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快速率生长MBE InAs/GaAs(001)量子点 被引量:1
1
作者 吴巨 曾一平 +2 位作者 王宝强 朱占平 王占国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第2期79-83,98,共6页
用快速率(1.0ML/s)生长MBE InAs/GaAs(001)量子点。原子力显微镜观察结果表明,在量子点体系形成的较早阶段,量子点密度N(θ)随InAs沉积量θ的变化符合自然指数形式N(θ)∝ek(θ-θc),这与以前在慢速生长(≤0.1ML/s)条件下出现的标度规... 用快速率(1.0ML/s)生长MBE InAs/GaAs(001)量子点。原子力显微镜观察结果表明,在量子点体系形成的较早阶段,量子点密度N(θ)随InAs沉积量θ的变化符合自然指数形式N(θ)∝ek(θ-θc),这与以前在慢速生长(≤0.1ML/s)条件下出现的标度规律N(θ)∝(θ-θc)α明显不同。另外,在N(θ)随θ增加的过程中,快速率生长量子点的高度分布没有经历量子点平均高度随沉积量θ逐渐增加的过程。这些实验观察说明,以原子在生长表面作扩散运动为基础的生长动力学理论至少是不全面的,不适用于解释InAs量子点的形成。这些观察和讨论说明,即使在1.0ML/s的快速率生长条件下,量子点密度也可以通过InAs沉积量有效地控制在1.0×108cm-2以下,实现低密度InAs量子点体系的制备。 展开更多
关键词 分子束外延 inas/gaas(001) 量子点 inas沉积量 形态变化 密度
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InAs/GaAs量子点材料和激光器 被引量:4
2
作者 吴巨 王占国 《微纳电子技术》 CAS 2005年第11期489-494,共6页
介绍了近年来长波长InAsG/aAs量子点材料的生长、结构性质和量子点激光器的研究进展。
关键词 inas/gaas 量子点 激光器
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自组织InAs/GaAs量子点的X射线双晶衍射研究
3
作者 刘艳美 赵宗彦 +2 位作者 杨坤堂 徐章程 韩家骅 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期862-864,共3页
用X射线双晶衍射方法测定了自组织生长的InAs GaAs量子点的摇摆曲线 ,根据Takagi Taupin方程对曲线进行了拟合。在考虑量子点层晶格失配的情况下 ,理论曲线和实验曲线符合得很好 ,从而确定了量子点垂直样品表面的失配度 ,约为 4~ 6 % ... 用X射线双晶衍射方法测定了自组织生长的InAs GaAs量子点的摇摆曲线 ,根据Takagi Taupin方程对曲线进行了拟合。在考虑量子点层晶格失配的情况下 ,理论曲线和实验曲线符合得很好 ,从而确定了量子点垂直样品表面的失配度 ,约为 4~ 6 % ,这与宏观连续体弹性理论的预测相近。结合电镜。 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 自组织量子点 X射线双晶衍射法 摇摆曲线 光电性质 子单层沉积法
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InAs/GaAs多层堆垛量子点激光器的激射特性
4
作者 钱家骏 叶小玲 +3 位作者 陈涌海 徐波 韩勤 王占国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期184-188,共5页
利用固态源分子束外延技术,按S-K模式生长出五层堆垛InAs/GaAs量子点(QD)微结构材料.用这种QD材料制成的激光器,内光学损耗为2.1cm-1,透明电流密度为15士10 A/cm2.对于条宽100μm,腔长2.4mm的激光器(腔面未经镀膜处理),室温下基态激射... 利用固态源分子束外延技术,按S-K模式生长出五层堆垛InAs/GaAs量子点(QD)微结构材料.用这种QD材料制成的激光器,内光学损耗为2.1cm-1,透明电流密度为15士10 A/cm2.对于条宽100μm,腔长2.4mm的激光器(腔面未经镀膜处理),室温下基态激射的波长为1.08μm,阈值电流密度为144A/cm2,连续波光功率输出达2.67W(双面),外量子效率为63%,特征温度为320K.研究了QD激光器翟激射特性,并对结果作了讨论. 展开更多
