期刊文献+
共找到26篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
LNO种子层对Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜性能的影响
1
作者 郭淑兰 李佳 王毅 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期39-41,共3页
采用溶胶-凝胶法制备了沉积在加入了LNO种子层Pt/Ti/Si O2/Si衬底上的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT)铁电薄膜,研究了LNO种子层对BNT薄膜性能的影响.XRD结果表明。XRD结果表明具有La Ni O3缓冲层的BNT薄膜仍为随机取向,且以(117)峰为最强,电... 采用溶胶-凝胶法制备了沉积在加入了LNO种子层Pt/Ti/Si O2/Si衬底上的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT)铁电薄膜,研究了LNO种子层对BNT薄膜性能的影响.XRD结果表明。XRD结果表明具有La Ni O3缓冲层的BNT薄膜仍为随机取向,且以(117)峰为最强,电滞回线形状也较好,在电压为15 V时剩余极化值Pr为25.5μc/cm2;制得的薄膜表面致密,颗粒大小均匀,粒径在100~150 nm之间;添加了La Ni O3缓冲层之后,BNT薄膜的疲劳特性和漏电流密度得到了很大的改善。 展开更多
关键词 薄膜 溶胶-凝胶法 lno种子层
原文传递
LNO薄膜电极的制备及其特性研究 被引量:3
2
作者 康晓旭 林殷茵 +4 位作者 汤庭鳌 钟宇 黄维宁 姜国宝 王晓光 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期317-319,共3页
 采用水基化学溶液涂布(water basedcoating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜。系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因。制备的LNO...  采用水基化学溶液涂布(water basedcoating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜。系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因。制备的LNO薄膜电阻率为1.77×10-3Ω·cm,且具有良好的形貌。以LNO为独立下电极,制备出了Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,通过其电滞回线和漏电特性的测试,可见制备的LNO薄膜可以很好地满足作为铁电电容电极的需要。 展开更多
关键词 lno薄膜 制备 铁电体 铁电存储器 氧化物电极 铁电电容
在线阅读 下载PDF
LNO薄膜的射频磁控溅射制备及其电学性能与红外吸收性能
3
作者 王震东 赖珍荃 +2 位作者 范定环 张景基 黄志明 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2005年第6期610-612,共3页
用磁控溅射法在S i(111)基片上以不同溅射功率沉积LaN iO3(LNO)薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500℃,10 m in)。使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分... 用磁控溅射法在S i(111)基片上以不同溅射功率沉积LaN iO3(LNO)薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500℃,10 m in)。使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分情况。分析发现:LNO薄膜经退火处理后,其中的N i/La的比值随着溅射功率增大而越接近理想比1:1,其导电性能也越好。另外,我们以相同工艺制备了不同厚度的LNO薄膜顶电极,四探针电阻测试仪和红外椭圆偏振光谱仪测试其电学与红外吸收性能,实验发现:(1)LNO薄膜的电阻率随膜厚的增加而降低,在大约300 nm厚时略又有增加趋势;(2)LNO薄膜的红外吸收系数随其厚度的增加而增加,且随红外波长的增大而减小。 展开更多
关键词 铁电薄膜 lno薄膜 射频磁控溅射 红外吸收
在线阅读 下载PDF
Structure and electrical properties of PZT/LNO/PT multilayer films on stainless steel substrates 被引量:1
4
作者 Zhao, Xuelian Jiang, Dan +1 位作者 Yu, Shengwen Cheng, Jinrong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第3期272-275,共4页
PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) ferroelectric thin films were deposited on LaNiO3 (LNO) by sol-gel method. The PbTiO3 (PT) seed layer was depos-ited between the LNO buffer layer and stainless steel (SS) substrate, which effect... PbZr0.53Ti0.47O3 (PZT) ferroelectric thin films were deposited on LaNiO3 (LNO) by sol-gel method. The PbTiO3 (PT) seed layer was depos-ited between the LNO buffer layer and stainless steel (SS) substrate, which effectively decreased the annealing temperature of LNO layer from 750 C to 650 C. X-ray diffraction (XRD) reveals that LNO layers with PT layer crystallize into a perovskite phase on annealing at 650 C for 10 min. PZT deposited on LNO buffer layer with PT seed layer exhibits good ferroelectric property. 展开更多
关键词 PT seed layer lno PZT ferroelectric thin films
在线阅读 下载PDF
在金属基片上以LNO为过渡层制备Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜的电性能(英文)
5
作者 郑萍 陆维 +1 位作者 杜文娟 孟中岩 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第3期374-378,331,共6页
采用溶胶-凝胶法和快速热处理工艺,分别以不锈钢(SS)和镍合金(NC)为基片,成功制备了表面均匀、无裂纹的锆钛酸铅(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,简写为PZT)薄膜。为了缓解金属基片与PZT薄膜之间由于晶格常数和热膨胀系数不同所造成的不匹配状态,... 采用溶胶-凝胶法和快速热处理工艺,分别以不锈钢(SS)和镍合金(NC)为基片,成功制备了表面均匀、无裂纹的锆钛酸铅(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,简写为PZT)薄膜。为了缓解金属基片与PZT薄膜之间由于晶格常数和热膨胀系数不同所造成的不匹配状态,引入了镍酸镧(LaNiO3,简写为LNO)薄膜作为过渡层。XRD和SEM结果表明,经过600oC下30min的晶化,PZT薄膜已经由无定型转化为钙钛矿相。以LNO为过渡层,在NC金属基片上制备的PZT薄膜具有较高的介电常数和较低的损耗(1kHz下ε=717,tanδ=0.08),较低的漏电流(50kV/cm下J=2.6×10-7A/cm2)以及较好的铁电性能(+Pr=90μC/cm2,-Pr=14μC/cm2,Ec=32.5kV/cm)。同时,在SS基片上,通过引入LNO过渡层,制备的PZT薄膜也具有比较好的性能。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 PZT LN0 金属基片 热处理 锆钛酸铅 制备
在线阅读 下载PDF
湿化学工艺导电性LaNiO_3薄膜的制备表征及应用 被引量:2
6
作者 彭焕英 殷明志 +1 位作者 杨亮亮 蒋迪波 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期401-407,共7页
为改进以醇盐为原料溶胶-凝胶制备LaNiO3(LNO)薄膜工艺中存在的诸多苛刻因素,本文以无机盐为原料,利用湿化学工艺在硅衬底上制备了LNO薄膜,La(NO3)3.6H2O和Ni(NO3)2.6H2O冰醋酸溶液通过配体交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,回流时用乙酸... 为改进以醇盐为原料溶胶-凝胶制备LaNiO3(LNO)薄膜工艺中存在的诸多苛刻因素,本文以无机盐为原料,利用湿化学工艺在硅衬底上制备了LNO薄膜,La(NO3)3.6H2O和Ni(NO3)2.6H2O冰醋酸溶液通过配体交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,回流时用乙酸酐(CH3 CO)2 O除硝酸根和结晶水,而乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸盐分子中的醋酸根而形成的M(OAc)n-x(AcAc)x(M=La3+或Ni2+)能部分水解形成M(OH)n-x(AcAc)x。该羟基金属离子通过羟基聚合并与甲基纤维素(MCL)形成线状结构LNO溶胶,易于成膜。LNO薄膜经过550-850℃/60min退火形成多晶膺立方钙钛矿结构,其晶格参数a=3.84。四引线法测定厚度0.6μmLNO薄膜电阻率与温度的变化在-163-150℃之间能符合ρ=ρ0+AT2关系式。在1KHz测试频率下,测得Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)(52/48)薄膜剩余极化强度Pr在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别为19.6和23.5μC.cm-2,矫顽场分别为76.1和85.1 kV.cm-1。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶工艺 LaNiO3薄膜 PZT/lno
