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Electron Beam Powder Bed Fusion Additive Manufacturing:A Comprehensive Review and its Development in China 被引量:2
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作者 Mohan Jiao Hongyu Long +2 位作者 Buwei Xiao Xiaoyu Liang Feng Lin 《Additive Manufacturing Frontiers》 2024年第4期75-101,共27页
Additive manufacturing(AM),recognized as a pivotal innovation,has revolutionized the manufacturing industry since its inception.With a robust background of over three decades in AM,China has accomplished significant m... Additive manufacturing(AM),recognized as a pivotal innovation,has revolutionized the manufacturing industry since its inception.With a robust background of over three decades in AM,China has accomplished significant milestones,emerging as a key global player in the deployment and export of related machinery and products.China’s prominence within the realm of powder bed fusion technology is underscored by its substantial market share.Electron beam powder bed fusion(EB-PBF),known for its low residual stress and high forming efficiency,has gained considerable international interest.Since Tsinghua University initiated the first research on EB-PBF in 2004,China has steadily advanced in this area,leading to the commercialization of EB-PBF devices and the development of a diverse product line.This comprehensive review highlights the research progress in EB-PBF,focusing on its development in China,explores novel technologies,and offers insights into future advancements. 展开更多
关键词 Additive manufacturing electron beam powder bed fusion electron beam melting Materials processing SIMULATION
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Electron beam powder bed fusion of TiAl alloy with controllable microstructure and strength
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作者 Yulin Sun Yang Chen +8 位作者 Zhixiang Qi Gong Zheng Daixiu Wei Henggao Xiang Nan Liu Xianghui Wang Xi Pan Jian Wang Guang Chen 《Journal of Materials Science & Technology》 2025年第31期47-59,共13页
