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Features of micro-fabric and the genetic study of Triassic deep polyhalite in the Guang'an area, central Sichuan Basin 被引量:3
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作者 Da-xing Gong Bo Hui Jia-yun Zhou 《China Geology》 2018年第3期453-454,共2页
It is an accepted fact that the main solid phase support for potassium in the Sichuan Basin is polyhalite [K2MgCa2(SO4)4·2H2O] rather than sylvineis (KCl) (Gong DX et al.,2015).The mineral types,occurrence charac... It is an accepted fact that the main solid phase support for potassium in the Sichuan Basin is polyhalite [K2MgCa2(SO4)4·2H2O] rather than sylvineis (KCl) (Gong DX et al.,2015).The mineral types,occurrence characteristics and metasomatism of the polyhalite bearing ore-bed were identified and the origin of the polyhalite was discussed.The polyhalite samples were obtained from the core of Z12,located in Dalong Village,Guang'an City of central Sichuan.The sampling depths were 2974 m (s-1),3023 m (s-2) and 3106 m (s-3).The microbeam analysis of back-scattering images was carried out using a Shimadzu EPMA-1720 Series electron probe micro-analyzer,supplemented by a quantitative spectrum analysis that determined the mineral types. 展开更多
关键词 FEATURES of micro-fabric the GENETIC study central SICHUAN Basin
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Micro-Fabrication on Surface of Transparent Solid Materials by Nanosecond Laser
2
作者 Takeji Arai 《材料科学与工程(中英文B版)》 2012年第8期471-481,共11页
关键词 表面微加工 固体材料 纳秒激光 聚焦激光束 玻璃表面 研究人员 光吸收率 输出能量
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Micro-fabrication of ceramics:Additive manufacturing and conventional technologies 被引量:8
3
作者 Hany HASSANIN Khamis ESSA +3 位作者 Amr ELSHAER Mohamed IMBABY Heba H.EL-MONGY Tamer A.EL-SAYED 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE CAS CSCD 2021年第1期1-27,共27页