在线阅读 下载PDF
稀土掺杂ZrO_2基热障涂层陶瓷材料研究进展 被引量:8
7
作者 宋希文 于海涛 +6 位作者 牛晓庆 谢敏 郭巍 赵鸣 安胜利 牟仁德 何利民 《内蒙古科技大学学报》 CAS 2009年第3期287-292,共6页
热障涂层用于燃气轮机的热端部件,不仅可以显著提高其使用温度,延长热端部件的使用寿命,而且提高了燃气轮机发动机的效率.介绍了稀土掺杂ZrO2基热障涂层的研究现状及发展趋势.结果表明LnO1.5-Ta2O5(或Nb2O5)-YSZ材料既可以提高传统YSZ... 热障涂层用于燃气轮机的热端部件,不仅可以显著提高其使用温度,延长热端部件的使用寿命,而且提高了燃气轮机发动机的效率.介绍了稀土掺杂ZrO2基热障涂层的研究现状及发展趋势.结果表明LnO1.5-Ta2O5(或Nb2O5)-YSZ材料既可以提高传统YSZ热障涂层的使用温度,而且也降低了其热导率.LnO1.5-Ta2O5(或Nb2O5)-YSZ材料可以作为热障涂层系统中陶瓷顶层的下一代候选材料. 展开更多
关键词 热障涂层 氧化钇部分稳定氧化锆 lno1.5-Ta2O5(或Nb2O5)-YSZ
在线阅读 下载PDF
非制冷红外探测器夹层厚膜工艺及介电性能研究
8
作者 范茂彦 姜胜林 +2 位作者 谢甜甜 张洋洋 张丽芳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1104-1107,1111,共5页
以钡、锶和锰醋酸盐为原料,采用新型溶胶-凝胶法制备锰掺杂4%mol、Ba/Sr分别为60/40、65/35和70/30的纳米粉体,均匀分散于组分相同的BST溶胶中,形成稳定的厚膜先体凝胶。浓度0.4mol/L钛酸钡凝胶薄膜种子层,作为不同组分厚膜之间的中间... 以钡、锶和锰醋酸盐为原料,采用新型溶胶-凝胶法制备锰掺杂4%mol、Ba/Sr分别为60/40、65/35和70/30的纳米粉体,均匀分散于组分相同的BST溶胶中,形成稳定的厚膜先体凝胶。浓度0.4mol/L钛酸钡凝胶薄膜种子层,作为不同组分厚膜之间的中间夹层。利用旋转涂覆工艺在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si复合底电极上,制备出厚度约为6~10μm的BST介电增强型夹层厚膜。XRD测试结果表明,650℃热处理2h后的夹层厚膜为单一钙钛矿相,750℃热处理后2h的夹层厚膜在室温、环境温度25℃、频率1kHz下相对介电常数εr和介质损耗tanδ分别约为1200和0.03,室温25℃附近较宽范围介温变化率>1.2%/℃;BST夹层厚膜无裂纹出现,表面平整,致密,是制备大阵列非制冷红外焦平面阵列(UFPA)的优选材料。 展开更多
关键词 红外 新型sol—gel技术 lno/Pt复合底电极 夹层厚膜 介电增强
在线阅读 下载PDF
集成铁电器件用LaNiO_3薄膜电极的结构与电学性能
9
作者 阮凯斌 伍广亨 +1 位作者 梁通 包定华 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期41-44,共4页
采用化学溶液沉积法在(100)Si,SiO2/Si,(100)Al2O3,(100)MgO,(100)SrTiO3(STO),(100)ZrO2等衬底上制备了LaNiO3(LNO)薄膜,研究了热处理温度对薄膜结构和电性能的影响.结果显示,衬底种类影响LNO薄膜的结晶,其中STO衬底上的LNO薄膜呈高a... 采用化学溶液沉积法在(100)Si,SiO2/Si,(100)Al2O3,(100)MgO,(100)SrTiO3(STO),(100)ZrO2等衬底上制备了LaNiO3(LNO)薄膜,研究了热处理温度对薄膜结构和电性能的影响.结果显示,衬底种类影响LNO薄膜的结晶,其中STO衬底上的LNO薄膜呈高a轴择优取向成长,且其电阻率最低,为0.87 mΩ.cm.而对于Si衬底上的LNO薄膜,随着热处理温度升高,晶粒尺寸增大,电阻率降低,在750℃时电阻率达到最低值(1.52 mΩ.cm),其后热处理温度的升高导致杂相的形成,电阻率反而上升.扫描电镜观察证实这些LNO薄膜光滑、致密、均匀且无裂纹.结果表明,制得的LNO薄膜可用作集成铁电薄膜器件的底电极. 展开更多
关键词 lno薄膜 化学溶液沉积法 电阻率
在线阅读 下载PDF
Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)籽晶层对Ca_(0.4)Sr_(0.6)Bi_4Ti_4O_(15)铁电薄膜的影响
10
作者 范素华 张丰庆 +1 位作者 于冉 王营营 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S1期10-12,共3页
