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离子束溅射制备HfO_(2)/SiO_(2)紫外色散薄膜特性(特邀)
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作者 张锦龙 张言准 +6 位作者 汲小川 钮信尚 焦宏飞 夏菁菁 李冬冬 程鑫彬 王占山 《光学学报(网络版)》 2025年第22期67-73,共7页
系统研究了离子束溅射制备HfO_(2)/SiO_(2)紫外色散薄膜的工艺。首先,通过对比氩气与氪气溅射工艺,明确氩气作为溅射气体制备的HfO_(2)单层膜在紫外波段具有更弱的吸收。其次,探究了退火温度对HfO_(2)薄膜光学特性和结构的影响,结果表明... 系统研究了离子束溅射制备HfO_(2)/SiO_(2)紫外色散薄膜的工艺。首先,通过对比氩气与氪气溅射工艺,明确氩气作为溅射气体制备的HfO_(2)单层膜在紫外波段具有更弱的吸收。其次,探究了退火温度对HfO_(2)薄膜光学特性和结构的影响,结果表明,500℃退火处理可最大程度优化HfO_(2)薄膜性能。基于优化后的HfO_(2)材料参数,采用宽光谱监控技术精确制备了层数为90的紫外色散薄膜,并通过500℃退火工艺使色散薄膜在290~390 nm目标波段内的平均反射率由97.36%提高至98.18%,证明退火有效降低了光学损耗;同时,色散薄膜群延迟色散在320~380 nm内满足(-50±20)fs^(2)。本研究阐明了HfO_(2)薄膜的溅射与退火协同优化机制及其效果,为高性能紫外色散薄膜提供了可借鉴的工艺路径。 展开更多
关键词 紫外色散薄膜 离子束溅射 hfo_(2)薄膜 热退火
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HfO_(2)基铁电材料准静态负电容机理
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作者 尹志岗 董昊 +3 位作者 程勇 吴金良 张志伟 张兴旺 《北京工业大学学报》 北大核心 2025年第3期269-276,共8页
HfO_(2)基铁电薄膜的负电容现象提供了解决微纳电子器件功耗问题的可行策略,但其物理图像却一直饱受争议。基于Landau-Devonshire和Landau-Khalatnikov方程,对铁电HfO_(2)/介质双层体系开展了理论模拟。结果表明:根植于零场吉布斯自由... HfO_(2)基铁电薄膜的负电容现象提供了解决微纳电子器件功耗问题的可行策略,但其物理图像却一直饱受争议。基于Landau-Devonshire和Landau-Khalatnikov方程,对铁电HfO_(2)/介质双层体系开展了理论模拟。结果表明:根植于零场吉布斯自由能及准静态极化-电场曲线的准静态负电容理论,难以如实反映极化-电场动态演化轨迹。与准静态负电容理论的预言不同,HfO_(2)/介质体系的负电容强烈依赖于介质层分压效应,具有瞬态属性。回滞现象与Landau-Khalatnikov方程中的阻尼系数相关,本质上起源于热耗散过程,基于电容匹配原理很难完全消除回滞。与阻尼系数相关的热耗散随频率增大而急剧增加,因此负电容场效应晶体管并不适用于高频应用领域。该研究有助于深入理解HfO_(2)基体系中的负电容物理起源。 展开更多
关键词 负电容 极化-电压曲线 回滞 吉布斯自由能 热耗散 氧化铪基铁电材料
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Eu含量对Eu_(2)O_(3)-HfO_(2)粉体微观结构影响
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作者 任思琪 陈聪 +3 位作者 闫国庆 马朝辉 周义鸿 王力军 《稀有金属》 北大核心 2025年第4期509-517,共9页
Eu_(2)Hf_(x)O_(y)陶瓷是理想的反应堆中子吸收材料,可用在控制棒中控制反应堆的运行。本文采用共沉淀法制备出不同Eu含量的Eu_(2)O_(3)-HfO_(2)陶瓷粉体,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱(EDS)对粉末物相、形貌及成分进行了表... Eu_(2)Hf_(x)O_(y)陶瓷是理想的反应堆中子吸收材料,可用在控制棒中控制反应堆的运行。本文采用共沉淀法制备出不同Eu含量的Eu_(2)O_(3)-HfO_(2)陶瓷粉体,并用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱(EDS)对粉末物相、形貌及成分进行了表征分析,研究了Eu含量对Eu_(2)O_(3)-HfO_(2)粉体微观形貌的影响。XRD结果表明Eu_(2)O_(3)∶HfO_(2)摩尔比为1∶1,1∶2和1∶7(Eu含量分别为54.09%,39.38%和16.68%)制备的烧结粉体,其物相组成分别是Eu_(2)O_(3)/Eu_(2)Hf_(2)O_(7),Eu_(2)Hf_(2)O_(7)及Eu_(2)Hf_(2)O_(7)/HfO_(2)。SEM和EDS结果表明,Eu含量不同的Eu_(x)Hf_(y)O_(7)粉体中出现了3种典型的形貌结构。3种形貌特征分别是大尺寸形状规则结晶(Eu_(2)O_(3))、由球形纳米一次粒子构成的形状不规则团聚体富铕铪酸铕(Eu_(2~x)Hf_(2)O_(7~y))和由纳米级形状规则一次结晶构成的规则结晶团聚体富铪铪酸铕(Eu_(2)Hf_(2~x)O_(7~y))。结果表明,陶瓷粉体Eu含量对粉体物相组成和形貌特征影响显著;当Eu_(2)O_(3)∶HfO_(2)配比为1∶1和1∶2时,两种粉体的前驱体与烧结体晶体生长规律具有一定继承性;当Eu含量与Eu_(2)Hf_(2)O_(7)化学计量相比相当或者过量时,Eu_(2)O_(3)具有优先结晶并长大的倾向。 展开更多
关键词 Eu_(2)O_(3)-hfo_(2)粉体 烧结 共沉淀 结晶
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聚酰亚胺/米粒状HfO_(2) 复合薄膜的制备及其性能研究
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作者 董军乐 刘婉婉 +5 位作者 李佳怡 赵勇 黄玲艳 刘一军 冯永强 黄剑锋 《陕西科技大学学报》 北大核心 2025年第3期105-110,共6页
