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JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统
1
作者
吕家梅
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期278-279,共2页
文章介绍了JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统(以下简称JM-2型对位系统)的工作原理,以及在烧结工艺上的应用和实验结果,其工艺精度可达0.
关键词
显微监视系统
PIN光电探测器
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职称材料
题名
JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统
1
作者
吕家梅
机构
重庆光电技术研究所
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期278-279,共2页
文摘
文章介绍了JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统(以下简称JM-2型对位系统)的工作原理,以及在烧结工艺上的应用和实验结果,其工艺精度可达0.
关键词
显微监视系统
PIN光电探测器
Keywords
microscopic monitoring system
,
instrument
,
sintering technology
分类号
TN360.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统
吕家梅
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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