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微操作的特性及静电力的消除 被引量：1
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作者 姜成山 章云 杨宜民 《机械设计与制造》 北大核心 2000年第6期77-79,共3页
微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨。并根据已有实验数据进行了分析。
关键词 微电子机械系统 微操作 表面力 微末端执行器
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