以智能电动汽车为代表的新一代科技革命的快速发展,给汽车电机绝缘漆包线的耐温性能提出了更高要求.因此,耐高温高性能漆包线漆膜受到行业的高度关注.本文通过原位聚合法将米粒状HfO_(2)纳米粒子复合到聚酰亚胺(PI)基体中,得益于HfO_(2... 以智能电动汽车为代表的新一代科技革命的快速发展,给汽车电机绝缘漆包线的耐温性能提出了更高要求.因此,耐高温高性能漆包线漆膜受到行业的高度关注.本文通过原位聚合法将米粒状HfO_(2)纳米粒子复合到聚酰亚胺(PI)基体中,得益于HfO_(2)纳米粒子独特的微观形貌、较小的尺寸特征及单一的单斜晶相,所得PI/HfO_(2)(米粒状)复合薄膜可见光区透过率达到90%,水接触角增加到91.4°,失重率为10%时的热分解温度由纯PI膜492℃提高至522℃,介电常数提升至4.4(200 kHz).本工作对开发新型高性能漆包线新配方具有重要指导意义. 展开更多
关键词 hfo_(2) 聚酰亚胺 复合薄膜 漆包线
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氧空位增强PdNi/HfO_(2)催化剂在乙二醇电催化氧化中的活性
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作者 张娜娜 李静 《化学学报》 北大核心 2025年第7期709-715,共7页
为了进一步提升直接乙二醇燃料电池的性能,开发高效的乙二醇氧化反应(EGOR)电催化剂至关重要.尽管PdNi合金纳米晶表现出优异的EGOR活性,但其性能仍难以满足燃料电池的实际应用需求.基于此,本研究提出通过构建氧空位(O_(v))来增强PdNi合... 为了进一步提升直接乙二醇燃料电池的性能,开发高效的乙二醇氧化反应(EGOR)电催化剂至关重要.尽管PdNi合金纳米晶表现出优异的EGOR活性,但其性能仍难以满足燃料电池的实际应用需求.基于此,本研究提出通过构建氧空位(O_(v))来增强PdNi合金电催化活性的创新策略.在氧化铪(HfO_(2))材料合成过程中引入镍(Ni)掺杂,成功诱导HfO_(2)从晶相向非晶相转变,并在其内部形成高浓度氧空位.以此作为载体,负载PdNi合金纳米晶,即制备得到PdNi/HfO_(2)-O_(v)催化剂.在碱性体系电化学EGOR中,PdNi/HfO_(2)-O_(v)催化剂质量活性达到10.28A·mg_(Pd)^(-1),较无氧空位的PdNi/HfO_(2)及商用钯碳(Pd/C)催化剂分别提升2.2倍与7.56倍.X射线光电子能谱(XPS)研究发现氧空位的引入能够调控Pd的电子结构,产生电子效应进而提升PdNi活性.通过Ni掺杂,同时调控HfO_(2)载体晶型和氧空位缺陷,并通过氧空位调控Pd合金电子结构和本征活性的研究思路,为直接乙二醇燃料电池阳极催化剂设计提供了新策略. 展开更多
关键词 直接乙二醇燃料电池 乙二醇氧化 PdNi合金 氧空位 hfo_(2)
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离子束辅助沉积对HfO_(2)薄膜极化行为的影响
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作者 李德鹏 金永军 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 2025年第3期268-275,共8页
采用离子束辅助沉积工艺制备了HfO_(2)薄膜。采用扫描电子显微镜表征了薄膜的表面形貌和生长率,利用X射线衍射和快速退火工艺研究了薄膜的结晶温度和物相,使用铁电测试仪研究了薄膜的极化特性,并探讨了辅助沉积条件和底电极的选择对极... 采用离子束辅助沉积工艺制备了HfO_(2)薄膜。采用扫描电子显微镜表征了薄膜的表面形貌和生长率,利用X射线衍射和快速退火工艺研究了薄膜的结晶温度和物相,使用铁电测试仪研究了薄膜的极化特性,并探讨了辅助沉积条件和底电极的选择对极化行为的影响。XRD测试结果显示,当退火温度高于600℃,HfO_(2)薄膜出现明显晶化且具有马氏体相结构。由离子束辅助沉积导致的择优取向增强了顺电的极化特性,且漏电流密度随离子束流增大而减小。与Pt基底相比,TiN作为底电极薄膜具有更大极化率。 展开更多
关键词 hfo_(2)薄膜 马氏体相 退火温度 极化特性 离子束辅助沉积
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高重频激光冲击波对3ωHfO_(2)/SiO_(2)高反膜抗激光损伤性能的影响
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作者 周欣燕 朱千存 +1 位作者 陈雷清 刘文文 《温州大学学报(自然科学版)》 2025年第2期18-25,共8页
电子束蒸发沉积的光学薄膜是紫外高功率激光系统中的重要元件之一,但其较低的抗激光损伤性能一直是限制紫外高功率激光系统进一步发展的技术难点之一.为了提高电子束蒸发沉积的薄膜在紫外波段的抗激光损伤性能,将基于热力耦合作用的高... 电子束蒸发沉积的光学薄膜是紫外高功率激光系统中的重要元件之一,但其较低的抗激光损伤性能一直是限制紫外高功率激光系统进一步发展的技术难点之一.为了提高电子束蒸发沉积的薄膜在紫外波段的抗激光损伤性能,将基于热力耦合作用的高重频激光冲击技术作为一种全新的后处理手段作用于电子束蒸发沉积的薄膜上,探究高重频激光冲击后处理技术是否可以提升HfO_(2)/SiO_(2)高反膜在紫外波段的抗激光损伤性能.采用单脉冲方式对薄膜样品进行激光损伤测试,分析了经过与未经过高重频激光冲击后处理技术的薄膜样品的光学性能、零几率损伤阈值、损伤几率曲线及损伤形貌.结果表明:在不降低光学薄膜元件本身光学性能的前提下,基于热力耦合作用的高重频激光冲击后处理技术可以有效提升电子束蒸发沉积薄膜的抗激光损伤性能. 展开更多
关键词 hfo_(2)/SiO_(2)高反膜 激光冲击波 高重频激光 后处理 抗激光损伤性能
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Wedge-shaped HfO_(2) buffer layer-induced field-free spin-orbit torque switching of HfO_(2)/Pt/Co structure 被引量:1
