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响应表面法在工艺综合中的应用 被引量：2
1
作者 鲁勇 张文俊 杨之廉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1116-1120,共5页
通过实例 ,介绍多分区响应表面法的优点及其给工艺综合带来的好处 ,并用其构建的响应表面模型分析工艺窗口带来的影响 .
关键词 响应表面法 多分区响应表面法 工艺综合 mospad 工艺窗口 半导体集成电路
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半导体器件与工艺综合 被引量：1
2
作者 鲁勇 谢晓峰 +1 位作者 张文俊 杨之廉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期772-776,共5页
利用器件与工艺综合的思想 ,开发出自顶向下的新的器件和工艺设计方法 ,实现了该设计方法的MOSPAD软件 ,并利用MOSPAD系统做出了一定的综合结果 .做出了关于器件与工艺综合的两个实例 ,即对FIB器件的器件综合和对阱形成工艺模块进行的... 利用器件与工艺综合的思想 ,开发出自顶向下的新的器件和工艺设计方法 ,实现了该设计方法的MOSPAD软件 ,并利用MOSPAD系统做出了一定的综合结果 .做出了关于器件与工艺综合的两个实例 ,即对FIB器件的器件综合和对阱形成工艺模块进行的工艺综合 ,并证明了自顶向下的器件与工艺综合思想的可行性 . 展开更多
关键词 半导体 工艺综合 器件综合 mospad FIB
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工艺综合与响应表面法的应用
3
作者 鲁勇 张文俊 +2 位作者 郑期彤 李成 杨之廉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1274-1277,共4页
工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统,对工艺改进中的实际问题采用工艺综合的方法,确定正确的工艺条件.在工艺综合系统中使用响应表... 工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统,对工艺改进中的实际问题采用工艺综合的方法,确定正确的工艺条件.在工艺综合系统中使用响应表面法加快其综合的速度,并利用响应表面模型以分析工艺窗口造成的灵敏度问题. 展开更多
关键词 工艺综合 响应表面法 RSM 集成电路 工艺窗口 mospad系统
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