用迈克尔逊干涉仪测量全息干板膜厚度 被引量：17

1

作者 蒋礼 罗少轩 +1 位作者 阳艳 杨科灵 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第3期250-253,共4页

全息干板膜的厚度是全息干板的重要参数之一。使用迈克尔逊干涉仪和白光光源对2种全息干板膜厚度进行测量,并对测量结果误差进行分析,给出了测量误差与膜厚及折射率之间的关系以及此方法的适用范围。研究结果表明:在膜厚从8μm增至41μ... 全息干板膜的厚度是全息干板的重要参数之一。使用迈克尔逊干涉仪和白光光源对2种全息干板膜厚度进行测量,并对测量结果误差进行分析,给出了测量误差与膜厚及折射率之间的关系以及此方法的适用范围。研究结果表明:在膜厚从8μm增至41μm的过程中,测量结果的绝对误差≤2μm且变化很小,相对误差则从14.1%降到了2.2%。随着膜厚的增加,相对误差明显降低;折射率n也参与了误差传递,其值与测量误差呈类似反比关系;当n值在1.5附近时,为保证测量的准确性,所测膜厚≥40μm。最后指出,迈克尔逊干涉仪在测量全息干板膜等较厚的薄膜时,具有测量范围大,结果较准确等优点。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 白光干涉 全息干板膜 膜厚测量

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MGTI型光交错复用器的色散特性分析 被引量：4

2

作者 邵永红 赵振明 +1 位作者 姜耀亮 钱龙生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期942-944,共3页

基于多光束干涉和Michelson干涉的共同作用原理 ,设计了畸变最小 ,高信道隔离度 ,宽且平坦通带 ,高一致性的MGTI型 5 0GHz光交错复用器 由于G T腔对光波相位的非线性调制 ,使该器件具有固有的相对其它同类器件大的色散 ,在分析器件的... 基于多光束干涉和Michelson干涉的共同作用原理 ,设计了畸变最小 ,高信道隔离度 ,宽且平坦通带 ,高一致性的MGTI型 5 0GHz光交错复用器 由于G T腔对光波相位的非线性调制 ,使该器件具有固有的相对其它同类器件大的色散 ,在分析器件的色散特性的基础上 ,提出了该类器件的色散补偿方案 。 展开更多

关键词 光交错复用器 GIRES-TOURNOIS谐振腔 michelson干涉仪 色散补偿器

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傅里叶变换光谱仪多次反射杂光对调制度的影响分析 被引量：2

3

作者 陈芳 高超 徐彭梅 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期2966-2970,共5页

为满足遥感探测领域对高光谱干涉探测仪的高信噪比和高光谱分辨率的要求,针对我国目前在研高光谱分辨率傅里叶变换光谱仪,详细分析了采用分束器及补偿器分光方案的迈克尔逊干涉仪中,增透面上多次反射杂光对光谱仪调制度的影响。分析表... 为满足遥感探测领域对高光谱干涉探测仪的高信噪比和高光谱分辨率的要求,针对我国目前在研高光谱分辨率傅里叶变换光谱仪,详细分析了采用分束器及补偿器分光方案的迈克尔逊干涉仪中,增透面上多次反射杂光对光谱仪调制度的影响。分析表明增透面透过率越低,光谱仪调制度越低。理论分析发现,引入分束器和补偿器的楔角和倾斜角可以实现正常光斑与多次反射光斑分离,从而减弱甚至消除多次反射杂光的影响。通过理论计算给出了二次反射杂光与正常光路夹角与楔角和倾斜角的关系式,并依据光斑分离要求确定了楔角和倾斜角优化方法。由于干涉仪结构参数的相互关联特性,在优化楔角和倾斜角后,需要对入射角进行调整,使得反射光路与透射光路关于分束面对称,以消除其对光谱分辨率的影响;需要对补偿器厚度进行调整匹配,消除由于角度调整引入的正常光路光程差改变导致的调制度下降。按此步骤进行设计优化,在保持原有高精度设计指标的前提下,可消除干涉仪多次反射杂光的影响,该干涉仪优化设计步骤及结构参数调整方法适用于采用分束器补偿器分光方案的傅里叶变换光谱仪。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 杂散光 分束器 补偿器 调制度

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级联式光纤白光干涉传感网络拓扑结构理论与实验研究 被引量：2

