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Preparation and Interface Studies on HgCdTe/CdTe/GaAs Grown by MOCVD
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作者 丁永庆 彭瑞伍 +2 位作者 陈记安 杨臣华 陈美霓 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1992年第2期102-106,共5页
When we use MOCVD technique,an excellent CdTe epi-layer was grown on GaAs substrates and the CdTe/GaAs hybrid substrates suitable for growing Hg_(1-x)Cd_xTe(CMT)were obtained.The x value in CMT is between 0.2 and 0.8.... When we use MOCVD technique,an excellent CdTe epi-layer was grown on GaAs substrates and the CdTe/GaAs hybrid substrates suitable for growing Hg_(1-x)Cd_xTe(CMT)were obtained.The x value in CMT is between 0.2 and 0.8.The electrical properties of CMT depend upon the thickness of CdTe epi-layers.The CdTe/GaAs interface was examined by both scanning electron microscope(SEM)and electron auger spectra (EAS).The influence of defects observed at interface on electrical and optical properties of CMT fihns was dis- cussed. 展开更多
关键词 MOCVD hgcdte/cdte/gaas structures cdte/gaas buffer layers INTERFACE Electrical property of CMT
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MOCVD法生长HgCdTe/CdTe/GaAs多层异质材料的特性研究 被引量:2
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作者 陈记安 杨臣华 +1 位作者 丁永庆 彭瑞伍 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期46-51,共6页
本文用多种方法分析MOCVD外延片的表面形貌、结晶性、界面和缺陷、组分和其均匀性,电、光性能。在15×15mm^2面积上,HgCdTe外延层表面形貌较好,为单晶。CdTe和HgCdTe外延层的半宽度为450弧度秒。界面平坦、清晰过渡层约0.12μm,几... 本文用多种方法分析MOCVD外延片的表面形貌、结晶性、界面和缺陷、组分和其均匀性,电、光性能。在15×15mm^2面积上,HgCdTe外延层表面形貌较好,为单晶。CdTe和HgCdTe外延层的半宽度为450弧度秒。界面平坦、清晰过渡层约0.12μm,几乎没有发现Ga、As的扩散,但局部有微观缺陷。X值可生长出0.1~0.8,均匀性△X=0.008,典型样品,77K下,电子浓废为1.4×10^(16)cm^(-3),迁移率为7.4×10~4cm^2/V·S,透过率约42%。 展开更多
关键词 MOCVD法 hgcdte gaas 异质材料
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MOCVD法生长HgCdTe/CdTe/GaAs多层异质材料工艺研究
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作者 丁永庆 彭瑞伍 +1 位作者 陈记安 杨臣华 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1990年第3期42-45,共4页
用自已设计的MOCVD设备,国产的DMCd和DETe金属有机源,采用变通的多层互扩散工艺生长了HgCdTe/CdTe/GaAs外延片,获得良好的n型HgCdTe外延层。研究了生长速率与温度的关系;组份与DMCd/DETe之比的关系;x值与汞源温度的关系。生长CdTe和HgC... 用自已设计的MOCVD设备,国产的DMCd和DETe金属有机源,采用变通的多层互扩散工艺生长了HgCdTe/CdTe/GaAs外延片,获得良好的n型HgCdTe外延层。研究了生长速率与温度的关系;组份与DMCd/DETe之比的关系;x值与汞源温度的关系。生长CdTe和HgCdTe外延层的衬底温度分别约为:370℃和420℃。汞源温度约为280℃,汞压约0.02atm。DMCd/DETe随生长x值不同而不同。气流在2.6~3.7cm/s之间。 展开更多
关键词 hgcdte cdte/gaas 异质材料 MOCVD
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(112)面CdTe/Cd_(1-y)Zn_yTe,Hg_(1-x)Cd_xTe/CdTe和CdTe/GaAs异质结的方向倾斜
