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AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文) 被引量:2
1
作者 李永富 唐恒敬 +5 位作者 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期401-405,共5页
为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束... 为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间. 展开更多
关键词 扫描电容显微镜(SCM) 激光束诱导电流(lbic) 光生载流子扩散 保护环 INP/INGAAS
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利用LBIC技术对InGaAs平面结器件结区特性的研究 被引量:2
2
作者 张可锋 吴小利 +4 位作者 唐恒敬 乔辉 贾嘉 李雪 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期947-950,共4页
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测(LB IC)系统测试了... 室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测(LB IC)系统测试了平面结InGaAs(P-I-N)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在。从实验结果看,掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素,并利用得到的实验数据拟合求出了器件少子的扩散长度。 展开更多
关键词 lbic技术 INGAAS 探测器 光敏感区
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LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器 被引量:1
3
作者 张可锋 吴小利 +5 位作者 唐恒敬 吕衍秋 乔辉 贾嘉 李雪 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期23-27,共5页
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测... 室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测试了台面结和平面结InGaAs (p-i-n)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向收集效应是造成台面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素;而掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素. 展开更多
关键词 lbic技术 INGAAS 探测器 光敏感区
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室温短波碲镉汞结区的LBIC方法研究 被引量:10
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作者 贾嘉 陈贵宾 +1 位作者 龚海梅 李向阳 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期11-14,共4页
室温短波碲镉汞焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏面面积扩大的问题越来越突出.我们利用激光诱导电流 (LBIC)检测系统测试了室温短波碲镉汞n on ... 室温短波碲镉汞焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏面面积扩大的问题越来越突出.我们利用激光诱导电流 (LBIC)检测系统测试了室温短波碲镉汞n on p芯片的光响应分布,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向扩散收集效应是造成目前常规工艺形成的光伏器件光敏面面积扩大的主要因素. 展开更多
关键词 碲镉汞 短波 光敏 光伏探测器 列阵 室温 焦平面 芯片 测试 检测系统
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LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区 被引量:5
5
作者 吕衍秋 乔辉 +4 位作者 韩冰 唐恒敬 吴小利 李雪 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期708-710,共3页
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器... 利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区。 展开更多
关键词 激光诱导电流技术 INGAAS 探测器 串音 光敏感区
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碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术
6
作者 贾嘉 龚海梅 李向阳 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S1期209-215,共7页
介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测... 介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测.利用得到的数据可以推算出p-n结的扩散长度、结深和探测器的品质因子(R0A)及均匀性等许多参数.给出了碲镉汞一些典型参量的LBIC理论与实验结果,说明LBIC检测技术对碲镉汞材料与器件的特性表征起到了十分重要的作用. 展开更多
关键词 lbic技术 碲镉汞材料与器件 纳米级
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Suppression of extension of the photo-sensitive area for a planar-type front-illuminated InGaAs detector by the LBIC technique 被引量:1
7
作者 李永富 唐恒敬 +5 位作者 李淘 朱耀明 姜佩璐 乔辉 李雪 龚海梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期17-21,共5页
To suppress the extension of the photo-sensitive area of a planar-type InGaAs detector, the structure of the detector was modified, and the small-diffusion-area diffusion method, circle-type covering contact and guard... To suppress the extension of the photo-sensitive area of a planar-type InGaAs detector, the structure of the detector was modified, and the small-diffusion-area diffusion method, circle-type covering contact and guard-ring were introduced. The laser-beam-induced-current (LBIC) technique was used to study the photo responsive characteristics of the photo-sensitive area of different detector structures. It was indicated that, by modifying the size of the diffusion area, the width of the circle-type covering contact, the distance between the guard-ring and the photo-sensitive area and the working status of the guard-ring, extension of the photo-sensitive area could be effectively suppressed, and the detector photo-sensitive area could be exactly defined. 展开更多
