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时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征 被引量：5
1
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期44-49,共6页
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器... 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移,并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定,并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能. 展开更多
关键词 纳米计量 微机电系统 相移干涉术 hariharan算法 台阶标准
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利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征 被引量：2
2
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期302-305,共4页
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高... 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级。 展开更多
关键词 计量学 纳米计量 台阶标准 相移干涉术 hariharan算法 软件调平
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相移技术中五步等步长Stoilov算法的性能分析 被引量：24
3
作者 钱克矛 伍小平 《光学技术》 EI CAS CSCD 2001年第1期15-16,共2页
Stoilov算法是近几年提出的一种五步等步长相移算法。有关文献中的误差分析表明 ,该算法的性能优于四步等步长Carr啨算法闹懈隽耍樱簦铮椋欤铮鏊惴ǖ恼繁泶锸?,采用线性误差理论详细分析了算法的性能 ,尤其是算法性能对相移步长... Stoilov算法是近几年提出的一种五步等步长相移算法。有关文献中的误差分析表明 ,该算法的性能优于四步等步长Carr啨算法闹懈隽耍樱簦铮椋欤铮鏊惴ǖ恼繁泶锸?,采用线性误差理论详细分析了算法的性能 ,尤其是算法性能对相移步长的依赖关系。分析表明 ,可以选择一个最佳的相移步长以有效减少位相测量误差 :相移步长为 5 2°时可有效抑制二次相移量误差的影响 ;相移步长为 90°时可极大地减少光强误差的影响。最后给出了Stoilov算法与Carr啨算法和Hariharan算法的比较。 展开更多
关键词 相移干涉测量 STOILOV算法 CARRE算法 hariharan
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MEMS显微干涉测量系统中相位提取算法的选择与分析
4
作者 郭彤 陈津平 +1 位作者 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第2期151-154,共4页
描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法,达到了纳米级分辨力.从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声(相移器的移相误差和探测器的非线性响应误差)的抑制作用,并选定了适合本系统的Hariharan算法.通过对经过美国国家标... 描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法,达到了纳米级分辨力.从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声(相移器的移相误差和探测器的非线性响应误差)的抑制作用,并选定了适合本系统的Hariharan算法.通过对经过美国国家标准研究院(NIST)认证的一个台阶高度的测量,验证了各种算法的测量精度,说明Hariharan算法对噪声有更强的抑制作用,其测量重复性在亚纳米量级. 展开更多
关键词 微机电系统 相位提取算法 误差分析 hariharan算法
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一种小幅度步距相移干涉算法的相移误差分析 被引量：1
5
作者 陈柔婧 韩森 +2 位作者 康岩辉 徐春凤 李雪园 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期326-335,共10页
为缩短相移时间,减少实际环境中低频振动的引入,采用极小幅度相移步长如5°、10°、20°替代常用的90°产生5帧相移干涉条纹图进而用相移算法还原相位。同时,基于一种自调谐相移法,提出综合利用3步法和5步法分别求得相... 为缩短相移时间,减少实际环境中低频振动的引入,采用极小幅度相移步长如5°、10°、20°替代常用的90°产生5帧相移干涉条纹图进而用相移算法还原相位。同时,基于一种自调谐相移法,提出综合利用3步法和5步法分别求得相移步长与波前相位。仿真分析了相移步长20°时,该算法与Hariharan算法在相移标定、随机误差下的相位还原误差。结果表明,该算法在相移标定误差±10%内,相移步长还原精度达10^(-5)λ,相位还原误差峰谷值低至10^(-6)λ,远低于Hariharan算法误差10^(-3)λ。在5%随机相移误差内,Hariharan算法相位还原精度更高。两种算法的误差峰谷、均方根平均值相差3倍,但该自调谐算法仍具有较高还原精度。同时,取更小相移步长5°、10°对比,结果表明,在标定误差下,两种算法的相位还原精度无明显变化;在随机误差下,两种算法精度均降低。因此,从理论仿真上来说,小相移步长与该自调谐算法结合对标定误差具有突出的抑制作用,在随机相移误差下也能保证一定相位还原精度。 展开更多
关键词 相移干涉 相移步长 自调谐相移算法 hariharan算法 相移误差 相位还原误差
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