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基于条纹结构光特征提取的三维重建方法
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作者 吴福培 彭俊龙 +1 位作者 乐聪 李昇平 《计算机集成制造系统》 北大核心 2026年第2期609-616,共8页
重建印刷电路板(PCB)元器件的表面三维形貌对检测其贴装质量具有重要意义。然而,因元器件表面特征和颜色分布的随机性,往往难以准确恢复其表面形貌。为此,提出一种基于条纹结构光特征提取的三维重建方法。首先,引入曝光系数并建立多重... 重建印刷电路板(PCB)元器件的表面三维形貌对检测其贴装质量具有重要意义。然而,因元器件表面特征和颜色分布的随机性,往往难以准确恢复其表面形貌。为此,提出一种基于条纹结构光特征提取的三维重建方法。首先,引入曝光系数并建立多重曝光图像合成规则,进而获取曝光均匀的编码图案,并建立十二步相移法求解其像素点的相对相位。其次,通过格雷码辅助编码法求解出目标的绝对相位。在此基础上,提出自适应相位滤波方法,进而结合邻近点相位对绝对相位异常点进行估计补偿,从而实现异常相位的修正。最后,结合标定结果重建PCB表面三维形貌。实验结果表明,所提方法可有效提高求解复杂表面相位的准确率,且能准确可靠地恢复PCB表面元器件的三维形貌,检验了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 三维重建 印刷电路板 结构光 格雷码 图像处理
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区间通过信号机并置场景设计分析
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作者 邢正阳 杨男 《科技创新与应用》 2026年第8期133-136,共4页
为提高线路的通过能力,区间通过信号机与线路所通过信号机并置设置时,标准闭塞电路和通用联锁软件无法满足运营和安全需求。结合线路所站型的特殊点,分析设计需求和通用设计间的差异、通用设计的特点,对继电电路和联锁软件进行特殊设计... 为提高线路的通过能力,区间通过信号机与线路所通过信号机并置设置时,标准闭塞电路和通用联锁软件无法满足运营和安全需求。结合线路所站型的特殊点,分析设计需求和通用设计间的差异、通用设计的特点,对继电电路和联锁软件进行特殊设计。该文以高尔山线路所为例,针对区间通过信号机与线路所通过信号机并置典型站型的设计需求,从信号显示、电码化编码等角度,分析并提出闭塞电路、点灯电路、电码化电路和联锁软件的设计方案,以为相同或类似场景的设计提供参考。 展开更多
关键词 区间信号机并置 红灯重复 容许信号 电码化 区间闭塞
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低光场景下考虑卷积生成对抗网络的人脸识别方法研究
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作者 徐学钰 《计算机应用文摘》 2026年第6期52-55,共4页
针对现有低光环境下人脸识别方法因图像模糊、细节丢失而导致识别准确率显著下降的问题,提出一种基于卷积生成对抗网络(Convolutional Generative Adversarial Network,CGAN)的低光人脸识别方法。该方法首先利用CGAN重建清晰人脸图像,... 针对现有低光环境下人脸识别方法因图像模糊、细节丢失而导致识别准确率显著下降的问题,提出一种基于卷积生成对抗网络(Convolutional Generative Adversarial Network,CGAN)的低光人脸识别方法。该方法首先利用CGAN重建清晰人脸图像,以缓解低光引起的图像模糊;其次通过鲁棒编码技术对重建图像进行修复,提升图像质量与抗干扰能力;进一步提取光照不变特征并编码为紧凑向量,增强特征对光照变化的适应性;最后通过计算特征相似度实现身份识别。实验结果表明,和3种现有方法相比,该方法在低光场景下具有更高的识别精度与鲁棒性,验证了其在复杂光照条件下的有效性和优越性。 展开更多
关键词 低光场景 CGAN 人脸识别 鲁棒编码 紧凑向量
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3D surface reconstruction based on binocular vision using structured light 被引量:1