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作者 陈建辉 梁梦凡 +4 位作者 宋衍 袁俊杰 张梦旸 骆泳铭 王宁宁 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期662-667,共6页
Field-free spin-orbit torque(SOT)switching of perpendicular magnetization is essential for future spintronic devices.This study demonstrates the field-free switching of perpendicular magnetization in an HfO_(2)/Pt/Co/... Field-free spin-orbit torque(SOT)switching of perpendicular magnetization is essential for future spintronic devices.This study demonstrates the field-free switching of perpendicular magnetization in an HfO_(2)/Pt/Co/TaO_(x) structure,which is facilitated by a wedge-shaped HfO_(2)buffer layer.The field-free switching ratio varies with HfO_(2)thickness,reaching optimal performance at 25 nm.This phenomenon is attributed to the lateral anisotropy gradient of the Co layer,which is induced by the wedge-shaped HfO_(2)buffer layer.The thickness gradient of HfO_(2)along the wedge creates a corresponding lateral anisotropy gradient in the Co layer,correlating with the switching ratio.These findings indicate that field-free SOT switching can be achieved through designing buffer layer,offering a novel approach to innovating spin-orbit device. 展开更多
关键词 spin-orbit torque field-free switching hfo_(2) buffer layer
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Improved ferroelectricity in Mn-doped HfO_(2)(111)epitaxial thin films through controlled doping and substrate orientation
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作者 Jiayi Gu Haiyi Zhang +5 位作者 Weijin Pan Haifeng Bu Zhijian Shen Shengchun Shen Yuewei Yin Xiaoguang Li 《Chinese Physics B》 2025年第8期722-727,共6页
Doped HfO_(2)as an emerging ferroelectric material,holds considerable promise for non-volatile memory applications.Epitaxial growth of doped HfO_(2)thin films is widely adopted as an effective technique for revealing ... Doped HfO_(2)as an emerging ferroelectric material,holds considerable promise for non-volatile memory applications.Epitaxial growth of doped HfO_(2)thin films is widely adopted as an effective technique for revealing the intrinsic ferroelectric properties.In this study,based on systematic structural,chemical and electrical investigations,the influences of Mn doping and substrate orientation on ferroelectric properties of Mn-doped HfO_(2)epitaxial thin films are investigated.The results demonstrate that Mn-doped HfO_(2)thin films with orthorhombic phase can be epitaxially grown along[111]out-of-plane direction on both SrTiO_(3)(001)and(110)substrates,and 10%Mn-doping significantly stabilizes the orthorhombic polar phase and enhances the ferroelectric polarization.Interestingly,compared to the films on SrTiO_(3)(001)substrate,the better crystallinity and reduction of oxygen vacancy amount in Mn-doped HfO_(2)films grown on the SrTiO_(3)(110)substrate are observed,which enhance the remanent polarization and reduce the coercive field.It provides an effective approach for the controllable regulation of defects and the enhancement of intrinsic ferroelectricity in HfO_(2)-based materials. 展开更多
