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粗微叠层式硅片台数据驱动MIMO前馈控制
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作者 刘涛 杨开明 朱煜 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第24期9834-9843,I0027,共11页
光刻机中承载晶圆进行图像曝光的硅片台是一个典型的多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)超精密运动系统,MIMO前馈控制技术是抑制各自由度耦合误差的关键环节。针对光刻机粗微叠层式结构的硅片台,文中基于主从控制架构,提出一... 光刻机中承载晶圆进行图像曝光的硅片台是一个典型的多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)超精密运动系统,MIMO前馈控制技术是抑制各自由度耦合误差的关键环节。针对光刻机粗微叠层式结构的硅片台,文中基于主从控制架构,提出一种微动台和粗动台MIMO前馈控制方法。该前馈采用线性参数化结构,以微分单元为基函数,将控制器的参数整定问题转化为一个凸优化问题,进而给出前馈控制器的全局最优参数整定方法以及参数迭代过程中梯度的无偏估计方法。通过硅片台多场曝光轨迹跟踪实验,验证所提参数整定方法的快速收敛性能。实验结果表明,所提方法能够有效减小微动台多自由度耦合的轨迹跟踪误差和粗微之间的相对误差。 展开更多
关键词 多输入多输出(mimo)系统 mimo前馈 数据驱动 参数整定 粗微叠层 硅片台 超精密运动系统
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MIMO Hybrid Control of Structural Responses for Helicopter 被引量:5
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作者 雷凌云 顾仲权 鲁民月 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第3期151-156,共6页
A MIMO hybrid model of structural response control, which combines adaptivefeedfor-ward control and feedback control, was developed and then applied in a helicopter model toeliminate the dual-frequency harmonious vibr... A MIMO hybrid model of structural response control, which combines adaptivefeedfor-ward control and feedback control, was developed and then applied in a helicopter model toeliminate the dual-frequency harmonious vibration at cabin seats. In implementation, an AOEF(Acceleration Output Extended Feedback) controller for the MIMO case was designed to add enoughdamping to the control path so that the convergence rate of the FXLMS algorithm could be obviouslyimproved. The corresponding FXLMS algorithm for the control path of closed loop was developed also.The numerical results on the finite element model of a helicopter indicated that with hybridcontrol, responses at four rows of seats could be controlled with two actuators and the adaptivecontrollers got a quicker convergence rate. 展开更多
关键词 hybrid control adaptive feedforward FEEDBACK mimo FXLMS
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光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制 被引量:1
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作者 李敏 陈涛涛 +3 位作者 鲁森 杨开明 朱煜 胡楚雄 《机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第21期99-109,共11页
超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output,MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入... 超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output,MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入的伺服误差,降低各自由度间的耦合,从而提高光刻机超精密运动台对不同轨迹跟踪任务的适应性及跟踪性能。采用多项式对MIMO前馈控制器进行参数化,以保证前馈控制器的固有稳定性及其对变轨迹的鲁棒性。利用脉冲响应实验法无偏估计过程灵敏度函数矩阵的马尔可夫参数,进而建立高效的数据驱动参数优化算法,根据伺服系统的输入-输出数据迭代优化MIMO前馈控制器参数。所提方法无需对光刻机运动台建模,且每次迭代仅需一次轨迹跟踪实验。将所提方法应用于课题组自主研发的光刻机硅片台,2种参考轨迹的跟踪实验结果验证所提方法在有效提高轨迹跟踪性能的同时降低各自由度间的耦合。 展开更多
关键词 前馈控制 mimo 数据驱动 光刻机 超精密运动台
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