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InAs/GaInSb应变层超晶格材料的界面结构
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作者 邱永鑫 李美成 赵连城 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1316-1319,1323,共5页
介绍了InAs/GaInSb应变层超晶格材料的界面结合类型及其对材料界面结构和光电性能的影响,分析了在超晶格界面处的原子置换和扩散现象。同时,总结了分子束外延生长过程中控制InAs/GaInSb超晶格界面结构的生长工艺,指出采用原子迁移增强(M... 介绍了InAs/GaInSb应变层超晶格材料的界面结合类型及其对材料界面结构和光电性能的影响,分析了在超晶格界面处的原子置换和扩散现象。同时,总结了分子束外延生长过程中控制InAs/GaInSb超晶格界面结构的生长工艺,指出采用原子迁移增强(MEE)外延生长技术,可以有效地抑制界面处原子的置换和扩散现象。 展开更多
关键词 应变层超晶格 inas/gainsb 界面结构 分子束外延
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InAs/GaInSb超晶格薄膜结构与电学性能 被引量:1
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作者 陈道明 国凤云 +2 位作者 张新建 白贵元 赵连城 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1252-1257,共6页
采用分子束外延(MBE)方法,调节生长温度、Ⅴ/Ⅲ束流比等参数在(001)GaAs衬底上生长了InAs/GaInSb超晶格薄膜。结果表明:InAs/GaInSb超晶格薄膜的最佳生长温度在385~395℃,Ⅴ/Ⅲ束流比为5.7∶1~8.7∶1。高能电子衍射仪(RHEED)原位观测到... 采用分子束外延(MBE)方法,调节生长温度、Ⅴ/Ⅲ束流比等参数在(001)GaAs衬底上生长了InAs/GaInSb超晶格薄膜。结果表明:InAs/GaInSb超晶格薄膜的最佳生长温度在385~395℃,Ⅴ/Ⅲ束流比为5.7∶1~8.7∶1。高能电子衍射仪(RHEED)原位观测到清晰的GaAs层(4×2)、GaSb层(1×3)和InAs层(1×2)再构衍射条纹。获得的超晶格薄膜结构质量较好。随着温度的升高,材料的载流子浓度和迁移率均上升。 展开更多
关键词 inas/gainsb 超晶格薄膜 分子束外延
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Broadband Telecom Single-Photon Emissions from InAs/InP Quantum Dots Grown by MOVPE Droplet Epitaxy
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作者 Shichen Zhang Li Liu +6 位作者 Kai Guo Xingli Mu Yuanfei Gao Junqi Liu Fengqi Liu Quanyong Lu Zhiliang Yuan 《Chinese Physics Letters》 2026年第1期37-43,共7页
The development of quantum materials for single-photon emission is crucial for the advancement of quantum information technology.Although significant advancements have been witnessed in recent years for single-photon ... The development of quantum materials for single-photon emission is crucial for the advancement of quantum information technology.Although significant advancements have been witnessed in recent years for single-photon sources in the near-infrared band(λ∼700–1000 nm),several challenges have yet to be addressed for ideal single-photon emission at the telecommunication band.In this study,we present a droplet-epitaxy strategy for O-band to C-band single-photon source-based semiconductor quantum dots(QDs)using metal-organic vaporphase epitaxy(MOVPE).By investigating the growth conditions of the epitaxial process,we have successfully synthesized InAs/InP QDs with narrow emission lines spanning a broad spectral range of λ∼1200–1600 nm.The morphological and optical properties of the samples were characterized using atomic force microscopy and microphotoluminescence spectroscopy.The recorded single-photon purity of a plain QD structure reaches g^((2))(0)=0.16,with a radiative recombination lifetime as short as 1.5 ns.This work provides a crucial platform for future research on integrated microcavity enhancement techniques and coupled QDs with other quantum photonics in the telecom bands,offering significant prospects for quantum network applications. 展开更多