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作者 MA Zhi-feng HAN Fu-hai WANG Teng-fei 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2016年第3期413-417,共5页
A 3D surface reconstruction method using a binocular stereo vision technology and a coded structured light,which combines a gray code with phase-shift has been studied.The accuracy of the 3 D surface reconstruction ma... A 3D surface reconstruction method using a binocular stereo vision technology and a coded structured light,which combines a gray code with phase-shift has been studied.The accuracy of the 3 D surface reconstruction mainly depends on the decoding of gray code views and phase-shift views.In order to find the boundary accurately,gray code patterns and their inverses are projected onto a human eye plaster model.The period dislocation between the gray code views and the phase-shift views in the course of decoding has been analyzed and a new method has been proposed to solve it.The splicing method is based on feature points.The result of the 3D surface reconstruction shows the accuracy and reliability of our method. 展开更多
关键词 3D surface reconstruction structured light gray code PHASE-SHIFT
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基于结构光双目视觉的腐蚀钢材表面三维重建 被引量:5
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作者 邢佶慧 魏妍婧 +2 位作者 胡灿昱 陈爱国 杨娜 《东南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期355-363,共9页
传统的检测方法通常无法实现对金属腐蚀形貌的高精度三维重建,探索一种既高效又精确的金属腐蚀形貌重建技术,是准确评估腐蚀金属构件断裂性能的重要前提。提出将双目结构光技术引入钢材腐蚀检测领域,采用互补格雷码技术结合4步相移法设... 传统的检测方法通常无法实现对金属腐蚀形貌的高精度三维重建,探索一种既高效又精确的金属腐蚀形貌重建技术,是准确评估腐蚀金属构件断裂性能的重要前提。提出将双目结构光技术引入钢材腐蚀检测领域,采用互补格雷码技术结合4步相移法设计条纹结构光编码图案,并求解相位。基于绝对差值求和(SAD)算法完成亚像素绝对相位的立体匹配,为补偿非线性相位误差提出了适用于4步相移法的被动校正法,结合主动相位误差补偿方法进行相位误差修正。对钢腐蚀样品进行重建,并与激光测量仪扫描结果进行对比。实验结果表明,样品的平均腐蚀深度测试相对误差在26.42%以下,证明了双目立体视觉三维重建系统重建腐蚀钢材表面的有效性。 展开更多
关键词 双目视觉 结构光 4步相移 互补格雷码 非线性相位误差补偿
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基于Light Fidelity在智慧环境的运用
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作者 陈虹旭 于川岳 +3 位作者 李晓坤 刘清源 孙怡然 董潍赫 《软件》 2020年第9期137-140,144,共5页
