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LOCOS(局域硅氧化工艺)一种用于静电电机的微加工工艺
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作者 黄庆安 《电子器件》 CAS 1990年第2期51-51,共1页
本文给出了一种利用局域硅氧化工艺生产静电微米规模电机的新型工艺.这种电机的草图如(1)图所示,它基于五道掩膜工艺,简述如下,具有连续腐蚀到衬底的氮化硅层的淀积和光刻,硅的选择性氧化LOCOS,用于转子电刷的部分选择性氧化物的腐蚀。
关键词 微电机 静电 locos 微加工工艺
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0.5μm工艺CMOS有源像素传感器的总剂量辐射效应 被引量:13
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作者 汪波 李豫东 +4 位作者 郭旗 刘昌举 文林 孙静 玛丽娅 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期242-248,共7页
采用60Co-γ射线对某国产0.5μm CMOS N阱工艺CMOS有源像素传感器(APS)的整体电路和像素单元结构进行了电离总剂量辐射效应研究,重点考察了器件的饱和输出信号、像素单元输出信号、暗信号等参数的变化规律。随着辐射剂量的增大,饱和输... 采用60Co-γ射线对某国产0.5μm CMOS N阱工艺CMOS有源像素传感器(APS)的整体电路和像素单元结构进行了电离总剂量辐射效应研究,重点考察了器件的饱和输出信号、像素单元输出信号、暗信号等参数的变化规律。随着辐射剂量的增大,饱和输出信号逐渐减小且与像素单元饱和输出信号变化基本一致;暗信号随总剂量的增大而显著增大。研究结果表明,0.5μm工艺CMOS APS电离总剂量辐射效应引起参数退化的主要原因是光敏二极管周围的整个LOCOS(Local oxidation of silicon)隔离氧化层产生了大量的辐射感生电荷。 展开更多
关键词 电离总剂量辐射效应 CMOS有源像素传感器 饱和输出信号 像素单元结构 locos隔离
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隔离技术对SOI PMOSFET中空穴迁移率的影响 被引量:1
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作者 赵洪辰 海潮和 +1 位作者 韩郑生 钱鹤 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1345-1348,共4页
在 SIMOX和 Smart- cut SOI衬底上采用 L OCOS和 MESA隔离技术制备了部分耗尽 PMOSFET,虽然 L O-COS隔离器件的阈值电压较小 ,但其跨导和空穴迁移率明显小于 MESA隔离器件 .模拟表明 ,L OCOS场氧生长过程中 ,由于 Si O2 体积膨胀 ,在硅... 在 SIMOX和 Smart- cut SOI衬底上采用 L OCOS和 MESA隔离技术制备了部分耗尽 PMOSFET,虽然 L O-COS隔离器件的阈值电压较小 ,但其跨导和空穴迁移率明显小于 MESA隔离器件 .模拟表明 ,L OCOS场氧生长过程中 ,由于 Si O2 体积膨胀 ,在硅膜中形成较大的压应力 ,从而降低了空穴的迁移率 . 展开更多
关键词 locos MESA 迁移率 应力
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具有倾斜表面漂移区的SOI LDMOS的工艺设计 被引量:3
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作者 薛龙来 郭宇锋 +1 位作者 周井泉 孙玲 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期300-304,共5页
对一种具有倾斜表面漂移区SOI LDMOS的制造方法进行了研究,提出采用多窗口LOCOS法形成倾斜表面漂移区的新技术;建立了倾斜表面轮廓函数的数学模型,并开发了用于优化窗口尺寸和位置的计算机程序。TCAD 2-D工艺仿真验证了该技术的可行性... 对一种具有倾斜表面漂移区SOI LDMOS的制造方法进行了研究,提出采用多窗口LOCOS法形成倾斜表面漂移区的新技术;建立了倾斜表面轮廓函数的数学模型,并开发了用于优化窗口尺寸和位置的计算机程序。TCAD 2-D工艺仿真验证了该技术的可行性。设计了漂移区长度约为15μm的SOI LDMOS。数值仿真结果表明,与RESURF结构器件相比较,其漂移区电场近似为理想的常数分布,并且击穿电压提高约8%,漂移区浓度提高约127%。由此可见,VLT是一种理想的横向耐压技术。 展开更多
关键词 横向变厚度 SOL LDMOS locos
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基于LOCO-I算法的图像压缩比控制 被引量:1
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作者 陈益刚 邓家先 谢凯明 《电视技术》 北大核心 2015年第2期57-60,70,共5页
在认真研究LOCO-I算法的基础上,深入分析了失真控制参数Near对图像压缩比和重建质量的影响,通过对该算法中的Near进行实时动态调整,实现了对图像近无损压缩的压缩比控制,进而可以根据需求来控制图片大小进行压缩。仿真结果表明,提出的... 在认真研究LOCO-I算法的基础上,深入分析了失真控制参数Near对图像压缩比和重建质量的影响,通过对该算法中的Near进行实时动态调整,实现了对图像近无损压缩的压缩比控制,进而可以根据需求来控制图片大小进行压缩。仿真结果表明,提出的压缩比控制方案收敛性较好,输出码流稳定,在满足目标压缩比时重建图像质量较原一阶压缩比控制方案提高了0.5 d B左右。 展开更多
关键词 LOCO—I 失真控制参数 压缩比 重建图像质量
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Laser-Induced Single Event Transients in Local Oxidation of Silicon and Deep Trench Isolation Silicon-Germanium Heterojunction Bipolar Transistors 被引量:2
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作者 李培 郭红霞 +2 位作者 郭旗 张晋新 魏莹 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第8期204-207,共4页
We present a study on the single event transient (SET) induced by a pulsed laser in different silicon-germanium (SiGe) heterojunction bipolar transistors (HBTs) with the structure of local oxidation of silicon ... We present a study on the single event transient (SET) induced by a pulsed laser in different silicon-germanium (SiGe) heterojunction bipolar transistors (HBTs) with the structure of local oxidation of silicon (LOCOS) and deep trench isolation (DTI). The experimental results are discussed in detail and it is demonstrated that a SiGe HBT with the structure of LOCOS is more sensitive than the DTI SiGe HBT in the SET. Because of the limitation of the DTI structure, the charge collection of diffusion in the DTI SiGe HBT is less than that of the LOCOS SiGe HBT. The SET sensitive area of the LOCOS SiGe HBT is located in the eollector-substrate (C/S) junction, while the sensitive area of the DTI SiGe HBT is located near to the collector electrodes. 展开更多
