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Optical and Magnetic Properties of Fe_2O_3/SiO_2 Nano-composite Films 被引量:2
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作者 关飞飞 姚兰芳 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2010年第2期206-209,共4页
Fe2O3/SiO2 nano-composite films were prepared by sol-gel technique combining heat treatment in the range of 100-900 ℃. The particle size was observed by FE-SEM. Optical properties of the films were investigated by UV... Fe2O3/SiO2 nano-composite films were prepared by sol-gel technique combining heat treatment in the range of 100-900 ℃. The particle size was observed by FE-SEM. Optical properties of the films were investigated by UV-visible spectra. Structural and magnetic characteristics were investigated through FT-IR and VSM. The transparency of the Fe2O3/SiO2 nano-composite films decreased with the content of the Fe2O3. Water and organic solvent in the films were evaporated with heat treatment, so the transparency of the films was enhanced under high temperature. It is also found that the saturation magnetization (Ms) of the films increases with the temperature. As the content of the Fe2O3 increases, when the content of the Fe2O3 is around 30wt%, the Ms of the films has a maximum value. 展开更多
关键词 sol-gel technique Fe2O3/sio2 nano-composite films MAGNETISM
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The effects of radiation damage on power VDMOS devices with composite SiO_2-Si_3N_4 films 被引量:1
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作者 高博 刘刚 +5 位作者 王立新 韩郑生 宋李梅 张彦飞 腾瑞 吴海舟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第3期393-398,共6页
Total dose effects and single event effects on radiation-hardened power vertical double-diffusion metal oxide semiconductor(VDMOS) devices with composite SiO2-Si3N4 film gates are investigated.The relationships amon... Total dose effects and single event effects on radiation-hardened power vertical double-diffusion metal oxide semiconductor(VDMOS) devices with composite SiO2-Si3N4 film gates are investigated.The relationships among the important electrical parameters of the samples with different thickness SiO2-Si3N4 films,such as threshold voltage,breakdown voltage,and on-state resistance in accumulated dose,are discussed.The total dose experiment results show that the breakdown voltage and the on-state resistance barely change with the accumulated dose.However,the relationships between the threshold voltages of the