TiAl alloys fabricated by electron beam powder bed fusion(EB-PBF)usually exhibit special microstructures with alternating fine-grained(FG)regions and coarse-grained(CG)bands.In previous studies,the CG microstructures ... TiAl alloys fabricated by electron beam powder bed fusion(EB-PBF)usually exhibit special microstructures with alternating fine-grained(FG)regions and coarse-grained(CG)bands.In previous studies,the CG microstructures were equiaxed γ phases,and the FG microstructures presented three types:near gamma,duplex,and nearly lamellar.However,the rule for controlling FG microstructures has not been found.Hence,a method needs to be built to find the rule for controlling FG microstructures.Here,we established a normalized process diagram by combining Al-equivalent and dimensionless process parameters.Based on the normalized process diagram,we successfully control the FG microstructures and customize three FG microstructures of the Ti-48Al-2Cr-2Nb alloy.Meanwhile,the average tensile yield strength reaches 756 MPa when the FG microstructure is near gamma.The yield strength is higher than the previous data for the Ti-48Al-2Cr-2Nb alloy.This is attributed to the strong interface-strengthening effect between FG near γ microstructures and CG γ bands.These findings can help shorten the research time of the other TiAl alloys fabricated by EB-PBF,improving the mechanical properties of the other EBPBF-built TiAl alloys in the future. 展开更多
关键词 TiAl alloy Additive manufacturing electron beam powder bed fusion Normalized process diagram MICROSTRUCTURE Tensile strength
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基于QbD理念的小儿消食颗粒成型工艺优化及质量一致性评价方法研究
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作者 谢洽桐 李海洋 +5 位作者 赵小军 何晗 郭玉凤 刘洋 马世威 吴志生 《中草药》 北大核心 2026年第1期53-63,共11页
目的立足于药食同源产品高质量发展的要求,以小儿消食颗粒(Xiaoer Xiaoshi Granules,XXG)为示范,基于质量源于设计(quality by design,QbD)理念建立药食同源颗粒剂的智能驱动式成型工艺优化及质量一致性评价方法。方法首先,使用层次分析... 目的立足于药食同源产品高质量发展的要求,以小儿消食颗粒(Xiaoer Xiaoshi Granules,XXG)为示范,基于质量源于设计(quality by design,QbD)理念建立药食同源颗粒剂的智能驱动式成型工艺优化及质量一致性评价方法。方法首先,使用层次分析法(analytic hierarchy process,AHP)对XXG的成型关键质量属性(critical quality attributes,CQAs)进行权重分配并通过风险评估法确定关键影响因素;其次,在成型关键影响因素的单因素考察后,通过比较Box-Behnken设计-响应面法(Box-Behnken design-response surface methodology,BBD-RSM)与遗传算法-反向传播神经网络法(genetic algorithmbackpropagation neural network,GA-BPNN)优选最佳成型参数组合;最后,根据XXG药食同源的属性特点,对其总黄酮含量的化学质量属性和基于电子舌的口感质量属性进行一致性评价研究。结果确定赋形剂性质、润湿剂乙醇体积分数、润湿剂乙醇用量和辅药比为XXG成型关键影响因素,赋形剂种类及配比为麦芽糊精-甘露醇2∶1、乙醇体积分数84%、乙醇用量0.18 mL/g、辅药比1.5∶1为XXG的最佳成型参数组合,综合评分为103.88。在有效成分含量方面,3批颗粒的总黄酮质量分数依次为8.46、8.82、8.82 mg/g,RSD仅为1.95%。在电子舌智能感官评价方面,3批颗粒在电子舌7根传感器(SCS、ANS、CTS、NMS、AHS、PKS和CPS)上响应值的RSD均在3%以内。结论优选出的XXG最佳成型参数组合稳定可行,该成型工艺的优化方法能为药食同源产品的开发、中药智能制造的发展提供参考价值。 展开更多