关键词 development quantum materials broadband telecom single photon emissions MOVPE droplet epitaxy inas InP quantum dots microcavity enhancement quantum dots qds using information technologyalthough
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Hybridization Gap and Edge States in Strained-Layer InAs/In_(0.5)Ga_(0.5)Sb Quantum Spin Hall Insulator
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作者 Wenfeng Zhang Peizhe Jia +4 位作者 Wen-kai Lou Xinghao Wang Shaokui Su Kai Chang Rui-Rui Du 《Chinese Physics Letters》 2026年第1期179-183,共5页
The hybridization gap in strained-layer InAs/In_(x)Ga_(1−x) Sb quantum spin Hall insulators(QSHIs)is significantly enhanced compared to binary InAs/GaSb QSHI structures,where the typical indium composition,x,ranges be... The hybridization gap in strained-layer InAs/In_(x)Ga_(1−x) Sb quantum spin Hall insulators(QSHIs)is significantly enhanced compared to binary InAs/GaSb QSHI structures,where the typical indium composition,x,ranges between 0.2 and 0.4.This enhancement prompts a critical question:to what extent can quantum wells(QWs)be strained while still preserving the fundamental QSHI phase?In this study,we demonstrate the controlled molecular beam epitaxial growth of highly strained-layer QWs with an indium composition of x=0.5.These structures possess a substantial compressive strain within the In_(0.5)Ga_(0.5)Sb QW.Detailed crystal structure analyses confirm the exceptional quality of the resulting epitaxial films,indicating coherent lattice structures and the absence of visible dislocations.Transport measurements further reveal that the QSHI phase in InAs/In_(0.5)Ga_(0.5)Sb QWs is robust and protected by time-reversal symmetry.Notably,the edge states in these systems exhibit giant magnetoresistance when subjected to a modest perpendicular magnetic field.This behavior is in agreement with the𝑍2 topological property predicted by the Bernevig–Hughes–Zhang model,confirming the preservation of topologically protected edge transport in the presence of enhanced bulk strain. 展开更多
关键词 strained layer quantum spin hall insulators qshis inas Ga Sb edge states quantum wells qws be controlled molecular beam epitaxial growth hybridization gap quantum spin Hall insulator
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基于GaAs界面的长波InAs/GaSb超晶格红外焦平面探测器研制
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作者 周旭昌 蒋志 +13 位作者 班雪峰 王海澎 孔金丞 邓功荣 岳彪 黄俊博 木迎春 雷晓虹 陈蕊 王海虎 陈杰 周艳 段碧雯 李淑芬 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期56-63,共8页
开展了基于GaAs界面的InAs/GaSb超晶格红外探测器材料和焦平面探测器研究。采用分子束外延(MBE)技术在InAs衬底上生长了高质量的PB1nB2N双势垒超晶格材料,通过GaAs界面的引入来提高了超晶格材料生长温度来改善材料晶体质量并降低暗电流... 开展了基于GaAs界面的InAs/GaSb超晶格红外探测器材料和焦平面探测器研究。采用分子束外延(MBE)技术在InAs衬底上生长了高质量的PB1nB2N双势垒超晶格材料,通过GaAs界面的引入来提高了超晶格材料生长温度来改善材料晶体质量并降低暗电流;同时通过结构设计将电场加载到宽带隙的电子和空穴势垒阻挡层,实现了窄带隙吸收层与耗尽区分离,减小产生-复合暗电流。采用ICP干法刻蚀技术制备出光滑台面,通过硫化/介质膜复合钝化技术实现了低侧壁漏电,研制出长波640×512焦平面探测器组件,截止波长为10.14μm,NETD达到17.8 mK,有效像元率达到99.89%,量子效率达到37%,成像验证展现出优良的光电性能。 展开更多