智慧环境,作为互联网技术与环境信息化技术的结合体,显然需要多种多样的信息与数据传输手段,将智慧环境与Light Fidelity技术相结合,更利于环境信息化管理。针对Light Fidelity在智慧环境运用过程中存在的"阴影效应"问题进行... 智慧环境,作为互联网技术与环境信息化技术的结合体,显然需要多种多样的信息与数据传输手段,将智慧环境与Light Fidelity技术相结合,更利于环境信息化管理。针对Light Fidelity在智慧环境运用过程中存在的"阴影效应"问题进行探讨与研究,提出基于Haar小波的DWT-OFDM的调制解决方案。同时,分析Polar Code在基于OOK技术的Light Fight通信运用中存在的优势,建立Light Fidelity在智慧环境中的通信系统模型,分析在总衰减系数不同的情况下,Light Fidelity的接收光功率与通信距离的变化关系,并采用加权系数法,优化Light Fidelity路径损耗的计算以及Light Fidelity在智慧环境中的通信性能。 展开更多
关键词 light Fidelity 智慧环境 Haar DWT-OFDM Polar code
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基于单目结构光的苹果三维重建与形态学参数测量
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作者 李斌 柳海彬 +3 位作者 欧阳尚韬 王观田 陈楠 刘燕德 《农业工程学报》 北大核心 2025年第23期135-142,共8页
针对传统苹果形态学参数测量方法效率低、易损伤果面及现有三维重建技术精度不足、成本高等问题,该研究提出一种基于单目条纹投影的苹果三维重建与形态学参数测量方法。通过结合相移码+格雷码组合编码技术实现单次投影亚毫米级精度点云... 针对传统苹果形态学参数测量方法效率低、易损伤果面及现有三维重建技术精度不足、成本高等问题,该研究提出一种基于单目条纹投影的苹果三维重建与形态学参数测量方法。通过结合相移码+格雷码组合编码技术实现单次投影亚毫米级精度点云重建对标准球进行重建,绝对误差为0.293 mm,相对误差仅为0.37%;结合旋转平台多视角扫描策略,采用ICP点云配准算法对不同视角下重建的点云进行拼接,恢复遮挡区域,构建完整苹果表面三维模型;对重建出的苹果完整点云进行分析,计算苹果的畸形指数、最大直径以及体积。系统采用单相机加投影仪架构,通过对标准球与平面进行重建验证其重建精度(标准球拟合均方根误差≤0.095 mm,平面误差0.387 mm)。在40个红富士苹果的实测中,畸形指数、最大直径及体积的预测结果与人工测量值拟合结果R^(2)分别达0.98、0.97和0.98,均方根误差为0.53%、0.98 mm和6.95 cm^(3)。相较于双目视觉系统不仅有更高的精度(体积测量相对误差1.09%)还降低了硬件成本,该方法为水果自动化分选提供了经济可靠的三维检测方案。 展开更多
关键词 三维重建 苹果 形态学参数 单目结构光 点云配准 条纹编码
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基于模板对齐与多阶段特征学习的光场角度重建
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作者 郁梅 周涛 +3 位作者 陈晔曜 蒋志迪 骆挺 蒋刚毅 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第2期530-540,共11页
现有光场图像角度重建方法通过探索光场图像内在的空间-角度信息以进行角度重建,但无法同时处理不同视点层的子孔径图像重建任务,难以满足光场图像可伸缩编码的需求。为此,将视点层视为稀疏模板,该文提出一种能够单模型处理不同角度稀... 现有光场图像角度重建方法通过探索光场图像内在的空间-角度信息以进行角度重建,但无法同时处理不同视点层的子孔径图像重建任务,难以满足光场图像可伸缩编码的需求。为此,将视点层视为稀疏模板,该文提出一种能够单模型处理不同角度稀疏模板的光场图像角度重建方法。将不同的角度稀疏模板视为微透镜阵列图像的不同表示,通过模板对齐将输入的不同视点层整合为微透镜阵列图像,采用多阶段特征学习方式,以微透镜阵列级-子孔径级的特征学习策略来处理不同输入的稀疏模板,并辅以独特的训练模式,以稳定地参考不同角度稀疏模板,重建任意角度位置的子孔径图像。实验结果表明,所提方法能有效地参考不同稀疏模板,灵活地重建任意角度位置的子孔径图像,且所提模板对齐与训练方法能有效地应用于其它光场图像超分辨率重建方法以提升其处理不同角度稀疏模板的能力。 展开更多