关键词 InGaAs photodiode lbic planar type device photo-sensitive area
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HgCdTe器件中载流子扩散长度的硼离子注入效应研究 被引量:1
8
作者 陈贵宾 全知觉 +1 位作者 王少伟 陆卫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期595-598,共4页
报道了非直接接触、高分辨率的激光束诱导电流谱表征技术在检测半导体材料、器件工艺中的应用.研究结果表明:p型HgCdTe薄膜经硼离子注入后形成的n型区面积大于实际的离子注入区域;对不同注入剂量系列单元不同区域载流子扩散长度进行了提... 报道了非直接接触、高分辨率的激光束诱导电流谱表征技术在检测半导体材料、器件工艺中的应用.研究结果表明:p型HgCdTe薄膜经硼离子注入后形成的n型区面积大于实际的离子注入区域;对不同注入剂量系列单元不同区域载流子扩散长度进行了提取,表明n区载流子扩散长度随硼离子注入剂量增加而减小. 展开更多
关键词 离子注入 P-N结 激光束诱导电流谱(lbic) 扩散长度
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SiNx钝化256元InGaAs短波红外焦平面探测器
9
作者 唐恒敬 张可锋 +4 位作者 吴小利 王妮丽 陈新禹 李雪 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期424-427,共4页
为了改善器件的响应均匀性,通过优化台面制作与SiNx钝化工艺制备了高均匀性256元线列正照射InGaAs探测器,实现了该探测器与读出电路的互连,测试了器件的I-V特性、光谱响应、信号和噪声,并利用激光感生电流技术研究了探测器的串音和光敏... 为了改善器件的响应均匀性,通过优化台面制作与SiNx钝化工艺制备了高均匀性256元线列正照射InGaAs探测器,实现了该探测器与读出电路的互连,测试了器件的I-V特性、光谱响应、信号和噪声,并利用激光感生电流技术研究了探测器的串音和光敏感区的扩大问题。测试结果表明:在-0.5V偏压下,探测器的暗电流典型值约为0.9nA,平均峰值探测率为7.8×1011cm·Hz1/2·W-1,响应的不均匀性为4.8%。LBIC测试结果表明:光敏元区没有扩大,光敏元之间串音较小,并成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰。 展开更多
关键词 INGAAS 焦平面 探测器 lbic 非均匀性 串音 光敏区
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光诱导电流测试技术
10
作者 叶舟 韩培德 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期19-27,共9页
结合国内外对光诱导电流测试技术的研究和应用,为了更深入了解这项技术,对模型做了较为细致的介绍。综合介绍系统构造、原理、信号的影响因素、两种测试模式(侧向模式、标准模式)的模型及其应用。为今后LBIC技术的使用和发展打下基础。
关键词 lbic 太阳电池 侧向模式 标准模式 扫描
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激光束诱导电流在HgCdTe双色探测器工艺检测中的应用 被引量:6
11
作者 叶振华 胡晓宁 +4 位作者 蔡炜颖 陈贵宾 廖清君 张海燕 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期459-462,共4页
报道了激光束诱导电流(LB IC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LB IC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LB IC,获得了p型HgCdTe材料因不同能... 报道了激光束诱导电流(LB IC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LB IC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LB IC,获得了p型HgCdTe材料因不同能量的等离子体干法刻蚀诱导的刻蚀台面侧壁工艺损伤形成的n区横向分布,并得到了n区横向宽度与等离子体能量的关系. 展开更多
关键词 激光束诱导电流 HGCDTE 干法刻蚀 双色探测器
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飞秒激光对P型碲镉汞打孔的形貌和PN结特性研究 被引量:4
12
作者 周松敏 查访星 +4 位作者 郭青天 殷菲 李茂森 马洪良 张波 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期337-341,共5页
激光束诱导电流(LBIC)检测实验表明,飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响,发现在较低的激光功率范围内,孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型... 激光束诱导电流(LBIC)检测实验表明,飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响,发现在较低的激光功率范围内,孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型层的厚度也与激光功率基本呈线性关系,但不同激光功率刻蚀所形成孔结构的LBIC信号强度的改变不大.另外,还研究了刻蚀激光在材料中聚焦深度对刻蚀孔LBIC信号的影响,发现该因素的影响并不明显. 展开更多
关键词 碲镉汞 PN结 激光束诱导电流 飞秒激光打孔
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Effect of de-trapping on carrier transport process in semi-insulating CdZnTe 被引量:1
13
作者 郭榕榕 介万奇 +4 位作者 查钢强 徐亚东 冯涛 王涛 杜卓同 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期511-515,共5页