关键词 药食同源产品 成型工艺 质量源于设计 遗传算法-反向传播神经网络法 一致性评价 小儿消食颗粒 层次分析法 关键质量属性 Box-Behnken设计-响应面法 总黄酮 电子舌 智能制造
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微纳制造全流程工艺理论与实践融合的教学研究
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作者 宋兵 刘森 +2 位作者 孙毅 陈雷 李楠 《高教学刊》 2026年第7期124-127,共4页
微纳电子制造工艺课程全面覆盖微电子产业的全流程主要工艺,并特别强调对微纳制造工艺的系统理解。课程采用理论讲解与实践操作融合的教学手段,以及以学生为中心的教学理念,旨在提高学生对微纳制造工艺的知识掌握、素质拓展和能力培养... 微纳电子制造工艺课程全面覆盖微电子产业的全流程主要工艺,并特别强调对微纳制造工艺的系统理解。课程采用理论讲解与实践操作融合的教学手段,以及以学生为中心的教学理念,旨在提高学生对微纳制造工艺的知识掌握、素质拓展和能力培养。通过示例讲解与参与式教学,课程增强了学生的实践操作能力和创新思维,为培养高素质的微电子领域专业人才提供有力的支持。 展开更多
关键词 微纳制造工艺 理论与实践融合 全流程 学生为中心 微电子
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电子制造企业废水中全氟化合物在A^(2)O工艺污水处理过程中的转归研究
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作者 葛晓颖 张丽伟 +1 位作者 熊凯 方皓 《环境科学研究》 北大核心 2026年第3期651-661,共11页
全氟化合物(PFAS)因其环境持久性和生物累积性而具有显著的环境和健康风险,然而,目前对电子制造企业废水处理过程中PFAS的赋存状态和转化归趋研究并不明确。为研究北方某电子制造企业废水中PFAS在A^(2)O(Anaerobic-Anoxic-Oxic)污水处... 全氟化合物(PFAS)因其环境持久性和生物累积性而具有显著的环境和健康风险,然而,目前对电子制造企业废水处理过程中PFAS的赋存状态和转化归趋研究并不明确。为研究北方某电子制造企业废水中PFAS在A^(2)O(Anaerobic-Anoxic-Oxic)污水处理工艺全过程中的环境行为,在污水处理厂进、出口及各污水处理工序采集废水样品并在厌氧池、缺氧池、好氧池、二沉池及外运污泥处采集污泥样品,通过固相萃取及高效液相色谱-串联质谱(HPLC/MS-MS)方法,分析废水和污泥中PFAS的浓度、组分特征、去除效率、各组分之间及其与其他污染物指标的相关性。结果表明:(1)电子制造企业废水PFAS的主要组分是全氟丁烷羧酸(PFBA),其在污水中的占比为44%~57%。PFBA、全氟戊烷羧酸(PFPeA)、全氟丁烷磺酸(PFBS)、全氟己烷羧酸(PFHxA)、全氟辛烷磺酸(PFOS)、全氟辛烷羧酸(PFOA)等6种PFAS浓度之和占∑_(13)PFAS浓度的90%以上。(2)各污水处理工序中,短链(C链≤6)PFAS浓度占污水∑_(13)PFAS浓度的84.38%±4.50%,中链(6˂C链≤11)PFAS含量占污泥∑16PFAS含量的62.53%±3.92%。(3)与进水相比,出水∑_(13)PFAS浓度降低35.97%。格栅池、A^(2)O反应池、沉淀池等对PFAS的拦截滤除、活性污泥吸附及沉淀作用是A^(2)O污水处理工艺去除电子制造企业废水PFAS的主要机制。(4)电子制造企业废水中PFAS的主要组分PFBA浓度与废水中氟离子(F-)浓度呈极显著(P˂0.01)正相关,符合电子制造企业废水特征。PFHx A、全氟庚酸(PFHp A)浓度均与PFOA、PFOS、全氟壬酸(PFNA)浓度呈显著(P˂0.05)正相关,可能与这几种PFAS有较相似的用途和来源及共同的前体物降解有关。研究显示,A^(2)O污水处理工艺对电子制造企业废水PFAS具有一定的去除效果,未来还应结合其他深度处理PFAS技术,进一步减少电子制造企业废水PFAS的排放。 展开更多
关键词 电子制造 全氟化合物(PFAS) A^(2)O工艺 污水处理厂 废水 污泥
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电子束粉末床熔融增材制造装备和工艺研究进展 被引量:2
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作者 尹敏 王建 《粉末冶金技术》 北大核心 2025年第2期224-232,共9页
电子束粉末床熔融增材制造技术具有功率大、能量利用率高、扫描速度快、成形应力低、真空环境成形等突出特点,是国内外竞相发展和应用的金属增材制造技术之一。近年来,国内外在电子束粉末床熔融增材制造装备和工艺方面取得多项突破性进... 电子束粉末床熔融增材制造技术具有功率大、能量利用率高、扫描速度快、成形应力低、真空环境成形等突出特点,是国内外竞相发展和应用的金属增材制造技术之一。近年来,国内外在电子束粉末床熔融增材制造装备和工艺方面取得多项突破性进展,长期困扰该技术创新发展应用的成形尺寸小和电子枪阴极寿命短等问题已经得到了有效解决,并且涌现出多种新成形工艺和成形质量在线监控技术,在高熔点、高反射率、脆性难加工金属材料复杂构件增材制造方面展现出更加广阔的应用前景。本文从装备发展、在线监控和成形工艺三个方面,对国内外近年来电子束粉末床熔融增材制造技术的新进展进行了综述,并对其发展趋势、面临的技术挑战和应用前景进行了分析和展望。 展开更多