关键词 应变自组装量子点 inas/gaas多层堆垛量子点 量子点激光器 MBE生长
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离子注入法Mn掺杂InAs/GaAs量子点的光磁性质
5
作者 胡良均 陈涌海 +1 位作者 叶小玲 王占国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期84-87,共4页
用离子注入法对InAs/GaAs量子点掺杂Mn离子,量子点样品经过快速退火处理后同时具有低温铁磁性和发光性能.注Mn量子点发光峰在退火后蓝移,在较高注入剂量的样品中这种由于互扩散带来的蓝移受到抑制,认为这与样品中的缺陷以及Mn聚集在量... 用离子注入法对InAs/GaAs量子点掺杂Mn离子,量子点样品经过快速退火处理后同时具有低温铁磁性和发光性能.注Mn量子点发光峰在退火后蓝移,在较高注入剂量的样品中这种由于互扩散带来的蓝移受到抑制,认为这与样品中的缺陷以及Mn聚集在量子点周围减小量子点所受的应力,同时形成的团簇阻碍了界面上原子的互扩散作用有关.Mn在盖层中形成了GaMnAs和小的Mn颗粒,表现出较好的低温铁磁性. 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 光致发光 团簇 铁磁性
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In_(0.2)Ga_(0.8)As-GaAs复合应力缓冲层上的1.3μm InAs/GaAs自组织量子点
6
作者 方志丹 龚政 +2 位作者 苗振华 牛智川 沈光地 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期324-327,共4页
用光荧光谱和原子力显微镜测试技术系统研究了在2 nm In0.2Ga0.8As和xML GaAs的复合应力缓冲层上生长的InAs/GaAs自组织量子点的发光特性和表面形貌.采用In0.2Ga0.8As与薄层GaAs复合的应力缓冲层,由于减少了晶格失配度致使量子点密度从... 用光荧光谱和原子力显微镜测试技术系统研究了在2 nm In0.2Ga0.8As和xML GaAs的复合应力缓冲层上生长的InAs/GaAs自组织量子点的发光特性和表面形貌.采用In0.2Ga0.8As与薄层GaAs复合的应力缓冲层,由于减少了晶格失配度致使量子点密度从约1.7×109cm-2显著增加到约3.8×109cm-2.同时,复合层也有利于提高量子点中In的组份,使量子点的高宽比增加,促进量子点发光峰红移.对于x=10 ML的样品室温下基态发光峰达到1350 nm. 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 复合应力缓冲层 光荧光 原子力显微镜
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1.08μm InAs/GaAs量子点激光器光学特性研究
7
作者 钱家骏 叶小玲 +8 位作者 徐波 韩勤 陈涌海 丁鼎 梁基本 刘峰奇 张金福 张秀兰 王占国 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期243-247,共5页
介绍了InAs/GaAs量子点激光器的材料生长,器件制备及其光学特性的研究。器件为条宽100μm,腔长1600μm未镀膜激器。室温阈值电流密度为221A/cm2,激射波长为1.08μm,连续波工作最大光功率输出为2.74W(双面),外微分效率为88%,经50oC,1000... 介绍了InAs/GaAs量子点激光器的材料生长,器件制备及其光学特性的研究。器件为条宽100μm,腔长1600μm未镀膜激器。室温阈值电流密度为221A/cm2,激射波长为1.08μm,连续波工作最大光功率输出为2.74W(双面),外微分效率为88%,经50oC,1000h老化,仍有>1.2W的光功率输出。 展开更多
关键词 inas/gaas 量子点激光器 电致发光谱 光学特性
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自组织InAs/GaAs与InGaAs/GaAs量子点生长及退火情况的比较
8
作者 何浩 贺业全 +3 位作者 杨再荣 罗子江 周勋 丁召 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期82-84,共3页