关键词 GaAs界面 inas/GASB超晶格 长波 焦平面
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中/长波双色1280×1024 InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器研究
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作者 刘铭 游聪娅 +11 位作者 任昂 程雨 张轶 王静 王晓乾 闫勇 周蕾 常发冉 徐应强 张烨 梁岩 王国伟 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第12期78-84,共7页
双色红外探测器利用不同波段的响应特性差异,可有效提高探测识别能力。文中报道了中/长波双色超晶格红外探测器研究结果。探测器采用两个超晶格PN结二极管以背靠背形式形成PN-N P的叠层外延结构。双波段信号通过偏压调节顺序读出。通过... 双色红外探测器利用不同波段的响应特性差异,可有效提高探测识别能力。文中报道了中/长波双色超晶格红外探测器研究结果。探测器采用两个超晶格PN结二极管以背靠背形式形成PN-N P的叠层外延结构。双波段信号通过偏压调节顺序读出。通过台面制备、表面钝化、电极生长、倒装互连、衬底减薄等制备工艺,研制出了阵列规格1280×1024、像元中心距15μm×15μm中/长波双色超晶格红外探测器组件。经测试,探测器中波和长波的50%截止波长分别为4.99μm和9.53μm,在F/2、77 K条件下中波和长波噪声等效温差(NETD)分别达到18.9 m K和27.6 mK。中波和长波成像质量良好,双波段差异对比清晰,体现了中/长波双波段探测成像的优势。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 双色 焦平面阵列 inas/GASB
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Ⅱ型超晶格InAs/GaInSb红外探测材料
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作者 殷景志 高福斌 +6 位作者 马艳 纪永成 赵强 王一丁 汤艳娜 索辉 杜国同 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期754-756,761,共4页
综述了近年来对InAs/GaInSb Ⅱ型超晶格材料的研究结果,给出了禁带宽度与各层厚度和组分的关系。InAs/GaInSb Ⅱ型超晶格材料对应的工作波长范围在3—25μm,有望在LWIR和VLWIR方面替代HgCdTe。
关键词 inas/GalnSb Ⅱ型超晶格 红外 探测器
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基于仿真的势垒型中波InAs/InAsSb二类超晶格红外探测器性能优化研究 被引量:1
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作者 谢宁 祝连庆 +2 位作者 刘炳锋 娄小平 董明利 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期178-186,共9页
为提高势垒型中波InAs/InAsSb二类超晶格红外探测器器件性能,研究并设计了nBn势垒型InAs/InAsSb器件结构。针对InAs/InAsSb红外探测器器件结构特征,分析了暗电流的主导机制和能带特性,采用基于泊松方程、连续性方程和热方程的数值计算方... 为提高势垒型中波InAs/InAsSb二类超晶格红外探测器器件性能,研究并设计了nBn势垒型InAs/InAsSb器件结构。针对InAs/InAsSb红外探测器器件结构特征,分析了暗电流的主导机制和能带特性,采用基于泊松方程、连续性方程和热方程的数值计算方法,通过精确调控吸收层掺杂、势垒层掺杂、势垒层厚度、温度和组分等,构建出高能量势垒以有效阻挡多数载流子,允许少数载流子迁移,实现价带偏移(Valence Band Offset,VBO)接近于零的要求,从而有效降低暗电流。研究结果表明,在1×10^(15)~1×10^(17)cm^(-3)范围内降低势垒层掺杂浓度,VBO和暗电流开启电压绝对值均会减小,当AlAs1-xSbx势垒中Sb组分为0.91时,VBO接近于零。对于吸收层,随着掺杂浓度的提高,暗电流呈现减小趋势,但趋势较不明显。在-0.5V偏压,140 K工作条件下,吸收层和势垒层掺杂浓度分别为1×10^(13)cm^(-3),1×10^(15)cm^(-3),吸收层与势垒层厚度分别为3μm,80 nm,得到器件结构参数优化后的暗电流低至4.5×10^(-7)A/cm^(2),证明InAs/InAsSb中波红外探测器具有高温工作的应用前景,可广泛应用于导弹预警、红外制导、航空航天等领域。 展开更多
关键词 中波红外探测器 inas/inasSb 暗电流 二类超晶格 势垒优化
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非均匀离散化有限差分法应用于InAs/GaSb超晶格微带计算
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作者 蒋志 周旭昌 +1 位作者 杨晋 孔金丞 《红外技术》 北大核心 2025年第11期1382-1389,共8页
基于k·p微扰理论的8带Kane模型和Lüttinger-Kohn模型是计算锑化物二类超晶格微带结构的有效手段,常用于锑化物二类超晶格材料和器件结构设计。在8带k·p模型基础上用非均匀离散化有限差分法构建长波InAs/GaSb超晶格和中波... 基于k·p微扰理论的8带Kane模型和Lüttinger-Kohn模型是计算锑化物二类超晶格微带结构的有效手段,常用于锑化物二类超晶格材料和器件结构设计。在8带k·p模型基础上用非均匀离散化有限差分法构建长波InAs/GaSb超晶格和中波InAs/GaSb超晶格的总矩阵。通过计算超晶格总哈密顿矩阵的本征值对超晶格在波矢空间的E-k关系进行数值求解,得到长波InAs/GaSb超晶格和中波InAs/GaSb超晶格在波矢空间高对称点附近的微带(mini-band)结构。其中中波和长波超晶格的有效带隙分别为0.247 eV和0.109 eV,与均匀网格离散化方案的计算结果一致,并与以相同超晶格结构作吸收层的器件100%截止波长测试结果一致。非均匀网格离散化方案与均匀网格离散化方案相比,在保证精算准确性的前提下,能显著提升InAs/GaSb超晶格微带结构的数值计算效率。 展开更多
