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有机朗肯循环系统工质应用研究进展及HFOs理论性能分析 被引量：1
1
作者 张董鑫 葛俊娜 +5 位作者 燕鸿飞 郭智恺 张凯 管祥添 徐铮 欧阳洪生 《浙江化工》 CAS 2024年第10期1-8,共8页
含氟工质是有机朗肯循环(ORC)系统中不可缺少的工作流体,目前主要为氢氟烷烃类化合物,但其会引起全球变暖问题,因此亟需开发性能相似的环保型工质。本文介绍了ORC系统工质使用现状,并综述了ORC系统工质研究进展。此外,对HFO-1234ze(E)、... 含氟工质是有机朗肯循环(ORC)系统中不可缺少的工作流体,目前主要为氢氟烷烃类化合物,但其会引起全球变暖问题,因此亟需开发性能相似的环保型工质。本文介绍了ORC系统工质使用现状,并综述了ORC系统工质研究进展。此外,对HFO-1234ze(E)、HCFO-1224yd、HFO-1336mzz(E)、HFO-1336mzz(Z)和HCFO-1233zd(E)5种工质开展ORC系统理论性能研究,结果显示:与HFC-245fa相比,HFO-1234ze(Z)和HCFO-1233zd(E)具有更优异的系统性能。 展开更多
关键词 有机朗肯循环 工质 性能模拟 氢氟烯烃(hfos) 能源
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基于HFOs工质的有机朗肯循环系统热经济性能分析 被引量：15
2
作者 胡硕倬 李健 +2 位作者 葛众 段远源 杨震 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期816-821,共6页
本文建立了150℃地热水驱动的有机朗肯循环(ORC)系统热经济性能分析模型,对7种氢氟烯烃类(HFOs)工质和3种含HFOs的混合工质开展优化分析。以系统净现值(NPV)为优化目标,采用遗传算法对蒸发温度、过热度、蒸发/冷凝过程夹点温差和冷源出... 本文建立了150℃地热水驱动的有机朗肯循环(ORC)系统热经济性能分析模型,对7种氢氟烯烃类(HFOs)工质和3种含HFOs的混合工质开展优化分析。以系统净现值(NPV)为优化目标,采用遗传算法对蒸发温度、过热度、蒸发/冷凝过程夹点温差和冷源出口温度等五个系统参数进行优化,分析各参数对系统热经济性能的影响。并将HFOs工质的热经济性能与R134a、R600a和R245fa进行对比。结果表明,R515A和R1234ze(E)的热经济性能最优,且均优于三种对比工质;其中,R515A的系统净输出功最大,R1234ze(E)的NPV最大,而R452B和R1234yf的热经济性能较差。 展开更多
关键词 有机朗肯循环 hfos 热经济性能 系统优化
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HFOs制冷剂在制冷空调领域的替代研究综述 被引量：28
3
作者 许晨怡 郭智恺 +5 位作者 史婉君 倪航 高旭 方一波 韩晓红 陈光明 《制冷与空调》 2019年第8期1-13,共13页
在气候变化和一系列政策法规的推动下,新型替代制冷剂的研发工作成为行业热点,其中HFOs及其混合制冷剂在当前广受关注。本文根据现阶段HFOs制冷剂的研究现状,针对HFOs纯制冷剂的热物性,基于理想单级蒸气压缩循环考虑其在空调、热泵两种... 在气候变化和一系列政策法规的推动下,新型替代制冷剂的研发工作成为行业热点,其中HFOs及其混合制冷剂在当前广受关注。本文根据现阶段HFOs制冷剂的研究现状,针对HFOs纯制冷剂的热物性,基于理想单级蒸气压缩循环考虑其在空调、热泵两种工况下的替代潜能,对HFOs制冷剂与所替代制冷剂进行理论对比分析,模拟结果初步表明:R1234yf,R1234ze(E),R1233zd(E),R1123,R1243zf,R1141,R1132(E)和R1225ye(Z)可作为制冷空调系统候选替代制冷剂;R1234ze(Z),R1233zd(E)和R1336mzz(Z)可作为热泵候选替代制冷剂。在HFOs混合制冷剂的分析中,针对R134a,R404A,R407C和R410A这几种制冷剂,依据不同的工况对可能的替代制冷剂进行理论循环计算,理论分析结果初步表明:R450A和R513A具有替代R134a制冷剂的潜力;R448A,R449A,R452A,R454A,R454C和R455A具有替代R404A制冷剂的潜力;R444B,R449A和R454C具有替代R407C制冷剂的潜力;R452B和R454B具有替代R410A制冷剂的潜力。最后根据上述分析总结出不同应用场合下HFOs制冷剂的初步替代方案,为HFOs制冷剂作为潜在的替代物提供有价值的参考。 展开更多
关键词 HFO 制冷剂替代 混合制冷剂 性能 应用
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比泽尔重视HFOs的测试应用
4
