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基于PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB的DG SOI建模与仿真 被引量:1
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作者 汪国芳 刘军 +1 位作者 吴钰鑫 罗琳 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2020年第3期7-13,共7页
基于p型衬底的DG SOI MOSFET器件,分析了PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB模型器件建模的可适用性。对3种模型的物理机理和数学方程进行研究,提取器件的直流特性及参数值。实验数据对比结果表明:相比PSP-SOI和HiSIM-SOTB,BSIM-IMG的仿真精... 基于p型衬底的DG SOI MOSFET器件,分析了PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB模型器件建模的可适用性。对3种模型的物理机理和数学方程进行研究,提取器件的直流特性及参数值。实验数据对比结果表明:相比PSP-SOI和HiSIM-SOTB,BSIM-IMG的仿真精度分别提高了2.08%和7.10%。所以,BSIM-IMG更适用于DG SOI MOSFET器件直流特性建模。 展开更多
关键词 PSP-SOI BSIM-IMG hisim-sotb 双栅 MOSFET 直流特性
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