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JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统
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作者 吕家梅 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期278-279,共2页
文章介绍了JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统(以下简称JM-2型对位系统)的工作原理,以及在烧结工艺上的应用和实验结果,其工艺精度可达0.
关键词 显微监视系统 PIN光电探测器
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