4

作者 姜海丽 苑勇贵 +1 位作者 杨军 苑立波 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期260-265,共6页

为了提高传感器的多路复用能力,基于低相干光纤传感技术,提出一种新型干涉仪组合拓扑结构.该结构由Michelson干涉仪的一个臂与若干个Mach-Zehnder干涉仪混合级联而成,构成了可以同时实现多传感器测量的传感网络.构建了实验系统,对传感... 为了提高传感器的多路复用能力,基于低相干光纤传感技术,提出一种新型干涉仪组合拓扑结构.该结构由Michelson干涉仪的一个臂与若干个Mach-Zehnder干涉仪混合级联而成,构成了可以同时实现多传感器测量的传感网络.构建了实验系统,对传感特性进行了分析.实验结果表明:该拓扑结构可以实现一个解调干涉仪对网络系统中多个传感器的问询,可以实现应变和温度的测量.该系统中传感器的长度可自由选取,能用于大尺度结构形变的检测;也可以配对使用,并自动补偿应变测量过程中环境温度变化带来的影响. 展开更多

关键词 白光干涉 光纤传感器 复用技术 温度补偿 MACH-ZEHNDER干涉仪 michelson干涉仪

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迈克耳孙干涉仪异常现象研究 被引量：6

5

作者 赵晓红 杨江萍 李丽娟 《物理与工程》 2003年第4期27-29,共3页

观察并解释了迈克耳孙干涉仪的分光板被前后倒置后干涉条纹的变化 。

关键词 迈克耳孙干涉仪 干涉条纹 分光板 光程差

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迈克尔逊干涉仪椭圆干涉条纹分析与校正 被引量：2

6

作者 魏玉花 韩军峰 王秋云 《枣庄学院学报》 2013年第5期44-46,共3页

通过分析得出,当两虚光源连线与观察屏不垂直时,在观察屏上产生椭圆干涉条纹;产生椭圆干涉条纹的主要原因是迈克尔逊干涉仪两平面镜不垂直;提出通过调节平面镜与丝杆垂直的方法,可使椭圆变为圆,方法简单可行,是实验室中仪器调节较简单... 通过分析得出,当两虚光源连线与观察屏不垂直时,在观察屏上产生椭圆干涉条纹;产生椭圆干涉条纹的主要原因是迈克尔逊干涉仪两平面镜不垂直;提出通过调节平面镜与丝杆垂直的方法,可使椭圆变为圆,方法简单可行,是实验室中仪器调节较简单快捷的一种方法. 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 椭圆干涉条纹 分光板

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迈克耳孙干涉仪测平行玻片折射率实验的进一步研究 被引量：17

7

作者 栾兰 闪辉 +1 位作者 马秀芳 沈元华 《大学物理》 2000年第11期20-23,共4页

用迈克耳孙干涉仪测平行玻片折射率的实验中 ,干涉条纹的位置和形状出现许多与常规不同的现象 本文对此作一理论分析 。

关键词 迈克耳孙干涉仪 平行玻片 折射率

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干涉型光纤传感器偏振衰落动态补偿技术 被引量：3

8

作者 穆姝慧 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期375-378,共4页

为了消除单模光纤制作的光纤传感器常会因外部环境扰动而引起相位衰落和偏振衰落,通过改进传统的马赫-泽德干涉仪,利用高频振荡的PZT结合相位生成载波零差解调电路用来补偿相位衰落,引入一个可随干涉信号的幅值变化旋转的半波片来调整... 为了消除单模光纤制作的光纤传感器常会因外部环境扰动而引起相位衰落和偏振衰落,通过改进传统的马赫-泽德干涉仪,利用高频振荡的PZT结合相位生成载波零差解调电路用来补偿相位衰落,引入一个可随干涉信号的幅值变化旋转的半波片来调整输出的干涉信号,据此可实现偏振衰落的动态补偿。通过理论分析可以得出由偏振衰落造成的信号幅度波动不大于3dB。 展开更多

关键词 纤维与波导光学 偏振衰落 干涉仪 动态补偿 半波片

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迈克耳逊干涉仪的调节技巧及常见问题解析 被引量：3

9

作者 段秀铭 《大学物理实验》 2014年第2期52-55,共4页

迈克耳逊干涉仪测量光波波长是大学基础物理实验之一。由于该实验操作的复杂性,导致学生完成此实验很容易出现一些问题。根据实际情况列举一些调试技巧,并对经常出现的问题进行了分析与解决。