samples and the accumulated dose are more complex,and not only positively drift,but also negatively drift.At the end of the total dose experiment,we select the group of samples which have the smaller threshold voltage shift to carry out the single event effect studies.We find that the samples with appropriate thickness ratio SiO2-Si3N4 films have a good radiation-hardening ability.This method may be useful in solving both the SEGR and the total dose problems with the composite SiO2-Si3N4 films. 展开更多
关键词 power VDMOS device total dose effects single event effects composite sio2-si3N4 films
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Fe^(3+)-TiO_2/SiO_2光催化降解罗丹明B的研究 被引量:26
3
作者 王建强 辛柏福 +3 位作者 于海涛 任志宇 曲鹏飞 付宏刚 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1093-1096,共4页
以硅胶为载体 ,采用溶胶 -凝胶法制备了不同掺杂量的 Fe3 +-Ti O2 /Si O2 光催化剂 ,并采用 SEM,Raman和 DRS等手段对其进行了分析和表征 .以氙灯为光源 ,通过对可溶性染料罗丹明 B的降解反应 ,考察了 Fe3 +-Ti O2 /Si O2 催化剂的光催... 以硅胶为载体 ,采用溶胶 -凝胶法制备了不同掺杂量的 Fe3 +-Ti O2 /Si O2 光催化剂 ,并采用 SEM,Raman和 DRS等手段对其进行了分析和表征 .以氙灯为光源 ,通过对可溶性染料罗丹明 B的降解反应 ,考察了 Fe3 +-Ti O2 /Si O2 催化剂的光催化活性 ,探讨了光催化反应中溶液 p H值和起始浓度对催化反应的影响 . 展开更多
关键词 光催化降解 罗丹明B 光催化剂 硅胶 载体 二氧化钛 三价铁离子 溶胶-凝胶法 制备 光催化活性 有机污染物 染料
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SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料表面涂层的防潮性能和透波性能研究 被引量:11
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作者 李俊生 张长瑞 +2 位作者 王思青 曹峰 王衍飞 《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第1期5-7,10,共4页
SiO2/(Si3N4+BN)复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2/(Si3N4+BN)复合材料表面制备了防潮涂层,取得较好的防... SiO2/(Si3N4+BN)复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2/(Si3N4+BN)复合材料表面制备了防潮涂层,取得较好的防潮效果。涂装后SiO2/(Si3N4+BN)复合材料在40℃、90%的高温高湿条件下放置15d的吸水率约0.30%;在大气环境下(温度27-30℃,湿度45-60%)的吸水率小于0.01%。涂层对SiO2/(Si3N4+BN)复合材料的透波率影响较小,涂装后材料的透波率仍然能保持在85%以上。 展开更多
关键词 sio2/(si3N4+BN) 透波率 防潮涂层 吸水率
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无压烧结制备Si_3N_4/SiO_2复合材料 被引量:8
5
作者 徐常明 王士维 +1 位作者 黄校先 郭景坤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期935-938,共4页
以无压烧结工艺制备了Si3N4/SiO2复合材料.实验结果表明:Si3N4颗粒对石英基体的析晶起到了抑制作用和增韧补强作用.Si3N4含量为5vol%的样品在1370℃烧结2h后,抗弯强度达到96.2MPa,断裂韧性为2.4MPa·m1/2,介电常数和介电损... 以无压烧结工艺制备了Si3N4/SiO2复合材料.实验结果表明:Si3N4颗粒对石英基体的析晶起到了抑制作用和增韧补强作用.Si3N4含量为5vol%的样品在1370℃烧结2h后,抗弯强度达到96.2MPa,断裂韧性为2.4MPa·m1/2,介电常数和介电损耗分别在3.63-3.68和1.29-1.75×10-3之间. 展开更多
关键词 天线罩 无压烧结 si3N4/sio2复合材料 力学性能 介电性能
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稀土Pr对Al_2O_3-SiO_2(sf)/Al-Si复合材料力学性能的影响 被引量:5
