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基于专利视角的Micro LED产业技术态势分析
1
作者 胡思思 李贞贞 《世界科技研究与发展》 2025年第5期651-662,共12页
Micro LED作为新一代显示技术,凭借高亮度、高分辨率、低功耗等特性成为全球显示产业竞争焦点。本文基于专利计量与BERTopic模型方法,对全球Micro LED技术开展专利分析,从技术分布、创新主体、技术主题、法律状态、价值分布等多个维度,... Micro LED作为新一代显示技术,凭借高亮度、高分辨率、低功耗等特性成为全球显示产业竞争焦点。本文基于专利计量与BERTopic模型方法,对全球Micro LED技术开展专利分析,从技术分布、创新主体、技术主题、法律状态、价值分布等多个维度,系统梳理了该领域的发展现状与趋势。研究表明:中国的专利申请量占据全球主导地位,但高价值专利仍集中于美国和日本等发达国家;显示设备、量子点/全彩化、显示应用、材料与元器件、芯片及显示屏六大领域是专利技术重点细分方向;巨量转移、全彩显示等关键技术仍处于突破阶段,产业生态需进一步完善;光电子与集成电路、人工智能等电子信息技术的深度融合进一步驱动Micro LED技术向高精度、高集成度方向发展。基于分析结果,本文从核心技术突破、产学研协同机制、差异化应用场景、国际竞争力提升等方面提出建议,为中国Micro LED产业高质量发展提供参考。 展开更多
关键词 micro led 专利分析 BERTopic 巨量转移 全彩显示
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Micro LED表面缺陷的快速高精度检测 被引量：2
2
作者 赵天元 董登峰 +2 位作者 王国名 王博 周维虎 《光学精密工程》 北大核心 2025年第9期1434-1445,共12页
为了满足Micro LED缺陷检测对实时性和高精度的要求,结合轻量化的设计和增强的特征提取能力,提出了一种快速高精度的检测算法LED-YOLO。该方法通过设计图像采集系统并结合多种数据增广策略,模拟工业环境中的实际干扰,增强了训练数据的... 为了满足Micro LED缺陷检测对实时性和高精度的要求,结合轻量化的设计和增强的特征提取能力,提出了一种快速高精度的检测算法LED-YOLO。该方法通过设计图像采集系统并结合多种数据增广策略,模拟工业环境中的实际干扰,增强了训练数据的多样性。针对Micro LED缺陷的低区分度问题,提出了轻量级动态融合模块(Lightweight Dynamic Fusion Module,LDFM),该模块结合动态卷积、深度卷积和通道混合操作,在保持模型轻量化的同时,提升了特征表达能力。为了进一步加强缺陷区域的关注,设计了增强协调注意力模块(Enhanced Coordinate Attention Module,ECAM),通过结合通道和空间注意力机制及残差连接,增强了特征提取的准确性。最后,考虑到Micro LED图像的纵横比变化较小,引入动态聚焦机制,提出了DIoU_W回归损失函数,显著提高了模型的收敛速度和稳定性。实验结果表明,LED-YOLO的检测准确率、召回率、mAP、F1值均优于目前最先进的YOLOv11s模型,在参数量减少1.6 M的情况下,检测速度和检测精度均有明显提升,可以有效满足实际Micro LED面板制造过程的质量检验需求。 展开更多
关键词 深度学习 micro led 缺陷检测 动态卷积 注意力机制
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基于量子点颜色转换层的Micro LED研究进展
3
作者 程旭东 陈祖康 +3 位作者 张针霖 朱艳青 徐刚 徐雪青 《新能源进展》 北大核心 2025年第1期107-120,共14页