关键词 hfo_(2)-based ferroelectric substrate orientation FERROELECTRICITY DEFECTS
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Enhanced synaptic properties in HfO_(2)-based trilayer memristor by using ZrO_(2-x) oxygen vacancy reservoir layer for neuromorphic computing
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作者 Turgun Boynazarov Joonbong Lee +5 位作者 Hojin Lee Sangwoo Lee Hyunbin Chung Dae Haa Ryu Haider Abbas Taekjib Choi 《Journal of Materials Science & Technology》 2025年第24期164-173,共10页
Neuromorphic computing devices leveraging HfO_(2) and ZrO_(2) materials have recently garnered significant attention due to their potential for brain-inspired computing systems.In this study,we present a novel trilaye... Neuromorphic computing devices leveraging HfO_(2) and ZrO_(2) materials have recently garnered significant attention due to their potential for brain-inspired computing systems.In this study,we present a novel trilayer Pt/HfO_(2)/ZrO_(2-x)/HfO_(2)/TiN memristor,engineered with a ZrO_(2-x) oxygen vacancy reservoir(OVR)layer fabricated via radio frequency(RF)sputtering under controlled oxygen ambient.The incorporation of the ZrO_(2-x) OVR layer enables enhanced resistive switching characteristics,including a high ON/OFF ratio(∼8000),excellent uniformity,robust data retention(>105 s),and multilevel storage capabilities.Furthermore,the memristor demonstrates superior synaptic plasticity with linear long-term potentiation(LTP)and depression(LTD),achieving low non-linearity values of 1.36(LTP)and 0.66(LTD),and a recognition accuracy of 95.3%in an MNIST dataset simulation.The unique properties of the ZrO_(2-x) layer,particularly its ability to act as a dynamic oxygen vacancy reservoir,significantly enhance synaptic performance by stabilizing oxygen vacancy migration.These findings establish the OVR-trilayer memristor as a promising candidate for future neuromorphic computing and high-performance memory applications. 展开更多
关键词 hfo_(2)-based trilayer memristor ZrO_(2-x)oxygen vacancy reservoir Synaptic plasticity Non-volatile memory Neuromorphic computing
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Effects of HfO_2 buffer layers on the dielectric property and leakage current of Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 thin films by pulsed laser deposition