《制冷与空调》 2015年第3期101-101,共1页
不少参与上届德国纽伦堡Chillventa展览会的参展商表示,一些HFO混合剂在测试中性能非常好,以至于即便使用相同的润滑剂,它们也能实现真正的完全替代。
关键词 德国纽伦堡 测试应用 hfos 混合剂 商表示 全球变暖 拉斯 首席技术官 潜势 拉赫
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新型环保工质HP-1物性和高温热泵应用特性研究
5
作者 欧阳洪生 张董鑫 +5 位作者 岑淑婷 燕鸿飞 严丽霞 胡斌 郭智恺 韩晓红 《制冷学报》 北大核心 2025年第1期16-23,共8页
HP-1是新一代环保HFOs制冷剂,由于具有良好的热力学性能和环保性能,且其临界参数和饱和蒸气压均与R245fa性质接近,具有替代高GWP的R245fa用于高温热泵等领域的潜力。通过理论与实验的方法,对HP-1的可燃性、溶油性和材料相容性等关键物... HP-1是新一代环保HFOs制冷剂,由于具有良好的热力学性能和环保性能,且其临界参数和饱和蒸气压均与R245fa性质接近,具有替代高GWP的R245fa用于高温热泵等领域的潜力。通过理论与实验的方法,对HP-1的可燃性、溶油性和材料相容性等关键物性展开研究。研究结果表明:HP-1可燃极限为9.75%~16.10%,与MK220润滑油高温下互溶性良好,与高温热泵系统材料相容性良好。HP-1应用高温热泵机组,在蒸发温度为50~70℃时,机组冷凝温度均可达125℃,制热量为99.27~153.14 kW,COP为2.25~4.85。 展开更多
关键词 高温热泵 制冷剂替代 hfos制冷剂 物性
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PC⁃SAFT状态方程计算HFO类工质的饱和热力学性质
6
作者 陈志强 尹建国 +1 位作者 赵贯甲 马素霞 《高校化学工程学报》 北大核心 2025年第5期823-832,共10页
为了解决微扰链统计缔合理论(PC-SAFT)状态方程构造过程中使用传统参数估计方法时饱和气相密度计算精度低的问题,以R1234yf、R1234ze(E)、R1234ze(Z)和R1243zf四种氢氟烯烃(HFO)类新型环保工质为对象,采用新的参数拟合方法和不同参数模... 为了解决微扰链统计缔合理论(PC-SAFT)状态方程构造过程中使用传统参数估计方法时饱和气相密度计算精度低的问题,以R1234yf、R1234ze(E)、R1234ze(Z)和R1243zf四种氢氟烯烃(HFO)类新型环保工质为对象,采用新的参数拟合方法和不同参数模型研究了方程对饱和热力学性质的计算精度。结果表明:在参数估计时引入饱和气相密度,不仅可以有效提升方程对该性质的计算精度,而且在饱和蒸气压精度降低的情况下仍能提高方程对所有饱和性质的总体计算性能;基于新的参数估计方法,将参数拟合为温度的指数模型可显著提高方程对饱和蒸汽压的计算精度,对四种HFO工质包括气液相密度在内的饱和性质的平均绝对相对偏差最大为0.75%,最小为0.48%。研究结论有助于促进SAFT类状态方程的发展和完善。 展开更多
关键词 PC-SAFT 状态方程 hfos 饱和性质 参数化方法 参数模型
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氟化工专利精选 被引量：1
7
作者 吴世清 《化工生产与技术》 2025年第1期6-6,共1页
含制冷剂的组合物、其用途、包含该组合物的冰箱以及操作冰箱的方法该制冷剂组合物包含整个制冷剂总量的99.5%(质量分数,下同)以上的反式1,2-二氟乙烯(HFO-1132(E))和二氟甲烷(R32),并且基于HFO-1132(E)和R32的总量,包含63.0%至68.3%的H... 含制冷剂的组合物、其用途、包含该组合物的冰箱以及操作冰箱的方法该制冷剂组合物包含整个制冷剂总量的99.5%(质量分数,下同)以上的反式1,2-二氟乙烯(HFO-1132(E))和二氟甲烷(R32),并且基于HFO-1132(E)和R32的总量,包含63.0%至68.3%的HFO-1132(E);基于HFO-1132(E)和R32的总量,包含70.5%至76.5%的HFO-1132(E);或者基于HFO-1132(E)和R32的总量,包含81.6%至83.7%的HFO-1132(E)。 展开更多
关键词 R32 制冷剂 氟化工 组合物 HFO 二氟甲烷 冰箱
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欧盟PFAS限制提案解读及其对制冷空调行业影响与应对 被引量：9
8
作者 安青松 侯佳鑫 +1 位作者 史琳 戴晓业 《制冷学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期22-29,共8页