关键词 迈克耳逊干涉仪 分光板 补偿板 干涉条纹 光程差

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迈克尔逊干涉仪中补偿斜入射光的理论分析 被引量：2

10

作者 吴本科 《大学物理实验》 2000年第2期14-17,共4页

对迈克尔逊干涉仪中补偿板补偿斜入射光的作用进行了严格的理论分析 ,并利用计算机算法对其进行了运算和实验现象的模拟 ,从理论上理解补偿板的作用有相当的参考价值。

关键词 斜入射 迈克尔逊干涉仪 实验现象 运算 严格 参考价值 理解 理论 计算机算法

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迈克尔逊干涉仪补偿镜的校准方法

11

作者 金清理 《温州师范学院学报》 1999年第3期29-31,共3页

本文介绍迈克尔逊干涉仅补偿镜的简易校准方法．

关键词 迈克尔逊干涉仪 补偿镜 校准 光学实验

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迈克耳孙干涉仪中补偿板对单色光干涉的作用 被引量：5

12

作者 张建卫 蒋玉龙 +2 位作者 马秀芳 刘磊 沈元华 《光学仪器》 1998年第2期24-29,共6页

从实验上和理论上研究了迈克耳孙干涉仅中补偿板的作用，证明了它无论对于白光或单色光都是十分重要的。

关键词 迈克耳孙干涉仪 补偿板 干涉仪 单色光

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迈克尔逊干涉仪分光板和补偿板的改进 被引量：1

13

作者 赵华宇 肖梦 +1 位作者 王爱芳 刘维新 《实验科学与技术》 2016年第4期105-106,112,共3页

在迈克尔逊干涉仪的使用过程中,发现当分光板和补偿板两板之间不平行和两板不垂直于导轨时会对实验测量的误差产生巨大的影响,而且还会加大实验操作的难度。针对上述问题提出了将相互平行的分光板和补偿板改为相互垂直的L型的解决方案,... 在迈克尔逊干涉仪的使用过程中,发现当分光板和补偿板两板之间不平行和两板不垂直于导轨时会对实验测量的误差产生巨大的影响,而且还会加大实验操作的难度。针对上述问题提出了将相互平行的分光板和补偿板改为相互垂直的L型的解决方案,这样就从结构上解决了两板位型偏差的问题。对改进后的仪器经过多次实验分析,干涉图样的短轴长轴比由0.60提高到0.80,测量光波长的相对误差由2.4%提高到了1.7%。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 分光板 补偿板 改进 优点

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测金属线膨胀系数的2种方法 被引量：4

14

作者 刘肖一 王文彦 平澄 《物理实验》 2018年第11期54-57,共4页

根据迈克尔逊干涉仪的基本原理以及电容器的相关知识,设计了基于迈克尔逊干涉仪(光学方法)和基于平行板电容器(电学方法)的测量金属线膨胀系数的实验.对这2种方法的原理、实验装置、精度以及优缺点进行了比较.

关键词 迈克耳孙干涉仪 平行板电容器 线膨胀系数 微小位移

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迈克尔逊干涉仪补偿板角度与干涉条纹变化关系的研究 被引量：2

15

作者 方战锋 李正义 +1 位作者 陆坤 苏峻 《大学物理实验》 2021年第5期20-25,共6页

推导了迈克尔逊干涉仪补偿板角度改变量与干涉条纹变化的关系式;基于光杠杆法设计了补偿板微小角度改变量测量装置,验证了补偿板角度变化与干涉条纹变化的关系;利用MATLAB软件设计了迈克尔逊干涉仪仿真实验软件。结果表明:补偿板角度改... 推导了迈克尔逊干涉仪补偿板角度改变量与干涉条纹变化的关系式;基于光杠杆法设计了补偿板微小角度改变量测量装置,验证了补偿板角度变化与干涉条纹变化的关系;利用MATLAB软件设计了迈克尔逊干涉仪仿真实验软件。结果表明:补偿板角度改变量和干涉条纹变化关系与理论推导关系式相吻合;补偿板在某个基础角度附近(<5°)旋转时其角度改变量与干涉条纹变化关系近似为线性关系。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 补偿板 光杠杆法 微小角度

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新型光纤应力弯曲与拉伸敏感元件的设计与测试 被引量：1

16

作者 黄冬 郭文阁 +1 位作者 张立松 吴耀方 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期677-680,共4页