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作者 耿彦 程晋荣 +1 位作者 俞圣雯 吴文彪 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2010年第6期456-459,共4页
Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage curre... Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage current of BST thin films were focused. The dielectric constant of BST thin films increased and then decreased with the increase of HfO 2 thickness, while the dielectric relaxation was gradually improved. The loss tangent and leakage current under positive bias decreased with the HfO 2 thickness increasing. The leakage current analysis based on the Schottky emission indicated an improvement of the BST/Pt interface with HfO 2 buffer layer. The loss tangent, tunability and figure of merit of optimized HfO 2 buffered BST thin film achieved 0.009 8, 21.91% (E max = 200 kV/cm), 22.40 at 10 6 Hz, respectively. 展开更多
关键词 Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin film hfo 2 buffer layer dielectric property leakage current Schottky emission
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Unveiling the orientation growth mechanism and solar-blind response performance of β-Ga_(2)O_(3)(100)film on SiC substrate with AlN buffer layer
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作者 Jie Su Zixin Zhang +5 位作者 Liang Shi Liping Feng Fuchao He Jingjing Chang Jincheng Zhang Yue Hao 《Journal of Materials Science & Technology》 2025年第7期20-28,共9页
Optimizing the orientation of β-Ga_(2)O_(3) has emerged as an effective strategy to design high-performance β-Ga_(2)O_(3) device,but the orientation growth mechanism and approach have not been revealed yet.Herein,by... Optimizing the orientation of β-Ga_(2)O_(3) has emerged as an effective strategy to design high-performance β-Ga_(2)O_(3) device,but the orientation growth mechanism and approach have not been revealed yet.Herein,by employing AlN buffer layer,the highly preferred orientation of β-Ga_(2)O_(3)(100)film rather than(-201)film is realized on 4H-SiC substrate at low sputtering power and temperature.Because β-Ga_(2)O_(3)(100)film exhibits a slower growth speed than(-201)film,the former possesses the higher dangling bond density and the lower nucleation energy,and a large conversion barrier exists between these two ori-entations.Moreover,the AlN buffer layer can suppress the surface oxidation of the 4H-SiC substrate and eliminate the strain of β-Ga_(2)O_(3)(100)film,which further reduces the nucleation energy and en-larges the conversion barrier.Meanwhile,the AlN buffer layer can increase the oxygen vacancy formation energy and decrease the oxygen vacancy concentration of β-Ga_(2)O_(3)(100)film.Consequently,the solar-blind photodetector based on the oriented film exhibits the outstanding detectivity of 1.22×10^(12) Jones and photo-to-dark current ratio of 1.11×10^(5),which are the highest among the reported β-Ga_(2)O_(3) solar-blind photodetector on the SiC substrate.Our results offer in-depth insights into the preferred orientation growth mechanism,and provide an effective way to design high-quality β-Ga_(2)O_(3)(100)orientation film and high-performance solar-blind photodetector. 