关键词 增材制造 电子束粉末床熔融 装备技术 成形工艺 在线监控
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微纳电子静电打印:原理、工艺及应用
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作者 丁毅 岳峻宇 +3 位作者 陈昱桦 李家欣 李涤尘 贺健康 《电加工与模具》 北大核心 2025年第2期1-14,共14页
随着电子器件向小型化、集成化、多功能化方向发展,传统电子制造技术在制造精度、材料适应性、工艺灵活性等方面暴露出局限性,而静电打印技术已发展为微纳电子增材制造的一种新手段,故综述了微纳电子静电打印的技术原理、材料工艺及潜... 随着电子器件向小型化、集成化、多功能化方向发展,传统电子制造技术在制造精度、材料适应性、工艺灵活性等方面暴露出局限性,而静电打印技术已发展为微纳电子增材制造的一种新手段,故综述了微纳电子静电打印的技术原理、材料工艺及潜在应用。首先,阐述该技术的基本原理,着重介绍了微滴喷射、泰勒锥射流两种打印模式;接着,探讨金属纳米材料油墨、金属前驱体油墨和液态金属等不同电子材料的静电打印工艺特点和适用范围;最后,总结该技术在微纳电路、柔性电子、曲面电子及生物传感等领域的最新应用研究,并展望其未来研究方向,以促进静电打印技术在微纳电子领域的技术发展。 展开更多
关键词 微纳静电打印 电子材料与工艺 先进功能电路 电子增材制造
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铜合金在增材制造领域的研究进展 被引量:3
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作者 郑富凯 韩光达 +2 位作者 张思雨 郭鑫辉 冯靖凯 《铜业工程》 2025年第2期110-129,共20页
增材制造(AM)技术,俗称3D打印,作为一种发展中的先进制造技术,近年来在多个工业制造领域得以较大规模应用。为总结AM技术在铜合金领域的研究进展,重点梳理了铜合金产品的增材制造过程、铜合金AM制品的应用领域,以及铜合金AM产品性能的... 增材制造(AM)技术,俗称3D打印,作为一种发展中的先进制造技术,近年来在多个工业制造领域得以较大规模应用。为总结AM技术在铜合金领域的研究进展,重点梳理了铜合金产品的增材制造过程、铜合金AM制品的应用领域,以及铜合金AM产品性能的优化路径。本文通过文献调研和实例分析,提示了铜合金AM过程的特殊要求,以及影响AM质量的关键因素。此外,探讨了通过后处理技术优化铜合金AM部件性能的可能性。结果发现,铜合金的AM技术在汽车、医疗、热管理、航空航天、消费电子等领域的应用前景十分广阔,但目前仍面临加工难度大、工艺优化复杂等挑战。本综述为铜合金AM的研究和工业应用提供了一个参考框架,并指出了进一步研究的方向。 展开更多
关键词 铜合金 增材制造 选择性激光熔化 电子束熔化 激光金属沉积 定向能量沉积 后处理技术
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Image-based impedance spectroscopy for printed electronics
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作者 Eunsik Choi Suwon Choi +1 位作者 Kunsik An Kyung-Tae Kang 《npj Flexible Electronics》 2025年第1期1766-1774,共9页
The field of printed electronics has been extensively researched for its versatility and scalability in flexible and large-area applications.Impedance is of great importance for the performance and reliability of elec... The field of printed electronics has been extensively researched for its versatility and scalability in flexible and large-area applications.Impedance is of great importance for the performance and reliability of electronics.However,its measurement requires electrical contacts,which makes it difficult on complex or bio-interfaces.Although the printing process is accessible,impedance