微发光二极管(Micro LED)显示器是由微米级半导体发光像元阵列所组成的新型显示技术,是显示技术与LED技术复合集成的综合性技术。与液晶显示器和有机发光二极管显示器相比,Micro LED具有对比度高、功耗低、寿命长、响应时间短等优点。然... 微发光二极管(Micro LED)显示器是由微米级半导体发光像元阵列所组成的新型显示技术,是显示技术与LED技术复合集成的综合性技术。与液晶显示器和有机发光二极管显示器相比,Micro LED具有对比度高、功耗低、寿命长、响应时间短等优点。然而,由于LED芯片尺寸缩小至20μm以下,导致其吸收截面减小,使得传统的荧光粉颜色转换技术无法提供足够的亮度和产量,以满足高分辨率显示的需求。而量子点材料凭借其高量子产率、宽色域、颜色可调等优点,有望成为代替荧光粉的最佳材料。结合了量子点颜色转换技术的Micro LED光电器件具有高亮度、高效率和宽色域的优势,在显示领域具有广阔的应用前景。目前许多学界和产业界的研究者对全彩显示的Micro LED进行了深入研究,逐步实现了Micro LED的商业化。简要回顾了广泛应用于显示领域的量子点材料合成和优异性能的重要研究成果,然后以印刷技术、光刻技术、微流控技术、激光写入技术这四种效果突出的颜色转换层沉积工艺分类总结了基于量子点颜色转换技术Micro LED的全彩显示策略与性能优劣。最后,对基于量子点颜色转换层的Micro LED光电器件的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 量子点 micro led 颜色转换层 全彩显示
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Micro LED车灯投影光学系统设计与优化 被引量：4
4
作者 李香兰 金霞 +7 位作者 吕金光 郑凯丰 陈宇鹏 赵百轩 赵莹泽 秦余欣 王惟彪 梁静秋 《中国光学（中英文）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期89-99,共11页
本文提出了一种基于Micro LED阵列的车灯投影方案,设计了以像素尺寸为80μm×80μm的200×150白光Micro LED阵列作为显示光源,视场角为16°×34°的车灯投影光学系统,并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。此... 本文提出了一种基于Micro LED阵列的车灯投影方案,设计了以像素尺寸为80μm×80μm的200×150白光Micro LED阵列作为显示光源,视场角为16°×34°的车灯投影光学系统,并对物面倾斜角度和光学系统结构进行了优化。此外,分别采用反向畸变处理方法和像素灰度调制方法用以解决车灯投影图像的梯形畸变和照度均匀性问题,并搭建了投影实验平台,对图像校正方法进行了验证。实验结果表明:校正后图像梯形畸变系数p1,p2分别从0.0932和0.3680下降至0.0835和0.0373,像面照度均匀性从83.2%提高到93.2%。本文通过对基于Micro LED的倾斜投影车灯光学系统进行优化设计及采用图像校正方法,实现了高光效、低畸变的车灯投影。 展开更多
关键词 车灯投影光学系统 光学设计 micro led 照度均匀性 梯形畸变
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光子晶体Micro LED微显示阵列加工及光学特性分析 被引量：2
5
作者 孟媛 肖秧 +4 位作者 冯晓雨 何龙振 张鹏喆 宁平凡 刘宏伟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期719-725,共7页
Micro LED器件具有高亮度、低功耗和高可靠性等优点,但Micro LED显示像素巨量转移和光提取效率低的问题为其应用带来挑战。开发了具有高转移效率和出光效率的单片64×64 Micro LED微显示阵列,提出了倒装型GaN基单片Micro LED微显示... Micro LED器件具有高亮度、低功耗和高可靠性等优点,但Micro LED显示像素巨量转移和光提取效率低的问题为其应用带来挑战。开发了具有高转移效率和出光效率的单片64×64 Micro LED微显示阵列,提出了倒装型GaN基单片Micro LED微显示阵列芯片和Si基驱动电路的设计方法及集成工艺。通过时域有限差分(FDTD)方法对Micro LED微显示阵列光学特性进行了建模分析,设计了一种提高Micro LED微显示阵列出光效率的光提取结构。结合仿真结果,开发了一种在Micro LED蓝宝石衬底表面制备光子晶体结构的聚焦离子束(FIB)微纳加工工艺,并进行了器件加工。测试结果表明,蓝宝石衬底上加工的光子晶体结构可以提高Micro LED器件的表面出光效率,光功率平均值提升了16.36%,对Micro LED微显示阵列加工及微显示像素光提取问题具有借鉴意义。 展开更多
