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磁控溅射法制备HfO_2薄膜及电阻转变特性研究(英文) 被引量:1
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作者 李艳艳 刘正堂 谭婷婷 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期24-27,共4页
采用磁控溅射法,以ITO/Glass为衬底,制备了具有电阻转变特性的HfO2薄膜。X射线光电子能谱(XPS)分析发现,薄膜中的Hf、O元素不成化学计量比,薄膜中可能存在大量氧空位。电学测试结果表明,HfO2薄膜表现出明显的双极电阻转变特性,并且表现... 采用磁控溅射法,以ITO/Glass为衬底,制备了具有电阻转变特性的HfO2薄膜。X射线光电子能谱(XPS)分析发现,薄膜中的Hf、O元素不成化学计量比,薄膜中可能存在大量氧空位。电学测试结果表明,HfO2薄膜表现出明显的双极电阻转变特性,并且表现出良好的可靠性(室温下可重复测试102次以上)和稳定的保持性能(0.5 V偏压下保持104 s以上),高低阻态比值达到104。基于XPS以及电学分析,薄膜的导电过程可用与氧空位相关的空间电荷限制电流模型解释。 展开更多
关键词 磁控溅射法 hfox薄膜 电阻转变特性 双极性
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一种基于斯坦福RRAM模型的参数提取方法
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作者 孙海燕 张硕 +1 位作者 张晓波 戴澜 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第8期670-675,共6页
阻变随机存取存储器(RRAM)是一种新型非易失性存储器件,比主流的闪存(Flash)器件具有更快的读/写速度、更低的编程电压和功耗。然而由于工艺不成熟等因素,RRAM准确的器件模型需要在已有的斯坦福物理模型基础上,对多达6个曲线拟合参数反... 阻变随机存取存储器(RRAM)是一种新型非易失性存储器件,比主流的闪存(Flash)器件具有更快的读/写速度、更低的编程电压和功耗。然而由于工艺不成熟等因素,RRAM准确的器件模型需要在已有的斯坦福物理模型基础上,对多达6个曲线拟合参数反复进行调整,具有一定的建模难度。提出了一种简并参数的建模方法,通过器件实测数据计算出其中4个曲线拟合参数I_(0)、g_(0)、γ_(0)、β。该方法大大降低了将物理模型适配为实际模型的建模难度,且由于基于实测数据,该建模方法理论上对不同工艺具有适配性。最后在不同工艺条件下制作了基于HfO_(x)材料的RRAM器件,并验证了该方法的有效性、先进性和准确性。 展开更多
关键词 阻变随机存取存储器(RRAM) 非易失性存储器 器件模型 hfox材料 导电细丝理论
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HfO_x薄膜双极电阻转变特性及其机理的研究
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作者 李艳艳 刘正堂 谭婷婷 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期412-416,共5页
本文采用射频磁控溅射法在ITO/Glass衬底上制备了Cu/HfOx/Ti MIM结构,对其电学性能和化学成分进行了分析。结果表明,Cu/HfOx/Ti结构在不发生软击穿(forming)的情况下具有明显的双极电阻转变特性,高低阻比大于10,并且具有良好的重复性与... 本文采用射频磁控溅射法在ITO/Glass衬底上制备了Cu/HfOx/Ti MIM结构,对其电学性能和化学成分进行了分析。结果表明,Cu/HfOx/Ti结构在不发生软击穿(forming)的情况下具有明显的双极电阻转变特性,高低阻比大于10,并且具有良好的重复性与保持性。HfOx薄膜中含有大量的氧空位,电阻转变过程可能与氧空位形成的导电细丝有关。 展开更多
关键词 hfox薄膜 双极电阻转变特性 氧空位
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High uniformity and forming-free ZnO-based transparent RRAM with HfO_x inserting layer 被引量:1
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作者 Shi-Jian Wu Fang Wang +5 位作者 Zhi-Chao Zhang Yi Li Ye-Mei Han Zheng-Chun Yang Jin-Shi Zhao Kai-Liang Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期549-553,共5页
The impacts of HfOx inserting layer thickness on the electrical properties of the ZnO-based transparent resistance random access memory (TRRAM) device were investigated in this paper. The bipolar resistive switching... The impacts of HfOx inserting layer thickness on the electrical properties of the ZnO-based transparent resistance random access memory (TRRAM) device were investigated in this paper. The bipolar resistive switching behavior of a single ZnO film and bilayer HfOx/ZnO films as active layers for TRRAM devices was demonstrated. It was revealed that the bilayer TRRAM device with a 10-nm HfOx inserted