本文采用MBE进行InAs/GaAs与InGaAs/GaAs量子点的生长,利用RHEED进行实时监测,并利用RHEED强度振荡测量生长速率。对生长的InAs/GaAs和InGaAs/GaAs两种量子点生长过程与退火情况进行对比,观察到当RHEED衍射图像由条纹状变为网格斑点时,I... 本文采用MBE进行InAs/GaAs与InGaAs/GaAs量子点的生长,利用RHEED进行实时监测,并利用RHEED强度振荡测量生长速率。对生长的InAs/GaAs和InGaAs/GaAs两种量子点生长过程与退火情况进行对比,观察到当RHEED衍射图像由条纹状变为网格斑点时,InAs所需要的时间远小于InGaAs;高温退火下RHEED衍射图像恢复到条纹状所需要的时间InAs比InGaAs要长。 展开更多
关键词 MBE RHEED inas/gaas INgaas/gaas 自组装 退火
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δ掺杂Si对InAs/GaAs量子点太阳电池的影响
9
作者 王科范 王珊 谷城 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期3151-3156,共6页
在In As/Ga As量子点的自组装生长阶段,采用δ掺杂技术对量子点进行不同浓度的Si掺杂,可以使得量子点的室温光致发光峰强度大幅提高,其原因是掺杂的Si原子释放电子钝化了周围的非辐射复合中心。这种掺杂也应用到了量子点太阳电池中,结... 在In As/Ga As量子点的自组装生长阶段,采用δ掺杂技术对量子点进行不同浓度的Si掺杂,可以使得量子点的室温光致发光峰强度大幅提高,其原因是掺杂的Si原子释放电子钝化了周围的非辐射复合中心。这种掺杂也应用到了量子点太阳电池中,结果表明电池开路电压从0.72 V提高到了0.86 V,填充因子从60.4%提高到73.2%,短路电流从26.9 m A/cm2增加到27.4 m A/cm2。优化的Si掺杂可将量子点太阳的电池效率从11.7%提升到17.26%。 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 太阳电池 δ掺杂Si 分子束外延
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InAs/GaAs量子点1.3μm单光子发射特性
10
作者 张志伟 赵翠兰 孙宝权 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第23期219-225,共7页
采用双层耦合量子点的分子束外延生长技术生长了InAs/GaAs量子点样品,把量子点的发光波长成功地拓展到1.3μm.采用光刻的工艺制备了直径为3μm的柱状微腔,提高了量子点荧光的提取效率.在低温5 K下,测量得到量子点激子的荧光寿命约为1 ns... 采用双层耦合量子点的分子束外延生长技术生长了InAs/GaAs量子点样品,把量子点的发光波长成功地拓展到1.3μm.采用光刻的工艺制备了直径为3μm的柱状微腔,提高了量子点荧光的提取效率.在低温5 K下,测量得到量子点激子的荧光寿命约为1 ns;单量子点荧光二阶关联函数为0.015,显示单量子点荧光具有非常好的单光子特性;利用迈克耳孙干涉装置测量得到单光子的相干时间为22 ps,对应的谱线半高全宽度为30μeV,且荧光谱线的线型为非均匀展宽的高斯线型. 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 1.3μm 单光子发射
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脉冲激光原位辐照对InAs/GaAs(001)量子点生长的影响
11
作者 张伟 石震武 +2 位作者 霍大云 郭小祥 彭长四 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期220-225,共6页
在InAs/GaAs(001)量子点生长过程中,当In As沉积量为0.9 ML时,利用紫外纳秒脉冲激光辐照浸润层表面,由于高温下In原子的不稳定性,激光诱导的原子脱附效应被放大,样品表面出现了原子层移除和纳米孔.原子力显微镜测试表明纳米孔呈现以[110... 在InAs/GaAs(001)量子点生长过程中,当In As沉积量为0.9 ML时,利用紫外纳秒脉冲激光辐照浸润层表面,由于高温下In原子的不稳定性,激光诱导的原子脱附效应被放大,样品表面出现了原子层移除和纳米孔.原子力显微镜测试表明纳米孔呈现以[110]方向为长轴(尺寸:20—50 nm)、[110]方向为短轴(尺寸:15—40 nm)的表面椭圆开口形状,孔的深度为0.5—3 nm.纳米孔的密度与脉冲激光的能量密度正相关.脉冲激光的辐照对量子点生长产生了显著的影响:一方面由于纳米孔的表面自由能低,沉积的In As优先迁移到孔内,纳米孔成为量子点优先成核的位置;另一方面,孔外的区域因为In原子的脱附,量子点的成核被抑制.由于带有纳米孔的浸润层表面具有类似于传统微纳加工技术制备的图形衬底对量子点选择性生长的功能,该研究为量子点的可控生长提供了一种新的思路. 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 脉冲激光 光致原子脱附