关键词 micro led 微显示阵列 光子晶体结构 聚焦离子束(FIB) 出光效率
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微型发光二极管(Micro LED)显示技术的专利分析 被引量：5
6
作者 史敏娜 郭学军 +1 位作者 梁明明 王小峰 《科技视界》 2021年第34期162-163,共2页
微型发光二极管显示具有亮点高、功耗低等显著优点,是OLED显示的替代技术。文章分析了Micro LED显示的申请趋势以及重要技术分支,以期为企业合理布局专利申请以及预测技术发展趋势提供参考。
关键词 micro led 巨量转移 对位
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Mini/Micro LED巨量转移关键技术与装备研究现状 被引量：1
7
作者 汤晖 廖智燊 +3 位作者 魏玉章 林志杭 董志强 张晓辉 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期839-849,1033,共12页
微型半导体发光二极管显示技术(mini/micro light emitting diode,简称Mini/Micro LED)是一种基于微型LED芯片的自发光显示技术,相较于液晶显示技术(liquid crystal display,简称LCD)和有机发光二极管显示技术(organic light‑emitting d... 微型半导体发光二极管显示技术(mini/micro light emitting diode,简称Mini/Micro LED)是一种基于微型LED芯片的自发光显示技术,相较于液晶显示技术(liquid crystal display,简称LCD)和有机发光二极管显示技术(organic light‑emitting diode,简称OLED),具有显著性能优势,被视为次世代显示技术的发展趋势。由于巨量转移技术与装备的限制,Mini/Micro LED显示设备尚未实现大规模量产。针对此问题,首先,根据现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法的不同工作原理,总结了3种主要工艺方法,即接触式微转印技术、非接触式激光转移技术和自组装转移技术;其次,调研了现有Mini/Micro LED巨量转移工艺方法中涉及到的技术与装备,归纳了其中的通用关键技术,即高速高精对位和视觉检测;然后,针对上述关键技术挑战,围绕Mini/Micro LED新型显示装备若干关键技术与典型设备集成开发介绍了笔者的前期研究工作;最后,讨论了实现Mini/Micro LED大规模量产中存在的问题及发展方向。 展开更多
关键词 微型半导体发光二极管显示技术 巨量转移 显示半导体装备 高速高精对位 振动抑制
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Micro LED巨量转移技术的中国专利分析
8
作者 程凯芳 刘婧 《科技视界》 2022年第24期28-30,共3页
Micro LED在产业化进程中面临的一个核心技术难题是Micro LED的巨量转移技术。文章从国内申请量年代分布和国内主要申请人方面对Micro LED巨量转移技术的专利申请进行统计分析,以及介绍几例Micro LED巨量转移技术的典型专利申请,为该领... Micro LED在产业化进程中面临的一个核心技术难题是Micro LED的巨量转移技术。文章从国内申请量年代分布和国内主要申请人方面对Micro LED巨量转移技术的专利申请进行统计分析,以及介绍几例Micro LED巨量转移技术的典型专利申请,为该领域的技术创新发展提供数据支持。目前Micro LED巨量转移技术仍处于快速发展时期,国内显示面板龙头企业都在竞相投入研究开发,并且国内高校也针对Micro LED巨量转移技术开展了较多的研究,Micro LED巨量转移技术发展趋势强劲。 展开更多
关键词 micro led 巨量转移 专利申请量 专利申请人
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Micro LED显示技术进展概述 被引量：2
9
作者 赵晓冬 《冶金与材料》 2021年第3期96-97,共2页