Ceramic materials are increasingly used in micro-electro-mechanical systems(MEMS)as they offer many advantages such as high-temperature resistance,high wear resistance,low density,and favourable mechanical and chemica... Ceramic materials are increasingly used in micro-electro-mechanical systems(MEMS)as they offer many advantages such as high-temperature resistance,high wear resistance,low density,and favourable mechanical and chemical properties at elevated temperature.However,with the emerging of additive manufacturing,the use of ceramics for functional and structural MEMS raises new opportunities and challenges.This paper provides an extensive review of the manufacturing processes used for ceramic-based MEMS,including additive and conventional manufacturing technologies.The review covers the micro-fabrication techniques of ceramics with the focus on their operating principles,main features,and processed materials.Challenges that need to be addressed in applying additive technologies in MEMS include ceramic printing on wafers,post-processing at the micro-level,resolution,and quality control.The paper also sheds light on the new possibilities of ceramic additive micro-fabrication and their potential applications,which indicates a promising future. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical system(MEMS) micro-fabricATION CERAMICS micro parts additive manufacturing
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基于虚拟仿真的微纳加工实验教学模式研究
4
作者 袁佳磊 施政 蒋燕 《实验科学与技术》 2026年第1期129-135,共7页
南京邮电大学通信与信息工程学院依托国家级信息与通信工程实验教学中心、微纳器件与信息系统学科创新引智基地(“111”基地)等平台,开展基于虚拟仿真技术的微纳加工实验在电子科学与技术学科教学中的应用研究。通过构建基于该技术的“... 南京邮电大学通信与信息工程学院依托国家级信息与通信工程实验教学中心、微纳器件与信息系统学科创新引智基地(“111”基地)等平台,开展基于虚拟仿真技术的微纳加工实验在电子科学与技术学科教学中的应用研究。通过构建基于该技术的“多模块、多层次”微纳加工实验教学体系,有效解决传统实验教学的高成本、安全隐患和技术更新滞后等问题。通过引入人工智能等技术创新教学模式和评价体系,提升学生的实践能力和创新思维。该体系有助于培养学生科研兴趣,拓展学生知识面,在本科阶段为培养拔尖人才提前“育苗”。 展开更多
关键词 实验教学体系 虚拟仿真技术 微纳加工实验 AI赋能
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湿法刻蚀辅助飞秒激光加工蓝宝石通孔
5
作者 汪梦健 燕超月 +1 位作者 孙盛芝 邱建荣 《激光与红外》 北大核心 2026年第1期38-43,共6页
