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基于Igor Pro实现的低成本电子束直写微加工
被引量：
2
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作者
麦满芳
马信洲
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018年第9期25-28,共4页
电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工,提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-6251多功能板卡的电压输出,从而控制电子束的运动以实现微纳...
电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工,提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-6251多功能板卡的电压输出,从而控制电子束的运动以实现微纳加工。结果表明,此方法能够应用于加工各种复杂的金微米结构,具有广阔的应用前景。
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关键词
微加工
电子束直写
igor
pro
程序
虚拟仪器
金微米结构
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职称材料
题名
基于Igor Pro实现的低成本电子束直写微加工
被引量：
2
1
作者
麦满芳
马信洲
机构
佛山科学技术学院物理与光电工程学院
佛山科学技术学院材料科学与能源工程学院
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018年第9期25-28,共4页
基金
国家自然科学基金项目(11504242)
文摘
电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工,提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-6251多功能板卡的电压输出,从而控制电子束的运动以实现微纳加工。结果表明,此方法能够应用于加工各种复杂的金微米结构,具有广阔的应用前景。
关键词
微加工
电子束直写
igor
pro
程序
虚拟仪器
金微米结构
Keywords
microfabrication
electron beam direct writing
igor pro program
virtual instrument
gold microstructure
分类号
TN05 [电子电信—物理电子学]
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1
基于Igor Pro实现的低成本电子束直写微加工
麦满芳
马信洲
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018
2
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