用溶胶-凝胶法在Si(100)基片上沉积Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15/Bi3.25La0.75Ti3O12双层膜,薄膜置于空气气氛在退火炉中700℃退火处理。用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分别对薄膜的相结构、取向度和微观形貌进行表征,并测试了样品的电滞回线... 用溶胶-凝胶法在Si(100)基片上沉积Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15/Bi3.25La0.75Ti3O12双层膜,薄膜置于空气气氛在退火炉中700℃退火处理。用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分别对薄膜的相结构、取向度和微观形貌进行表征,并测试了样品的电滞回线。结果表明:与纯的Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15铁电薄膜相比,双层膜具有更高的a轴取向度,表面均匀致密无孔隙,多为球形晶粒,且晶粒尺寸约为80nm,并且具有较高的剩余极化强度Pr=13.34μC/cm2,对应的矫顽场强为68.32kV/cm;Bi3.25La0.75Ti3O12的引入对Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15铁电薄膜的形核生长和晶体学取向具有一定的促进作用,有利于样品的铁电性能。 展开更多
关键词 热处理温度 CSBT/lno薄膜 铁电性能
原文传递
LaNiO_3缓冲层对化学溶液法制备的Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜的结构与电学性能的影响
11
作者 刘爱云 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期422-426,共5页
采用化学溶液法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了92%Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-8%PbTiO3(PMNT)薄膜,对于在衬底上引入缓冲层LaNiO3(LNO)和没有引入缓冲层LNO所制备的PMNT薄膜结构及电学性能进行了比较和研究。X射线衍射测试结果表明:直接在Pt/TiO2... 采用化学溶液法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了92%Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-8%PbTiO3(PMNT)薄膜,对于在衬底上引入缓冲层LaNiO3(LNO)和没有引入缓冲层LNO所制备的PMNT薄膜结构及电学性能进行了比较和研究。X射线衍射测试结果表明:直接在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上所制备的PMNT薄膜含有大量的烧绿石相,且薄膜呈现高度的(111)择优取向;而当在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上引入LNO缓冲层后,所制备的PMNT薄膜是纯钙钛矿相,且薄膜呈现(100)择优取向。通过铁电和介电性能测试表明:当在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上引入缓冲层LNO后,所制备的PMNT薄膜的剩余极化和介电常数也都得到了较大提高。 展开更多
关键词 lno缓冲层 PMNT薄膜 烧绿石相
在线阅读 下载PDF
离子注入剥离铌酸锂单晶薄膜的Ar^+刻蚀研究 被引量:1
12
作者 方远苹 罗文博 +4 位作者 郝昕 白晓园 曾慧中 帅垚 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期674-677,共4页
通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和器件性能的衰减。该文提出了Ar^+刻蚀去除LNO单晶薄膜损伤层... 通过高能离子注入剥离制备的铌酸锂(LNO)单晶薄膜具备优良的电光、声光等性能,在射频器件、光波导等领域需求迫切。高能离子注入使LNO单晶薄膜表面存在损伤层,导致薄膜质量和器件性能的衰减。该文提出了Ar^+刻蚀去除LNO单晶薄膜损伤层的方法,基于高能离子注入仿真,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜分析了刻蚀参数对刻蚀速率、表面形貌的影响,并确定了LNO薄膜损伤层的刻蚀工艺参数。X线衍射分析表明,通过Ar^+刻蚀将LNO薄膜摇摆曲线半高宽减至接近注入前LNO单晶材料,压电力显微镜测试表明去除损伤层后的LNO单晶薄膜具备更一致的压电响应。 展开更多
关键词 铌酸锂(lno)单晶薄膜 表面损伤层 Ar^+刻蚀 晶体质量 压电性能
在线阅读 下载PDF
东亚地区闪电产生NO_X的时空分布特征 被引量:16
13
作者 周筠珺 郄秀书 袁铁 《高原气象》 CSCD 北大核心 2004年第5期667-672,共6页
利用NASA提供的2.5°×2.5°卫星闪电格点资料(1995—2002年),并根据纬度区分云闪和地闪后,对东亚地区(75°~155°E,0°~55°N)闪电产生NOX的时空分布进行分析,结果表明:闪电产生的NOX在东亚地区的年总... 利用NASA提供的2.5°×2.5°卫星闪电格点资料(1995—2002年),并根据纬度区分云闪和地闪后,对东亚地区(75°~155°E,0°~55°N)闪电产生NOX的时空分布进行分析,结果表明:闪电产生的NOX在东亚地区的年总产量平均值为2.30Tg,自南向北存在7个极值中心,它们分别集中于南部、中部和北部极值群内,三个极值群的最大值分别为16.4,12.7和5.46Bg/grid/yr。与该地区NOX的非闪电排放源相比较,闪电产生NOX的分布范围大,年产量约为非闪电源年排放总量的23%。闪电产生NOX的量在夏季最大,其区域性特征很明显。地球表面特性的差异造成了闪电产生的NOX在经度分布上存在较大的不平衡性。在气候冷暖交替月份的中低纬度地区闪电产生NOX的增加对强雷暴活动年闪电产生NOX的贡献最为明显。 展开更多
