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微振动载荷下装配接触界面微观形貌演变特性研究
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作者 刘检华 倪婧 +6 位作者 夏焕雄 张健 敖晓辉 罗俊成 张学睿 付志豪 张慧 《北京理工大学学报》 北大核心 2025年第2期175-184,共10页
针对微振动载荷作用下装配接触界面状态演变规律不清晰和表征参数不明确等问题,提出了从表面的形貌演变表征接触界面状态变化的实验与分析方法.搭建了模拟法向加载下接触界面切向振动的实验装置,获得了具有不同初始粗糙度的接触表面形... 针对微振动载荷作用下装配接触界面状态演变规律不清晰和表征参数不明确等问题,提出了从表面的形貌演变表征接触界面状态变化的实验与分析方法.搭建了模拟法向加载下接触界面切向振动的实验装置,获得了具有不同初始粗糙度的接触表面形貌演变规律,发现了表面轮廓中谷部的空隙体积随着初始粗糙度的增加而显著减少的现象,并分析了描述表面微观形貌在功率谱能量、轮廓高度、面积比例、体积分布以及各向异性特征方面的5大类17种参数与初始表面粗糙度的相关性,确定了表征接触界面微观形貌演变的指标参数.研究结果为接触力学研究和精密产品装配稳定性研究提供了实测数据与分析方法. 展开更多
关键词 微振动 接触界面 形貌表征 相关性分析
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内孔圆度非接触测量技术研究及其测量装置设计
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作者 廖伟强 李万里 +1 位作者 洪志刚 兰其山 《机械工程与自动化》 2025年第5期103-104,共2页
针对具有内孔特征的零件圆度测量问题进行了研究,基于具有内孔特征的零件,设计了伺服驱动卡盘联动机构和光路引导反射探头,实现了测量过程中的任何定位和任意分度。利用光学原理设计了一种反射式红外光电微位移测量电路,解决了内孔圆度... 针对具有内孔特征的零件圆度测量问题进行了研究,基于具有内孔特征的零件,设计了伺服驱动卡盘联动机构和光路引导反射探头,实现了测量过程中的任何定位和任意分度。利用光学原理设计了一种反射式红外光电微位移测量电路,解决了内孔圆度非接触测量问题。通过对微小位移变化的测量,最终实现了具有内圆特征的零件微米级圆度偏差分拣。 展开更多
关键词 内孔圆度 非接触测量 检测机构 微位移
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基于分形理论的滚珠丝杠副整体接触变形研究
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作者 杨飞 于亚维 +2 位作者 周长光 冯虎田 欧屹 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2025年第3期170-176,共7页
目前,关于滚珠丝杠副承载特性研究主要考虑宏观接触变形阶段,忽略了初始微观接触变形。因此,构建了完整的滚珠丝杠副微观接-宏观接触变形模型,首先,基于微观接触力学理论构建了滚珠丝杠副微观接触模型;然后,基于Hertz接触理论、hornton... 目前,关于滚珠丝杠副承载特性研究主要考虑宏观接触变形阶段,忽略了初始微观接触变形。因此,构建了完整的滚珠丝杠副微观接-宏观接触变形模型,首先,基于微观接触力学理论构建了滚珠丝杠副微观接触模型;然后,基于Hertz接触理论、hornton弹塑性接触理论和屈服特性Mises准则,构建了宏观接触模型;结合修正后的有效承载滚珠个数,最终提出了一种滚珠丝杠副接触变形改进计算方法,并分析了分形维数D及分形尺度G对滚珠丝杠副接触变形的影响。实验结果表明,模型理论计算结果平均误差为4%以下。 展开更多
关键词 滚珠丝杠副 微观接触 宏观接触 有效滚珠数
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基于micro-CT实验的颗粒体系接触力计算及演化分析 被引量:1