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1.3微米发光自组织InAs/GaAs量子点的电致发光研究 被引量:1
12
作者 孔云川 周大勇 +4 位作者 澜清 刘金龙 苗振华 封松林 牛智川 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期551-554,共4页
用优化的MBE参数生长了 1.3μm发光的InAs/GaAs量子点材料 ,并制成发光二极管 ,对不同温度和有源区长度下样品的电致发光谱进行了细致的研究。观察到两个明显的电致发光峰 ,分别对应于量子点基态和激发态的辐射复合发光。实验表明 ,由... 用优化的MBE参数生长了 1.3μm发光的InAs/GaAs量子点材料 ,并制成发光二极管 ,对不同温度和有源区长度下样品的电致发光谱进行了细致的研究。观察到两个明显的电致发光峰 ,分别对应于量子点基态和激发态的辐射复合发光。实验表明 ,由于能态填充效应的影响 ,适当增大量子点发光器件有源区长度 ,更有利于获得基态的光发射。这个结果提供了一种控制和调节InAs/GaAs量子点发光二极管和激光器的工作波长的方法。 展开更多
关键词 微米发光自组织 inas/gaas 量子点 电致发光 发光二极管 能态填充效应
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1550nm InAs/GaAs量子点调Q光纤激光器 被引量:1
13
作者 秦亮 王旭 +3 位作者 刘健 蒋成 陈红梅 张子旸 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第2期133-137,168,共6页
调Q光纤激光器在光纤传感、激光雷达、激光加工和光纤通信等众多方面有着广泛的应用。半导体量子点(QD)由于具有较高的损伤阈值和宽光谱特性,是一种优良的可饱和吸收体(SA),但是目前制备发光中心波长为1550 nm的QD SA依然是一个巨大的... 调Q光纤激光器在光纤传感、激光雷达、激光加工和光纤通信等众多方面有着广泛的应用。半导体量子点(QD)由于具有较高的损伤阈值和宽光谱特性,是一种优良的可饱和吸收体(SA),但是目前制备发光中心波长为1550 nm的QD SA依然是一个巨大的挑战。通过在分子束外延(MBE)生长InAs QD过程中加入两次间断制备了1550 nm InAs/GaAs量子点半导体可饱和吸收镜(QD-SESAM),并通过构建光纤直线腔,研制出发光中心波长约为1550 nm的被动调Q光纤激光器。该激光器最大输出功率约为2.5 mW,实现了55 kHz的重复频率,同时达到了1.45μs的脉冲宽度和45.36 nJ的单脉冲能量,表现出了InAs/GaAs QD材料在1550 nm调Q光纤激光器应用中的巨大潜力。 展开更多
关键词 inas/gaas量子点 被动调Q光纤激光器 近红外(NIR) 量子点半导体可饱和吸收镜(QD-SESAM) 直线腔
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1.55μm通信波段InAs/GaAs量子点制备方法研究 被引量:1
14
作者 池振昊 王海龙 +1 位作者 倪海桥 牛智川 《通信技术》 2019年第6期1311-1315,共5页
利用分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点,采用梯度生长法实现了量子点的成岛参数和量子点密度精确可控。通过在GaAs衬底上生长InGaAs组分渐变缓冲层进而自组织外延InAs量子点的方法,将GaAs衬底的InAs量子点发光波长拓展到了1550n... 利用分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点,采用梯度生长法实现了量子点的成岛参数和量子点密度精确可控。通过在GaAs衬底上生长InGaAs组分渐变缓冲层进而自组织外延InAs量子点的方法,将GaAs衬底的InAs量子点发光波长拓展到了1550nm通讯波段,并研究了渐变层中最大In组分、以及InAs淀积量等因素对于量子点发光性能的影响。结果显示,渐变层最上层In组分越大,与InAs量子点的失配越小生长尺寸越大,量子点的发光波长越长,光致荧光谱呈现整体红移的趋势。在渐变缓冲层上外延InAs的淀积量为1.65ML时可以得到线宽较窄强度较高的单量子点发光峰。 展开更多