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)(100)film Orientation growth AlN buffer layer Solar-blind photodetector DFT calculation
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Enhancement of Cd-Free All-Dry-Processed Cu(In_(1-x),Ga_(x))Se_(2) Thin-Film Solar Cells by Simultaneous Adoption of an Enlarged Bandgap Absorber and Tunable Bandgap Zn_(1-x)Mg_(x)O Buffer
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作者 Joo Hyung Park Yonghee Jo +6 位作者 Ara Cho Inyoung Jeong Jin Gi An Kihwan Kim Seung Kyu Ahn Donghyeop Shin Jun-Sik Cho 《Energy & Environmental Materials》 2025年第1期182-190,共9页
Attempts to remove environmentally harmful materials in mass production industries are always a major issue and draw attention if the substitution guarantees a chance to lower fabrication cost and to improve device pe... Attempts to remove environmentally harmful materials in mass production industries are always a major issue and draw attention if the substitution guarantees a chance to lower fabrication cost and to improve device performance,as in a wide bandgap Zn_(1-x)Mg_(x)O(ZMO)to replace the CdS buffer in Cu(In_(1-x),Ga_(x))Se_(2)(CIGSe)thin-film solar cell structure.ZMO is one of the candidates for the buffer material in CIGSe thin-film solar cells with a wide and controllable bandgap depending on the Mg content,which can be helpful in attaining a suitable conduction band offset.Hence,compared to the fixed and limited bandgap of a CdS buffer,a ZMO buffer may provide advantages in V_(oc) and J_(sc) based on its controllable and wide bandgap,even with a relatively wider bandgap CIGSe thin-film solar cell.In addition,to solve problems with the defect sites at the ZMO/CIGSe junction interface,a few-nanometer ZnS layer is employed for heterojunction interface passivation,forming a ZMO/ZnS buffer structure by atomic layer deposition(ALD).Finally,a Cd-free all-dry-processed CIGSe solar cell with a wider bandgap(1.25 eV)and ALD-grown buffer structure exhibited the best power conversion efficiency of 19.1%,which exhibited a higher performance than the CdS counterpart. 展开更多
关键词 atomic layer deposition conduction band offset engineering Cu(In_(1-x) Ga_(x))Se_(2)solar cell ZnMgO buffer ZnS heterojunction interface passivation
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C_f/SiC复合材料表面HfO_2涂层的制备及其抗热冲击性能研究 被引量:3