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作者 王潇 宋世琦 +3 位作者 平子健 盛思源 商宪义 陈凡秀 《物理学报》 北大核心 2025年第1期207-217,共11页
三维颗粒体系颗粒间接触力计算是散体力学研究的重难点.以双弹性橡胶球为研究对象,开展显微CT(micro-CT)原位平压实验,基于Hertz接触理论和Tatara大变形接触理论,验证了弹性球接触模型,获得了基于实验的弹性球接触力理论公式.以三维颗... 三维颗粒体系颗粒间接触力计算是散体力学研究的重难点.以双弹性橡胶球为研究对象,开展显微CT(micro-CT)原位平压实验,基于Hertz接触理论和Tatara大变形接触理论,验证了弹性球接触模型,获得了基于实验的弹性球接触力理论公式.以三维颗粒体系为研究对象,开展了micro-CT原位探针加载实验,获取颗粒二维图像序列,经过系列数字变换得到数字体图像,获得了不同加载状态下三维颗粒体系接触力网络,分析了颗粒体系接触力分布及演化规律,探究了强接触数量及分布演化与颗粒体系稳定性的联系.研究结果表明:基于实验的弹性球接触力公式能合理有效表征两颗粒间的接触力;探针加载下颗粒间接触力呈现以探针压头接触点为起点,向下方和四周逐级传递接触力的网状分布;强接触数量占接触总数量的45%-50%,分布贯穿于整个颗粒体系内部,支撑起颗粒体系网络结构,较大值集中于压头下方呈现树杈状分布;加载过程中,z=14 mm处建立了平衡点,平衡点处,强接触数量达到顶峰,强接触力网络结构布满整个三维颗粒体系,建立起承受外载荷的主要骨架,随着加载继续,强接触力的整体数值更高,在颗粒体系内部分布也更加均匀. 展开更多
关键词 显微CT 原位加载 颗粒接触模型 接触力
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基于矩形面积法的激光表面织构润湿性研究 被引量:1
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作者 周耀 郑凯雯 +2 位作者 徐松松 冯绪琛 李岩 《表面技术》 北大核心 2025年第4期191-200,共10页
目的获取减摩性能优异的织构化表面,研究织构参数对润湿性的影响。方法基于Wenzel模型提出了矩形面积法,设计了菱形、圆形和方形3种微坑织构。以菱形的对角线、圆形的直径和方形的边长为微坑尺寸,利用光纤激光器在316L不锈钢表面加工出... 目的获取减摩性能优异的织构化表面,研究织构参数对润湿性的影响。方法基于Wenzel模型提出了矩形面积法,设计了菱形、圆形和方形3种微坑织构。以菱形的对角线、圆形的直径和方形的边长为微坑尺寸,利用光纤激光器在316L不锈钢表面加工出微坑尺寸为0.1、0.2、0.4 mm,间距为0.1、0.2、0.4 mm的菱形、圆形、方形微坑织构,即3(尺寸)×3(间距)×3(形状),共27组。采用悬滴法,使用接触角测量仪测量了光滑平面以及微坑织构表面的接触角。通过Wenzel模型计算得到其表面粗糙度因子。通过矩形面积法对不同微坑织构表面粗糙因子建立了不同的数学模型。基于该模型分析了织构形貌、尺寸和间距对表面粗糙因子的影响。对水滴接触角测试结果与矩形面积法模型预测值进行了定量分析,在矩形面积法理论中引入了修正因子K,建立了相关的回归方程(R^(2)=0.9975),从而完善了粗糙度因子预测模型。结果接触角测试所得织构化表面润湿性的变化趋势与矩形面积法分析的规律一致。当尺寸和形貌不变时,随着间距增大,润湿性随之减弱;在粗糙度系数相等的情况下,矩形包含的织构面积越大,润湿性越强;当尺寸与间距相同时,润湿性最强。在实验范围内,尺寸为0.1 mm、间距为0.4 mm的方形微坑织构的润湿性最强,其水滴接触角为30.6°。结论矩形面积法对于预测织构化表面润湿性具有可行性,该方法可以减少测试量,用理论来优化织构化表面润湿性,为加工具备优异润湿性的织构化表面提供了参考依据和优化方法。 展开更多
关键词 润湿性 激光技术 微织构 亲水性 表面粗糙因子 接触角
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绝缘轴承Al_(2)O_(3)-TiO_(2)复合陶瓷涂层化学机械研磨高效低损加工及粗糙度仿真研究