本研究提出一种基于湿法刻蚀辅助的飞秒激光加工方法,用于蓝宝石材料的高质量通孔制备。采用波长1030nm、脉冲宽度300 fs的飞秒激光系统,通过旋切工艺,系统研究了重复频率25kHz~500kHz、单脉冲能量200~400nJ、层间距1~4μm等参数对通孔... 本研究提出一种基于湿法刻蚀辅助的飞秒激光加工方法,用于蓝宝石材料的高质量通孔制备。采用波长1030nm、脉冲宽度300 fs的飞秒激光系统,通过旋切工艺,系统研究了重复频率25kHz~500kHz、单脉冲能量200~400nJ、层间距1~4μm等参数对通孔成形质量的影响规律,并探讨了氢氟酸溶液浓度(40 HF)辅助刻蚀对加工缺陷的修复作用。实验结果表明:当采用层间距4μm、重复频率200kHz、单脉冲能量400nJ的激光参数组合时,配合25 h超声辅助刻蚀处理,可在50μm厚蓝宝石基片上获得锥度仅为509°的微通孔。相较于未刻蚀样品,该工艺使孔壁锥度从825°降至509°,同时有效消除了激光诱导热影响区并清除了表面沉积层。本研究为蓝宝石精密结构的湿法辅助飞秒激光加工提供了重要的工艺参考。 展开更多
关键词 飞秒激光制造 微孔加工 湿法辅助刻蚀 蓝宝石 旋切法 锥度
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粉尘微颗粒防护面料的开发与研究进展
6
作者 王伟博 杜彦龙 +2 位作者 吕欢 刘琳 陈明辉 《合成纤维》 2026年第2期38-41,共4页
粉尘微颗粒防护面料在环境保护和职业健康领域具有重要意义。采用文献研究和归纳分析的方法,综述了粉尘微颗粒防护面料的防护机制、国内外研究现状,重点分析了具有代表性的研究成果,并展望了粉尘微颗粒防护面料的发展趋势。
关键词 粉尘微颗粒 防护面料 防护机制
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复杂微通道热管理部件的应用与加工技术进展
7
作者 周永欣 张宝琦 +3 位作者 贾磊 魏艳妮 吕振林 邢志国 《机械工程材料》 北大核心 2025年第9期1-9,共9页
高密度能量的输入与管理正成为未来装备可靠和长寿命服役的关键基础,微通道结构热管理部件具有结构紧凑、整体尺寸小、传热效率高等特点,可以很好地解决高能量密度热管理问题,在航空航天以及军工领域有着广阔的应用前景。介绍了不同类... 高密度能量的输入与管理正成为未来装备可靠和长寿命服役的关键基础,微通道结构热管理部件具有结构紧凑、整体尺寸小、传热效率高等特点,可以很好地解决高能量密度热管理问题,在航空航天以及军工领域有着广阔的应用前景。介绍了不同类型微通道结构对微通道换热器传热性能的影响,综述了传统微米级减材加工技术和增材制造工艺制备复杂微通道热管理部件的优缺点,并重点从化学蚀刻和扩散焊接2个关键工序阐述了叠层增材制造技术在加工复杂微通道热管理部件方面的应用。 展开更多
关键词 微通道 微米级加工 增材制造 化学蚀刻 扩散焊
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微更新视角下历史文化街区保护与更新设计研究——以沈阳中山路为例 被引量:2
8
作者 杨淘 李雅 《建筑与文化》 2025年第2期167-169,共3页
历史文化街区展现着城市的传统风貌,但同时也面临着现代化、全球化以及快速城市化的挑战。文章以沈阳市中山路历史文化街区为研究对象,指出单纯依赖“输血”机制的保护难以为继。该街区主要承载居住功能,沿街小型商户众多,传统街区模式... 历史文化街区展现着城市的传统风貌,但同时也面临着现代化、全球化以及快速城市化的挑战。文章以沈阳市中山路历史文化街区为研究对象,指出单纯依赖“输血”机制的保护难以为继。该街区主要承载居住功能,沿街小型商户众多,传统街区模式难以满足发展需求。因此,文章提出微更新保护设计策略,通过小规模、渐进式改造,如修复历史脉络、重构物质空间形态及重新配置功能等,实现历史文化与现代生活的和谐共生。此策略旨在延续街区的历史空间肌理,保护传统风貌,同时增强街区活力与可持续性,为历史文化街区的保护与更新提供新思路与方法。 展开更多
关键词 历史文化街区 微更新 微改造 城市脉络 触媒
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边缘区预备体边缘、修复体边缘、粘固(粘接)层及龈缘的几何位置关系——边缘位置的新分类与新方案
9
作者 于海洋 罗天 《华西口腔医学杂志》 北大核心 2025年第2期163-174,共12页