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作者 兰昊 张伟刚 +2 位作者 黄传兵 房师阁 魏玺 《装备环境工程》 CAS 2016年第3期25-30,共6页
目的研究等离子喷涂条件下Cf/SiC复合材料表面HfO2涂层的物相、显微组织及其抗热冲击性能。方法通过水热合成和喷雾造粒制备出HfO2粉体,并利用等离子喷涂在Cf/SiC复合材料表面制备HfO2涂层,研究涂层的物相、显微组织和抗热冲击性能。结... 目的研究等离子喷涂条件下Cf/SiC复合材料表面HfO2涂层的物相、显微组织及其抗热冲击性能。方法通过水热合成和喷雾造粒制备出HfO2粉体,并利用等离子喷涂在Cf/SiC复合材料表面制备HfO2涂层,研究涂层的物相、显微组织和抗热冲击性能。结果水热合成的纳米HfO2为单斜相结构,颗粒的平均粒径为10-15nm;等离子喷涂制备的HfO2涂层组织中存在微裂纹和孔隙,涂层为单斜相结构,且经1350℃热处理后涂层的相结构未发生改变。等离子喷涂的HfO2涂层与Cf/SiC复合材料基体结合良好,未观察到涂层、基体间界面分离的现象。经1350℃、50周次的空冷热冲击试验后,涂层未发生破坏失效;在1350℃水冷热冲击条件下,热循环20次时涂层表面出现剥落,27次时脱落面积〉50%。结论通过等离子喷涂制备的HfO2涂层与Cf/SiC复合材料基体结合良好,涂层能够抵御1350℃空冷、50周次热冲击,且未发生破坏失效,涂层的1350℃水冷热循环寿命达27次。 展开更多
关键词 Cf/Si C复合材料 hfo_2涂层 抗热冲击性能
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HfO_(2)基铁电薄膜的结构、性能调控及典型器件应用 被引量:5
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作者 袁国亮 王琛皓 +2 位作者 唐文彬 张睿 陆旭兵 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期69-90,共22页
大数据、物联网和人工智能的快速发展对存储芯片、逻辑芯片和其他电子元器件的性能提出了越来越高的要求.本文介绍了HfO_(2)基铁电薄膜的铁电性起源,通过掺杂元素改变晶体结构的对称性或引入适量的氧空位来降低相转变的能垒可以增强HfO_... 大数据、物联网和人工智能的快速发展对存储芯片、逻辑芯片和其他电子元器件的性能提出了越来越高的要求.本文介绍了HfO_(2)基铁电薄膜的铁电性起源,通过掺杂元素改变晶体结构的对称性或引入适量的氧空位来降低相转变的能垒可以增强HfO_(2)基薄膜的铁电性,在衬底和电极之间引入应力、减小薄膜厚度、构建纳米层结构和降低退火温度等方法也可以稳定铁电相.与钙钛矿氧化物铁电薄膜相比, HfO_(2)基铁电薄膜具有与现有半导体工艺兼容性更强和在纳米级厚度下铁电性强等优点.铁电存储器件理论上可以达到闪存的存储密度,读写次数超过1010次,同时具有读写速度快、低操作电压和低功耗等优点.此外,还总结了HfO_(2)基薄膜在负电容晶体管、铁电隧道结、神经形态计算和反铁电储能等方面的主要研究成果.最后,讨论了HfO_(2)基铁电薄膜器件当前面临的挑战和未来的机遇. 展开更多
关键词 hfo_(2)基薄膜 铁电极化 铁电存储器
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微波退火时间对HfO_(2)薄膜结构和光电性能的影响 被引量:1
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作者 赵恒利 杨培志 +1 位作者 李赛 周启航 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期1325-1331,共7页
采用原子层沉积(ALD)方法在硅衬底上沉积了氧化铪(HfO_(2))薄膜,对其进行不同时间的微波退火(MWA)。采用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)、椭偏仪(SE)和阻抗分析仪对薄膜的物相结构、形貌和... 采用原子层沉积(ALD)方法在硅衬底上沉积了氧化铪(HfO_(2))薄膜,对其进行不同时间的微波退火(MWA)。采用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV-Vis)、椭偏仪(SE)和阻抗分析仪对薄膜的物相结构、形貌和光电性能进行了表征,研究了微波退火时间对薄膜结构、光学和电学性能的影响。结果表明:沉积态的HfO_(2)薄膜具有非晶态性质;当微波退火时间从5 min延长至20 min时,HfO_(2)薄膜的折射率几乎不变,结晶性增强,表面粗糙度降低,介电常数减小。 展开更多
关键词 hfo_(2)薄膜 原子层沉积 微波退火时间 折射率 介电常数
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沉积温度对ALD制备HfO_(2)薄膜结构和性能的影响 被引量:1
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作者 赵恒利 杨培志 李赛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第3期205-210,242,共7页
采用原子层沉积(ALD)技术,以四(乙基甲基胺基)铪(TEMAHf)和去离子水为前驱体,沉积温度分别为150、200、250和300℃时,在单面抛光硅片和石英玻璃衬底上制备了HfO_(2)薄膜,并对薄膜进行了表征,研究了沉积温度对HfO_(2)薄膜结构和力学、光... 采用原子层沉积(ALD)技术,以四(乙基甲基胺基)铪(TEMAHf)和去离子水为前驱体,沉积温度分别为150、200、250和300℃时,在单面抛光硅片和石英玻璃衬底上制备了HfO_(2)薄膜,并对薄膜进行了表征,研究了沉积温度对HfO_(2)薄膜结构和力学、光学及电学性能的影响。结果表明,当沉积温度低于200℃时,制备的HfO_(2)薄膜为非晶态,在300℃时制备的薄膜结晶度最高;随沉积温度的升高HfO_(2)薄膜厚度减小,表面粗糙度呈现先递增后下降的趋势,硬度和弹性模量均有所下降,残余应力不断增加,折射率略有增加,击穿电压先不变后减小,击穿场强先缓慢增大后明显减小,介电常数先增大后减小。沉积温度为300℃时制备的HfO_(2)薄膜的均匀性和致密性最好,沉积温度为200℃时制备的HfO_(2)薄膜的电学性能最佳。 展开更多