characterization may be cumbersome,which can create a bottleneck during the manufacturing process.This paper reports the first effort at developing a convolutional neural network(CNN)based image regression model to replace impedance spectroscopy(IS).In our study,the CNN model learned the features of inkjet-printed electrode images that are dependent on the printing and sintering of nanomaterials and quantitatively predicted the resistance and capacitance of the equivalent circuit of the inkjet-printed lines.The image-based impedance spectroscopy(IIS)is expected to be the cornerstone as a revolutionary approach to electronics research and development enabled by deep neural networks. 展开更多
关键词 printed electronics convolutional neural network RESISTANCE printing process impedance spectroscopy image regression manufacturing processthis electrical contactswhich
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基于RFID的智能制造物料追踪系统设计
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作者 刘奇 《机械管理开发》 2025年第10期208-210,共3页
为实现实时监控物料的位置和状态,避免生产过剩或不足,提高整体生产效率,基于RFID的智能制造物料追踪系统,针对RFID阅读器与电子标签,选择合适的设备元件,在此基础上,完善RFID数据采集层、业务处理层的模型结构,并定义数据库的物理与逻... 为实现实时监控物料的位置和状态,避免生产过剩或不足,提高整体生产效率,基于RFID的智能制造物料追踪系统,针对RFID阅读器与电子标签,选择合适的设备元件,在此基础上,完善RFID数据采集层、业务处理层的模型结构,并定义数据库的物理与逻辑结构,完成基于RFID的智能制造物料追踪系统设计。实验结果表明,上述系统可以有效解决生产过剩或不足的问题,且能够准确记录物料运输状态,对于提高制造企业的整体生产效率起到了一定的积极作用。 展开更多
关键词 RFID技术 智能制造 物料追踪 电子标签 业务处理 数据库
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中国制造业的电子商务战略分析 被引量:5
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作者 李勖 孙林岩 汪应洛 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1159-1161,共3页
就制造业中中电子商务特点及应用进行了分析 ,提出了扩展业务流程再造 ( EBPR)是充分利用电子商务的基础。通过比较我国制造业在实施电子商务与发达国家的劣势和差距 ,指出了我国制造企业发展电子商务的步骤及要点。
关键词 电子商务 业务流程重组 制造业 先进制造技术 中国
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电子产品加工制造企业挥发性有机物(VOCs)排放特征 被引量:17
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作者 崔如 马永亮 《环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期4585-4591,共7页
根据美国EPA挥发性有机物标准检测法TO-11及TO-14/15,采用VOCs快速检测仪、Summa罐及DNPH吸附管,对我国某大型电子产品加工制造企业中不同工艺环节生产车间内部及生产线最终废气排放管道中VOCs含量水平及组分特征进行检测.结果表明... 根据美国EPA挥发性有机物标准检测法TO-11及TO-14/15,采用VOCs快速检测仪、Summa罐及DNPH吸附管,对我国某大型电子产品加工制造企业中不同工艺环节生产车间内部及生产线最终废气排放管道中VOCs含量水平及组分特征进行检测.结果表明,该企业涉及VOCs排放工艺中压铸车间总挥发性有机物(TVOCs)浓度为0.1—0.5mg·m^-3、机加工车间TVOCs浓度为1.5~2.5mg·m^-3、喷涂车间中TVOCs浓度为20~200mg·m^-3,各车间VOCs组分主要包括烷类、烯炔类、芳香类、酮类、酯类和醚类,共20余种.其中涂装车间内苯系物及酮类物质为主要VOCs组分,各物质浓度分别为苯0.02~0.34mg·m^-3、甲苯0.24~3.35mg·m^-3、乙苯0.04—1.33mg·m^-3、对二甲苯0.13—0.96mg·m^-3、邻/间二甲苯0.02~1.18mg·m^-3、丙酮0.29~15.77mg·m^-3、2-丁酮0.06—22.88mg·m^-3、环己酮0.02~25.79mg·m^-3、甲基异丁基甲酮0~21.29mg·m^-3.根据该企业生产特征及工艺数据计算,其单条生产线VOCs年排放量为14t,整个厂区年排放量约为840t.结合生产流程及生产工艺分析,喷涂过程中的溶剂使用是电子产品加工制造企业的VOCs主要排放来源,废气排放口是重点排放点. 展开更多