关键词 inas/gaas 自组织量子点 分子束外延 通信波段
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InAs/GaAs量子点中间带太阳电池的理论研究与优化
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作者 潘保瑞 唐吉玉 +2 位作者 朱永安 何右青 陆旭兵 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第2期161-164,169,共5页
基于InAs/GaAs量子点中间带太阳电池(QD-IBSC)结构和载流子漂移扩散理论建立了计算电流密度与静电势的数学模型,从理论上分析了量子点中间带太阳电池的电压电流特性,定量讨论了量子点层厚度、温度以及n型掺杂对电压电流特性的影响。... 基于InAs/GaAs量子点中间带太阳电池(QD-IBSC)结构和载流子漂移扩散理论建立了计算电流密度与静电势的数学模型,从理论上分析了量子点中间带太阳电池的电压电流特性,定量讨论了量子点层厚度、温度以及n型掺杂对电压电流特性的影响。模拟结果表明:在i层厚度取400nm时转化效率达到最大值14.01%;温度会对量子点中间带太阳电池的电压电流特性产生影响,温度在300-350K范围内,开路电压Voc随温度的升高而明显减小,短路电流Jsc几乎不变;对i区进行n型掺杂会抑制量子点层发挥作用。 展开更多
关键词 太阳电池 inas/gaas量子点 漂移扩散 I-V特性 中间带太阳电池
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Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of InAs/GaAs Quantum Dots Directly Grown on Si Substrates
16
作者 王霆 刘会赟 张建军 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第4期52-55,共4页
The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantu... The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantum on a Si substrate is further investigated using atomic force microscopy, etch pit density and temperature-dependent photoluminescence (PL) measurements. The PL for Si-based InAs/GaAs quantum dots appears to be very sensitive to the initial OaAs nucleation temperature and thickness with strongest room-temperature emission at 40000 (17Onto nucleation layer thickness), due to the lower density of defects generated under this growth condition, and stronger carrier confinement within the quantum dots. 展开更多
关键词 gaas inas Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of inas/gaas Quantum Dots Directly Grown on Si Substrates of SI on
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InAs/GaAs量子点生长条件的优化
17
作者 程玉梅 《内蒙古民族大学学报(自然科学版)》 2014年第5期497-500,共4页
论文研究了In As量子点的生长条件,通过实验得到了生长温度、沉积厚度不同下的量子点生长情况.引入Sb表面活化剂进行实验,优化了制备尺寸不同、密度相近的两种量子点的生长条件.