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作者 姚蔚峰 张玉辉 +3 位作者 许荣滨 闫明明 杨建国 吕冰海 《表面技术》 北大核心 2025年第24期195-206,共12页
目的应用化学机械研磨加工技术旨在高效获得绝缘轴承Al_(2)O_(3)-TiO_(2)复合陶瓷涂层高质低损表面,从而提高其极端电场工况环境下抗电蚀损伤能力,延长新能源汽车、风电、高铁等领域电机服役寿命。方法采用三角形沟槽阵列金刚石结构化... 目的应用化学机械研磨加工技术旨在高效获得绝缘轴承Al_(2)O_(3)-TiO_(2)复合陶瓷涂层高质低损表面,从而提高其极端电场工况环境下抗电蚀损伤能力,延长新能源汽车、风电、高铁等领域电机服役寿命。方法采用三角形沟槽阵列金刚石结构化磨盘与碱性反应液相结合开展陶瓷涂层的化学机械研磨加工试验研究;应用XPS测试验证化学反应,应用纳米压痕测试获得反应软质层的机械性能;基于多尺度接触力学理论构建表面粗糙度的数学模型并进行仿真预测。结果化学反应后的陶瓷涂层表面硬度和弹性模量均显著降低;试验和仿真结果高度一致,验证了数学模型的有效性;在磨料粒径3μm、加载压力14N和磨盘转速160r/min条件下进行化学机械研磨加工,可使陶瓷涂层表面粗糙度在5min内从初始平均Ra2.864μm快速减少至平均Ra0.285μm,最终20min后达到平均Ra0.108μm。此外,与传统研磨形成的最大径向微裂纹尺寸4.85μm相比较,化学机械研磨可实现表面近无微裂纹。结论本文所述加工方法可高效获得绝缘轴承Al_(2)O_(3)-TiO_(2)复合陶瓷涂层的高质低损表面,机械去除与化学反应的协同作用至关重要,化学反应、磨料粒径、加载压力和磨盘转速对材料去除率、表面粗糙度和微裂纹有显著影响。 展开更多
关键词 陶瓷涂层 化学机械研磨 粗糙度模型 多尺度接触 纳米压痕 微裂纹
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非接触式微小缺陷检测系统设计
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作者 李青岩 邬佳杰 +3 位作者 陈飞跃 郭德银 顾溢杰 许虹怡 《应用光学》 北大核心 2025年第4期725-730,共6页
在铝箔、金箔等制造过程中会有一定比例的不良品,典型的缺陷是微小空洞,并且该缺陷尺寸非常小,通常为μm级,不能通过人眼直接进行判断。该文提出一种窄带线光源和大视场接收系统的组合方案,可实现对大尺寸样品中存在的微小缺陷进行非接... 在铝箔、金箔等制造过程中会有一定比例的不良品,典型的缺陷是微小空洞,并且该缺陷尺寸非常小,通常为μm级,不能通过人眼直接进行判断。该文提出一种窄带线光源和大视场接收系统的组合方案,可实现对大尺寸样品中存在的微小缺陷进行非接触检测。系统由激光光源、鲍威尔棱镜和非球面透镜构成,输出高准直、高均匀度、大尺寸的线性激光束;线阵探测器放置于聚焦透镜离焦平面,通过接收到的光斑位置可判断缺陷的具体位置;根据光强的强弱,可识别出缺陷孔径的大小,最终实现对缺陷的定位和分类。仿真结果表明:系统可实现对大尺寸产品以及μm级微小缺陷的检测,具备无接触、快速、精准的自动化检测能力,有效解决了人工检测微小缺陷时效率低、难度大、漏检率高、成本高等问题。 展开更多
关键词 非接触 微小缺陷 鲍威尔棱镜 阵列探测器
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鱼骨刺钻井技术现状与发展路径研究
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作者 刘伟 刘永辉 +2 位作者 唐晓明 黄麒钧 赵庆 《钻采工艺》 北大核心 2025年第6期1-10,共10页