文章综述了Micro LED具有的显示技术优势,在亮度、色彩、大尺寸可变性等方面性能优异。从技术原理出发,阐述了Micro LED显示产业链和色彩化技术,展望了Micro LED进一步研究及商业化应用方向。
关键词 micro led 技术原理 商业化应用
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Micro LED显示技术的专利分析
10
作者 王娜 刘雪莲 《通信电源技术》 2023年第5期226-228,共3页
微发光二极管(Micro Light Emitting Diode,Micro LED)显示技术被誉面向未来的“终极显示技术”,是近年来国内外企业的研发热点。中国也在Micro LED显示技术方面进行了大量的专利布局。针对Micro LED显示技术进行了专利分析,通过分析可... 微发光二极管(Micro Light Emitting Diode,Micro LED)显示技术被誉面向未来的“终极显示技术”,是近年来国内外企业的研发热点。中国也在Micro LED显示技术方面进行了大量的专利布局。针对Micro LED显示技术进行了专利分析,通过分析可以看出,国内创新主体虽然在专利申请数量上处于全球领先地位,但是从重点专利数量上来看中国创新主体在芯片微缩、面板制造及应用环节占据一定地位,而对于巨量转移、全彩显示领域技术需要加大研发。 展开更多
关键词 微发光二极管(micro led) 显示 专利分析
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可植入无线Micro LED光遗传学硬件设计
11
作者 吉彦平 王文思 郑梦沂 《现代电子技术》 2023年第8期1-7,共7页
为将光遗传技术用于自由移动生物体的体内视觉神经调控,文中提出一种新的无线能量传输、可植入、光源参数可调、多通道的光遗传硬件结构。该硬件结构主要包括Micro LED阵列多通道光源、nRF52832控制器、光驱动电路、无线能量传输电路,... 为将光遗传技术用于自由移动生物体的体内视觉神经调控,文中提出一种新的无线能量传输、可植入、光源参数可调、多通道的光遗传硬件结构。该硬件结构主要包括Micro LED阵列多通道光源、nRF52832控制器、光驱动电路、无线能量传输电路,硬件整体尺寸为18 mm×18 mm×2 mm,质量为1.54 g,满足轻量化植入的要求。其次,设计并流片Micro LED光源阵列,单颗光源的尺寸为60μm×60μm;并在此基础上为每颗光源设计光导,实现光导直径在10μm左右,能够完成神经元级的光刺激。最后,将光源阵列的参数与光源阵列组合,运用深度学习的方法进行优化,实现光源的最优刺激。实验结果表明,光源满足光遗传的要求。 展开更多
关键词 光遗传技术 硬件结构 轻量化植入 micro led阵列 光源 光导设计 性能测试
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Micro LED显示技术研究进展 被引量：22
12
作者 邰建鹏 郭伟玲 《照明工程学报》 2019年第1期18-25,共8页
Micro LED显示技术是一项新兴的显示技术,相比于传统液晶显示技术、硅基液晶技术(LCOS)、OLED技术,以Micro LED技术为主的Micro LED显示有着响应速度快、自主发光、对比度高、使用寿命长等优势。首先介绍了Micro LED显示阵列的原理及结... Micro LED显示技术是一项新兴的显示技术,相比于传统液晶显示技术、硅基液晶技术(LCOS)、OLED技术,以Micro LED技术为主的Micro LED显示有着响应速度快、自主发光、对比度高、使用寿命长等优势。首先介绍了Micro LED显示阵列的原理及结构;然后介绍了Micro LED显示技术驱动方式、彩色化方案,最后介绍了其关键制造技术。 展开更多
关键词 micro led 微显示 驱动 尺寸效应 彩色化 巨量转移
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Micro LED巨量转移技术专利分析
13
作者 戴永超 《通讯世界》 2022年第3期67-69,共3页