关键词 inas/gaas量子点 生长温度 沉积厚度
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Numerical investigation on threading dislocation bending with InAs/GaAs quantum dots
18
作者 Guo-Feng Wu Jun Wang +8 位作者 Wei-Rong Chen Li-Na Zhu Yuan-Qing Yang Jia-Chen Li Chun-Yang Xiao Yong-Qing Huang Xiao-Min Ren Hai-Ming Ji Shuai Luo 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第11期146-150,共5页
The threading dislocations(TDs)in GaAs/Si epitaxial layers due to the lattice mismatch seriously degrade the performance of the lasers grown on silicon.The insertion of InAs quantum dots(QDs)acting as dislocation filt... The threading dislocations(TDs)in GaAs/Si epitaxial layers due to the lattice mismatch seriously degrade the performance of the lasers grown on silicon.The insertion of InAs quantum dots(QDs)acting as dislocation filters is a pretty good alternative to solving this problem.In this paper,a finite element method(FEM)is proposed to calculate the critical condition for InAs/GaAs QDs bending TDs into interfacial misfit dislocations(MDs).Making a comparison of elastic strain energy between the two isolated systems,a reasonable result is obtained.The effect of the cap layer thickness and the base width of QDs on TD bending are studied,and the results show that the bending area ratio of single QD(the bending area divided by the area of the QD base)is evidently affected by the two factors.Moreover,we present a method to evaluate the bending capability of single-layer QDs and multi-layer QDs.For the QD with 24-nm base width and 5-nm cap layer thickness,taking the QD density of 10^(11) cm^(-2) into account,the bending area ratio of single-layer QDs(the area of bending TD divided by the area of QD layer)is about 38.71%.With inserting five-layer InAs QDs,the TD density decreases by 91.35%.The results offer the guidelines for designing the QD dislocation filters and provide an important step towards realizing the photonic integration circuits on silicon. 展开更多
关键词 inas/gaas quantum dots threading dislocation finite element method bending area
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Photoluminescence and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots grown by metal-organic chemical vapour deposition
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作者 梁松 朱洪亮 +7 位作者 潘教青 赵玲娟 王鲁峰 周帆 舒惠云 边静 安欣 王圩 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第11期4300-4304,共5页
Photoluminescence (PL) and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots (QDs) with different growth procedures prepared by metalorganic chemical vapour deposition are studied. PL measurements show that the low grow... Photoluminescence (PL) and lasing properties of InAs/GaAs quantum dots (QDs) with different growth procedures prepared by metalorganic chemical vapour deposition are studied. PL measurements show that the low growth rate QD sample has a larger PL intensity and a narrower PL line width than the high growth rate sample. During rapid thermal annealing, however, the low growth rate sample shows a greater blueshift of PL peak wavelength. This is caused by the larger InAs layer thickness which results from the larger 2-3 dimensional transition critical layer thickness for the QDs in the low-growth-rate sample. A growth technique including growth interruption and in-situ annealing, named indium flush method, is used during the growth of GaAs cap layer, which can flatten the GaAs surface effectively. Though the method results in a blueshift of PL peak wavelength and a broadening of PL line width, it is essential for the fabrication of room temperature working QD lasers. 展开更多
关键词 metal-organic chemical vapour deposition inas/gaas quantum dots laser
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Temperature Compensation for Threshold Current and Slope Efficiency of 1.3μm InAs/GaAs Quantum-Dot Lasers by Facet Coating Design
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作者 XU Peng-Fei YANG Tao +3 位作者 JI Hai-Ming CAO Yu-Lian GU Yong-Xian WANG Zhan-Guo 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第4期94-96,共3页
We demonstrate a technique of temperature compensation for 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot(QD)lasers by facet coating design.The key point of the technique is to make sure that the mirror loss of the lasers decreases as ... We demonstrate a technique of temperature compensation for 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot(QD)lasers by facet coating design.The key point of the technique is to make sure that the mirror loss of the lasers decreases as the temperature rises.To realize this,we design a type of facet coating by shifting the central wavelength of the facet coating from 1310nm to 1480nm,whose reflectivity increases as the emission wavelength of the lasers red-shifts.Consequently,the laser with the new facet coating exhibits a characteristic temperature doubled in size and a more stable slope efficiency in the temperature range from 10℃to 70℃,compared with the traditional one with a temperature-independent mirror loss. 展开更多
关键词 inas/gaas EFFICIENCY MIRROR
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