随着全球低品位油气资源占比持续攀升,传统增产技术面临效率低、成本及环境风险高等挑战。鱼骨刺钻井技术通过在主井筒内钻探大量直径5~12 mm的鱼骨刺井眼,实现储层接触面积的指数级增长,为低渗透/致密储层经济开发提供了新途径。文章... 随着全球低品位油气资源占比持续攀升,传统增产技术面临效率低、成本及环境风险高等挑战。鱼骨刺钻井技术通过在主井筒内钻探大量直径5~12 mm的鱼骨刺井眼,实现储层接触面积的指数级增长,为低渗透/致密储层经济开发提供了新途径。文章系统解析了鱼骨刺钻井技术的核心原理与工艺优势,结合碳酸盐岩、致密砂岩及砾岩储层的典型应用案例,验证其显著增产效果与适应性。研究表明,相比传统压裂技术,MJST与MDST两种鱼骨刺钻井工艺可分别减少88%和95%的碳排放;进一步揭示了鱼骨刺钻井技术的瓶颈与挑战,提出了发展路径与研究建议,并创新性地提出“微井眼网”技术体系。与传统鱼骨刺井技术相比,该体系通过多尺度复合微井眼网重构储层渗流场,显著提升了储层控制体积,实现“单井高产”的突破,为难动用储层的高效开发建立了新范式;并还将释放低品位储层的增产潜力,并还可以拓展至碳封存、地热开发等新兴领域。 展开更多
关键词 鱼骨刺井 接触面积 渗流场重构 微井眼网
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高压断路器石墨烯铜钨触头烧蚀性能实验研究
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作者 高雪莹 林莘 +2 位作者 丁一 杨竣博 陶新宇 《中国电机工程学报》 北大核心 2025年第23期9471-9480,I0033,共11页
铜钨材料(copper tungsten material,CuW)是高压断路器应用最广泛的电触头材料,触头烧蚀性能直接影响高压断路器的使用寿命和电网安全。该文以不同W含量(70%、75%、80%、85%)的Gr(石墨烯)CuW触头为研究对象,安装于40.5 k V断路器,进行20... 铜钨材料(copper tungsten material,CuW)是高压断路器应用最广泛的电触头材料,触头烧蚀性能直接影响高压断路器的使用寿命和电网安全。该文以不同W含量(70%、75%、80%、85%)的Gr(石墨烯)CuW触头为研究对象,安装于40.5 k V断路器,进行20次23 k A实验电流的电弧烧蚀实验。研究实验后触头质量、长度、接触电阻、表面宏观及截面微观烧蚀形貌变化,对比分析不同W含量的GrCuW触头耐烧蚀性能。结果表明,GrCuW中W含量为70%~80%时,W含量增加,弧触头烧蚀表面趋于平整,接触电阻下降,耐烧蚀性能提高。GrCuW80中80%的W和20%的GrCu平衡了触头的硬度、韧性及导电性能,使触头耐烧蚀性能最好。当W含量大于80%时,触头表面重熔W层增厚,烧蚀表面呈片状剥落,接触电阻增大,触头耐烧蚀性能下降。因此,GrCuW触头材料Cu与W的比例优化对CuW触头产品研发具有一定指导意义。 展开更多
关键词 断路器 弧触头 铜钨合金 电弧烧蚀 微观形貌
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高温热管碱金属工质的蒸发弯月面区域微观传热特性
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作者 马莎莎 丁圣洁 +3 位作者 刘利民 赵长颖 顾汉洋 龚帅 《上海交通大学学报》 北大核心 2025年第5期617-627,共11页
为深入理解高温碱金属热管吸液芯内汽液相变的微观传热机理,采用接触线传热模型对不同碱金属工质(钾、钠、锂)的蒸发弯月面区域微观传热特性进行了研究.计算得到了钾、钠、锂在同一饱和汽相压力和壁面过热度下蒸发弯月面区域的液膜厚度... 为深入理解高温碱金属热管吸液芯内汽液相变的微观传热机理,采用接触线传热模型对不同碱金属工质(钾、钠、锂)的蒸发弯月面区域微观传热特性进行了研究.计算得到了钾、钠、锂在同一饱和汽相压力和壁面过热度下蒸发弯月面区域的液膜厚度、接触角、界面温度、热流密度分布等.研究结果表明,由于碱金属工质钾、钠、锂的导热系数远高于水,其微观传热特性与水显著不同;汽液界面蒸发热阻是碱金属工质在三相接触线附近微观区域内主导的传热热阻,钾、钠、锂的微观传热性能依次增强;吸附液膜的厚度、表观接触角和液膜压力梯度均随着壁面过热度的增加而自适应调节,其中吸附液膜厚度降低,表观接触角增加、液膜压力梯度增加.在吸附液层区,分离压力占据主导地位,导致了非蒸发吸附液层的形成;在薄液膜区,分离压力和毛细压力的共同作用提供了补液所需的压力梯度;在本征弯月面区,汽液界面的曲率几乎维持不变,毛细压力占主导. 展开更多
