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题名利特罗型光栅干涉仪的元件定位误差分析
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作者
赵金辉
胡源
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机构
长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室
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出处
《计测技术》
2025年第3期37-44,共8页
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基金
吉林省自然科学基金项目(20240101360JC)。
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文摘
针对利特罗型光栅干涉仪的系统误差研究缺少更深入的量化数据的问题,对元件定位精度引起的利特罗型光栅干涉仪系统误差进行了研究,即分析光栅绕x、y、z轴旋转以及反射镜绕y轴旋转时导致的额外光程差所造成的系统误差对干涉仪的位移测量影响。建立光栅及反射镜绕轴旋转时的光程差变化引起的相关误差的数学模型,进行定量分析,并通过实验验证该数学模型的准确性。结果表明:光栅及反射镜绕x、z轴旋转时不会产生额外光程差;光栅绕y轴旋转时会产生系统误差,且误差会随着光栅常数和旋转角度的增大而增大;反射镜绕y轴旋转时,只有当两反射镜的旋转角度不同时才会产生误差,且误差会随着两反射镜旋转角度的增大而增大。对整个系统进行误差合成后得到:在高装配级别下,未定系统误差为±3.12µm;在一般级别下,未定系统误差为±17.75µm。通过该实验验证了理论仿真的正确性,为利特罗型光栅干涉仪的系统优化设计提供了技术参考与理论支持。
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关键词
光栅干涉仪
利特罗型
误差分析
光程差
精密位移测量
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Keywords
grating interferometer
littrow type
error analysis
optical path difference
precision displacement measurements 0引言
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
TH115
[机械工程—机械设计及理论]
TH74
[机械工程—光学工程]
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