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作者 谢勇 李文芳 +1 位作者 黄鹰 揭军 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期554-557,共4页
本文研究几种稀土Pr含量的硅酸铝短纤维增强铝硅复合材料在常温及 2 0 0℃下的拉伸性能 ,并对Pr元素的影响机理进行了深入探讨。结果表明 ,添加Pr元素可提高复合材料的强度和塑性 ,而对复合材料高温性能的改善更为明显。但Pr含量有一定... 本文研究几种稀土Pr含量的硅酸铝短纤维增强铝硅复合材料在常温及 2 0 0℃下的拉伸性能 ,并对Pr元素的影响机理进行了深入探讨。结果表明 ,添加Pr元素可提高复合材料的强度和塑性 ,而对复合材料高温性能的改善更为明显。但Pr含量有一定的范围 ,对室温性能有利的Pr含量在 0 2 %~ 0 3%左右 ,而在高温下 ,随Pr含量的提高 。 展开更多
关键词 稀土Pr A12O3-sio2(sf)/Al—si复合材料 力学性能 影响
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涂层对SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料力学、介电性能的影响 被引量:2
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作者 李俊生 张长瑞 +4 位作者 王思青 曹峰 曹英斌 王衍飞 姜勇刚 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期671-673,共3页
采用硅树脂作为SiO_2/(Si_3N_4+BN)复合材料涂层,并取得较好的防潮效果。将SiO_2/(Si_3N_4+BN)复合材料涂层后弯曲强度提高约27%左右;介电常数和介电损耗角正切变化分别为0.02和0.2×10^(-3)。
关键词 sio2/(si3N4+BN) 透波材料 介电性能 弯曲强度 防潮
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用于微机电系统的SiO_2/Si_3N_4驻极体的制备及电荷稳定性 被引量:2
8
作者 肖慧明 温中泉 +1 位作者 张锦文 陈钢进 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1297-1299,1303,共4页
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极... 驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响。结果表明,电晕充电后SiO2/Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小。 展开更多
关键词 驻极体 微型发电机 sio2/si3N4双层膜 电荷稳定性 微器件加工
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掺铂WO_3-SiO_2复合薄膜结构表征和气致变色性能研究 被引量:2
9
作者 徐雪青 沈辉 胡芸菲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1726-1728,共3页
采用溶胶 凝胶法制备WO3 SiO2 复合薄膜 ,对不同温度热处理的复合薄膜及单一组分薄膜的结构和气致变色性能进行了对比分析 .XRD分析结果表明 ,复合薄膜的晶化温度提高、晶化程度降低 ,存在一定的晶格畸变 ;IR分析结果表明 ,在热处理过... 采用溶胶 凝胶法制备WO3 SiO2 复合薄膜 ,对不同温度热处理的复合薄膜及单一组分薄膜的结构和气致变色性能进行了对比分析 .XRD分析结果表明 ,复合薄膜的晶化温度提高、晶化程度降低 ,存在一定的晶格畸变 ;IR分析结果表明 ,在热处理过程中复合薄膜氧化钨分子间不易缩合 ,分子结构对称性低、变形多 .性能测试结果表明 ,在复合薄膜中 ,WO3 与SiO2 之间的相界等结构缺陷为氢气提供扩散通道 。 展开更多
关键词 复合薄膜 结构 气致变色 氧化钨 二氧化硅
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Si/SiO_2及Si/SiO_2/Si_3N_4系统的总剂量辐射损伤 被引量:1
10
作者 范隆 郝跃 余学峰 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期433-436,共4页
从微观氧化物电荷、界面态的感生变化及界面态的能量分布变化的角度,比较并分析了3种采用54HC电路工艺制作的MOS电容样品的总剂量电离辐射损伤退化,结果显示,采用单绝缘栅介质的Si/SiO2系统的双绝缘栅介质的Si/SiO2/Si3N4系统表现出对... 从微观氧化物电荷、界面态的感生变化及界面态的能量分布变化的角度,比较并分析了3种采用54HC电路工艺制作的MOS电容样品的总剂量电离辐射损伤退化,结果显示,采用单绝缘栅介质的Si/SiO2系统的双绝缘栅介质的Si/SiO2/Si3N4系统表现出对总剂量辐射损伤的明显特性差异.在抗总剂量电离辐射能量上,双绝缘栅介质结构甚至劣于常规非加固工艺的单介质Si/SiO2系统结构.同时,对辐射感生界面态的能量分布随辐照总剂量的变化进行了分析,发现试验的3种样品都存在一类深能级界面态,位于中带以上约80meV的位置,该类界面态随辐照剂量的增加最明显. 展开更多
关键词 氧化物电荷 界面态 能量分布 MOS电容 总剂量辐射损伤 si/sio2 si/sio2/si3N4
