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退火质子交换LiNbO_3光波导的工艺研究
被引量：
8
1
作者
夏翔
袁一方
+3 位作者
朱琦莹
傅长松
陈抱雪
陈林
《光学仪器》
2002年第2期27-31,共5页
介绍了质子交换 Li Nb O3 光波导的制作工艺及光学特性测试 ,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺。
关键词
iwbk
法
退火质子交换
铌酸锂光波导
集成光学
在线阅读
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职称材料
题名
退火质子交换LiNbO_3光波导的工艺研究
被引量：
8
1
作者
夏翔
袁一方
朱琦莹
傅长松
陈抱雪
陈林
机构
上海理工大学光电学院
出处
《光学仪器》
2002年第2期27-31,共5页
文摘
介绍了质子交换 Li Nb O3 光波导的制作工艺及光学特性测试 ,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺。
关键词
iwbk
法
退火质子交换
铌酸锂光波导
集成光学
Keywords
iwbk method
annealed proton exchange
LiNbO 3 waveguide
分类号
TN25 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
退火质子交换LiNbO_3光波导的工艺研究
夏翔
袁一方
朱琦莹
傅长松
陈抱雪
陈林
《光学仪器》
2002
8
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