提出并制作了一种弯曲形变与应力拉伸可区分测量的全光纤敏感元件。全光纤敏感元件使用193nm ArF准分子激光器在单模-色散补偿-单模的干涉上刻写光栅,组成光栅和迈克尔逊干涉的并联结构。分析了光纤敏感元件对弯曲和应力拉伸的响应机理... 提出并制作了一种弯曲形变与应力拉伸可区分测量的全光纤敏感元件。全光纤敏感元件使用193nm ArF准分子激光器在单模-色散补偿-单模的干涉上刻写光栅,组成光栅和迈克尔逊干涉的并联结构。分析了光纤敏感元件对弯曲和应力拉伸的响应机理。对光纤敏感元件进行了弯曲和拉伸测试,实验结果表明：在0-1.4m-（-1）曲率下,1524.27nm处干涉波谷的弯曲灵敏度为4.53dB/m-（-1）,线性度为0.991,光栅布拉格谐振峰处的能量基本不发生变化;在0-500με拉伸形变范围内,1524.27nm处干涉波谷的形变拉伸灵敏度为-1.02pm/με,线性度为0.979。布拉格谐振模式的形变拉伸灵敏度为0.615pm/με,线性度为0.990。所提光纤敏感元件能够区分测量弯曲形变和应力拉伸,其在工业应用具有较好的前景。 展开更多

关键词 光纤光栅传感 迈克尔逊干涉 光纤拉力传感 光纤弯曲传感 色散补偿光纤刻栅

原文传递

共光路多自由度运动误差测量及补偿技术研究 被引量：1

17

作者 徐兵 宋涛 +2 位作者 周畅 李喜峰 张建华 《光电子技术》 CAS 2021年第1期1-10,共10页

工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决... 工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度。在运动过程中由于运动导轨加工和装配误差会使工件台产生运动误差,而这些运动误差会影响TFT阵列基板长寸测量精度。为解决上述工件台运动误差对长寸测量精度的影响,文中基于桥式结构的长寸测量设备研究分析了工件台运动误差对长寸测量精度的影响机理,设计了一种共光路多自由度激光干涉仪测量系统,给出了激光干涉仪测量系统光束结构布局及测量补偿方案。通过搭建测试平台,基于4.5代基板对比测试了工件台运动误差补偿前后的重复性及最终长寸测量重复性。试验结果表明,研究的工件台运动误差测量及补偿技术可以满足100 nm高精度运动台定位精度技术需求。 展开更多

关键词 薄膜晶体管 长寸 工件台 运动误差 激光干涉仪 测量补偿

原文传递

迈克尔逊干涉仪移去补偿板的异常现象研究

18

作者 李超 魏茂金 颜慧贤 《三明学院学报》 2010年第2期148-151,共4页

从移去补偿板后的迈克尔逊干涉仪产生的附加光程差出发,对反射镜移动方向异常的现象进行研究,推导出临界点位置变化的公式,得到一种测量补偿板折射率的实验方案。实验结果得出:补偿板的折射率n=1.597,与玻璃材料的实际折射率相符,表明... 从移去补偿板后的迈克尔逊干涉仪产生的附加光程差出发,对反射镜移动方向异常的现象进行研究,推导出临界点位置变化的公式,得到一种测量补偿板折射率的实验方案。实验结果得出:补偿板的折射率n=1.597,与玻璃材料的实际折射率相符,表明所采取的实验方案正确、可行。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉仪 补偿板 折射率

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剖析一道经典光学例题的疏忽

19

作者 陈伟 甘永超 《大学物理》 北大核心 2005年第5期60-61,共2页

在现行光学教材中有一道关于迈克耳孙干涉仪的应用例题,由于忽略了一个极微小的细节,使得计算结果出现了偏差.本文对此问题进行了详细的分析.

关键词 迈克耳孙干涉仪 补偿板 微小误差

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无补偿板的迈克耳孙干涉仪

20

作者 黄仁忠 《抚州师专学报》 1989年第2期57-63,共7页

本文研究了无补偿板情况下迈克耳孙干涉仪的条纹特点;并对条纹特点进行了充分的解释;指出了补偿板的作用不仅在于使不同波长的光得到相同的补偿,而且也使不同入射方向的光得到了相同的补偿。

关键词 干涉仪 补偿板 光程差

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