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微器件装配系统与关键技术 被引量：5
1
作者 李云平 龙志峰 +2 位作者 李庆祥 王晓晔 薛实福 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第3期1-6,共6页
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
关键词 微系统 微装配 mems 微机械电子学
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