关键词 inas/GASB超晶格 k·p模型 有限差分法 非均匀离散化
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中波InAs/InAsSb超晶格红外探测器设计及势垒外延优化制备
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作者 刘炳锋 祝连庆 +3 位作者 鹿利单 房晨 陈伟强 董明利 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期106-115,共10页
针对中波红外探测器在抑制暗电流、提升材料外延质量与优化势垒结构方面的关键问题,开展了基于InAs/InAsSb Ⅱ类超晶格材料的nBn势垒型中波红外探测器的设计与AlAsSb势垒层优化研究。采用k∙p能带理论模型对超晶格能带结构进行建模,系统... 针对中波红外探测器在抑制暗电流、提升材料外延质量与优化势垒结构方面的关键问题,开展了基于InAs/InAsSb Ⅱ类超晶格材料的nBn势垒型中波红外探测器的设计与AlAsSb势垒层优化研究。采用k∙p能带理论模型对超晶格能带结构进行建模,系统分析了InAs和InAsSb层的厚度及Sb组分比例对带隙的耦合调控机制,实现响应波长在3~5μm波段的精确覆盖。通过分子束外延技术制备了应变平衡的InAs/InAs_(0.6)Sb_(0.4)超晶格材料,HRXRD表征显示超晶格周期厚度偏差仅为2.46%,实现了高均匀性材料外延。构建了基于AlAsSb三元合金势垒层的完整nBn结构,并对AlAsSb层在385℃、400℃及420℃三种生长温度下进行表面形貌和结构特性优化,AFM与RSM结果表明400℃时表面粗糙度仅0.252 nm、位错密度及应变均达到最低。结合钝化工艺完成器件制备并对其在77 K及-0.6 V偏置条件下进行性能测试。结果表明,Al_(2)O_(3)钝化后器件暗电流密度降至5.30×10^(-6) A/cm^(2),RA值提升至4.13×10^(4)Ω·cm^(2);峰值探测率达8.35×10^(11) cm·Hz^(1/2)/W(λ_(peak)=4.49μm),50%截止波长5.00μm处D*为5.01×10^(11) cm·Hz^(1/2)/W。研究验证了所设计的势垒结构与外延工艺优化的可行性,为高性能中波红外Ⅱ类超晶格探测器在高工作温度和大面积阵列化应用中奠定了技术基础。 展开更多
关键词 inas/inasSb 分子束外延 二类超晶格 中波红外探测器 势垒结构
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低缺陷3 in中波InAs/InAsSb材料分子束外延工艺研究
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作者 闫勇 周朋 +3 位作者 游聪娅 刘铭 胡雨农 金姝沛 《红外》 2025年第4期11-19,共9页
通过改变材料源的束流大小和材料生长温度对3 in数字合金(Digital Alloy,DA)-nBn型InAs/InAs_(1-x)Sb xⅡ类超晶格材料进行分子束外延工艺研究。结果表明,当Sb束流大小为3×10^(-7)torr、生长温度为470℃时生长的材料质量最好,材料... 通过改变材料源的束流大小和材料生长温度对3 in数字合金(Digital Alloy,DA)-nBn型InAs/InAs_(1-x)Sb xⅡ类超晶格材料进行分子束外延工艺研究。结果表明,当Sb束流大小为3×10^(-7)torr、生长温度为470℃时生长的材料质量最好,材料表面上直径在3μm以上的缺陷密度为64 cm^(-2),总厚度偏差为8.16μm,材料相对于基准面的粗糙度均方根值为0.339 nm,-1级衍射卫星峰的半高宽为16 arcsec。所生长的材料平整均匀,具有较好的晶格质量。光致发光(Photo-luminescence,PL)光谱结果显示,材料在75 K下的发光峰位于4.69μm处;随着温度的升高,峰位产生红移。研究Sb束流大小与实验工艺的对应关系以及材料生长温度与材料缺陷的影响规律,对于生长高质量3 in InAs/InAs_(1-x)Sb xⅡ类超晶格材料具有重要意义。 展开更多
关键词 分子束外延 inas/inasSb GaSb衬底
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Effect of nitrogen incorporation and surface passivation on photoluminescence properties of InAs-based nanowires
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作者 Ratmir Ustimenko Danila Karaulov +5 位作者 Maxim Vinnichenko Ilya Norvatov Andrey Kaveev Vladimir Fedorov Ivan Mukhin Dmitry Firsov 《Journal of Semiconductors》 2025年第12期102-107,共6页