关键词 光场图像 角度重建 可伸缩编码 稀疏模板
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基于钙钛矿材料的太赫兹频率可调编码超表面研究
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作者 李依凡 杨贺 +6 位作者 杨睿 贾一鸣 胡家敏 娄存广 于宇 刘秀玲 姚建铨 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期59-65,共7页
太赫兹波因其低能性、高透过性、抗干扰能力强、指纹性等独特特性,在探测、成像、雷达、军事防御等领域发挥着至关重要的作用,近年来得到了国内外学者的高度重视。但高成本和高损耗仍然是制约太赫兹调控发展的重要因素。钙钛矿材料具有... 太赫兹波因其低能性、高透过性、抗干扰能力强、指纹性等独特特性,在探测、成像、雷达、军事防御等领域发挥着至关重要的作用,近年来得到了国内外学者的高度重视。但高成本和高损耗仍然是制约太赫兹调控发展的重要因素。钙钛矿材料具有优异的光电学特性,且制备工艺简单,可大批量生产,成为制备太赫兹探测器最有潜力的材料之一。此外,钙钛矿易于调节的特性弥补了超表面难以调节的缺陷,满足了可调谐超表面的需求。将这两者结合起来,可以在光场下有效地调控太赫兹。本文设计了两种编码超表面,由有机-无机杂化钙钛矿CH_(3)NH_(3)PbI_(3)、聚酰亚胺和铝组成,并通过光场控制分别改变两种结构的工作频率,将结果与理论计算进行对比验证其效果。第一种结构可以通过光场调控,在宽带工作频率和高效工作效率之间选取。第二种结构仅工作在0.1 THz,可以通过光改变相位,使得原有结构相位出现反转,从而控制波束反射方向。在此基础上我们制备了器件并进行了验证。本文一定程度上填补了编码超表面在光场调控领域下的空白,为后续研究提供了一种思路。 展开更多
关键词 太赫兹 钙钛矿 编码超表面 光场调控
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面向增强随机访问的光场图像可伸缩编码
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作者 郭锴鸿 蒋刚毅 +1 位作者 陈晔曜 郁梅 《激光与红外》 北大核心 2025年第1期111-119,共9页
光场成像技术给用户提供了更高质量的沉浸式视觉体验,然而,由于其捕捉了大量的空间和角度信息,因此需要有效的编码方法来压缩光场图像庞大的数据量。在光场图像编码方法中,除了要注重压缩效率外,还需考虑其他重要因素,如随机访问和视口... 光场成像技术给用户提供了更高质量的沉浸式视觉体验,然而,由于其捕捉了大量的空间和角度信息,因此需要有效的编码方法来压缩光场图像庞大的数据量。在光场图像编码方法中,除了要注重压缩效率外,还需考虑其他重要因素,如随机访问和视口可伸缩性等。鉴于这些需求,本文提出一种新型的光场图像可伸缩编码方法,同时兼顾编码效率以及随机访问、可伸缩性等性能。首先,将光场图像子孔径阵列进行稀疏采样,在编码端将第五个视口层丢弃。其次,根据视点分层策略,对前四个视口层中的视点构建不同的多参考帧预测关系进行编码;在解码端通过视点合成网络对第五个视口层中的视点进行合成,从而实现光场图像的压缩以及视口可伸缩性。实验结果表明,相较于JPEG Pleno通用测试标准中所提出的JPEG Pleno Anchor,真实场景下的BDBR减少了16.166%;合成场景下的BDBR减少了6.796%,并且提供了更有效的随机访问性能,在码率为0.75 bpp时,真实场景的相对随机访问惩罚平均18.91%,合成场景的相对随机访问惩罚平均为17.00%。所提方法实现了编码效率和随机访问性能的更佳平衡。 展开更多
关键词 光场图像编码 随机访问 可伸缩编码 视图合成
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基于互补格雷码结构光的陶瓷球缺陷无损检测
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作者 缪徐奕 汪韩蕾 +2 位作者 顾国庆 颜井意 杜建周 《盐城工学院学报(自然科学版)》 2025年第2期35-42,共8页