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Si_3N_4/SiO_2复合栅介质电离辐照的电子能谱分析 被引量:1
11
作者 范隆 郝跃 +1 位作者 严荣良 陆妩 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期302-305,共4页
采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/S... 采用氩离子刻蚀X光激发电子能谱分析方法对Si3N4/SiO2/Si复合栅介质系统进行电离辐照剖析.实验结果表明存在一个由Si3N4和SiO2构成的界面区及由SiO2和Si构成的界面区,电离辐照能将SiO2/Si界面区中心向Si3N4/SiO2界面方向推移,同时SiO2/Si界面区亦被电离辐照展宽;电离辐照相当程度地减少位于SiO2/Si界面至Si衬底之间Si过渡态的浓度.在同样偏置电场中辐照,随着辐照剂量的增加SiO2/Si界面区中Si过渡态键的断开量也增加,同时辐照中所施偏置电场对SiO2/Si界面区Si过渡态键断开有显著作用.并对实验现象进行了机制分析. 展开更多
关键词 si3N4/sio2复合栅介质 电离辐照 X光激发电子能谱 氢离子刻蚀 si过渡态
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Si_3N_4和Si_3N_4/SiO_2驻极体薄膜的化学表面修正 被引量:3
12
作者 张晓青 夏钟福 潘永刚 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期564-567,共4页
采用补偿法对六甲基二硅胺烷 (hexamethyedisilane ,HMDS)和二氯二甲基硅烷 (dichlorodimethsiliane ,DCDMS)化学表面修正恒压电晕充电硅基氮化硅 (Si3N4)薄膜驻极体及氮化硅 /二氧化硅 (Si3N4/SiO2 )薄膜驻极体的电荷储存稳定性进行了... 采用补偿法对六甲基二硅胺烷 (hexamethyedisilane ,HMDS)和二氯二甲基硅烷 (dichlorodimethsiliane ,DCDMS)化学表面修正恒压电晕充电硅基氮化硅 (Si3N4)薄膜驻极体及氮化硅 /二氧化硅 (Si3N4/SiO2 )薄膜驻极体的电荷储存稳定性进行了比较性的研究 .实验结果表明 ,经过化学表面修正后 ,驻极体薄膜在高湿环境中的电荷储存稳定性显著提高 ;在低于 2 0 0℃时 ,HMDS和DCDMS化学表面修正的效果相当 ;DCDMS化学表面处理具有较高的耐热性 . 展开更多
关键词 化学表面修正 驻极体薄膜 电荷储存稳定性
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Si_3N_4结合SiC制品中SiO_2含量的测定 被引量:2
13
作者 曹海洁 梁献雷 《耐火材料》 CAS 北大核心 2007年第3期236-236,240,共2页
关键词 sio2含量 碳化硅制品 测定方法 si3N4 siC 氮化硅 高温强度 抗热震性
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MEMS用Si台面及SiO_2/Si衬底上3C-SiC的LPCVD生长(英文)
14
作者 孙国胜 王雷 +4 位作者 巩全成 高欣 刘兴日方 曾一平 李晋闽 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期982-985,976,共5页
本文报道用在S i台面及热氧化S iO2衬底上3C-S iC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为S iH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、以及室温Hall测试对所生长的3C-S iC材料进行了测... 本文报道用在S i台面及热氧化S iO2衬底上3C-S iC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为S iH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、以及室温Hall测试对所生长的3C-S iC材料进行了测试与分析,结果表明在3C-S iC和S iO2之间没有明显的坑洞形成。 展开更多
关键词 3C—siC LPCVD生长 si台面 sio2/si
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低温处理对Al_2O_3·SiO_(2f)/Al-10Si复合材料断裂性能的影响
15
作者 陈荐 赵渝渝 +3 位作者 刘颖 沈保罗 高升吉 涂铭旌 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期24-25,共2页
对经 - 196℃× 10min低温处理前后的Al2 O3·SiO2f/Al 10Si复合材料的断裂强度、伸长率、断裂韧度进行了研究。结果表明 ,由于复合材料纤维及基体残余应力的变化 ,处理后 ,复合材料的断裂强度有所降低 ,而伸长率及断裂韧度有... 对经 - 196℃× 10min低温处理前后的Al2 O3·SiO2f/Al 10Si复合材料的断裂强度、伸长率、断裂韧度进行了研究。结果表明 ,由于复合材料纤维及基体残余应力的变化 ,处理后 ,复合材料的断裂强度有所降低 ,而伸长率及断裂韧度有大幅度提高。 展开更多