关键词 碱金属 接触线传热模型 蒸发弯月面 微观传热机理
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某重卡变速器啸叫识别及解决方法
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作者 汪滋润 欧阳恒 +4 位作者 林波 乔湘鹤 朱叶 俞方 吴荣华 《机械传动》 北大核心 2025年第7期160-168,共9页
【目的】以某重卡10挡变速器为研究对象,针对其在6挡、7挡、8挡急加速工况下存在的啸叫问题进行分析解决。【方法】采用阶次跟踪法确定变速器啸叫源,通过计算机辅助工程技术(Computer Aided Engineering,CAE)对齿轮进行优化;通过整车噪... 【目的】以某重卡10挡变速器为研究对象,针对其在6挡、7挡、8挡急加速工况下存在的啸叫问题进行分析解决。【方法】采用阶次跟踪法确定变速器啸叫源,通过计算机辅助工程技术(Computer Aided Engineering,CAE)对齿轮进行优化;通过整车噪声、振动与声振粗糙度(Noise,Vibration and Harshness,NVH)测试性能对优化方案进行验证。【结果】分析发现,通过调整齿轮阶次、提高齿轮重合度、对齿轮进行微观修形等方法,可以有效解决重卡变速器的啸叫问题。 展开更多
关键词 重卡变速器 变速器啸叫 齿轮阶次 齿轮重合度 齿轮微观修形
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生物接触氧化法处理微污染水的研究
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作者 丛新华 《安徽化工》 2025年第5期134-137,共4页
微污染水指受少量有毒有害有机物和氮磷等有害物质污染的水体,用生物膜处理微污染水是一种安全和环保的处理方法。介绍了一种微污染水生物膜处理方法中的生物接触氧化法工艺,对工艺的流程、构造和特点进行了简单阐述,并指出填料、溶解氧... 微污染水指受少量有毒有害有机物和氮磷等有害物质污染的水体,用生物膜处理微污染水是一种安全和环保的处理方法。介绍了一种微污染水生物膜处理方法中的生物接触氧化法工艺,对工艺的流程、构造和特点进行了简单阐述,并指出填料、溶解氧(DO)、pH、水温、水力停留时间(HRT)和水质条件是工艺影响的主要因素。最后对生物接触氧化法处理微污染水的应用进行了举例说明,为微污染水处理相关研究人员提供参考。 展开更多
关键词 微污染水 生物膜 生物接触氧化
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微种植与传统支抗在正畸治疗中的三维咬[牙合]接触特征及咀嚼效率对比研究
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作者 黄泽红 戴纬婷 +2 位作者 林杭 陈晔 陈铭盛 《中国医药指南》 2025年第33期109-112,共4页
目的探讨微种植体支抗与传统支抗在错[牙合]畸形正畸中对三维咬[牙合]接触特征及咀嚼效率的影响。方法选取2021年6月至2023年6月本院口腔科诊治的68例Ⅱ类错[牙合]畸形患者作为研究对象。根据正畸治疗中所用支抗不同分为研究组、对照组... 目的探讨微种植体支抗与传统支抗在错[牙合]畸形正畸中对三维咬[牙合]接触特征及咀嚼效率的影响。方法选取2021年6月至2023年6月本院口腔科诊治的68例Ⅱ类错[牙合]畸形患者作为研究对象。根据正畸治疗中所用支抗不同分为研究组、对照组,分别应用微种植支抗、传统支抗,均为34例。比较两组[牙合]力总值(TOF)、咬[牙合]接触总面积(TCA)、前后牙[牙合]咬力度占比、COF矢状向位置及咬[牙合]接触时间,评估咀嚼效率、牙周健康状况及正畸总有效率。结果正畸后研究组TOF、TCA、后牙咬力度占比、COF矢状向位置、咀嚼效率、咬力均高于对照组(P<0.05);正畸后研究组咬接触时间、前牙咬[牙合]力度占比、PLI、GI、SBI均低于对照组(P<0.05)。两组正畸总有效率比较差异无统计学意义(P>0.05)。结论在牙齿矫正临床实践中,采用微型种植钉作为支抗,能显著增强矫治效能,优化患者的咬关系与咀嚼能力,提高口腔健康水平。 展开更多