针对陶瓷球表面缺陷无损快速检测的需求,搭建了一套基于互补格雷码结构光技术的成像系统。通过自主搭建互补格雷码结构光平台,使用CCD相机采集陶瓷球表面缺陷,利用计算机对陶瓷球表面缺陷特征进行了分析,结合互补格雷码单目结构光点云... 针对陶瓷球表面缺陷无损快速检测的需求,搭建了一套基于互补格雷码结构光技术的成像系统。通过自主搭建互补格雷码结构光平台,使用CCD相机采集陶瓷球表面缺陷,利用计算机对陶瓷球表面缺陷特征进行了分析,结合互补格雷码单目结构光点云重建实现缺陷陶瓷球表面的三维形貌重构,最后通过对具有凹坑、划痕两种缺陷的陶瓷球进行了检测试验,并与经典的正弦条纹投影结构光技术进行了对比。结果证明,互补格雷码结构光技术在抑制陶瓷球表面高镜面反射干扰的同时,能够精准重构陶瓷球表面凹坑、划痕等缺陷的三维形貌,为陶瓷球表面缺陷检测及质量评估提供了重要参考。 展开更多
关键词 陶瓷球 缺陷检测 结构光 互补格雷码 三维重建
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量子密钥分发偏振编码45°偏振光生成方法研究
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作者 崔豆 孙晓洁 +2 位作者 刘爽 郑伟 王学锋 《宇航总体技术》 2025年第2期35-42,共8页
在星地量子密钥分发领域,信息的安全高效传输是构建天地一体化量子通信网络的核心诉求。为了实现这一目标,提高量子密钥分发中偏振编码的偏振对比度,确保光子偏振态精确产生,成为了亟待攻克的关键课题。研究设计了4种产生45°偏振... 在星地量子密钥分发领域,信息的安全高效传输是构建天地一体化量子通信网络的核心诉求。为了实现这一目标,提高量子密钥分发中偏振编码的偏振对比度,确保光子偏振态精确产生,成为了亟待攻克的关键课题。研究设计了4种产生45°偏振光的方式,即利用法拉第旋光镜、偏振控制器、保偏光纤转轴熔接、45°保偏光纤偏振分束器产生45°偏振光。分析了不同方式的旋光原理,对系统的旋光角度、偏振消光比、偏振稳定性进行了测试。实验结果表明,保偏光纤转轴熔接的方式偏振性能最优,可稳定产生45.41°的旋光,输出光的偏振消光比达到30 dB以上,偏振稳定性小于2°,可满足太空中量子密钥分发的设计要求,为星地间安全、高效的量子通信筑牢基础。 展开更多
关键词 量子密钥分发 相位调制偏振编码 45°偏振光
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基于斑点位置编码的多线结构光三维测量系统
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作者 陈存存 李小庆 徐玉华 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第8期1045-1051,共7页
针对多线结构光三维测量系统多线编号识别问题,文章提出一种新的合成编码方式,即投射一张编码斑点图和一张多线图,利用斑点分布对多线编、解码,实现多线编号识别。通过Unreal Engine 4仿真单目线结构光系统,验证该方法可行。利用投影仪... 针对多线结构光三维测量系统多线编号识别问题,文章提出一种新的合成编码方式,即投射一张编码斑点图和一张多线图,利用斑点分布对多线编、解码,实现多线编号识别。通过Unreal Engine 4仿真单目线结构光系统,验证该方法可行。利用投影仪和相机搭建基于斑点位置编码的多线结构光实物三维测量系统,进行实验,结果表明该系统在距离40 cm左右、不依靠对物体贴标志点即可完成对物体的三维测量,精度达0.1542 mm。 展开更多
关键词 线结构光 合成编码 Unreal Engine 4 三维测量
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基于结构光的低反射工件三维重建方法研究
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作者 贾军营 杨爽 +1 位作者 杨海波 李子琦 《激光杂志》 北大核心 2025年第4期88-96,共9页
结构光技术在工业三维视觉测量领域已得到广泛应用。由于表面反射率和环境光影响,低反射工件三维重建常常面临点云稀疏和平整度低等问题。因此,提出一种基于结构光的低反射工件三维重建改进方法。首先,采用双目结构光三维成像技术构建... 结构光技术在工业三维视觉测量领域已得到广泛应用。由于表面反射率和环境光影响,低反射工件三维重建常常面临点云稀疏和平整度低等问题。因此,提出一种基于结构光的低反射工件三维重建改进方法。首先,采用双目结构光三维成像技术构建了一个双导向相移融合模型。该模型对低反射目标区域进行曝光导向的图像融合,并生成掩膜对其他目标区域进行模板导向的相位融合。此外,针对低反射目标区域的格雷码图像编码错误,提出了一种改进区域加权滤波算法,以消除编码错误并抑制级次跳变误差。经实验分析和验证,该方法相较于其他方法在点云密度上平均提高了31.07%,点云平整度达到了0.9997,显著提升了低反射工件三维重建质量和精度。 展开更多