当前固定修复边缘的低质量现状与边缘相关并发症高发生率高度关联,并与龈缘(G)、预备体边缘(P)、修复体边缘(R)三个边缘(简称“三缘”)的共识性定义及时空几何位置关系不明确相关。本文从现有术语“龈缘”作为表面解剖标志存在的问题展... 当前固定修复边缘的低质量现状与边缘相关并发症高发生率高度关联,并与龈缘(G)、预备体边缘(P)、修复体边缘(R)三个边缘(简称“三缘”)的共识性定义及时空几何位置关系不明确相关。本文从现有术语“龈缘”作为表面解剖标志存在的问题展开讨论,提出了符合几何学和测量学并更具表面解剖标志意义的术语“龈缘线”,明确了边缘区有预备体边缘、修复体边缘、龈缘、粘固(粘接)层、龈沟等参与方,通过对预备体边缘、修复体边缘、粘固(粘接)层等进入龈沟可能诱发各种医源性损害风险的讨论,强调了保持龈沟各种正常生理作用的重要性。进一步论证了“三缘”间及其与粘固(粘接)层间的适宜时空几何位置关系,根据边缘区“三缘”与粘固(粘接)层的空间位置关系提出了边缘位置的9型分类法([牙合]龈剖面上)、243型分类法(近远中向),克服了以往边缘位置分类纳入对象单一不全、风险因素失控等问题,具有实用性强、风控点明确、主控几何量效能好等优势。进一步定义的“RPG间距”代表牙体预备临床程序中先后出现并可以实测的预备体边缘完成线或修复体边缘完成线与龈缘线之间龈剖面上的间距,通过对龈下设计、生物导向性预备技术等不足的讨论,“龈沟/龈沟液+生物学宽度=牙周第一道保护屏障”的生理与临床意义的解析,结合现有临床循证证据提出龈上RPG200方案,即预备体边缘与修复体边缘均位于龈缘线上且与其间距小于200μm,该推荐设计方案具有裸眼隐身的美观效果,也对龈缘、龈沟等无损伤,并方便医生与患者进行清洁维护等优势。本文提出的边缘区边缘位置的新分类法以及推荐的RPG200龈上新设计方案为边缘区的修复设计与各种并发症的防控提供了新思路。 展开更多
关键词 龈缘(线) 预备体边缘 修复体边缘 目标修复空间 龈沟生理作用 显微修复与制作 生物学宽度 生物导向性预备技术
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热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量 被引量:1
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作者 杨高 陈裕杰 +3 位作者 周陈标 任清瑞 龚峰 张志辉 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期258-269,共12页
热压印技术是实现玻璃微透镜阵列高质量高效率制造的有效途径。为应对大批量热压印成形的玻璃微透镜阵列的质量检测需求,设计和搭建了一套基于机器视觉的宏微特征尺寸高效测量系统。在宏观测量模块中,基于改进的Zernike矩亚像素边缘检... 热压印技术是实现玻璃微透镜阵列高质量高效率制造的有效途径。为应对大批量热压印成形的玻璃微透镜阵列的质量检测需求,设计和搭建了一套基于机器视觉的宏微特征尺寸高效测量系统。在宏观测量模块中,基于改进的Zernike矩亚像素边缘检测算法计算玻璃元件的直径。在微观测量模块中,基于自动搜索最佳模板匹配的图像拼接算法得到较大区域的图像后,计算微透镜单元的直径、圆心坐标和圆度。将玻璃元件和模具对应位置的微透镜阵列图像进行配准,计算微透镜阵列形状的复制偏差。实验结果表明:热压印后的光学元件直径增加15.6μm,测量直径的平均误差为3.7μm。对于选取的850μm×150μm区域,建立微透镜阵列的复制偏差图,发现玻璃光学元件表面对角线的两微透镜中心距比模具表面两微透镜中心距增加1.423μm。该测量系统亦适用于其他复制技术所制造的微透镜阵列的复制偏差分析。 展开更多
关键词 微纳制造 微透镜阵列 尺寸检测 机器视觉 亚像素
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教育数字化背景下装配式装修课程微课教学设计
11
作者 张鹏 李彦江 《江苏建筑职业技术学院学报》 2025年第1期77-82,共6页
教育数字化背景下,微课已经成为数字化教学的重要手段,在高职教学改革中发挥重要作用.深入探讨了经“装配式建筑装饰装修技术”课程在数字化教学背景下的微课应用及其开发策略.以微课“SMC整体卫浴装配施工技术”为例,详细阐述了微课教... 教育数字化背景下,微课已经成为数字化教学的重要手段,在高职教学改革中发挥重要作用.深入探讨了经“装配式建筑装饰装修技术”课程在数字化教学背景下的微课应用及其开发策略.以微课“SMC整体卫浴装配施工技术”为例,详细阐述了微课教学设计和教学过程构建的方法体系.旨在提升职业院校教师在微课教学资源的开发与应用能力,以此推动国家职业教育的数字化转型,并实现教育的高质量发展. 展开更多