微型发光二极管(micro LED)由于具有高亮度、低功耗的优势,在业界被普遍预测为最有可能替代TFTˉLCD和有机发光半导体(organic electroluminescence display,OLED)的下一代显示技术。本文基于专利数据统计分析,探究Micro LED巨量转移技... 微型发光二极管(micro LED)由于具有高亮度、低功耗的优势,在业界被普遍预测为最有可能替代TFTˉLCD和有机发光半导体(organic electroluminescence display,OLED)的下一代显示技术。本文基于专利数据统计分析,探究Micro LED巨量转移技术的专利申请趋势、申请人分布,以及不同技术分支下的专利技术相关情报。 展开更多
关键词 micro led 巨量转移 专利分析
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基于量子点膜色转换的Micro LED全彩显示像素点仿真研究
14
作者 吴大磊 夏天文 +6 位作者 陈绍杭 杜佳怡 张永爱 周雄图 郭太良 严群 孙捷 《光电子技术》 CAS 2023年第3期218-225,共8页
从仿真角度出发,分析设计了基于量子点膜色转换方案像素点的整体结构模型,首先构建了蓝光Micro LED(micro light‑emitting diode,Micro LED)结构模型,研究了表面粗化和二维光栅两种提升Micro LED光提取效率(light extraction efficiency... 从仿真角度出发,分析设计了基于量子点膜色转换方案像素点的整体结构模型,首先构建了蓝光Micro LED(micro light‑emitting diode,Micro LED)结构模型,研究了表面粗化和二维光栅两种提升Micro LED光提取效率(light extraction efficiency,LEE)的表面微结构;然后分别分析了有无该结构的蓝光Micro LED与侧壁挡光介质结合组成蓝色子像素点的LEE和光强分布随侧壁倾角变化的趋势;接着优化了量子点膜的模型参数,并分析了有无表面微结构的蓝光Micro LED对红绿子像素点光转换效率和光强分布的影响;最后对上述不同结构全彩像素点整体的色偏性能做了对比研究。仿真结果表明,具备表面粗化蓝光Micro LED和侧壁反射型挡光介质的像素点在0°~50°倾角下均可获得较大的正面LEE和低于0.02的色偏,相比其他结构更适合于量子点膜色转换方案。 展开更多
关键词 微缩矩阵化发光二极管 全彩显示 量子点膜 像素点 色偏
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Micro LED当前面临的瓶颈及技术进展 被引量：4
15
作者 周佳 闫金健 +5 位作者 刘志强 江莹 包洋 黄凯 李金钗 周德云 《光电子技术》 CAS 2023年第2期91-113,共23页
Micro LED技术作为下一代显示技术的前沿研究领域,具备高亮度、高对比度和高能效等优势。回顾了Micro LED技术的发展历程,重点介绍了其技术难点以及当前的进展情况。技术难点包括外延结构设计、芯片制备中的尺寸效应、全彩化问题、Micro... Micro LED技术作为下一代显示技术的前沿研究领域,具备高亮度、高对比度和高能效等优势。回顾了Micro LED技术的发展历程,重点介绍了其技术难点以及当前的进展情况。技术难点包括外延结构设计、芯片制备中的尺寸效应、全彩化问题、Micro LED系统集成和可靠性研究。当前的进展涵盖了侧壁效应抑制、全彩化方案、巨量转移技术、氮化物红光技术、色转换技术、垂直堆叠技术、CMOS和TFT驱动、三维集成技术、透明显示以及纳米LED。最后展望了Micro LED技术的未来发展方向,包括解决技术难题、推动产业化进程和实现更广泛的应用。 展开更多
关键词 微缩矩阵化发光二极管 尺寸效应 全彩化 系统集成
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基于200 mm硅基GaN的单色Micro LED微显示芯片制备及量产难点分析
16
作者 彭劲松 杨建兵 +3 位作者 殷照 汪曾峰 宋琦 吴焱 《光电子技术》 CAS 2023年第2期129-132,共4页