InAsN nanowires on InAs stems were obtained using plasma-assisted molecular beam epitaxy on a SiOx/Si(111)sub-strate.Also,heterostructured InAs/InAsN and InAsN/InP nanowires were grown in the core/shell geometry.In th... InAsN nanowires on InAs stems were obtained using plasma-assisted molecular beam epitaxy on a SiOx/Si(111)sub-strate.Also,heterostructured InAs/InAsN and InAsN/InP nanowires were grown in the core/shell geometry.In the low-temperature photoluminescence spectra of the grown structures,spectral features are observed that correspond to the polytypic structure of nanowires with a predominance of the wurtzite phase and parasitic islands of the sphalerite phase.It was shown that the interband photoluminescence spectral features of InAsN nanowires experience a red shift relative to the pristine InAs nanowires.The incorporation of nitrogen reduces the bandgap by splitting the conduction band into two subbands.The position of the spectral features in the photoluminescence spectra confirms the formation of a nitride solid solution with a poly-typic hexagonal structure,having a concentration of nitrogen atoms of up to 0.7%.Additional passivation of the nanowire surface with InP leads to a decrease in the intensity of nonradiative recombination and an improvement in the photoluminescent response of the nanowires,which makes it possible to detect photoluminescence emission at room temperature.Thus,by changing the composition and morphology of nanowires,it is possible to control their electronic structure,which allows varying the operating range of detectors and mid-IR radiation sources based on them. 展开更多
关键词 NANOWIRES PHOTOLUMINESCENCE inasN inas INP core/shell PASSIVATION
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Mid-wavelength infrared planar junction photodetector based on InAs/GaSb Type-Ⅱsuperlattices
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作者 Shihao Zhang Hongyue Hao +13 位作者 Ye Zhang Shuo Wang Xiangyu Zhang Ruoyu Xie Lingze Yao Faran Chang Yifan Shan Haofeng Liu Guowei Wang Donghai Wu Dongwei Jiang Yingqiang Xu Zhichuan Niu Wenjing Dong 《Journal of Semiconductors》 2025年第11期70-74,共5页
In this paper,a planar junction mid-wavelength infrared(MWIR)photodetector based on an InAs/GaSb type-Ⅱsuper-lattices(T2SLs)is reported.The Intrinsic-πMN superlattices was grown by the molecular beam epitaxy(MBE),fo... In this paper,a planar junction mid-wavelength infrared(MWIR)photodetector based on an InAs/GaSb type-Ⅱsuper-lattices(T2SLs)is reported.The Intrinsic-πMN superlattices was grown by the molecular beam epitaxy(MBE),followed with a ZnS layer grown by the chemical vapor deposition(CVD).The p-type contact layer was constructed by thermal diffusion in the undoped superlattices.The Zinc atom was successfully realised into the superlattice and a PπMN T2SL structure was con-structed.Furthermore,the effects of different diffusion temperatures on the dark current performance of the devices were researched.The 50%cut-off wavelength of the photodetector is 5.26μm at 77 K with 0 V bias.The minimum dark current density is 8.67×10^(−5) A/cm^(2) and the maximum quantum efficiency of 42.5%,and the maximum detectivity reaches 3.90×10^(10) cm·Hz^(1/2)/W at 77 K.The 640×512 focal plane arrays(FPA)based on the planner junction were fabricated afterwards.The FPA achieves a noise equivalent temperature difference(NETD)of 539 mK. 展开更多