关键词 东亚地区 闪电产生的NOx 时空分布
在线阅读 下载PDF
电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响 被引量:9
14
作者 杜文娟 陆维 +1 位作者 郑萍 孟中岩 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2004年第3期289-293,共5页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47(PZT)铁电薄膜。研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响。(100)择优取的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/P... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47(PZT)铁电薄膜。研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响。(100)择优取的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高。PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%。 展开更多
关键词 PZT 铁电薄膜 微观结构 电性能 电极 疲劳 锆钛酸铅
在线阅读 下载PDF
Pb(Zr_(0.6)Ti_(0.4))O_3/LaNiO_3铁电电容的制备及其疲劳特性
15
作者 康晓旭 林殷茵 +4 位作者 汤庭鳌 王晓光 钟宇 黄维宁 姜国宝 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期617-621,共5页
以 L a Ni O3( L NO)为独立下电极 ,制备出 Au( Cr) / PZT/ L NO/ Si O2 结构的铁电电容 ,与使用 Pt下电极对比 ,其抗疲劳特性得到了极大的改善 .在 1MHz频率 10 V电压下 ,经过 10 1 1 次脉冲反转 ,其 ( P* - P^ )仅下降了 11%左右 ,这... 以 L a Ni O3( L NO)为独立下电极 ,制备出 Au( Cr) / PZT/ L NO/ Si O2 结构的铁电电容 ,与使用 Pt下电极对比 ,其抗疲劳特性得到了极大的改善 .在 1MHz频率 10 V电压下 ,经过 10 1 1 次脉冲反转 ,其 ( P* - P^ )仅下降了 11%左右 ,这主要是由于使用氧化物电极可以极大地降低 PZT与电极界面处的氧空位的形成和积聚 .通过不同频率和相同频率不同脉冲宽度条件下疲劳特性的测试 ,观察到随着测试频率的升高 ,抗疲劳特性也随之提高 ;在相同频率下 ,随着测试脉宽的加大 ,疲劳现象加剧 ;同时 。 展开更多
关键词 lno 氧化物电极 抗疲劳特性 频率 脉宽
在线阅读 下载PDF
基于锆钛酸铅薄膜的变形镜微致动器 被引量:3
16
作者 吴亚雷 刘爽 +3 位作者 刘芳 许晓慧 文莉 褚家如 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第2期142-145,共4页
以锆钛酸铅(PZT)薄膜作为驱动材料,制备了变形镜的微致动器阵列.使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真,得到了驱动器上电极尺寸、Si弹性层厚度等参数对致动器性能的影响,获得了最优化的致动器结构.以钙钛矿相的镍酸镧(LNO)作为PZT薄膜... 以锆钛酸铅(PZT)薄膜作为驱动材料,制备了变形镜的微致动器阵列.使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真,得到了驱动器上电极尺寸、Si弹性层厚度等参数对致动器性能的影响,获得了最优化的致动器结构.以钙钛矿相的镍酸镧(LNO)作为PZT薄膜在Pt衬底上生长的缓冲层,增强了PZT薄膜的(100)取向,减小了PZT薄膜的内部应力,提高了致动器的驱动性能.最终制备出的1μm厚PZT薄膜驱动的变形镜微致动器,在10 V直流电压的激励下,具有2.0μm的变形量.以PZT薄膜作为驱动材料制备的变形镜微致动器阵列,对变形镜致动器的微型化和系统集成度的提高具有重要意义. 展开更多
关键词 变形镜 微致动器 锆钛酸铅薄膜 镍酸镧
在线阅读 下载PDF
LaNiO_3凝胶薄膜微细图形的制备 被引量:2
17
作者 李大玉 高瑞芳 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2016年第2期259-261,共3页
采用溶胶-凝胶工艺,以Ni(Ac)_2、La(NO_3)_3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮(AcAc)为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-... 采用溶胶-凝胶工艺,以Ni(Ac)_2、La(NO_3)_3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮(AcAc)为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-凝胶直接感光法制备出LNO薄膜的微细图形。 展开更多
关键词 镍酸镧薄膜 微细加工 溶胶-凝胶直接感光法 微细图形
在线阅读 下载PDF