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作者 刘义族 于福聚 《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第3期261-264,共4页
用 X射线双晶衍射 ( XDCD)法测得分子束外延 ( MBE)法生长的 Cd Te/ Cd0 .959Zn0 .0 4 1 Te( 112 ) B异质结的倾斜角为 0 .2 185°,而且朝 [1- 1- 1]晶体学方向倾斜 .为了获得较精确的倾斜角值 ,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δ... 用 X射线双晶衍射 ( XDCD)法测得分子束外延 ( MBE)法生长的 Cd Te/ Cd0 .959Zn0 .0 4 1 Te( 112 ) B异质结的倾斜角为 0 .2 185°,而且朝 [1- 1- 1]晶体学方向倾斜 .为了获得较精确的倾斜角值 ,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δθ与绕样品表面法线旋转的角度 之间的准正弦函数 .为高分辨率透射电子显微镜 ( HRTEM)分析制备了 MBE法生长的 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te/ Ga As( 1- 12 ) B多层异质结的横截面薄膜 .Cd Te/ Ga As异质结的 HRTEM明场象表明 Cd Te( 1- 12 )缓冲层相对于 Ga As( 1- 12 )衬底朝 [1- 11- ]方向倾斜约 3°,并且在 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te异质结 ,Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te( 1- 12 )外延膜相对于 Cd Te( 1- 12 )缓冲层在 [11- 1]方向 ,即 [1- 11- ]的反方向倾斜约 1°.也分析了 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te/ Ga As多层膜之间的倾斜角关系 . 展开更多
关键词 分子束外延法 异质结 倾斜角 X射线双晶衍射法 hgcdte/cdte/gaas多层膜 失配位错
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分子束外延HgCdTe/GaAs的生长和光伏探测器的研制
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作者 陈世达 周荷英 +3 位作者 何先忠 林立 徐定瑞 支淑英 《红外与激光工程》 EI CSCD 1998年第2期11-13,16,共4页
文中报导了用分子束外廷工艺在GaAs(211)B衬底上生长了较高质量的中、长波HgCdTe薄膜材料。生长后的材料通过退火进行转型和调节电性参数。选择的组分分别为x=0.330和0.226的两种材料,77K时载流子浓度... 文中报导了用分子束外廷工艺在GaAs(211)B衬底上生长了较高质量的中、长波HgCdTe薄膜材料。生长后的材料通过退火进行转型和调节电性参数。选择的组分分别为x=0.330和0.226的两种材料,77K时载流子浓度和迁移率分别为p=6.7×1015cm-3、up=260cm2V-1s-1和4.45×1015cm-3、410cm2V-1s-1。研制了平面型中、长波线列光伏探测器,其典型的探测器D分别为5.0×1010cmHz1/2W-1和2.68×1010cmHz1/2W-1(180°视场下),其中64元线列中波探测器与CMOS电路芯片在杜瓦瓶中耦含后读出并实现了红外成像演示。 展开更多
关键词 分子束外延 碲镉汞 砷化镓 外延膜 光伏探测器
原文传递
基于HgCdTe薄膜和GaAs/AlGaAs多量子阱的红外光电探测器列阵
6
作者 高国龙 《红外》 CAS 2002年第6期28-33,46,共7页
俄罗斯科学院西伯利亚分院半导体物理研究所设计并制作了若干用于3μm~12μm光谱范围的光电探测器组件.这些光电探测器组件都是以用分子束外延方法生长的Hg1-xCdxTe/GaAs异质结构和GaAs/AlGaAs多量子阱结构为基础的,其HgCdTe光敏层长在... 俄罗斯科学院西伯利亚分院半导体物理研究所设计并制作了若干用于3μm~12μm光谱范围的光电探测器组件.这些光电探测器组件都是以用分子束外延方法生长的Hg1-xCdxTe/GaAs异质结构和GaAs/AlGaAs多量子阱结构为基础的,其HgCdTe光敏层长在带CdZnTe中间缓冲层的GaAs衬底上.为了减少表面对复合过程的影响,生长了增加表面组分的渐变带隙HgCdTe层. 展开更多
关键词 多量子阱 碲镉汞薄膜 砷化镓 砷铝镓三元化合物 hgcdte薄膜 gaas/ALgaas 红外光电探测器列阵
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CdTe/GaAs(111)B薄膜的MBE生长研究 被引量:1
7
作者 杨玉林 赵俊 +1 位作者 杨宇 姬荣斌 《红外技术》 CSCD 北大核心 2007年第2期88-90,共3页