关键词 教育数字化 装配式装修 整体卫浴 微课设计
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长波红外平板透镜:材料、大尺寸制备及挑战
12
作者 高一骁 汪楗伟 +3 位作者 徐雷 曾礼昌 马耀光 沈祥 《光电工程》 北大核心 2025年第8期1-21,共21页
长波红外(8~12μm)热成像技术在安防监控、医疗诊断、智慧交通等领域中具有广阔的应用前景,而光学系统的小型化与轻量化是其发展的关键。基于微纳结构的平板透镜(如超构透镜、多级衍射透镜等)为实现光学系统轻量化提供了有效技术方案。... 长波红外(8~12μm)热成像技术在安防监控、医疗诊断、智慧交通等领域中具有广阔的应用前景,而光学系统的小型化与轻量化是其发展的关键。基于微纳结构的平板透镜(如超构透镜、多级衍射透镜等)为实现光学系统轻量化提供了有效技术方案。系统介绍衍射透镜与超构透镜的成像原理、关键性能指标及其差异,总结常用长波红外光学材料的性能特点及其微纳加工方法,详细阐述近年来在大面积图案转移与高深宽比微结构刻蚀等关键制备技术方面的研究进展,最后探讨长波红外平板透镜未来发展面临的主要挑战。 展开更多
关键词 超构透镜 衍射透镜 长波红外 热成像 微纳加工
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基于光学超构表面光场调控的发光器件研究进展(特邀) 被引量:1
13
作者 张家硕 毕宴钢 冯晶 《光学学报(网络版)》 2025年第9期4-18,共15页
光学超构表面作为一种人工构筑的基于微纳结构的二维光子材料,可以对光场的相位、振幅、偏振等物理参量进行精细化调控。将光学超构表面应用于发光器件,利用其光场调控作用,可以实现器件发光特性的精确调控,因而受到广泛关注。本文围绕... 光学超构表面作为一种人工构筑的基于微纳结构的二维光子材料,可以对光场的相位、振幅、偏振等物理参量进行精细化调控。将光学超构表面应用于发光器件,利用其光场调控作用,可以实现器件发光特性的精确调控,因而受到广泛关注。本文围绕光学超构表面的制备工艺及其在发光器件中的光场调控应用,介绍了常用的光学超构表面微纳结构制备技术,概述了超构表面的相位调控机制,总结了近年来光学超构表面应用于发光器件的研究进展,讨论了光学超构表面对器件发光颜色、发光方向、发光偏振、发光效率等参量的调控作用,并对光学超构表面以及基于光学超构表面光场调控的发光器件的未来发展方向和应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学超构表面 发光器件 光场调控 微纳加工
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基于3D微流控芯片的水凝胶微胶囊可控生成系统
14
作者 金聪 赵旭晟 +4 位作者 郭嘉灏 欧阳立明 姜国俊 顾震 王慧锋 《华东理工大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第6期783-792,共10页
围绕水凝胶微胶囊制备需求,利用3D微纳打印在快速、低成本和高精度等方面的优势,发展了基于3D微流控芯片的微胶囊制备系统,该系统通过构建具有3D微结构的液滴微流控芯片,以双层鞘流生成微胶囊颗粒,并实现微胶囊核壳比例的可控生成。实... 围绕水凝胶微胶囊制备需求,利用3D微纳打印在快速、低成本和高精度等方面的优势,发展了基于3D微流控芯片的微胶囊制备系统,该系统通过构建具有3D微结构的液滴微流控芯片,以双层鞘流生成微胶囊颗粒,并实现微胶囊核壳比例的可控生成。实验结果显示,利用3D微纳打印得到的模具,通过翻模制造微流控芯片,可达到高精度与高平整度,通道尺寸误差均小于2μm。所生成微胶囊的内、外径变异系数均小于3%且一致性优异。细胞增殖实验表明,所生成微胶囊可用于3D细胞培养,证实了所提出方法在规模化细胞培养及再生医学等领域具有广泛应用潜力。 展开更多
关键词 微纳加工 3D微流控芯片 液滴微流控 微胶囊 3D细胞培养
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面向精准医疗的生/机界面仿生设计技术现状与发展趋势
15