The effect of de-trapping on the carrier transport process in the CdZ'nTe detector is studied by laser beam-induced transient current (LBIC) measurement. Trapping time, de-trapping time, and mobility for electrons ... The effect of de-trapping on the carrier transport process in the CdZ'nTe detector is studied by laser beam-induced transient current (LBIC) measurement. Trapping time, de-trapping time, and mobility for electrons are determined directly from transient waveforms under various bias voltages. The results suggest that an electric field strengthens the capture and emission effects in trap center, which is associated with field-assisted capture and the Poole-Frenkel effect, respectively. The electron mobility is calculated to be 950 cm2/V-s and the corresponding electron mobility-lifetime product is found to be 1.32 × 10-3 cm2/V by a modified Hecht equation with considering the surface recombination effect. It is concluded that the trapping time and de-trapping time obtained from LBIC measurement provide direct information concerning the transport process. 展开更多
关键词 CDZNTE lbic de-trapping electron transport process mobility
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Effect of transient space-charge perturbation on carrier transport in high-resistance CdZnTe semiconductor
14
作者 Yu Guo Gang-Qiang Zha +3 位作者 Ying-Rui Li Ting-Ting Tan Hao Zhu Sen Wu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第11期304-307,共4页
The polarization effect introduced by electric field deformation is the most important bottleneck of CdZnTe detector in x-ray imaging. Currently, most of studies focus on electric field deformation caused by trapped c... The polarization effect introduced by electric field deformation is the most important bottleneck of CdZnTe detector in x-ray imaging. Currently, most of studies focus on electric field deformation caused by trapped carriers;the perturbation of electric field due to drifting carriers has been rarely reported. In this study, the effect of transient space-charge perturbation on carrier transport in a CdZnTe semiconductor is evaluated by using the laser-beam-induced current(LBIC) technique.Cusps appear in the current curves of CdZnTe detectors with different carrier transport performances under intense excitation, indicating the deformation of electric field. The current signals under different excitations are compared. The results suggest that with the increase of excitation, the amplitude of cusp increases and the electron transient time gradually decreases. The distortion in electric field is independent of carrier transport performance of detector. Transient space-charge perturbation is responsible for the pulse shape and affects the carrier transport process. 展开更多
关键词 CDZNTE TRANSIENT SPACE-CHARGE PERTURBATION laser-beam-induced current(lbic) technique carrier transport
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碲镉汞激光线刻蚀研究
15
作者 张赫 蒋鸿儒 潘晨博 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第10期1359-1362,共4页
飞秒激光对碲镉汞(HgCdTe)材料刻蚀形成PN结。文章进行了飞秒激光刻蚀试验,使用1 kHz飞秒激光在P型HgCdTe上刻蚀形成线刻蚀区域,并采用激光束诱导电流(laser beam induced current,LBIC)技术对刻蚀区域进行光电流性质探测。试验结果表明... 飞秒激光对碲镉汞(HgCdTe)材料刻蚀形成PN结。文章进行了飞秒激光刻蚀试验,使用1 kHz飞秒激光在P型HgCdTe上刻蚀形成线刻蚀区域,并采用激光束诱导电流(laser beam induced current,LBIC)技术对刻蚀区域进行光电流性质探测。试验结果表明,LBIC扫描信号的峰形表现出明显的方向性,刻线两侧的光电流信号存在明显差异。 展开更多
关键词 碲镉汞(HgCdTe) PN结 激光束诱导电流(lbic) 飞秒激光打孔 脉冲时间
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激光束诱导电流法提取HgCdTe光伏探测器的电子扩散长度 被引量:3
16
作者 殷菲 胡伟达 +5 位作者 全知觉 张波 胡晓宁 李志锋 陈效双 陆卫 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期7884-7890,共7页
由于得到HgCdTe扩散长度Lp的标准测试结构会损伤p-n结单元,实验中广泛采用激光束诱导电流(LBIC)提取的等效扩散长度L来代替Lp.本文通过二维数值模拟,分析了等效扩散长度L和扩散长度Lp的关系.二者的比例关系为L/Lp=1.1,该基本关系不受器... 由于得到HgCdTe扩散长度Lp的标准测试结构会损伤p-n结单元,实验中广泛采用激光束诱导电流(LBIC)提取的等效扩散长度L来代替Lp.本文通过二维数值模拟,分析了等效扩散长度L和扩散长度Lp的关系.二者的比例关系为L/Lp=1.1,该基本关系不受器件的关键参数如掺杂浓度、载流子寿命、载流子迁移率等的影响.最后将激光束诱导电流实验所获得的等效扩散长度L进行除1.1因子的修正,给出了实际HgCdTe光伏器件中的电子扩散长度. 展开更多
关键词 碲镉汞 激光束诱导电流 扩散长度
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