在《〈关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书〉基加利修正案》的履约和“双碳”目标的双重驱动下,制冷剂替代是制冷空调领域最为关注的热点之一。采用热物性相近的低GWP的HFOs制冷剂和天然制冷剂作为替代品,实现HFCs的削减被认为是较为... 在《〈关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书〉基加利修正案》的履约和“双碳”目标的双重驱动下,制冷剂替代是制冷空调领域最为关注的热点之一。采用热物性相近的低GWP的HFOs制冷剂和天然制冷剂作为替代品,实现HFCs的削减被认为是较为合适的替代技术路线;但随着2023年2月欧盟出台的PFAS限制提案,引发了对HFOs制冷剂替代前景的担忧,这可能影响全球制冷剂替代发展。因此,首先对PFAS物质进行了介绍,分析了含氟制冷剂与PFASs的关系,并对PFAS法案的形成脉络和关键内容进行了解读,总结了不同领域对此的观点,希望对未来制冷剂替代方案的制定提供一定思辨意义和参考价值。 展开更多
关键词 制冷剂替代 欧盟PFAS法案 PFASs hfos 基加利修正案
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COSMO-RS方法筛选离子液体作为吸收式制冷剂的吸收剂
9
作者 孙艳军 郑海圻 +2 位作者 王世彪 王晓坡 何茂刚 《制冷学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期91-98,共8页
主要研究了R1234ze(E)、R1234yf、R1233zd和R1243zf这4种氢氟烯烃类制冷剂与20种阳离子和16种阴离子相互配对成的离子液体组成的吸收式制冷工质对。通过COSMO-RS方法对工质对的亨利常数及溶解度数据进行了模拟计算。从分子表面极化电荷... 主要研究了R1234ze(E)、R1234yf、R1233zd和R1243zf这4种氢氟烯烃类制冷剂与20种阳离子和16种阴离子相互配对成的离子液体组成的吸收式制冷工质对。通过COSMO-RS方法对工质对的亨利常数及溶解度数据进行了模拟计算。从分子表面极化电荷密度的角度研究了不同工质对的亨利常数和溶解度的差异。结果表明:R1234ze(E)制冷剂的极化表面电荷密度曲线在负极区域存在一个峰值,它与正极区域出现极化表面电荷密度峰值的阴离子兼容性好,与负极区域出现极化表面电荷密度峰值的阳离子兼容性差。筛选出了与HFO类制冷剂配对时具有低的亨利常数以及高溶解度的离子液体。 展开更多
关键词 COSMO-RS 离子液体 HFO制冷剂 吸收式制冷
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气相氢氟烃和氢氟烯烃与·OH反应的量子化学计算方法筛选 被引量：1
10
作者 丁保君 姜琦 +2 位作者 夏德铭 马芳芳 陈景文 《环境化学》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期3256-3264,共9页
氢氟烃(HFCs)和氢氟烯烃(HFOs)常被用作氢氯氟烃的替代物.为评估HFCs和HFOs是否可以理想替代氢氯氟烃,需要对其大气转化进行充分研究,尤其需要充分了解其大气持久性的信息.目前用于评估化学品大气持久性的重要参数气相羟基自由基(·... 氢氟烃(HFCs)和氢氟烯烃(HFOs)常被用作氢氯氟烃的替代物.为评估HFCs和HFOs是否可以理想替代氢氯氟烃,需要对其大气转化进行充分研究,尤其需要充分了解其大气持久性的信息.目前用于评估化学品大气持久性的重要参数气相羟基自由基(·OH)二级反应速率常数(k_(OH))的数据量尚不能满足多种HFCs和HFOs的评估.因此有必要发展能够快速预测k_(OH)的方法.量子化学计算方法具有高效、准确的优点,是预测k_(OH)的重要手段.然而目前研究使用的量子化学方法纷繁复杂,亟需筛选适合HFCs和HFOs的量子化学方法.本研究基于3种HFCs(CF_(3)CF_(2)H、CF_(3)CH_(2)CF_(3)和CF_(3)CF_(2)(CHF_(2)CF_(3))和2个HFOs(CF_(2)CH_(2)和CF_(3)CH_(2)CF_(3))的实验数据,从多种热力学参数计算方法和动力学计算方法中筛选适用于计算HFCs和HFOs气相k_(OH)的方法.研究结果表明,通过对比lgk_(OH)的实测值与不同计算方法所得计算值之间的平均绝对误差(MAE),利用Skodje-Truhlar隧道效应校正系数(κS)修正传统过渡态理论(TST),再结合M06-2X-D3/def2-TZVP//M06-2X/cc-pVDZ水平的密度泛函理论(DFT)计算HFCs的k_(OH)效果最好,其MAE值为0.17;采用Wigner隧道效应校正系数(κ_(W))修正的TST结合M06-2X-D3/aug-ccpVTZ//M06-2X/cc-pVDZ(MAE=0.50)的方法计算HFOs的k_(OH)效果最好;而κ_(S)修正TST的M06-2XD3/aug-cc-pVTZ//M06-2X/cc-pVDZ(MAE=0.34)或M06-2X-D3/jul-cc-pVTZ//M06-2X/cc-pVDZ(MAE=0.35)方法都适用于计算HFCs和HFOs的k_(OH).本研究筛选的方法为快速、准确计算HFCs和HFOs的k_(OH)及评估其大气持久性提供了方法支撑. 展开更多
