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轻掺杂漏LDDMOS FET的BV_(DS)与低级击穿电压 被引量:1
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作者 余山 章定康 黄敞 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第1期36-38,共3页
本文对测试的LDD结构BV_(DS)和低级击穿电压进行了分析。结果表明,BV_(DS)与低级击穿电压的机理完全不一样,常规MOSFET的衬底电流解析式应用于LDD MOSFET时需要进行修正。
关键词 lddmosfet BVDS 击穿电压 MOS器件
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