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表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状
被引量：
5
1
作者
高志山
陈进榜
《光学仪器》
1999年第6期36-42,共7页
追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。
关键词
干涉显微镜
干涉检验
微观形貌
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职称材料
题名
表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状
被引量：
5
1
作者
高志山
陈进榜
机构
南京理工大学电光学院
出处
《光学仪器》
1999年第6期36-42,共7页
基金
南京理工大学发展基金资助
文摘
追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。
关键词
干涉显微镜
干涉检验
微观形貌
Keywords
interferometric microscope
,
interferometry test
,
microtopography.
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TH741.3 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状
高志山
陈进榜
《光学仪器》
1999
5
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引证文献
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