关键词 三维重建 结构光 低反射工件 格雷码 相位展开
原文传递
室内定位光通信平衡码编解码设计
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作者 姚迪昌 栾新源 艾佳铭 《光学技术》 北大核心 2025年第2期203-209,共7页
可见光通信定位技术在无线通信技术中极具发展潜力和应用前景;为了提高可见光通信(VLC)在室内定位的效率及其应用范围,研究构建了一种室内定位光通信平衡码编解码系统;系统首先基于LED灯具的特性,开发了一套光条形码编码系统,利用光信... 可见光通信定位技术在无线通信技术中极具发展潜力和应用前景;为了提高可见光通信(VLC)在室内定位的效率及其应用范围,研究构建了一种室内定位光通信平衡码编解码系统;系统首先基于LED灯具的特性,开发了一套光条形码编码系统,利用光信号的周期性特点进行数据传输。随后,引入了先进的YOLOv8算法对发出的循环可见光编码进行精确定位,实现对编码周期的精准捕捉。此外,系统还设计了一种包含倾斜矫正和误差修正技术的解码算法,用于优化对定位到的图片的解码过程,提升数据的准确性和稳定性。实验结果表明,基于YOLOv8算法的图像识别系统能够在0.324s的平均时间内快速且准确地识别和解析由LED灯发出的编码信号,解码效率较传统方法提高了1倍;本方法大幅提升拓宽了可见光通信室内定位系统的性能,有望在未来自动化系统中发挥重要作用,促进相关行业的技术进步和发展。 展开更多
关键词 信息光学 VLC YOLO 室内定位 可见光通信 光通信平衡码
原文传递
环境光照条件对飞机下视显示器色彩编码的影响研究
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作者 姜艺宁 陈晓皎 +4 位作者 戚温如 唐晓腾 吴笑天 王正宇 黄腾宇 《航空科学技术》 2025年第8期97-104,共8页
在复杂光照的飞行条件下,飞行员需要依赖下视显示器进行监控任务,其色彩编码合理性对飞行安全至关重要。本文针对飞机下视显示器在复杂环境光照条件下的色彩编码效果展开试验分析,旨在探讨不同光照条件对视觉搜索和目标检测任务绩效的... 在复杂光照的飞行条件下,飞行员需要依赖下视显示器进行监控任务,其色彩编码合理性对飞行安全至关重要。本文针对飞机下视显示器在复杂环境光照条件下的色彩编码效果展开试验分析,旨在探讨不同光照条件对视觉搜索和目标检测任务绩效的影响。通过选取清晨、正午(晴天与多云)、黄昏及黑夜5种典型光照条件,结合三种色彩类别(红色、绿色、黄色)及三档明度水平(黑暗、中等、明亮),模拟飞行任务场景。试验运用虚拟现实(VR)设备及眼动追踪技术,测量反应时间、正确率、瞳孔直径和眨眼频率等指标,评估环境光与色彩参数的主效应及交互效应对视觉功效的影响。结果表明,环境光强度及色彩明度对任务反应时间具有显著主效应,而正确率未表现出显著差异。此外,光照条件对瞳孔直径的影响显著,但未显著改变眨眼频率,说明环境光主要通过影响视觉负荷与感知机制作用于任务表现。研究揭示了光环境与色彩编码的独立作用机制,为飞机显示界面在不同光照条件下的色彩优化设计提供了设计参考。 展开更多
关键词 座舱显示器 人机交互界面 环境光照 航空人因学 色彩编码 人机工效
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面向灯光编程的音乐自动打点路径探索与实现——基于AI的音乐分析
17
作者 向诚 《演艺科技》 2025年第2期76-80,共5页
本文针对灯光编程中音乐节奏同步的实际需求,探讨了应用人工智能技术开发灯光音乐自动打点程序的方法与实践,分析了传统手动打点与现有专业软件的局限性,提出了分别面向节奏明确的灯光秀音乐与结构复杂的歌曲音乐的两种自动打点解决方... 本文针对灯光编程中音乐节奏同步的实际需求,探讨了应用人工智能技术开发灯光音乐自动打点程序的方法与实践,分析了传统手动打点与现有专业软件的局限性,提出了分别面向节奏明确的灯光秀音乐与结构复杂的歌曲音乐的两种自动打点解决方案。重点阐述了基于音乐波形、人声、乐器转换及结构分段等多维特征的自动打点逻辑设计,并介绍了以Python实现的程序流程及其与MA2灯光控台的集成应用。实践表明,该程序能有效提升灯光编程的效率和精准度,为人工智能在演艺工程领域的深度融合提供了有益探索。 展开更多
关键词 人工智能 音乐分析 自动打点 灯光编程 灯光控台MA2 时间码