Leakage current characteristics of SrTiO_(3)/LaNiO_(3)/Ba_(0.67)Sr_(0.33)TiO_(3)/SrTiO_(3 )heterostructure thin films 被引量:1
18
作者 Yi Zhang Xiao-Yang Chen +6 位作者 Bin Xie Zhi Wang Ming-Jian Ding Qiao He Hang Ji Tao-Lan Mo Ping Yu 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第4期961-967,共7页
There is an urgent demand to explore new approaches of improving the electric breakdown strength of the ferroelectric thin-film capacitor without the degradation of the high dielectric constant.In this work,LaNiO_(3)/... There is an urgent demand to explore new approaches of improving the electric breakdown strength of the ferroelectric thin-film capacitor without the degradation of the high dielectric constant.In this work,LaNiO_(3)/Ba_(0.67)Sr_(0.33)TiO_(3)(LNO/BST) thin film and SrTiO_(3)(STO)/LNO/BST/SrTiO_(3)(STO) were prepared by using radio frequency(RF) magnetron sputtering technique and ultrathin STO insulator layers were inserted between the LNO/BST and metal electrodes(Au or Pt) to improve the electric breakdown strength and the leakage current of the LNO/BST thin film.X-ray diffraction(XRD) and scanning electron microscopy(SEM) investigations revealed that these multilayer thin films show compact,smooth and uniform morphologies.The leakage current density of STO/LNO/BST/STO thin film was decreased by one order of magnitude and breakdown strength of STO/LNO/BST/STO thin film was enhanced from 0.72 to 1.26 MV-cm-1compared with that of LNO/BST thin film.Moreover,the dielectric constant of the STO/LNO/BST/STO thin film keeps at the same level as that of LNO/BST thin film,and dielectric loss of the STO/LNO/BST/STO thin film was decreased slightly compared with that of LNO/BST thin film. 展开更多
关键词 lno/BST Interface engineering Breakdown strength Barrier layer SrTiO_(3)
原文传递
Thickness Effect on (La_(0.26)Bi_(0.74))_2Ti_4O_(11) Thin-Film Composition and Electrical Properties
19
作者 Hui-Zhen Guo An-Quan Jiang 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第2期66-70,共5页
Highly oriented(00l)(La_(0.26)Bi_(0.74))_2Ti_4O_(11 )thin films are deposited on(100) SrTiO_(3 )substrates using the pulsed laser deposition technique.The grains form a texture of bar-like arrays along S... Highly oriented(00l)(La_(0.26)Bi_(0.74))_2Ti_4O_(11 )thin films are deposited on(100) SrTiO_(3 )substrates using the pulsed laser deposition technique.The grains form a texture of bar-like arrays along Sr Ti O_3110directions for the film thickness above 