采用分子束外延方法,在GaAs(111)B衬底上,生长CdTe薄膜,以求研制出用于液相外延生长碲镉汞(HgCdTe)薄膜的CdTe/GaAs(111)B复合衬底。通过理论分析和实验探索,优化了生长温度和Te/Cd束流比等重要生长参数,获得了质量较好的CdTe薄膜,再通... 采用分子束外延方法,在GaAs(111)B衬底上,生长CdTe薄膜,以求研制出用于液相外延生长碲镉汞(HgCdTe)薄膜的CdTe/GaAs(111)B复合衬底。通过理论分析和实验探索,优化了生长温度和Te/Cd束流比等重要生长参数,获得了质量较好的CdTe薄膜,再通过循环热处理,使CdTe/GaAs(111)B复合衬底的质量得到进一步的提高,X-射线回摆曲线半峰宽(FWHM)有明显的降低。为LPE-HgCdTe薄膜的生长打下了较好基础。 展开更多
关键词 MBE cdte gaas hgcdte
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MBE法生长高质量HgCdTe/GaAs(211)B
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作者 晓晔 《电子材料快报》 1995年第11期17-18,共2页
关键词 MBE法 gaas(211)B hgcdte 半导体材料
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离化团束方法在GaAs衬底上外延CdTe单晶薄膜 被引量:1
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作者 冯嘉猷 汤海鹏 +2 位作者 朱洪林 范玉殿 李恒德 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第5期294-299,T001,共7页
利用离化团束外延(ICBE)技术在GaAs(100)衬底上生长了(100)和(111)两种晶向的CdTe外延层.X光衍射和 RHEED分析结果表明外延层为单晶薄膜,双晶衍射摆动曲线半高宽达630弧秒.本文研究了离化团能量和生长温度对外延层晶向和质量的关系。结... 利用离化团束外延(ICBE)技术在GaAs(100)衬底上生长了(100)和(111)两种晶向的CdTe外延层.X光衍射和 RHEED分析结果表明外延层为单晶薄膜,双晶衍射摆动曲线半高宽达630弧秒.本文研究了离化团能量和生长温度对外延层晶向和质量的关系。结果表明,当预热处理温度为480℃,外延取向关系为CdTe(100)//GaAs(100);当预热处理为580℃,外延取向关系为 CdTe(100)+(111)//GaAs(100).离化团束的能量对外延膜的结晶性能起着重要作用. 展开更多
关键词 cdte薄膜 离子团束外延 薄膜 gaas
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在Si和GaAs衬底上分子束外延CdTe的晶格应变
10
作者 王元樟 陈路 +4 位作者 巫艳 吴俊 于梅芳 方维政 何力 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期729-733,共5页
本文利用高分辨率多重晶多重反射X射线衍射技术对分子束外延CdTe(211)B/Si(211)与CdTe(211)B/GaAs(211)B材料的CdTe外延薄膜进行了倒易点二维扫描,并通过获得的倒易点二维图,对CdTe缓冲层的应力和应变状况进行了分析。研究显示,对于一... 本文利用高分辨率多重晶多重反射X射线衍射技术对分子束外延CdTe(211)B/Si(211)与CdTe(211)B/GaAs(211)B材料的CdTe外延薄膜进行了倒易点二维扫描,并通过获得的倒易点二维图,对CdTe缓冲层的应力和应变状况进行了分析。研究显示,对于一定厚度的CdTe外延薄膜,在从生长温度280℃降至室温20℃的过程中,由于和衬底存在热膨胀系数的差异,将在外延薄膜中产生热应力,使外延薄膜发生应变,并且这种应变取代了失配应变,在晶格畸变中占据主导地位。对于Si衬底,热应变表现为张应力;对于GaAs衬底,热应变表现为压应力。该研究结果对于进一步优化在大失配的异质衬底上外延同Hg1-xCdxTe材料晶格匹配的Cd1-yZnyTe材料的Zn组分具有指导意义。 展开更多
关键词 cdte/gaas cdte/Si 热应变 高分辨率多重晶多重反射X射线衍射 分子束外延
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分子束外延CdTe(211)B/GaAs(211)B的特性研究 被引量:2
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作者 陈世达 林立 何先忠 《红外与激光技术》 CSCD 1995年第6期1-5,共5页
CdTe/GaAs是HgCdTe分子束外延的重要替代衬底材料。用X双晶衍射和光致发光测试研究了分子束外延生长的CdTe(211)B/GaAs(211)B的晶体结构质量,表明外延膜晶体结构完整,具有很高的质量。用高分辨... CdTe/GaAs是HgCdTe分子束外延的重要替代衬底材料。用X双晶衍射和光致发光测试研究了分子束外延生长的CdTe(211)B/GaAs(211)B的晶体结构质量,表明外延膜晶体结构完整,具有很高的质量。用高分辨率的透射电镜研究其界面特性,观察到CdTe(211)B相对于GaAs(211)B向着[111]方向倾斜一个小角度(约3°),界面的四面体键网发生扭曲,由于晶格失配,在界面存在很高的失配位错密度。用二次离子质谱分析仪分析了GaAs衬底中的Ga和As向CdTe外扩散的情况。结果表明:如果要在GaAs衬底上生长HgCdTe外延膜,必须先生长一层具有一定厚度的CdTe来阻止Ga和As向HgCdTe的外扩散和失配位错的延伸。 展开更多