关键词 氢氟烃 (HFCs) 氢氟烯烃 (hfos) ·OH 量子化学计算 密度泛函理论(DFT) 动力学
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沉积温度对HfO_2薄膜残余应力的影响 被引量：10
11
作者 申雁鸣 贺洪波 +2 位作者 邵淑英 范正修 邵建达 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1812-1816,共5页
用电子束蒸发方法制备了HfO2薄膜,根据镀膜前后基片曲率半径的变化,用Stoney公式计算了薄膜应力,讨论了沉积温度对薄膜残余应力的影响.结果发现,HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随沉积温度的升高先增大后减小,在280℃左右出现极大... 用电子束蒸发方法制备了HfO2薄膜,根据镀膜前后基片曲率半径的变化,用Stoney公式计算了薄膜应力,讨论了沉积温度对薄膜残余应力的影响.结果发现,HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随沉积温度的升高先增大后减小,在280℃左右出现极大值.对样品进行了XRD测试,从微观结构上对实验结果进行了分析,发现微结构演变引起的内应力变化是引起薄膜残余应力改变的主要因素,HfO2薄膜在所选沉积温度60～350℃内出现了晶态转变,堆积密度随温度升高而增大. 展开更多
关键词 HFO2薄膜 残余应力 沉积温度 微结构 X射线衍射
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薄膜厚度对HfO_2薄膜残余应力的影响 被引量：9
12
作者 申雁鸣 贺洪波 +2 位作者 邵淑英 范正修 邵建达 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期412-415,共4页
HfO2薄膜是用电子束蒸发方法制备的,利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力。对样品进行了XRD测试,讨论了膜厚对薄膜残余应力的影响。结果发现不同厚度HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随薄膜厚度的增加... HfO2薄膜是用电子束蒸发方法制备的,利用ZYGO干涉仪测量了基片镀膜前后曲率半径的变化,计算了薄膜应力。对样品进行了XRD测试,讨论了膜厚对薄膜残余应力的影响。结果发现不同厚度HfO2薄膜的残余应力均为张应力,应力值随薄膜厚度的增加而减小,当薄膜厚度达到一定值后,应力值趋于稳定。从微观结构变化对实验结果进行了分析,发现微结构演变引起的本征应力变化是引起薄膜残余应力改变的主要因素。 展开更多
关键词 HFO2薄膜 残余应力 膜厚 电子束蒸发
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HfO_2/SiO_2高反射膜的缺陷及其激光损伤 被引量：21
13
作者 胡建平 陈梅 +1 位作者 付雄鹰 柴林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期529-532,共4页
用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力... 用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同 ,节瘤缺陷最低 ,约为 1 5 J/ cm2 ,薄膜的损伤阈值主要由其决定 ,孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高 ,约为节瘤的 2～ 3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞 ,与镀制过程中形成的孔洞形貌相似 ,激光再损伤能力也相似。 展开更多
关键词 HfO2/SiO2高反射薄膜 表面缺陷 激光损伤 原子电子显微镜 SEM 显微分析
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R1234ze(E)与R134a在水平强化管外降膜蒸发实验对比 被引量：2
14
作者 叶梓阳 欧阳新萍 赵加普 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期20-25,共6页