layer had a more stable resistive switching behavior than other devices including the single layer device, as well as being forming free, and the transmittance was more than 80% in the visible region. For the HfOx/ZnO devices, the current conduction behavior was dominated by the space-charge-limited current mechanism in the low resistive state (LRS) and Schottky emission in the high resistive state (HRS), while the mechanism for single layer devices was controlled by ohmic conduction in the LRS and Poole-Frenkel emission in the HRS. 展开更多
关键词 transparent resistive random access memory (TRRAM) hfox inserting layer UNIFORMITY forming-free
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溅射法制备透明HfO_x薄膜及其阻变特性研究
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作者 曾泽村 邱文彪 赖云锋 《廊坊师范学院学报(自然科学版)》 2016年第1期47-50,共4页
采用溅射法制备的非晶结构HfO_x薄膜,其平均透射率超过80%,禁带宽度约为5.73 eV。以此制备的ITO/HfO_x/Ti阻变存储器,表现出稳定且可重复的双极性电阻开关行为,同时,常温下具有卓越的数据保持特性及良好的耐擦写特性。研究发现,ITO/HfO_... 采用溅射法制备的非晶结构HfO_x薄膜,其平均透射率超过80%,禁带宽度约为5.73 eV。以此制备的ITO/HfO_x/Ti阻变存储器,表现出稳定且可重复的双极性电阻开关行为,同时,常温下具有卓越的数据保持特性及良好的耐擦写特性。研究发现,ITO/HfO_x/Ti阻变存储器的低阻态电荷输运机制为欧姆传导机制,而高阻态下则以空间电荷限制电流机制(SCLC)为主导。 展开更多
关键词 溅射法 氧化铪 阻变存储器 阻变机理
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不同气氛沉积和后退火处理的HfO_(x<2)薄膜的弱铁磁性
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作者 周广东 陈显峰 +5 位作者 涂雅婷 张守英 刘志江 李建 陈鹏 邱晓燕 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2012年第9期926-933,共8页
无磁性掺杂HfO2薄膜的室温弱铁磁性是2004年发现的一种不能用传统固体铁磁理论释的奇特磁现.本文用射频磁控溅射方法在不同气中制备和后退火HfOx薄膜样品,对比研究气对其室温弱铁磁性的影响.物析表明,室温沉积在蓝石衬底上的HfOx薄膜为... 无磁性掺杂HfO2薄膜的室温弱铁磁性是2004年发现的一种不能用传统固体铁磁理论释的奇特磁现.本文用射频磁控溅射方法在不同气中制备和后退火HfOx薄膜样品,对比研究气对其室温弱铁磁性的影响.物析表明,室温沉积在蓝石衬底上的HfOx薄膜为部晶的单斜多晶薄膜,且存在一定程度的氧失配.室温磁性测量果显示HfOx<2多晶薄膜具有典型的弱铁磁性磁化曲,且饱和磁矩具有各异性.对比实验果表明,缺氧气(纯氩或氩氮混合气)中沉积薄膜的和磁矩略大于富氧气(氩氧混合气)中沉积薄膜的和磁矩.缺氧气(纯氮和高真空)中后退火处理后,薄膜饱和磁矩随着退火温度的升高而增大;而纯氧气中后退火处理后,薄膜和磁矩大幅减小.沉积和后退火气中氧含量的高低对薄膜和磁矩的显影响表明氧空位是HfOx<2薄膜弱铁磁性的要来源之一. 展开更多
关键词 hfox薄膜 室温弱铁磁性 射频磁控溅射
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HfO_x缓冲层对γ-Fe_2O_3纳米微粒膜电阻开关特性的影响 被引量:3
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作者 刘志江 张守英 +2 位作者 霍进迁 李建 邱晓燕 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2014年第4期417-424,共8页
本文利用射频磁控溅射和滴涂法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了HfOx/γ-Fe2O3/HfOx三明治结构,研究了HfOx缓冲层对γ-Fe2O3纳米微粒薄膜电阻开关特性的影响.微结构观测分析结果显示:γ-Fe2O3纳米微粒平均粒径约为34.3 nm,HfOx缓冲层为氧配... 本文利用射频磁控溅射和滴涂法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了HfOx/γ-Fe2O3/HfOx三明治结构,研究了HfOx缓冲层对γ-Fe2O3纳米微粒薄膜电阻开关特性的影响.微结构观测分析结果显示:γ-Fe2O3纳米微粒平均粒径约为34.3 nm,HfOx缓冲层为氧配比不足的单斜相多晶薄膜.电学性能测试表明:插入HfOx缓冲层后,γ-Fe2O3纳米微粒薄膜的电阻开关特性明显改善:在-0.8 V读取电压下,高/低电阻态阻值平均比值约为18.7,该比值可稳定维持>100个循环周期.指数定律拟合实验曲线结果表明:高阻态漏电流以缺陷主导的空间电荷限制隧穿电流为主;而低阻态则以欧姆接触电导为主.Ag上电极与HfOx缓冲层界面处氧离子的定向漂移使得薄膜中氧空位缺陷形成的导电细丝通道周期性地导通与截断,从而使得薄膜呈现电阻开关效应. 展开更多
关键词 γ-Fe2O3纳米微粒 hfox薄膜 电阻开关特性
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