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激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究 被引量:1
18
作者 敏琦 王国栋 +6 位作者 何朝伟 何思奇 卢海东 刘兴邦 武艳红 苏茂根 董晨钟 《物理学报》 北大核心 2025年第3期1-15,共15页
激光锡(Sn)等离子体光源是当前先进极紫外(EUV)光刻机中最为核心的分系统,其辐射出的13.5 nm附近2%带宽内的EUV光的功率值和稳定性是决定整个光刻机是否成功的关键指标之一,本文针对激光Sn等离子体光源这一复杂系统,开展了详细的关于等... 激光锡(Sn)等离子体光源是当前先进极紫外(EUV)光刻机中最为核心的分系统,其辐射出的13.5 nm附近2%带宽内的EUV光的功率值和稳定性是决定整个光刻机是否成功的关键指标之一,本文针对激光Sn等离子体光源这一复杂系统,开展了详细的关于等离子体状态参数分布以及EUV辐射光谱的数值模拟研究.首先基于细致能级模型,在局域热动平衡近似条件下计算得到了Sn等离子体在12—16 nm波段的辐射不透明度数据.随后利用激光等离子体辐射流体力学程序RHDLPP,分别模拟了纳秒激光脉冲作用于Sn平面固体靶和液滴靶所产生的等离子体的温度和电子密度等状态参数的分布.结合辐射不透明度数据和等离子体状态数据,利用光谱模拟后处理子程序SpeIma3D完成了平面靶等离子体的空间分辨EUV光谱以及液滴靶等离子体在60°观测角下的角分辨EUV光谱的模拟.最后,得到了液滴靶等离子体在13.5nm,2%带宽内的带内辐射强度随观测角度的变化规律.本文获得的所有等离子体状态参数分布和EUV光谱模拟结果与现有的实验结果具有很好的一致性,证明了RHDLPP程序在激光Sn等离子体EUV光源方面的模拟能力,相关结果可以为EUV光刻以及国产化EUV光源的研制提供一定的支持. 展开更多
关键词 极紫外光刻光源 激光锡等离子体 辐射流体力学程序 极紫外光谱
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结构光编码方法综述 被引量:25
19
作者 陈彦军 左旺孟 +1 位作者 王宽全 吴秋峰 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2010年第9期1856-1863,共8页
作为一种有效而可靠的三维重建和主动测量手段,结构光三维视觉技术得到越来越多的关注.在结构光三维视觉系统中,编码方法关系到投影图案与摄取的投影图像中对应点匹配的精度和速度,是快速准确地获取三维场景信息的关键.文中首先简要介... 作为一种有效而可靠的三维重建和主动测量手段,结构光三维视觉技术得到越来越多的关注.在结构光三维视觉系统中,编码方法关系到投影图案与摄取的投影图像中对应点匹配的精度和速度,是快速准确地获取三维场景信息的关键.文中首先简要介绍了编码结构光三维视觉的基本原理,并对近年来国内外提出的各种结构光编码方法进行了总体回顾.通过分类比较,分析了各种方法的优点和局限性.对今后编码方法的研究方向进行了展望. 展开更多
关键词 计算机视觉 结构光 编码图案 三维重建
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格雷码与相移结合的结构光三维测量技术 被引量:29
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作者 于晓洋 吴海滨 +1 位作者 尹丽萍 杨明极 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2152-2157,共6页
提出一种应用于结构光三维测量系统投射角求取的格雷码与相移结合的编码、解码方法。该方法首先利用相移图案,确保采样点的相位在(π,-π]范围内周期变化,再将该相位与采样点对应的格雷码结合得到绝对相位,最后将绝对相位在相位空间中... 提出一种应用于结构光三维测量系统投射角求取的格雷码与相移结合的编码、解码方法。该方法首先利用相移图案,确保采样点的相位在(π,-π]范围内周期变化,再将该相位与采样点对应的格雷码结合得到绝对相位,最后将绝对相位在相位空间中的位置线性映射到投射角空间,对其进行连续划分,从而确定采样点的投射角,最后依据三角法原理实现三维测量。本文具体介绍了编码、解码原理,分析了解码过程中格雷码和相移周期错位问题,并通过判断相邻像素点的格雷码值增加和相位突变是否一致进行了调整,给出了3dsMAX和MATLAB环境下的仿真重构实验结果。 展开更多
关键词 三维测量 结构光 格雷码 相移
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