodevice design is presented. 展开更多
关键词 piezotronic transistor two-dimensional (2D) mos2 ballistic transport numerical calculation
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氧等离子处理的二硫化钼场效应晶体管表面掺杂和湿度传感研究 被引量:1
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作者 江海洋 吴静远 +1 位作者 温朝阳 郭冰博 《Journal of Donghua University(English Edition)》 CAS 2024年第2期130-136,共7页
二维半导体过渡金属二硫属化物(transition metal dichalcogenide,TMD)具有独特的电学、光学和力学性能,在数字电路、光伏器件和能量存储等多个领域中具有巨大的应用潜力。通过表面掺杂控制TMD的电学性能为实现灵敏传感提供了有效的方... 二维半导体过渡金属二硫属化物(transition metal dichalcogenide,TMD)具有独特的电学、光学和力学性能,在数字电路、光伏器件和能量存储等多个领域中具有巨大的应用潜力。通过表面掺杂控制TMD的电学性能为实现灵敏传感提供了有效的方法。本文开展了氧等离子体对二硫化钼(MoS_(2))掺杂特性的研究。首先,测试了MoS_(2)场效应晶体管(field-effect transistor,FET)的输运特性,发现氧等离子体处理对FET具有p型掺杂作用。随后,通过拉曼光谱研究了掺杂机制的成因,并证实了沟道表面类MoO_(3)缺陷的形成。最后,研究了经等离子体处理的晶体管的湿度传感特性,由于氧等离子体处理使得沟道对水分子的吸收中心增加,在潮湿环境下晶体管具有十分灵敏的响应特性,源漏电流值变化了约54%。这项工作不仅提供了一种调控TMD电学性能的简单方法,也展示了低维材料化学传感器的发展潜力。 展开更多
关键词 场效应晶体管(FET) 二硫化钼(mos2) 氧等离子体 表面掺杂 湿度传感
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Tunnel contacted MoS_2 transistor makes thinnest polarity-tunable rectifier
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《Science Foundation in China》 CAS 2017年第4期44-,共1页
With the support by the National Natural Science Foundation of China,a collaborative study by the research group led by Prof.Zhang Zhidong(张志东)and Prof.Han Zheng(韩拯)from the Institute of Metal Research,Chinese Ac... With the support by the National Natural Science Foundation of China,a collaborative study by the research group led by Prof.Zhang Zhidong(张志东)and Prof.Han Zheng(韩拯)from the Institute of Metal Research,Chinese Academy of Sciences demonstrates that by intercalating a tunneling layer 展开更多
关键词 Tunnel contacted mos2 transistor makes thinnest polarity-tunable rectifier FET
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Manganese and chromium doping in atomically thin MoS2 被引量:1
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作者 Ce Huang Yibo Jin +3 位作者 Weiyi Wang Lei Tang Chaoyu Song Faxian Xiu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第3期76-81,共6页
Recently,two-dimensional materials have been attracting increasing attention because of their novel properties and promising applications.However,the impurity doping remains a significant challenge owing to the lack o... Recently,two-dimensional materials have been attracting increasing attention because of their novel properties and promising applications.However,the impurity doping remains a significant challenge owing to the lack of the doping strategy in the atomically thin layers.Here we report on the chromium(Cr) and manganese(Mn)doping in atomically-thin MoS_2 crystals grown by chemical vapor deposition.The Cr/Mn doped MoS_2 samples are characterized by a peak at 1.76 and 1.79 eV in photoluminescence spectra,respectively,compared with the undoped one at 1.85 eV.The field-effect transistor(FET) devices based on the Mn doping show a higher threshold voltage than that of the pure MoS_2 while the Cr doping exhibits the opposite behavior.Importantly,the carrier concentration in these samples displays a remarkable difference arising from the doping effect,consistent with the evolution of the FET performance.The temperature-dependent conductivity measurements further demonstrate a large variation in activation energy.The successful incorporation of the Mn and Cr impurities into the monolayer MoS_2 paves the way towards the high Curie temperature two-dimensional dilute magnetic semiconductors. 展开更多
关键词 mos2 field effect transistors dilute magnetic semiconductors two-dimensional materials
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Monolayer-molybdenum-disulfide-based nano-optomechanical transistor and tunable nonlinear responses
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作者 陈华俊 陈昌兆 +1 位作者 李洋 方贤文 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第11期43-49,共7页
Atomically thin two-dimensional semiconductor nanomaterials have attained considerable attention currently. Here, we present a nano-optomechanical system based on a suspended monolayer molybdenum disulfide (MoS2). T... Atomically thin two-dimensional semiconductor nanomaterials have attained considerable attention currently. Here, we present a nano-optomechanical system based on a suspended monolayer molybdenum disulfide (MoS2). The linear and nonlinear coherent optical properties of this system, and the phenomenon ofphonon-induced transparency are demonstrated. The transmission of the probe field can be manipulated by the power of a second ‘gating' (pump) field, which indicates a promising candidate for an optical transistor. We further study the nonlinear effect of the system, and the optical Kerr effect of the monolayer MoS2 resonator can be regulated under different parameter regimes. This scheme proposed here may indicate potential chip-scale applications of monolayer MoS2 resonator in quantum information with the currently popular pump-probe technology. 展开更多
关键词 mos2 nanomechanical resonator optical transistor nonlinear optical effect
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基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备 被引量:1
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作者 梁亚春 焦陈寅 +10 位作者 肖飞 朱健凯 徐博 文婷 伍松 任子明 韦学勇 陈滢 贾浩 夏娟 王曾晖 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2022年第2期348-357,共10页
原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传... 原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传统的制备流程中所涉及多步工艺需要用到诸多不同设备,如二维材料转移对准系统、电子束曝光系统,或是光刻系统,而且往往在一些步骤中涉及有机溶液处理,有可能会对样品带来一些不利的影响.本文设计展示了一种能够实现二维材料微纳米器件制备的多功能系统,该系统不仅可以实现二维材料的高效转移,而且可以直接进行金属电极的准确淀积,并且整个加工流程不涉及溶液处理,具有操作方便、效率高、样品污染少等优点.基于该多功能系统,我们成功制备出了MoS;场效应晶体管并对器件进行了光学表征和电学性能测试,展现了这一系统在高效制备微纳器件方面的潜力. 展开更多
关键词 二维晶体材料 多功能制备系统 材料干法转移 金属电极淀积 MOS 场效应晶体管
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