关键词 Al2O3·sio2f/Al-10si复合材料 低温处理 残余应力 断裂韧度
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脉冲激光沉积法在SiO_2/Si衬底上生长c轴取向LiTaO_3薄膜
16
作者 王新昌 叶志镇 +1 位作者 曹亮亮 赵炳辉 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期134-137,145,共5页
本文利用脉冲激光沉积法,系统研究了衬底温度和氧压对硅基LiTaO3薄膜质量及c轴取向性的影响,结果表明衬底温度和氧压对LiTaO3薄膜的c轴取向性及结晶质量有很大的影响,在650℃、30Pa时可以生长出高c轴取向LiTaO3薄膜。采用扫描电镜和原... 本文利用脉冲激光沉积法,系统研究了衬底温度和氧压对硅基LiTaO3薄膜质量及c轴取向性的影响,结果表明衬底温度和氧压对LiTaO3薄膜的c轴取向性及结晶质量有很大的影响,在650℃、30Pa时可以生长出高c轴取向LiTaO3薄膜。采用扫描电镜和原子力显微镜对最佳条件下制得薄膜的表面形貌进行了分析,发现薄膜表面光滑,晶粒尺寸均匀致密,薄膜表面粗糙度约为3.6nm。 展开更多
关键词 LiTaO3薄膜 sio2/si衬底 C轴取向 脉冲激光沉积
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Si_3N_4与TiO_2/SiO_2减反射膜用在单晶硅太阳电池的对比研究
17
作者 何京鸿 刘祖明 +1 位作者 李光明 张树明 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2010年第6期54-57,共4页
文章对比分析了Si3N4单层减反射膜与TiO2/SiO2双层减反射膜对单晶硅太阳电池性能的影响,发现Si3N4单层减反射膜单晶硅太阳电池短路电流Isc较高。并对这两种减反射膜的批量产品进行抽样检测,结果表明采用TiO2/SiO2双层减反射膜电池总体品... 文章对比分析了Si3N4单层减反射膜与TiO2/SiO2双层减反射膜对单晶硅太阳电池性能的影响,发现Si3N4单层减反射膜单晶硅太阳电池短路电流Isc较高。并对这两种减反射膜的批量产品进行抽样检测,结果表明采用TiO2/SiO2双层减反射膜电池总体品质(主要从效率看)相当于或略优于Si3N4单层减反射膜太阳电池,说明TiO2/SiO2双层减反射膜仍比较适于单晶硅太阳电池。 展开更多
关键词 si3N4 TIO2/sio2 减反射膜
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用Y_2O_3Al_2O_3SiO_2Si_3N_4钎料连接氮化硅复相陶瓷
18
作者 周飞 李志章 罗启富 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期514-518,共5页
研究了用Y2O3Al2O3SiO2Si3N4 钎料对氮化硅复相陶瓷的连接. 对连接界面进行SEM、EPMA和XRD分析.接头强度随着保温时间、连接温度的增加而逐渐增加. 在达到峰值后,连接强度逐渐降低.在YAS钎... 研究了用Y2O3Al2O3SiO2Si3N4 钎料对氮化硅复相陶瓷的连接. 对连接界面进行SEM、EPMA和XRD分析.接头强度随着保温时间、连接温度的增加而逐渐增加. 在达到峰值后,连接强度逐渐降低.在YAS钎料中添加氮化硅, 可以降低接头界面的热应力,改善接头强度. 微观分析表明:接头强度的变化主要与界面反应和界面孔洞损伤有关. 展开更多
关键词 氮化硅 复相陶瓷 氧氮玻璃 连接强度 钎料
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SiO_2-Si_3N_4栅介质膜陷阱特性的高频C-V分析
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作者 黄君凯 易清明 +2 位作者 刘伟平 钟雨乐 张坤 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期236-240,共5页
采用高频 C-V特性测试技术 ,研究由热氧化生成的超薄 Si O2 膜和低压化学汽相淀积法制备的非均匀结构 Si3N4膜 ,两者组成的栅介质膜的陷阱特性 (包括陷阱密度、能量和空间分布深度等参数 )。结果表明 :在栅复合膜陷阱电荷非稳态释放模... 采用高频 C-V特性测试技术 ,研究由热氧化生成的超薄 Si O2 膜和低压化学汽相淀积法制备的非均匀结构 Si3N4膜 ,两者组成的栅介质膜的陷阱特性 (包括陷阱密度、能量和空间分布深度等参数 )。结果表明 :在栅复合膜陷阱电荷非稳态释放模型下建立的高频 C-V理论及其分析方法 ,可以很好地表征实验曲线 。 展开更多
关键词 金属—氮化硅—二氧化硅—硅结构 存储陷阱分布 高频容—压特性 sio2—si3N4栅介质膜 陷阱特性 非挥发性存储器
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晶态Si_3N_4/非晶SiO_2同轴纳米线的电子显微学研究
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作者 尤力平 冉广照 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期277-277,共1页
关键词 si3N4 电子显微学 sio2 纳米线 同轴 场发射电子显微镜 非晶 晶态 微观组织结构
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