为研究HFOs制冷剂R1234ze(E)与HFCs制冷剂R134a在Y型翅内螺纹双侧强化管管外降膜蒸发的换热性能,搭建了水平管降膜蒸发换热性能测试实验台,分别在不同的管内水速、喷淋密度、热流密度以及蒸发温度条件下进行了实验,利用Wilson-Gnielinsk... 为研究HFOs制冷剂R1234ze(E)与HFCs制冷剂R134a在Y型翅内螺纹双侧强化管管外降膜蒸发的换热性能,搭建了水平管降膜蒸发换热性能测试实验台,分别在不同的管内水速、喷淋密度、热流密度以及蒸发温度条件下进行了实验,利用Wilson-Gnielinski图解法分离管内外的换热系数,得到了2种制冷工质管外降膜蒸发时的换热特性。实验数据分析表明:该强化管管内换热的强化倍率为2.34,2种制冷剂的总传热系数K和管外换热系数h o均随着制冷剂喷淋密度的增加呈现先升高再略有降低的趋势;随热流密度的增加呈现降低趋势;随蒸发温度的增加呈现增加趋势,但变化量较小。R1234ze(E)的管外降膜蒸发换热系数略高于R134a。 展开更多
关键词 降膜蒸发 强化传热 威尔逊图解法 hfos制冷剂
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不同氧氩比例对氧化铪(HfO_2)薄膜的结构及性能的影响 被引量：12
15
作者 何智兵 吴卫东 +2 位作者 许华 张继成 唐永建 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期159-162,共4页
在不同氧氩比例气氛下,采用直流磁控反应溅射方法制备了HfO2薄膜。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外可见光谱(UV-Visible spectrum)等研究了氧氩比例的不同,对HfO2薄膜的晶体结构、化学配比、表面形... 在不同氧氩比例气氛下,采用直流磁控反应溅射方法制备了HfO2薄膜。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外可见光谱(UV-Visible spectrum)等研究了氧氩比例的不同,对HfO2薄膜的晶体结构、化学配比、表面形貌和光学性能的影响。结果显示:室温下,不同氧氩比例的HfO2薄膜都为非晶结构;随着氧分量的减少,Hf4f与O1s的XPS峰向小的结合能方向移动;在氧分量较大的气氛下,HfO2薄膜的化学失配度较小,薄膜均匀,致密,在400 nm^1 100 nm有良好的光透过性。 展开更多
关键词 HFO2薄膜 直流磁控反应溅射 XPS
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CeO_2掺杂对HfO_2栅介质电学特性的影响 被引量：6
16
作者 杨萌萌 屠海令 +3 位作者 张心强 熊玉华 王小娜 杜军 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期292-296,共5页
采用磁控共溅射的方法在p-Si(100)衬底上沉积了掺杂和不掺杂CeO2的HfO2薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜中元素的化学计量比及结合能,制备MOS结构并对漏电流及电容等电学性能进行表征。结果表明,掺入CeO2后,整个体系的氧空位... 采用磁控共溅射的方法在p-Si(100)衬底上沉积了掺杂和不掺杂CeO2的HfO2薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜中元素的化学计量比及结合能,制备MOS结构并对漏电流及电容等电学性能进行表征。结果表明,掺入CeO2后,整个体系的氧空位生成能增大,氧空位数目减少,漏电流较纯HfO2下降了一个数量级,满足作为高k材料的要求。 展开更多
关键词 CEO2 HFO2 掺杂 氧空位 高k
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化学法制备的HfO_2薄膜的激光损伤阈值研究 被引量：4
17
作者 沈军 罗爱云 +4 位作者 吴广明 林雪晶 谢志勇 吴晓娴 刘春泽 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期403-407,共5页