关键词 碲化镉 砷化镓 双晶衍射 光致发光 透射电镜
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MBECdTe/GaAs光致发光研究
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作者 陈世达 林立 +3 位作者 何先忠 许继宗 罗昌平 徐仲英 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期189-194,共6页
在10K低温下对分子束外延(MBE)生长的CdTe(111)B/GaAs(100)/CdTe(211)B/GaAs(211)B外延膜进行了光致发光(PL)测量,得到了PL谱和带边激子辐射的精细结构.计算得到束缚激子的... 在10K低温下对分子束外延(MBE)生长的CdTe(111)B/GaAs(100)/CdTe(211)B/GaAs(211)B外延膜进行了光致发光(PL)测量,得到了PL谱和带边激子辐射的精细结构.计算得到束缚激子的半峰宽(FWHM)分别为0.2~0.smeV和1~2meV.实验结果表明外廷膜的质量和生长工艺均良好. 展开更多
关键词 分子束外延 光致发光 碲化镉
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利用分子束外延方法在GaAs衬底上制备CdTe单晶薄膜
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作者 陆俭 陈卫东 +3 位作者 唐文国 于梅芳 乔怡敏 袁诗鑫 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1990年第1期41-45,共5页
利用分子束外延方法在国内首次在(100)GaAs衬底上可控制的获得了(100)和(111)两种晶向的CdTe外延层。X光的衍射结果表明外延层为单晶薄膜。光荧光的半峰宽为10meV左右。本文研究了生长条件对外延层晶向的影响。发现,GaAs衬底表面的平整... 利用分子束外延方法在国内首次在(100)GaAs衬底上可控制的获得了(100)和(111)两种晶向的CdTe外延层。X光的衍射结果表明外延层为单晶薄膜。光荧光的半峰宽为10meV左右。本文研究了生长条件对外延层晶向的影响。发现,GaAs衬底表面的平整度和洁净度是影响外延层晶向的两个关键因素。我们已在所得到的CdTe缓冲层上成功地生长出Hg_(1-x)Cd_xTe单晶薄膜。 展开更多
关键词 gaas 衬底 cdte薄膜 分子束 外延法
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MBE法在GaAs上生长CdTe的择优取向
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作者 敏键 《电子材料快报》 1996年第8期2-2,共1页
关键词 半导体 分子束外延法 gaas cdte
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Si/CdTe复合衬底HgCdTe液相外延材料的生长与性能分析 被引量:2
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作者 徐庆庆 陈新强 +2 位作者 魏彦锋 杨建荣 陈路 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1078-1082,共5页
通过改进推舟液相外延技术,成功地在(211)晶向Si/CdTe复合衬底上进行了HgCdTe液相外延生长,获得了表面光亮的HgCdTe外延薄膜.测试结果表明,(211)Si/CdTe复合衬底液相外延HgCdTe材料组分及厚度的均匀性与常规(111)CdZnTe衬底HgCdT... 通过改进推舟液相外延技术,成功地在(211)晶向Si/CdTe复合衬底上进行了HgCdTe液相外延生长,获得了表面光亮的HgCdTe外延薄膜.测试结果表明,(211)Si/CdTe复合衬底液相外延HgCdTe材料组分及厚度的均匀性与常规(111)CdZnTe衬底HgCdTe外延材料相当;位错腐蚀坑平均密度为(5~8)×10^5cm^-2,比相同衬底上分子束外延材料的平均位错密度要低一个数量级;晶体的双晶半峰宽达到70"左右.研究结果表明,在发展需要低位错密度的大面积长波HgCdTe外延材料制备技术方面,Si/CdTe复合衬底HgCdTe液相外延技术可发挥重要的作用. 展开更多
关键词 Si/cdte复合衬底 hgcdte 液相外延
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HgCdTe晶体上Cd和Te的阴极共沉积 被引量:1
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作者 温廷琏 吕之奕 +3 位作者 屠恒勇 方家熊 李言谨 赵军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期131-136,共6页
在HgCdTe晶体表面上用电化学方法得到了Cd和Te的共沉积.所用的电解质由H2SO4;CdSO4和TeO2的水溶液所组成.稳态沉积电流密度随着沉积电位更负,电解质温度升高和TeO2浓度的增加而增大.X光衍射分析证实... 在HgCdTe晶体表面上用电化学方法得到了Cd和Te的共沉积.所用的电解质由H2SO4;CdSO4和TeO2的水溶液所组成.稳态沉积电流密度随着沉积电位更负,电解质温度升高和TeO2浓度的增加而增大.X光衍射分析证实,当沉积电位比-0.70V(vsSCE)更负时,沉积膜由CdTe和Cd所组成.当沉积电位比-0.675V更正时,沉积膜为化学计量的多晶CdTe,其(111)面为优先生长的晶面族.沉积膜的显微照相可能表明多层CdTe的扁平晶粒逐步长大连成一体后而完全复盖底晶.俄歇电子谱的深度剖面分析显示在所沉积的条件下,底晶中的Hg向CdTe沉积膜内有较深的扩散. 展开更多
