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题名微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究
被引量：5
- 1
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作者
凌灵
陈文元
李凯
姜晓波
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第8期3-4,12,共3页
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基金
武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)
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文摘
三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性,严重的将导致不能正常工作,通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计,能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试,测试前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。
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关键词
微加速度计
单片机
ms3110
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Keywords
micro-accelerometer
single-chip microcomputer
ms3110
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分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名小型电容式倾角测量仪系统设计
被引量：5
- 2
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作者
张浩
王宏伟
郝少华
陈培敏
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机构
北京信息科技大学理学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期90-91,95,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(6177012322)
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文摘
基于弹性优良的铍青铜材料制作了一种具有双梁三明治式电容倾角传感器,并采用专用电容检测芯片MS3110将倾角传感器的差分电容信号转换为电压信号,同时通过微控制器STM32的控制芯片检测参数实现对传感器非线性的补偿,使倾角测量仪系统具有良好的线性度;通过模数转换器(ADC)采集和转换将数据显示在屏幕上。实验证明:设计的电容式倾角测量仪系统具有测量范围广、稳定性高、线性度好的特点。
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关键词
电容式倾角传感器
ms3110芯片
STM32芯片
倾角测量仪
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Keywords
capacitive tilt sensor
ms3110 chip
STM32 chip
inclination measuring instrument
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名电容式加速度计结构与检测电路的研究
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作者
赵军荣
戴丽霞
刘双峰
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《电子测试》
2010年第10期88-92,共5页
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文摘
提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。
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关键词
电容加速度计
水银
单片机
ms3110
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Keywords
capacitive accelerometer
mercury
single-chip microcomputer
ms3110
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分类号
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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