关键词 locos DTI HBT Laser-Induced Single Event Transients in Local Oxidation of Silicon and Deep Trench Isolation Silicon-Germanium Heterojunction Bipolar Transistors
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PBL隔离技术
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作者 陈志勇 郑若成 徐政 《电子与封装》 2002年第5期21-23,64,共4页
本文介绍了 Polysilicon Buffered LOCOS(PBL)隔离工艺技术,与常规的 LOCOS 相比,PBL 只是在氧化层和氮化硅(SiN)之间加了一层多晶,用作缓冲层。缓冲层的引入,有效地减少了鸟嘴长度。
关键词 locos PBL 鸟嘴 多晶硅
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上海贝岭开发成功双极型1.2微米多晶发射极工艺平台
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《集成电路应用》 2003年第7期8-8,共1页
关键词 上海贝岭公司 双极型1.2微米多晶发射极工艺平台 晶体管 locos
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品味墨西哥 布拉格Burrito Loco快餐店
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作者 Studio Formafatal cheri 《室内设计与装修》 2018年第2期48-51,共4页
墨西哥是一个多彩的国度,从饰品、挂件,到各类摆设,都将色彩发挥到了极致。Burrito Loco是一家墨西哥风情的连锁快餐店,并有着悠久的历史。餐厅的所有者希望设计师为这一连锁餐厅设计独有的装饰风格,将典型的墨西哥风情融入其中,在未来... 墨西哥是一个多彩的国度,从饰品、挂件,到各类摆设,都将色彩发挥到了极致。Burrito Loco是一家墨西哥风情的连锁快餐店,并有着悠久的历史。餐厅的所有者希望设计师为这一连锁餐厅设计独有的装饰风格,将典型的墨西哥风情融入其中,在未来的连锁店铺内创造统一的风格符号。 展开更多
关键词 布拉格 墨西哥 Burrito Loco 快餐店
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基于二维数值仿真技术的局部场氧化形状建模
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作者 陈晓敏 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2012年第4期518-520,共3页
通过工艺仿真软件S-Tsuprem4对CMOS中常用的硅局部场氧化(local oxidation silicon,LOCOS)技术所生成的"鸟嘴"图形进行了仿真,提出了一种形状模型。随后利用最小二乘拟合法得到相对应的参数,拟合误差为7e-4,并最后以分段函数... 通过工艺仿真软件S-Tsuprem4对CMOS中常用的硅局部场氧化(local oxidation silicon,LOCOS)技术所生成的"鸟嘴"图形进行了仿真,提出了一种形状模型。随后利用最小二乘拟合法得到相对应的参数,拟合误差为7e-4,并最后以分段函数的方式给出了模型的表达式。该模型可以使"鸟嘴"结构更加方便应用于半导体器件的数值仿真和设计。 展开更多
关键词 工艺仿真 硅局部场氧化(locos) 形状模型 最小二乘拟合 分段函数
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Coupling measurement and correction at the SSRF storage ring 被引量:2
11
作者 ManZhou Zhang (1) Jie Hou (1) HaoHu Li (1) 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2011年第S2期201-206,共6页
Brightness is an important parameter for 3rd generation light source. Correcting the emittance coupling is a realistic way to increase brightness without any additional equipment in a machine under operation. The main... Brightness is an important parameter for 3rd generation light source. Correcting the emittance coupling is a realistic way to increase brightness without any additional equipment in a machine under operation. The main sources of emittance coupling are betatron coupling and vertical dispersion. At the SSRF storage ring, tune split and LOCO are used to measure the respective betatron and emittance coupling. Both of these sources can be corrected by skew quadrupoles. By measuring the skew quadrupole-coupling response matrix, betatron coupling can be changed from 0.014% to 2%. But the vertical dispersion changes at the same time. LOCO can find the suitable setting to correct simultaneously the betatron coupling and vertical dispersion. The emittance coupling can be reduced to 0.17% by this method. More simulations show the potential for smaller emittance coupling if more skew quadrupoles are employed. 展开更多
关键词 EMITTANCE COUPLING betatron COUPLING VERTICAL DISPERSION TUNE SPLIT LOCO