作者 周新朝 杨佳俊 +3 位作者 王晓博 金泽枫 张力文 陈华伟 《中国表面工程》 北大核心 2025年第6期23-40,共18页
精准医疗的发展亟需高效、稳定且多功能的生机界面。大自然中丰富的微纳结构与功能机制为生机界面设计提供了重要的灵感源泉,但面向精准医疗的生机界面仿生设计仍然缺少深入、系统的综述研究。系统梳理生机界面设计中的典型仿生策略,重... 精准医疗的发展亟需高效、稳定且多功能的生机界面。大自然中丰富的微纳结构与功能机制为生机界面设计提供了重要的灵感源泉,但面向精准医疗的生机界面仿生设计仍然缺少深入、系统的综述研究。系统梳理生机界面设计中的典型仿生策略,重点介绍防粘、粘附增强、液体定向传输与微针穿刺等生物功能结构的原理及其在界面构建中的应用价值,探讨激光加工、3D打印等前沿制造技术在实现多尺度仿生结构制造方面的优势与局限。结合精准医疗领域中的典型应用实例,包括防粘电刀、粘附贴片、可穿戴微流体诊疗传感器与药物递送系统,展示出仿生结构在提升界面适配性、功能集成度与临床适用性方面的显著优势。最后,展望人工智能、智能响应材料、多材料3D打印等新兴技术对推动仿生生机界面发展的重要作用。主要提出结合智能材料的动态化仿生设计和结合人工智能的智能化界面设计的指导性观点,可填补行业和领域目前缺少这类综述文章来引领的空白,对未来精准医疗中生机界面的仿生设计制造的发展具有一定借鉴意义。 展开更多
关键词 精准医疗 仿生功能表面 微纳结构制造 可穿戴传感 医疗器械
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基于扫描热探针技术的二维材料物性调控研究进展
16
作者 赵世杰 马浩南 刘霞 《物理学报》 北大核心 2025年第3期58-66,共9页
随着微观领域探索的不断深入,以光刻和各类刻蚀工艺为代表的微纳加工技术已被广泛应用于微米及纳米尺度的结构与器件制造,推动了集成电路、微纳光电器件、微机电系统等领域的不断革新.这不仅带动了设备性能的提升,还为微观物性调控机制... 随着微观领域探索的不断深入,以光刻和各类刻蚀工艺为代表的微纳加工技术已被广泛应用于微米及纳米尺度的结构与器件制造,推动了集成电路、微纳光电器件、微机电系统等领域的不断革新.这不仅带动了设备性能的提升,还为微观物性调控机制的基础科学研究带来了新的机遇.近年来,作为一种新兴的微纳加工技术,扫描热探针技术在二维材料加工、物性调控和纳米级灰度结构制造方面获得了实践应用,并展现出独特优势.本文将从扫描热探针技术的原理及特点出发,分析其在二维材料微纳加工及物性调控领域的最新研究进展,最后展望该技术的广阔应用前景. 展开更多
关键词 扫描热探针技术 二维材料 微纳加工 物性调控
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超薄锂箔制造及其在预锂化中的应用
17
作者 段续之 陈国栋 +2 位作者 石良 董杉木 崔光磊 《化学学报》 北大核心 2025年第2期184-196,共13页
新型超薄锂箔相较于传统锂箔在锂金属电池中表现出更高的能量密度、更好的安全性以及更低的材料成本.然而,超薄锂箔的工业生产面临严峻挑战,主要源于生产过程中可能出现的褶皱和损坏,以及工艺的复杂性.因此,亟需改进或开发新的制造方法... 新型超薄锂箔相较于传统锂箔在锂金属电池中表现出更高的能量密度、更好的安全性以及更低的材料成本.然而,超薄锂箔的工业生产面临严峻挑战,主要源于生产过程中可能出现的褶皱和损坏,以及工艺的复杂性.因此,亟需改进或开发新的制造方法以满足工业化需求.另一方面,为了提高锂离子电池的首次库伦效率(ICE)和延长循环寿命,锂箔常用于在电池循环前补充首圈充放电过程中消耗的正极侧活性锂.然而,过量锂金属与电解液的副反应会显著影响电池的寿命和安全性.基于此,本综述将重点讨论传统锂箔制造所面临的问题,并结合相关实例分析解决这些问题的具体策略.同时,概述新型超薄锂箔制备方法,并评估其在工业应用中的可行性.此外,本文还总结了锂箔在预锂化中的应用,提出超薄锂箔制造与预锂化相结合的发展趋势.本综述旨在为该领域的研究人员提供宝贵的见解与启发,成为推动锂箔制造和应用创新的综合性参考资源. 展开更多
关键词 辊压法 熔融法 微纳制造 锂箔预锂化 真空蒸镀预锂化
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L型铌酸锂超表面工艺优化研究
18
作者 姚雪盈 常文瑶 +3 位作者 郭子瑞 李健梅 郭阳 顾长志 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期645-650,共6页