关键词 hfo_(2)薄膜 原子层沉积(ALD) 沉积温度 表面形貌 光电性能
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不同深宽比GaAs衬底的Al_(2)O_(3)/HfO_(2)复合薄膜材料原子层沉积及能谱分析
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作者 王仍 徐国庆 +2 位作者 储开慧 李宁 李向阳 《红外》 CAS 2021年第12期1-5,共5页
利用热原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术在不同深宽比GaAs衬底上进行了Al_(2)O_(3)/HfO_(2)复合薄膜的沉积。通过对其表面和能谱进行分析发现,沉积温度对复合薄膜的摩尔比具有较大的影响。随着深宽比的增大,其沉积表面和沟... 利用热原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术在不同深宽比GaAs衬底上进行了Al_(2)O_(3)/HfO_(2)复合薄膜的沉积。通过对其表面和能谱进行分析发现,沉积温度对复合薄膜的摩尔比具有较大的影响。随着深宽比的增大,其沉积表面和沟槽内会出现残留物;随着ALD沉积温度的上升,其沉积表面和沟槽内的残留物减少,摩尔比趋向均匀。当深宽比为2.2并利用150℃的低沉积温度时,表面及底面基本无残留物。但当深宽比为4.25时,150℃沉积明显有大量残留物。只有当温度升高到300℃时,表面和沟槽里复合薄膜的残留物才被明显消除。ALD技术可以实现各种器件结构的全方位钝化,这是其他化学气相沉积法无法比拟的。 展开更多
关键词 Al_(2)O_(3)/hfo_(2)复合薄膜 原子层沉积 能谱分析
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Ti/HfO_2/Pt阻变存储单元中的氧空位聚簇分布
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作者 蒋然 杜翔浩 +1 位作者 韩祖银 孙维登 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第20期352-357,共6页
为了研究阻变存储器导电细丝的形成位置和分布规律,使用X射线光电子能谱研究了Ti/HfO_2/Pt阻变存储器件单元中Hf 4f的空间分布,得到了阻变层的微结构信息.通过I-V测试,得到该器件单元具有典型的阻变特性;通过针对Hf 4f的不同深度测试,... 为了研究阻变存储器导电细丝的形成位置和分布规律,使用X射线光电子能谱研究了Ti/HfO_2/Pt阻变存储器件单元中Hf 4f的空间分布,得到了阻变层的微结构信息.通过I-V测试,得到该器件单元具有典型的阻变特性;通过针对Hf 4f的不同深度测试,发现处于低阻态时,随着深度的增加,Hf^(4+)化学组分单调地减小;而处于高阻态和未施加电压前,该组分呈现波动分布;通过Hf^(4+)在高阻态和低阻态下组分含量以及电子能损失谱分析,得到高阻态下Hf^(4+)组分的平均含量要高于低阻态;另外,高阻态和低阻态下的O 1s谱随深度的演变也验证了Hf^(4+)的变化规律.根据实验结果,提出了局域分布的氧空位聚簇可能是造成这一现象的原因.空位簇间的链接和断裂决定了导电细丝的形成和消失.由于导电细丝容易在氧空位缺陷聚簇的地方首先形成,这一研究为导电细丝的发生位置提供了参考. 展开更多
关键词 hfo_2 氧空位 导电细丝 阻变存储器
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工作气压对Y掺杂HfO_(2)结构及电学性能的影响
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作者 惠迎雪 刘雷 +3 位作者 赵吉武 张长明 秦兴辉 刘卫国 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期340-345,354,共7页
目的基于Y掺杂高纯铪靶和钛靶的反应磁控溅射方法,在Si(100)基底上沉积掺杂Y氧化铪薄膜,以及TiN/X-HfO_(2)/TiN三层异质结构,探究Y掺杂对氧化铪基异质结构铁电性的影响。方法针对反应磁控溅射制备的Y掺杂HfO_(2)薄膜和异质结构,分别采... 目的基于Y掺杂高纯铪靶和钛靶的反应磁控溅射方法,在Si(100)基底上沉积掺杂Y氧化铪薄膜,以及TiN/X-HfO_(2)/TiN三层异质结构,探究Y掺杂对氧化铪基异质结构铁电性的影响。方法针对反应磁控溅射制备的Y掺杂HfO_(2)薄膜和异质结构,分别采用白光干涉仪、掠入射X射线衍射(GIXRD)、X光电子能谱仪(XPS)和铁电分析仪,对薄膜的沉积速率、退火后薄膜的晶体结构、掺杂元素组分及含量,以及HfO_(2)基异质结薄膜P-E电滞回线和I-V曲线进行测量。结果在相同工艺条件下,薄膜的沉积速率随着工作气压的增大呈先增大后减小的趋势,在工作气压为1.1 Pa时沉积速率达到最高值。XRD结果表明,薄膜经过退火后存在正交相(o相)和单斜相(m相)。当工作气压为0.7 Pa时,所制备HYO薄膜在28°~30°内代表o(111)相的衍射峰最强,具有最佳的铁电性。随着工作气压的增大,代表m(111)相的衍射峰强度逐渐下降。采用XPS分析了薄膜中各元素的化学状态和含量,在工作气压为0.7 Pa时,Y的掺杂浓度(物质的量分数)为5.6%,铁电分析结果表明,在工作气压从0.7 Pa增至1.3 Pa的过程中,Y掺杂的HfO_(2)基异质结的电滞回线逐渐收缩。在工作气压为0.7 Pa时,剩余极化强度P_(r)的最大值为14.11μC/cm^(2),矫顽场Ec约为1 MV/cm。结论利用Y掺杂高纯铪靶反应磁控溅射制备的掺杂铁电薄膜,在工作气压0.7 Pa下得到的薄膜经过700℃退火后具备良好的铁电性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 hfo_(2)基异质结 铁电薄膜 工作气压 钇掺杂
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