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纳米碳管对MWPCVD过程增强金刚石形核的影响 被引量：3
1
作者 俞世吉 丁振峰 +1 位作者 马腾才 邬钦崇 《新技术新工艺》 北大核心 2000年第6期33-34,共2页
利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积 ( MWPCVD)实验装置 ,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜 ( SEM)形貌分析结果显示 ,纳米碳管处理能够促进金刚石形核。对非研磨基体而言 ,这是... 利用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积 ( MWPCVD)实验装置 ,研究了硅基体表面沉积金刚石薄膜时纳米碳管对金刚石形核过程的影响。扫描电子显微镜 ( SEM)形貌分析结果显示 ,纳米碳管处理能够促进金刚石形核。对非研磨基体而言 ,这是一种有效的增强金刚石形核的表面预处理方式。 展开更多
关键词 mwpvcd 纳米碳管 金钢石形核 金刚石薄膜
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