绝缘体上的铌酸锂(LNOI)兼具铌酸锂(LiNbO_(3))晶体优秀的线性和非线性光学性质,及易于光子器件加工和集成的特性,被认为是集成光学的潜在平台之一。研究通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统(ICP-RIE)制备了一种L型LNOI超表面结构,基... 绝缘体上的铌酸锂(LNOI)兼具铌酸锂(LiNbO_(3))晶体优秀的线性和非线性光学性质,及易于光子器件加工和集成的特性,被认为是集成光学的潜在平台之一。研究通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统(ICP-RIE)制备了一种L型LNOI超表面结构,基于传统工艺步骤进一步提出了优化策略。主要包括,修正曝光图形,精准调控L形状;降低镀膜速率,提升掩膜的致密性与均匀性;调整刻蚀气体成分,引入氢气,消除样品副产物。实验结果表明,此优化工艺使L结构表面平整度显著改善、侧壁陡直度提高,尺寸符合理论设计。其二次谐波产生(SHG)强度相比LNOI大约提高5倍。该研究将推动铌酸锂晶体光学元件制备和集成技术的发展。 展开更多
关键词 铌酸锂 超构原子 非线性超表面 微纳米加工技术
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双光子聚合技术推动医用导丝导管远端功能化(特邀) 被引量:1
19
作者 李璐奇 何若坤 +2 位作者 顾奕秋 马卓晨 韩冰 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期58-71,I0001,共15页
随着现代医学朝着微创化、个性化和集成化方向发展,微型多功能医疗器械的需求日益增长。作为介入治疗中的核心工具,导丝和导管的迭代更新主要集中在提高其在狭窄腔道内的精确定位和操作能力。然而,单一的微型导丝和微型导管在复杂腔道... 随着现代医学朝着微创化、个性化和集成化方向发展,微型多功能医疗器械的需求日益增长。作为介入治疗中的核心工具,导丝和导管的迭代更新主要集中在提高其在狭窄腔道内的精确定位和操作能力。然而,单一的微型导丝和微型导管在复杂腔道中的应用功能仍然有限,亟需在其远端集成可控功能部件,以平衡尺寸与功能需求。飞秒激光双光子聚合(fs-TPP)技术,凭借其亚微米级加工精度和高度灵活性,已成为导丝导管远端功能器件集成的理想方案。首先介绍了双光子聚合的基本原理,并综述了其在导丝导管远端集成不同部件的最新研究进展,包括接触式和非接触式操作部件、成像部件和分析检测部件。进一步,探讨了这些部件在生物医学领域的潜在应用,展示了fs-TPP技术在丰富微型导丝导管功能方面的巨大潜力。最后,展望了飞秒激光双光子聚合技术在导丝导管远端集成功能器件的发展趋势,并为下一代介入医疗器械的研发提供了重要的技术参考和理论基础。 展开更多
关键词 飞秒激光双光子聚合 导丝导管 光纤 微纳制造 微型医疗器械
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电子束光刻技术介绍与展望
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作者 郭晨瑜 王文豪 +2 位作者 宋学锋 张振生 俞大鹏 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期673-685,共13页
电子束光刻(Electron Beam Lithography,EBL)作为能够实现亚微米乃至纳米尺度图形化制造的常用微纳加工技术,凭借其高的加工精度与灵活的图形加工能力,在微纳制造领域扮演着至关重要的角色。文章系统性地回顾了电子束光刻技术的基本物... 电子束光刻(Electron Beam Lithography,EBL)作为能够实现亚微米乃至纳米尺度图形化制造的常用微纳加工技术,凭借其高的加工精度与灵活的图形加工能力,在微纳制造领域扮演着至关重要的角色。文章系统性地回顾了电子束光刻技术的基本物理原理及设备发展脉络。重点阐述了早期基于扫描电子显微镜的高斯束EBL设备,以及为突破写入效率和精度瓶颈而演进的商用变形束与前沿的多束EBL系统,并在此基础上结合最新研究进展探讨了EBL设备及其相关技术未来的发展趋势,以期为相关领域的学术研究与产业发展提供理论支撑与实践参考。 展开更多
关键词 电子束光刻 微纳制造 电子光学系统
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