关键词 电子产品 加工制造 挥发性有机物 涂装 排放特征
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电子束选区熔化成形技术研究进展 被引量:83
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作者 汤慧萍 王建 +1 位作者 逯圣路 杨广宇 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期225-235,共11页
电子束选区熔化成形技术(Selective Electron Beam Melting,SEBM),是20世纪90年代中期发展起来的一类新型增材制造技术,具有能量利用率高、无反射、功率密度高、扫描速度快、真空环境无污染、低残余应力等优点,特别适合活性、难熔、脆... 电子束选区熔化成形技术(Selective Electron Beam Melting,SEBM),是20世纪90年代中期发展起来的一类新型增材制造技术,具有能量利用率高、无反射、功率密度高、扫描速度快、真空环境无污染、低残余应力等优点,特别适合活性、难熔、脆性金属材料的直接成形,在航空航天、生物医疗、汽车、模具等领域具有广阔的应用前景。10年来,作者团队主要开展SEBM成形钛合金的研究,合金包括TC4、TA7、Ti600、Ti Ta Nb Zr、Ti Al金属间化合物等;零件包括复杂薄壁、桁架/多孔及多孔/致密复合结构零件;并且搭建了从粉末制备、设备研发到技术服务的全产业链SEBM技术平台,通过科技成果转化成立了从事SEBM技术的专业化企业——西安赛隆金属材料有限责任公司。从成形装备、成形过程缺陷形成与控制、材料组织性能和主要应用4个方面,对国内外SEBM技术的发展现状进行了综述,最后对SEBM技术的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 电子束选区熔化成形 成形装备 缺陷控制 组织特性 增材制造 随形热处理 生物多孔植入体
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高职《电子设计与制作》课程设计与实施 被引量:8
14
作者 殷蔚 黄清华 胡微 《职业技术教育》 北大核心 2011年第2期30-32,共3页
基于工作过程开发《电子设计与制作》课程,遵循"电子产品助理设计"等岗位(群)从简单到复杂的职业能力累积形成规律,以有源音响、单片机小系统等真实电子产品或设计项目为载体,确立基本电子产品设计与制作、单片机系统设计与... 基于工作过程开发《电子设计与制作》课程,遵循"电子产品助理设计"等岗位(群)从简单到复杂的职业能力累积形成规律,以有源音响、单片机小系统等真实电子产品或设计项目为载体,确立基本电子产品设计与制作、单片机系统设计与制作、数据采集系统设计与制作3个模块,其教学流程按"设计任务分析—工作计划制订—设计方案确定-硬件电路设计与制作-软件设计与调试-整机性能检测—设计文件编制与资料归档"等典型工作任务展开。 展开更多
关键词 工作过程导向 电子设计与制作 课程开发 实施方案
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过程能力指数的计算与质量直方图的绘制 被引量:2
15
作者 隋文涛 张丹 张宇 《微计算机信息》 北大核心 2007年第30期277-278,144,共3页
介绍了工序能力指数的计算方法和电子产品质量直方图的绘制,并探讨了计算机实现方法,可直观显示质量状态和定量分析质量保证能力。软件界面友好,可有效的用于质量控制中。
关键词 直方图 过程能力指数 电子产品制造
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微力电系统中多层膜的端部应力集中 被引量:2
16
作者 余寿文 徐千军 《机械强度》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期7-13,共7页
微电子技术的发展对其本身及封装的结构可靠性提出了更高的要求,微机械的出现又使得微电子机械元器件的电学行为和力学行为密不可分,从而扩展成为一个统一的微力电系统。微力电系统的强度问题主要是多层膜在制造和使用过程中,由于不... 微电子技术的发展对其本身及封装的结构可靠性提出了更高的要求,微机械的出现又使得微电子机械元器件的电学行为和力学行为密不可分,从而扩展成为一个统一的微力电系统。微力电系统的强度问题主要是多层膜在制造和使用过程中,由于不同材料热学与力学参量的失配引起的残余热应力,特别是在界面和端部的应力集中。本文应用有限元方法分析了在不同的端部几何形状和组合形状下,多层膜中应力沿界面的分布。对于微电子元件在成型过程中产生的残余应力,则同时讨论了温度历史和结构几何形状变化引起的应力重分布。对计算结果的分析和比较,可以帮助我们加深对结构和工艺优化问题的深入理解。 展开更多