关键词 错畸形 传统支抗 正畸 微种植体支抗 咬接触特征 咀嚼效率
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基于多触点渠道融合技术的陕西气象移动业务平台的实现及应用
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作者 任芳 王莹 周飞燕 《计算机应用与软件》 北大核心 2025年第7期33-38,共6页
针对原有陕西气象移动业务用户粘度不高、缺乏个性化产品、集约管理程度低等问题,采用多触点渠道技术和“微服务+应用管理”框架技术,构建多触点渠道统一用户体系,建立多级气象产品靶向差异化服务体系,开发基于多触点渠道融合技术的陕... 针对原有陕西气象移动业务用户粘度不高、缺乏个性化产品、集约管理程度低等问题,采用多触点渠道技术和“微服务+应用管理”框架技术,构建多触点渠道统一用户体系,建立多级气象产品靶向差异化服务体系,开发基于多触点渠道融合技术的陕西气象智能终端移动业务平台。平台实现跨渠道、跨终端的统一用户管理服务,提高陕西气象移动业务的服务和管理水平,提升陕西气象移动业务的全流程精细化、智能化程度。该平台已在陕西省防灾减灾、汛期保障业务和全国第十四届运动会等重大活动中提供优质、高效的移动气象服务。 展开更多
关键词 多触点渠道融合技术 微应用框架技术 统一用户管理
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DF8B型内燃机车二级电阻制动问题分析及解决措施
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作者 李明城 《内燃机与配件》 2025年第8期121-124,共4页
分析了DF8B型内燃机车微机控制的二级电阻制动问题的主要原因:微机控制板故障导致。针对DF8B内燃机车在运行中突然出现微机控制二级电阻制动无法投入而引起的途停行车问题,提出了增加二级电阻制动手动控制电路的解决措施,并对增加手动... 分析了DF8B型内燃机车微机控制的二级电阻制动问题的主要原因:微机控制板故障导致。针对DF8B内燃机车在运行中突然出现微机控制二级电阻制动无法投入而引起的途停行车问题,提出了增加二级电阻制动手动控制电路的解决措施,并对增加手动控制电路后的DF8B型内燃机车进行低压试验、试运行,验证通过后最终确定切实有效的解决措施。 展开更多
关键词 二级电阻制动 微机控制 电阻制动短接接触器
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微沟槽织构化三叉杆万向联轴器润滑特性研究
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作者 温梓琪 宋雨萌 +1 位作者 于建平 杨福芹 《机械设计与制造工程》 2025年第2期109-114,共6页
为提高三叉杆万向联轴器润滑性能,在联轴器滑杆-套筒孔接触副表面设计出微沟槽,建立织构化三叉杆万向联轴器流体动压润滑模型,采用超松弛迭代法模拟研究了织构化三叉杆万向联轴器应用于某小型汽车时的润滑特性。研究结果表明:在任一挡位... 为提高三叉杆万向联轴器润滑性能,在联轴器滑杆-套筒孔接触副表面设计出微沟槽,建立织构化三叉杆万向联轴器流体动压润滑模型,采用超松弛迭代法模拟研究了织构化三叉杆万向联轴器应用于某小型汽车时的润滑特性。研究结果表明:在任一挡位下,适当增大织构深度和织构面积率可以增大最小油膜厚度,减小摩擦力,有利于提升接触副润滑性能,但不同挡位下织构深度和织构面积率对润滑性能的影响差别较大,应综合考虑各挡位实际情况选择合适的织构参数。 展开更多
关键词 微沟槽 三叉杆万向联轴器 滑杆-套筒孔接触副 动压润滑
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结合面切向接触刚度分形模型建立与仿真 被引量:47
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作者 温淑花 张学良 +2 位作者 文晓光 王鹏云 武美先 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期223-227,共5页