350 nm,in contrast to spherical grains for the reduced film thickness below 220 nm.X-ray diffraction patterns show that the highly ordered bar-like grains are the ensemble of two lattice-matched monoclinic(La,Bi)_4Ti_3O_(12 )and TiO_(2 )components above a critical film thickness.Otherwise,the phase decomposes into the random mixture of Bi_2Ti_2O_(7 )and Bi_4Ti_3O_(4 )spherical grains in thinner films.The critical thickness can increase up to 440 nm as the films are deposited on LaNiO_3-buffered SrTiO_(3 )substrates.The electrical measurements show the dielectric enhancement of the multi-components,and comprehensive charge injection into interfacial traps between(La,Bi)_4Ti_3O_(12 )and TiO_(2 )components occurs under the application of a threshold voltage for the realization of high-charge storage. 展开更多
关键词 BI TI Thin-Film Composition and Electrical Properties lno LA
原文传递
Effects of LaNiO_3 Interlayer on the Microstructures and Electrical Properties of Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti_(0.99)Mn_(0.01)O_3 Multilayer
20
作者 洪学鹍 shao tan +4 位作者 shao xueyi wang tao 张德宝 liu yushen feng jinfu 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2016年第6期1280-1283,共4页
The aim of this work was to investigate the effects of low-resistivity interlayer on the physical properties of periodic Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti_(0.99)Mn_(0.01)O_3(BSTM) multilayers prepared by a chemical solutio... The aim of this work was to investigate the effects of low-resistivity interlayer on the physical properties of periodic Ba_(0.9)Sr_(0.1)Ti_(0.99)Mn_(0.01)O_3(BSTM) multilayers prepared by a chemical solution deposition method. A LaNiO_3(LNO) layer was inserted into the periodic BSTM multilayer artificially to form a sandwiched configuration of BSTM/LNO/BSTM. The capacitances at low frequencies(〈100 k Hz) of the sandwiched multilayer are significantly enhanced compared to that of the pure BSTM multilayer. The space charge accumulated at the LNO layer was proposed to explain the enhancement based on Maxwell-Wagner(M-W) model. However, LNO interlayer leads to an increase in the leakage current. A non-Ohmic conduction region is observed for BSTM/LNO/BSTM multilayer when the electric field exceeds 100 k V/cm. The results offer a new approach to achieve dielectric films with high dielectric constant. 展开更多
关键词 BSTM multilayers lno M-W model
原文传递
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部