关键词 微力电系统 微电子元件 薄膜 应力集中 机械学
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电子封装用SiCp/Al复合材料的研究现状及展望 被引量:9
17
作者 田大垒 王杏 关荣锋 《电子与封装》 2007年第3期11-15,共5页
电子封装技术的快速发展对封装材料的性能提出了更为严格的要求。文章介绍了电子封装用SiCp/Al复合材料的研究现状和进展,讨论了其制备工艺和性能。文中着重介绍了空气气氛下的无压自浸渗制备方法,并进一步提出了SiCp/Al复合材料存在的... 电子封装技术的快速发展对封装材料的性能提出了更为严格的要求。文章介绍了电子封装用SiCp/Al复合材料的研究现状和进展,讨论了其制备工艺和性能。文中着重介绍了空气气氛下的无压自浸渗制备方法,并进一步提出了SiCp/Al复合材料存在的主要问题以及今后的研究方向。 展开更多
关键词 电子封装 SICP/AL复合材料 制备工艺 性能
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基于工作过程的“电子设计与制作”课程设计与实施 被引量:1
18
作者 殷蔚 黄清华 潘毅 《岳阳职业技术学院学报》 2010年第6期20-23,共4页
工作过程导向的应用电子技术专业课程体系设计与实施应对接专业职业岗位能力确定课程目标,针对专业职业岗位需求选取课程内容,基于电子产品开发工作过程序化课程内容,基于行动导向设计教学方法的原则构建工作过程导向的"电子设计... 工作过程导向的应用电子技术专业课程体系设计与实施应对接专业职业岗位能力确定课程目标,针对专业职业岗位需求选取课程内容,基于电子产品开发工作过程序化课程内容,基于行动导向设计教学方法的原则构建工作过程导向的"电子设计与制作"课程。 展开更多
关键词 工作过程导向 电子设计与制作 课程构建
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应用于微结构制造自治系统的结构描述语言 被引量:1
19
作者 严利人 陈晓程 《世界科技研究与发展》 CSCD 2005年第6期1-8,共8页
本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言,包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件,都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我所提出的一种概念性系统,意指具备一定的智能,能够应对多种制... 本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言,包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件,都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我所提出的一种概念性系统,意指具备一定的智能,能够应对多种制造过程突发情况的全自动化的集成电路无人制造系统。系统在获得特定加工对象的结构描述之后,可对结构进行分析,提取结构特征并自动生成加工制造工艺。本文结合一个CMOS结构实例,介绍了所定义的微结构描述语言的各项先进特性。这方面研究工作的重要意义在于,每个微结构器件,包括将要被发明的,可视为微结构描述语言所能够描述的对象集中的一个特例,从而得到统一的分析与处理。结构特征的分析,为接下来的工艺流程自动生成工作搜集和准备了必要的结构信息。 展开更多
关键词 微结构描述语言 微结构制造 自治系统 工艺开发
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应用于微结构制造自治系统的流水线作业调度 被引量:1
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作者 严利人 具丽洁 《世界科技研究与发展》 CSCD 2006年第4期7-13,共7页
在微结构制造自治系统中,作业调度起到至关重要的作用。当前大多数的IC作业调度都是基于组合优化技术的,与以往这些工作不同,本文提出了一种新的基于流水线的调度方案。流水线对于串行作业来说能够达到最佳的运行效率,因此获取最优调度... 在微结构制造自治系统中,作业调度起到至关重要的作用。当前大多数的IC作业调度都是基于组合优化技术的,与以往这些工作不同,本文提出了一种新的基于流水线的调度方案。流水线对于串行作业来说能够达到最佳的运行效率,因此获取最优调度方案问题的关键即在于对IC制造设施进行配置,使之成为流水线。本文对于流水线调度的基本算法进行了讨论。对一个实例进行了基于流水线技术的调度,结果表明多数机器都能够达到100%的最高运行效率。本文所开发的一个调度模拟程序,除了对流水线运行的情况进行模拟外,还能够用作实际的调度器,进行最优化作业调度。 展开更多
关键词 作业调度流水线 自治系统
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