应用200 mm硅基GaN外延片,研究晶圆级键合、薄膜转移和微小尺寸像素制备等技术,实现了Micro LED微显示阵列的点亮与显示功能。相对于传统蓝宝石基GaN外延晶圆,200 mm硅基GaN外延晶圆与硅基驱动晶圆尺寸更匹配,有利于通过晶圆键合工艺实... 应用200 mm硅基GaN外延片,研究晶圆级键合、薄膜转移和微小尺寸像素制备等技术,实现了Micro LED微显示阵列的点亮与显示功能。相对于传统蓝宝石基GaN外延晶圆,200 mm硅基GaN外延晶圆与硅基驱动晶圆尺寸更匹配,有利于通过晶圆键合工艺实现低成本量产。同时对工艺量产的难点和解决思路进行了分析,指出显示缺陷是目前亟待解决的问题。 展开更多
关键词 发光二极管微显示芯片 硅基氮化镓外延片 显示缺陷
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基于micro-LED的波分复用高速水下可见光通信系统研究
17
作者 应红 张涛 +3 位作者 王彬峰 刘涛 唐堂 惠天宇 《照明工程学报》 2025年第5期60-73,共14页
本文研究了一种基于2个商用LED和5个自行设计micro-LED的波分复用(Wavelength Division Multiplexing,WDM)超高速水下可见光通信概念验证系统。通过预均衡和正交频分复用调制技术,在0.6 m水下环境中实现了28.82 Gbps的聚合通信速率,这... 本文研究了一种基于2个商用LED和5个自行设计micro-LED的波分复用(Wavelength Division Multiplexing,WDM)超高速水下可见光通信概念验证系统。通过预均衡和正交频分复用调制技术,在0.6 m水下环境中实现了28.82 Gbps的聚合通信速率,这是目前所知基于micro-LED的水下可见光通信(Underwater Visible Light Communication,UVLC)的破纪录传输速率,较现有最高纪录(20.09 Gbps)提升43%。相对单通道455 nm micro-LED(7.23 Gbps),容量增益达4倍。此外,本研究还分析了各波长光源的调制带宽与光功率特性,并利用63%和40%衰减片模拟扩展距离传输环境。采用63%衰减片的WDM-UVLC系统可获得聚合速率为18.35 Gbps,其中最短的估算传输距离为650 nm波长的光源,仅为1.81 m。使用40%衰减片的WDM-UVLC获得了15.36 Gbps的总通信速率,最短估算传输距离为2.75 m,而对于在水环境衰减特性小的蓝绿光则能够获得超过8 m的估算传输距离。尤其对于455 nm通道SNR仅下降5 dB即可维持BER<3.8×10^(-3),验证了方案在功率波动下的鲁棒性与潜力。该研究不仅验证了波分复用技术结合micro-LED在水下高速通信中的潜力,更表明多色micro-LED是波分复用UVLC发射器的绝佳候选器件,通过特定的光学滤波器和光学设计,未来可实现更集成的波分复用系统。 展开更多
关键词 水下可见光通信 波分复用 micro-led 正交频分复用
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Micro-LED新型显示技术的现状、挑战及展望 被引量：2
18
作者 庄喆 刘斌 《科技导报》 北大核心 2025年第2期42-51,共10页
微型发光二极管(Micro-LED)具有较好的稳定性,是当前高亮显示应用的最佳选择,其具有高对比度、低响应时间、宽工作温区、低能耗和广视角等优势,成为当前产业界和学术界比较看好的新型显示技术。综述了Micro-LED新型显示技术的原理,对比... 微型发光二极管(Micro-LED)具有较好的稳定性,是当前高亮显示应用的最佳选择,其具有高对比度、低响应时间、宽工作温区、低能耗和广视角等优势,成为当前产业界和学术界比较看好的新型显示技术。综述了Micro-LED新型显示技术的原理,对比其与现有技术的性能,从材料、器件、集成和成本良率等几个角度探讨了Micro-LED新型显示技术的关键技术挑战。未来3~5年内,Micro-LED显示技术仍然会在材料、器件、集成等技术方面存在技术创新和重大突破的关键机会,该技术支撑着未来显示产业的发展,也是中国科技创新引领全球的一次重要科技革命。建议鼓励创新,营造良好的科技创新环境,通过产学研合作解决当前Micro-LED新型显示技术的关键问题。同时发挥市场和社会资本的作用,引导产业遵循技术发展和商业发展规律。Micro-LED显示产业尽管仍面临技术挑战,但增强现实等近眼显示设备的推出,可能彻底革新现有的显示产品形态,Micro-LED显示产业市场将可能迎来爆发式增长。 展开更多