关键词 inas/GaSb type-Ⅱsuperlattices planar photodetector mid-wavelength infrared zinc diffusion
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320×256元InAs/GaSb II类超晶格中波红外双色焦平面探测器 被引量:10
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作者 白治中 徐志成 +5 位作者 周易 姚华城 陈洪雷 陈建新 丁瑞军 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期716-720,共5页
报道了320×256元InAs/GaSb II类超晶格红外双色焦平面阵列探测器的初步结果.探测器采用PN-NP叠层双色外延结构,信号提取采用顺序读出方式.运用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料,双波段红外吸收区的超晶格周期结构分别为7 ... 报道了320×256元InAs/GaSb II类超晶格红外双色焦平面阵列探测器的初步结果.探测器采用PN-NP叠层双色外延结构,信号提取采用顺序读出方式.运用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料,双波段红外吸收区的超晶格周期结构分别为7 ML InAs/7 ML GaSb和10 ML InAs/10 ML GaSb.焦平面阵列像元中心距为30μm.在77 K时测试,器件双色波段的50%响应截止波长分别为4.2μm和5.5μm,其中N-on-P器件平均峰值探测率达到6.0×10^(10) cmHz^(1/2)W^(-1),盲元率为8.6%;P-on-N器件平均峰值探测率达到2.3×10~9 cmHz^(1/2)W^(-1),盲元率为9.8%.红外焦平面偏压调节成像测试得到较为清晰的双波段成像. 展开更多
关键词 inas/GASB 超晶格 双色 焦平面
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长波InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器 被引量:11
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作者 周易 陈建新 +5 位作者 徐庆庆 徐志成 靳川 许佳佳 金巨鹏 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期210-213,224,共5页
报道了50%截止波长为12.5μm的InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外探测器材料及单元器件.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.吸收区结构为15ML(InAs)/7ML(GaSb),器件采用PBIN的多层异质结构以抑制长波器件暗电流.在77K温度... 报道了50%截止波长为12.5μm的InAs/GaSb Ⅱ类超晶格长波红外探测器材料及单元器件.实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长超晶格材料.吸收区结构为15ML(InAs)/7ML(GaSb),器件采用PBIN的多层异质结构以抑制长波器件暗电流.在77K温度下测试了单元器件的电流-电压(Ⅰ-Ⅴ)特性,响应光谱和黑体响应.在该温度下,光敏元大小为100μm×100μm的单元探测器RmaxA为2.5Ωcm2,器件的电流响应率为1.29A/W,黑体响应率为2.1×109cmHz1/2/W,11μm处量子效率为14.3%.采用四种暗电流机制对器件反向偏压下的暗电流密度曲线进行了拟合分析,结果表明起主导作用的暗电流机制为产生复合电流. 展开更多
关键词 inas/GaSbⅡ类超晶格 长波12.5μm 暗电流
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InAs/GaSb超晶格中波焦平面材料的分子束外延技术 被引量:7
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作者 徐庆庆 陈建新 +3 位作者 周易 李天兴 吕翔 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期406-408,438,共4页
报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长技术研究.通过改变GaSb衬底上分子束外延InAs/GaSb超晶格材料的衬底温度,以及界面的优化等,改善超晶格材料的表面形貌和晶格失配,获得了晶格失配Δa/a=1.5×10-4,原子级平整表面的InA... 报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长技术研究.通过改变GaSb衬底上分子束外延InAs/GaSb超晶格材料的衬底温度,以及界面的优化等,改善超晶格材料的表面形貌和晶格失配,获得了晶格失配Δa/a=1.5×10-4,原子级平整表面的InAs/GaSb超晶格材料,材料77 K截止波长为4.87μm. 展开更多
关键词 inas/GASB 超晶格 分子束外延
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GaAs基GaSb体材料及InAs/GaSb超晶格材料的MBE生长 被引量:5
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作者 郝瑞亭 徐应强 +2 位作者 周志强 任正伟 牛智川 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1088-1091,共4页
采用分子束外延方法在GaAs(100)衬底上生长GaSb体材料,以此GaSb为缓冲层生长了不同InAs厚度的InAs/GaSb超晶格,其10K光致发光谱峰值波长在2.0~2.6μm.高分辨透射电子显微镜观察证实超晶格界面清晰,周期完整.