基于接触分形理论和微接触面积分布函数,建立了计及微接触面积分布的域扩展因子影响的结合面切向接触刚度分形模型,并通过数字仿真直观揭示了结合面切向接触刚度与结合面诸参数之间的非线性关系以及这些相关参数对切向接触刚度的影响规... 基于接触分形理论和微接触面积分布函数,建立了计及微接触面积分布的域扩展因子影响的结合面切向接触刚度分形模型,并通过数字仿真直观揭示了结合面切向接触刚度与结合面诸参数之间的非线性关系以及这些相关参数对切向接触刚度的影响规律。仿真研究结果表明,结合面切向接触刚度随着结合面法向载荷的增大而增大,随结合面切向载荷的增大而减小,随结合面分形特征长度尺度参数的增大而减小,但随结合面分形维数的变化规律比较复杂。 展开更多
关键词 结合面 切向接触刚度 分形模型 微接触面积分布函数 域扩展因子
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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
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作者 杨彪 诸葛明华 +1 位作者 吴国才 容炎森 《微纳电子技术》 2025年第2期116-121,共6页
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift... 采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift-off工艺解决触点与牺牲层平坦化的问题。再采用电镀工艺制备金悬臂梁,使用氢氧化钠溶液腐蚀铝释放获得RF MEMS开关。通过原子力显微镜(AFM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等仪器对样品进行形貌测量,数据显示开关触点与铝牺牲层的高度差约为27.36 nm,悬臂梁与下方平面的左右空隙差约为22 nm,结果表明通过该方法能够实现开关触点与牺牲层的高度平坦化。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RF MEMS)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺
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含硬涂层结构的表面微观接触新模型 被引量:8
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作者 李玲 李治强 +1 位作者 张健 蔡安江 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2018年第3期195-201,229,共8页
为研究含有硬涂层的粗糙表面中微凸体和基体变形对表面微观接触特性的影响规律,利用Hertz接触理论分别求出微凸体和基体的接触刚度,利用不动点迭代法确定微凸体变形量,建立关于微凸体接触变形量的刚度模型,通过并联关系耦合接触刚度,建... 为研究含有硬涂层的粗糙表面中微凸体和基体变形对表面微观接触特性的影响规律,利用Hertz接触理论分别求出微凸体和基体的接触刚度,利用不动点迭代法确定微凸体变形量,建立关于微凸体接触变形量的刚度模型,通过并联关系耦合接触刚度,建立新的接触表面微观接触模型。为验证新模型对含有硬涂层的粗糙表面接触特性描述的正确性,建立了不同大小和不同材料的单微凸体有限元模型,通过与Hertz模型、有限元分析结果比较,发现当基体材料和微凸体材料不同时,微凸体/基体系统的应力分布会不均匀,微凸体表面的接触力比材料相同时的接触力小,最大应力比材料相同时的最大应力大;在变形量很小的时候,Hertz模型解和新模型解都很好地与有限元分析结果相吻合,随着变形量的变大,有限元分析解和新模型解开始同时偏离Hertz模型解,但新模型解一直趋近于有限元分析解。 展开更多
关键词 #硬涂层结构 微凸体 基体 微观接触模型 有限元模型
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