关键词 micro-led新型显示 micro-led芯片 技术挑战 产业发展
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改进相位相关与聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接
19
作者 林坚普 王廷雨 +6 位作者 蔡苾芃 张建豪 梅婷 林珊玲 林志贤 乐建避 吴朝兴 《光学精密工程》 北大核心 2025年第4期641-652,共12页
针对现有Micro-LED芯片的显微图像由于存在大量相似且整齐排列的LED而导致算法拼接速度慢及准确率低的问题,本文提出了一种基于聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接方法。首先使用最大类间方差法对图像进行预处理,随后使用自适应面积... 针对现有Micro-LED芯片的显微图像由于存在大量相似且整齐排列的LED而导致算法拼接速度慢及准确率低的问题,本文提出了一种基于聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接方法。首先使用最大类间方差法对图像进行预处理,随后使用自适应面积拓展相位相关算法对相邻两幅图像的重叠区域进行峰值计算以求得初步配准的偏移量,接着使用图像分块联合差异值哈希算法的优化配准策略得到优化后的偏移量,最后引入基于密度的噪声应用空间聚类对可能存在的错误偏移量进行自动筛出和处理。实验结果表明本文算法平均耗时为64 ms,满足拼接实时性的需求,拼接正确率达到99.4%,配准精度控制在1个pixel之内,融合处理后在主观上可以达到完美的拼接效果,为错误偏移量导致的整体错位问题也提供了新的解决思路。本文算法有效解决了晶圆级Micro-LED芯片检测中显微图像拼接的关键环节,并可推广应用于具有重复特征且高精度要求的其他机器视觉自动化领域,具有较高的实际工程应用价值。 展开更多
关键词 图像拼接 micro-led芯片显微图像 相位相关 差异值哈希 聚类思想 缺陷检测
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侧壁修复提升237 nm AlGaN基Micro-LED光功率密度研究
20
作者 郝家龙 李宏博 +9 位作者 吕顺鹏 朱立财 孙文超 张若甲 刘钟旭 蒋科 贲建伟 张山丽 孙晓娟 黎大兵 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第6期970-978,共9页
AlGaN基深紫外Micro-LED在无掩膜光刻、日盲紫外保密通信等领域具有重要应用前景。然而,侧壁效应和电流拥挤效应严重制约高电流密度下的光功率密度。本研究制备了发光波长237 nm,台面半径分别为12.5、25.0、50.0μm的深紫外Micro-LED,... AlGaN基深紫外Micro-LED在无掩膜光刻、日盲紫外保密通信等领域具有重要应用前景。然而,侧壁效应和电流拥挤效应严重制约高电流密度下的光功率密度。本研究制备了发光波长237 nm,台面半径分别为12.5、25.0、50.0μm的深紫外Micro-LED,并系统探究了侧壁修复对不同尺寸和不同阵列化Micro-LED的影响规律。研究发现,使用KOH修复侧壁可有效降低AlGaN基深紫外Micro-LED侧壁缺陷密度,减小反向漏电流密度,同时降低由侧壁缺陷导致的肖特基-里德-霍尔(SRH)非辐射复合。对于单台面器件,器件尺寸越小,最大光功率密度越高,但侧壁效应严重制约着小尺寸器件的光功率密度,导致小尺寸器件在低电流密度下光功率密度最低,侧壁修复后,半径12.5μm的器件峰值光功率密度提升最多,提升了186%,且在不同电流密度下光功率密度均最高;对于相同发光面积的阵列化器件,侧壁修复后,阵列化程度越高,光功率密度越高,4×4阵列12.5μm的Micro-LED比半径50.0μm的器件峰值光功率密度提高了116%,其原因是在保持较低侧壁缺陷的情况下,阵列化可以提高电流密度分布均匀性,进而提高光效。该研究有助于提高Micro-LED的光功率密度,并将推动短波深紫外Micro-LED走向实际应用。 展开更多
关键词 侧壁效应 电流拥挤效应 AlGaN micro-led 侧壁修复 阵列化工程
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