关键词 分子束外延 GAAS GASB inas/GASB超晶格
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InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料的ICP刻蚀 被引量:6
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作者 陈永远 邓军 +2 位作者 史衍丽 苗霈 杨利鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第2期433-437,共5页
分别采用Cl2/Ar和SiCl4/Ar作为刻蚀气体对InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料进行ICP(Inductively Couple Plasma)刻蚀。结果表明,两种刻蚀气体的刻蚀深度与刻蚀时间都呈线性关系;在2 mTorr气压下,RF功率为50 W,SiCl4流量为3 sccm,Ar为9 s... 分别采用Cl2/Ar和SiCl4/Ar作为刻蚀气体对InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料进行ICP(Inductively Couple Plasma)刻蚀。结果表明,两种刻蚀气体的刻蚀深度与刻蚀时间都呈线性关系;在2 mTorr气压下,RF功率为50 W,SiCl4流量为3 sccm,Ar为9 sccm时,刻蚀速率为100 nm/min,且与材料的掺杂浓度无关。实验还表明,SiCl4/Ar作为刻蚀气体时,Ar流量在很大范围内对刻蚀速率没用明显影响,但Ar的流量越大,刻蚀的均匀性越好;用Cl2/Ar作为刻蚀气体时,刻蚀速率也是100 nm/min,但Ar流量对刻蚀速率有影响:当Ar流量小于3 sccm时,刻蚀速率随Ar流量的减小而明显降低。 展开更多
关键词 ICP刻蚀 inas GASB 二类超晶格 SiCl4 AR CL2 AR
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InAs/GaSbⅡ型超晶格的拉曼和光致发光光谱 被引量:4
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作者 郭杰 孙维国 +3 位作者 彭震宇 周志强 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期278-281,共4页
采用分子束外延(MBE)技术,在GaSb(100)衬底上外延生长晶体结构完整和表面平整的Ⅱ型超晶格InAs(1.2nm)/GaSb(2.4nm)。拉曼光谱表明:随着温度从70K升高至室温,由于热膨胀作用和光声子散射过程中的衰减,超晶格纵光学声子拉曼频移向低波数... 采用分子束外延(MBE)技术,在GaSb(100)衬底上外延生长晶体结构完整和表面平整的Ⅱ型超晶格InAs(1.2nm)/GaSb(2.4nm)。拉曼光谱表明:随着温度从70K升高至室温,由于热膨胀作用和光声子散射过程中的衰减,超晶格纵光学声子拉曼频移向低波数方向移动5cm-1,频移温度系数约为0.023cm-1/K。光致发光(PL)峰在2.4~2.8μm,由带间辐射复合和束缚激子复合构成,2.55μmPL峰随温度变化(15~150K)发生微小红移,超晶格中InAs电子带与GaSb空穴带带间距随温度变化比体材料的禁带宽度小。PL发光强度在15~50K随温度升高而升高,在60~150K则相反,并在不同温度段表现出不同的温度依赖关系。 展开更多
关键词 超晶格 inas/GASB 拉曼光谱 光致发光 温度
原文传递
nBn型InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器光电特性研究 被引量:6
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作者 胡锐 邓功荣 +5 位作者 张卫锋 何雯谨 冯江敏 袁俊 莫镜辉 史衍丽 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第11期863-867,共5页
设计了nBn结构的InAs/GaSb II类超晶格红外探测器,从理论和实验两方面对nBn器件的暗电流特性进行了研究,研究结果表明:理论计算的暗电流和实际测试结果趋势一致。另外,研制了p-i-n结构器件并与nBn器件进行了比较,测试结果显示:在77 K温... 设计了nBn结构的InAs/GaSb II类超晶格红外探测器,从理论和实验两方面对nBn器件的暗电流特性进行了研究,研究结果表明:理论计算的暗电流和实际测试结果趋势一致。另外,研制了p-i-n结构器件并与nBn器件进行了比较,测试结果显示:在77 K温度下,nBn器件的暗电流要比p-i-n器件暗电流小2个量级。温度升高到150 K时,nBn器件暗电流变大2个量级,而p-i-n器件暗电流变大4个量级;nBn器件峰值探测率下降到1/5,p-i-n器件峰值探测率下降2个量级。可见nBn器件适合高温工作,适合高性能红外焦平面探测器的研制。 展开更多
关键词 NBN 超晶格 inas/GASB 暗电流 Shockley-Read-Hall
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