关键词 共沉积 hgcdte 半导体
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多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析 被引量:1
17
作者 沈川 顾仁杰 +1 位作者 陈路 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期122-127,共6页
前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒... 前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用. 展开更多
关键词 碲镉汞 碲化镉钝化层 热退火 位错 应力
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CdTe钝化的HgCdTe非平衡载流子表面复合速度的实验研究 被引量:1
18
作者 周咏东 赵军 +2 位作者 龚海梅 李言谨 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期71-74,共4页
利用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了低温CdTe介质薄膜的低温生长.在同一HgCdTe晶片表面分别用CdTe介质膜、HgCdTe自身阳极氧化膜进行表面钝化.利用光电导衰退测量技术测量了两种不同表面钝化的薄HgCdTe晶片的非平衡载流子(少数载... 利用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了低温CdTe介质薄膜的低温生长.在同一HgCdTe晶片表面分别用CdTe介质膜、HgCdTe自身阳极氧化膜进行表面钝化.利用光电导衰退测量技术测量了两种不同表面钝化的薄HgCdTe晶片的非平衡载流子(少数载流子)寿命,并通过光电导衰减信号波形的拟合,得到两种不同表面钝化的HgCdTe表面复合速度.实验结果表明。 展开更多
关键词 Ggcdte 表面复合速度 碲化镉 非平衡载流子
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n-HgCdTe光导器件的两种表面钝化研究 被引量:1
19
作者 周咏东 方家熊 汤定元 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期233-236,共4页
利用 Ar+束溅射沉积技术实现了 Cd Te薄膜的低温生长 ,利用电化学方法进行了 Hg Cd Te表面自身阳极氧化膜的生长 ,利用生长的 Cd Te介质膜和 Hg Cd Te表面自身阳极氧化膜对 n- Hg Cd Te光导器件进行了表面钝化 .对两种器件的电阻、各项... 利用 Ar+束溅射沉积技术实现了 Cd Te薄膜的低温生长 ,利用电化学方法进行了 Hg Cd Te表面自身阳极氧化膜的生长 ,利用生长的 Cd Te介质膜和 Hg Cd Te表面自身阳极氧化膜对 n- Hg Cd Te光导器件进行了表面钝化 .对两种器件的电阻、各项性能指标进行了测量分析 ,实验表明得到的 Cd Te/ Hg Cd Te界面质量已达到器件实用化水平 . 展开更多
关键词 红外探测器 碲化镉 光导器件 表面钝化 hgcdte
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GaAs(001)衬底上经双缓冲层生长的Hg_(1-x)Cd_xTe-HgTe超晶格结构 被引量:1
20
作者 刘义族 于福聚 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第3期39-42,共4页
用 X-射线衍射测定了分子束外延 ( MBE)法生长的 Hg1-x Cdx Te- Hg Te超晶格样品在 ( 0 0 1 )附近的扫描徊摆曲线 ,并用动力学理论模拟计算出衍射曲线 ,实验曲线与理论计算基本上相符合 .由实验衍射曲线计算出的超晶格周期长度 ,阱 Hg T... 用 X-射线衍射测定了分子束外延 ( MBE)法生长的 Hg1-x Cdx Te- Hg Te超晶格样品在 ( 0 0 1 )附近的扫描徊摆曲线 ,并用动力学理论模拟计算出衍射曲线 ,实验曲线与理论计算基本上相符合 .由实验衍射曲线计算出的超晶格周期长度 ,阱 Hg Te层厚度及垒 Hg1-x Cdx Te层厚度与模拟计算的相一致 .用透射电子显微镜 ( TEM)对同一样品的横截面进行了分析 ,对 Cd Te/Zn Te/Ga As异质结界面失配位错的组态特征进行了研究 .证明用 Cd Te/Zn Te作为双缓冲层比单一的 Cd Te有较好的效果 .截面 TEM高分辨率明场象显示 Hg1-x Cdx Te- Hg Te超晶格的生长较为成功 ,界面较为平整 .由截面 TEM高分辨率明场象观测的周期长度与 展开更多
关键词 分子束外延法 Hg1-xCdxTe-HgTe超晶格 cdte/ZnTe/gaas异质结 双缓冲层生长 晶格结构 晶格生长
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