采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响。采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值... 采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响。采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明:采用150℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2,比热处理前的激光损伤阈值提高了82%;无机材料Al2O3的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值,其中HfO2与Al2O3的最佳质量配比约为95∶5;另外,对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2薄膜以及HfO2-Al2O3复合薄膜的抗激光损伤性能。紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著,辐照40 min后的激光损伤阈值达到44.33 J/cm2,比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90%。 展开更多
关键词 HFO2薄膜 热处理 紫外辐照 HfO2-Al2O3复合薄膜 激光损伤阈值
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制备工艺对HfO_2薄膜抗激光损伤能力的影响 被引量：6
18
作者 马平 柴林 +1 位作者 邱服民 顾元元 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期31-33,共3页
采用反应蒸镀法镀制了单层ＨｉＯ２薄膜，观察了薄膜表面主要的微结构缺陷， 研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化。结果表 明：沉积工艺可以改变粗糙度，并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。
关键词 HFO2 薄膜 表面粗糙度 激光损伤
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R32在水平细管内的流动沸腾实验研究 被引量：12
19
作者 李敏霞 党超镔 飞原英治 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期129-132,共4页
本文对R32在水平管内的流动沸腾进行了实验研究。实验测试段为内径2 mm的水平光滑不锈钢管,实验的蒸发温度为15℃,流量密度为100 kg/(m^2·s),热流密度为6～24 kW/m^2。通过试验获得R32的流动沸腾换热系数,同时与R134a和HFO1234yf... 本文对R32在水平管内的流动沸腾进行了实验研究。实验测试段为内径2 mm的水平光滑不锈钢管,实验的蒸发温度为15℃,流量密度为100 kg/(m^2·s),热流密度为6～24 kW/m^2。通过试验获得R32的流动沸腾换热系数,同时与R134a和HFO1234yf进行比较。结果发现R32的传热系数是HFO1234yf换热系数的1～2倍。同时利用现有的公式对R32和HFO1234yf的换热系数进行了预测,发现这些公式还存在欠缺,需要进一步的改进。 展开更多
关键词 R32 流动沸腾 HFO1234yf
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金属氧化物薄膜光学常数计算物理模型应用研究 被引量：3
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作者 刘华松 姜承慧 +4 位作者 王利栓 刘丹丹 姜玉刚 孙鹏 季一勤 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1163-1167,共5页
采用离子束溅射(IBS)方法制备了HfO2和Ta2O5两种金属氧化物薄膜,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中,采用L8(27)正交表设计了8组反演计算实验,在初始选定Cauchy模型后,对HfO2薄膜拟... 采用离子束溅射(IBS)方法制备了HfO2和Ta2O5两种金属氧化物薄膜,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。在拟合过程中,采用L8(27)正交表设计了8组反演计算实验,在初始选定Cauchy模型后,对HfO2薄膜拟合影响最大的为表面层模型,对Ta2O5薄膜拟合影响最大的为折射率梯度模型。确定了不同物理模型对拟合函数MSE的影响权重和拟合过程中模型选择的次序,按照确定的模型选择次序拟合,最后加入弱吸收模型反演计算两种薄膜的光学常数,反演计算的MSE相对初始MSE可下降79%和39%,表明拟合过程模型选择物理意义明确,具有广泛的应用价值。在500nm处,Ta2O5薄膜的折射率梯度大于HfO2薄膜,而HfO2薄膜消光系数大于Ta2O5薄膜。表明Hf金属与Ta金属相比容易氧化形成稳定的氧化物,HfO2薄膜的吸收要高于Ta2O5薄膜。 展开更多
关键词 HFO2 薄膜 TA2 O5 薄膜 光学常数 物理模型
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