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Orbit response matrix analysis and lattice periodicity restoration of the SSRF storage ring 被引量:2
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作者 陈建辉 张满洲 赵振 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2009年第9期785-788,共4页
In this paper, we present numerically and experimentally the linear beam-optics distortion in the SSRF storage ring and the correction of optics by using a number of quadrupole magnets installed in the storage ring. T... In this paper, we present numerically and experimentally the linear beam-optics distortion in the SSRF storage ring and the correction of optics by using a number of quadrupole magnets installed in the storage ring. The measured orbit-response matrices were fitted to the model-response matrices to obtain the β and the dispersion functions in the storage ring. By readjusting the currents of quadrupole-magnet power supplies, we were able to successfully restore the optics parameters to values very close to the design ones, with rms deviations around 1%. This periodicity restoration is verified with the β function measurement. 展开更多
关键词 Shanghai synchrotron radiation facility (SSRF) orbit response matrix (ORM) Matlab middle layer (MML) linear optics from closed orbit (LOCO) periodicity restoration
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俄罗斯机车虚拟连挂技术在列车控制与管理方面的应用 被引量:2
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作者 张建平(译) 孟娜(校) 《国外铁道机车与动车》 2023年第2期14-16,20,共4页
俄罗斯Loco Tech-Signal(机车信号技术)公司开发的机车虚拟连挂技术将使俄罗斯列车运行发生革命性变化。文章介绍了该技术的研发现状和应用前景。
关键词 Loco Tech-Signal TMH公司 俄罗斯 虚拟连挂技术
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Analysis and correction of linear optics errors,and operational improvements in the Indus-2 storage ring
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作者 Riyasat Husain A.D.Ghodke 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2017年第8期130-142,共13页
Estimation and correction of the optics errors in an operational storage ring is always vital to achieve the design performance. To achieve this task, the most suitable and widely used technique, called linear optics ... Estimation and correction of the optics errors in an operational storage ring is always vital to achieve the design performance. To achieve this task, the most suitable and widely used technique, called linear optics from closed orbit(LOCO) is used in almost all storage ring based synchrotron radiation sources. In this technique, based on the response matrix fit, errors in the quadrupole strengths, beam position monitor(BPM) gains, orbit corrector calibration factors etc. can be obtained. For correction of the optics, suitable changes in the quadrupole strengths can be applied through the driving currents of the quadrupole power supplies to achieve the desired optics. The LOCO code has been used at the Indus-2 storage ring for the first time. The estimation of linear beam optics errors and their correction to minimize the distortion of linear beam dynamical parameters by using the installed number of quadrupole power supplies is discussed. After the optics correction, the performance of the storage ring is improved in terms of better beam injection/accumulation, reduced beam loss during energy ramping, and improvement in beam lifetime. It is also useful in controlling the leakage in the orbit bump required for machine studies or for commissioning of new beamlines. 展开更多
关键词 LOCO code beta-beat betatron coupling beam lifetime Indus-2 storage ring
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