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Failure mechanisms of AlGaN/GaN HEMTs irradiated by high-energy heavy ions with and without bias 被引量:1
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作者 Pei-Pei Hu Li-Jun Xu +9 位作者 Sheng-Xia Zhang Peng-Fei Zhai Ling Lv Xiao-Yu Yan Zong-Zhen Li Yan-Rong Cao Xue-Feng Zheng Jian Zeng Yuan He Jie Liu 《Nuclear Science and Techniques》 2025年第1期49-58,共10页
Gallium nitride(GaN)-based devices have significant potential for space applications.However,the mechanisms of radiation damage to the device,particularly from strong ionizing radiation,remains unknown.This study inve... Gallium nitride(GaN)-based devices have significant potential for space applications.However,the mechanisms of radiation damage to the device,particularly from strong ionizing radiation,remains unknown.This study investigates the effects of radiation on p-gate AlGaN/GaN high-electron-mobility transistors(HEMTs).Under a high voltage,the HEMT leakage current increased sharply and was accompanied by a rapid increase in power density that caused"thermal burnout"of the devices.In addition,a burnout signature appeared on the surface of the burned devices,proving that a single-event burnout effect occurred.Additionally,degradation,including an increase in the on-resistance and a decrease in the breakdown voltage,was observed in devices irradiated with high-energy heavy ions and without bias.The latent tracks induced by heavy ions penetrated the heterojunction interface and extended into the GaN layer.Moreover,a new type of N_(2)bubble defect was discovered inside the tracks using Fresnel analysis.The accumulation of N_(2)bubbles in the heterojunction and buffer layers is more likely to cause leakage and failure.This study indicates that electrical stress accelerates the failure rate and that improving heat dissipation is an effective reinforcement method for GaN-based devices. 展开更多
关键词 GaN hemts Heavy ions Single-event burnout Latent tracks Degradation
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短沟道效应出现时InAlN/GaN HEMTs的内部电子分布
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作者 韩铁成 彭晓灿 《科技风》 2025年第11期43-46,共4页
凭借二维器件仿真,从器件内部电子分布角度,直观且系统地展示了InAlN/GaN高电子迁移率晶体管直流特性上短沟道效应的发生。结果显示栅长(L_(G))缩短会减小栅极对栅下的电导率调控范围,同时由V_(DS)产生的源漏电场(E_(DS))一定程度上会... 凭借二维器件仿真,从器件内部电子分布角度,直观且系统地展示了InAlN/GaN高电子迁移率晶体管直流特性上短沟道效应的发生。结果显示栅长(L_(G))缩短会减小栅极对栅下的电导率调控范围,同时由V_(DS)产生的源漏电场(E_(DS))一定程度上会削弱栅控能力;当横纵比(L_(G)/d,d是栅极到沟道的距离)不足时,在栅下调控较弱的位置(在缓冲层深处),E_(DS)导致连通源、漏极的泄漏电流通路的形成;缩短L_(G)或增大V_(DS)都会增加该泄漏通路的导电性。该泄漏通路的导电性越强,器件短沟道效应越严重。 展开更多
关键词 InAlN/GaN 高电子迁移率晶体管(hemts) 短沟道效应 直流特性 仿真
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Correlation between the whole small recess offset and electrical performance of InP-based HEMTs
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作者 GONG Hang ZHOU Fu-Gui +5 位作者 FENG Rui-Ze FENG Zhi-Yu LIU Tong SHI Jing-Yuan SU Yong-Bo JIN Zhi 《红外与毫米波学报》 北大核心 2025年第1期40-45,共6页
In this work,we investigate the impact of the whole small recess offset on DC and RF characteristics of InP high electron mobility transistors(HEMTs).L_(g)=80 nm HEMTs are fabricated with a double-recessed gate proces... In this work,we investigate the impact of the whole small recess offset on DC and RF characteristics of InP high electron mobility transistors(HEMTs).L_(g)=80 nm HEMTs are fabricated with a double-recessed gate process.We focus on their DC and RF responses,including the maximum transconductance(g_(m_max)),ON-resistance(R_(ON)),current-gain cutoff frequency(f_(T)),and maximum oscillation frequency(f_(max)).The devices have almost same RON.The g_(m_max) improves as the whole small recess moves toward the source.However,a small gate to source capacitance(C_(gs))and a small drain output conductance(g_(ds))lead to the largest f_(T),although the whole small gate recess moves toward the drain leads to the smaller g_(m_max).According to the small-signal modeling,the device with the whole small recess toward drain exhibits an excellent RF characteristics,such as f_(T)=372 GHz and f_(max)=394 GHz.This result is achieved by paying attention to adjust resistive and capacitive parasitics,which play a key role in high-frequency response. 展开更多
关键词 InP high-electron-mobility transistor(InP HEMT) INGAAS/INALAS DC/RF characteristic smallsignal modeling double-recessed gate process
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一种p-GaN HEMTs栅电荷表征方法
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作者 刘震 潘效飞 +4 位作者 龚平 王燕平 叶斯灿 卢澳 闫大为 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第2期282-286,共5页
与Si基金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFETs)的绝缘栅结构不同,p-GaN增强型高电子迁移率晶体管(HEMTs)的栅极结构为pn结,其在较大正向电压下处于导通状态,漏电导较大。传统栅电荷测试方法假设栅极注入电流全部存储为栅电荷,因此不... 与Si基金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFETs)的绝缘栅结构不同,p-GaN增强型高电子迁移率晶体管(HEMTs)的栅极结构为pn结,其在较大正向电压下处于导通状态,漏电导较大。传统栅电荷测试方法假设栅极注入电流全部存储为栅电荷,因此不适用于p-GaN HEMTs器件,否则会严重高估数值。鉴于此,基于栅电荷积累的基本过程,提出了利用动态电容法来减小漏电流影响来提取p-GaN E-HEMT的栅电荷参数。结果表明,该方法能够得到更理想的栅电荷米勒平台和特性曲线,结果更符合实际,具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 p-GaN hemts 栅电荷 电流法 电容法
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首片国产8英寸蓝宝石衬底GaN HEMTs晶圆发布!
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《变频器世界》 2024年第4期29-29,共1页
4月10日,在2024武汉九峰山论坛上,西安37电子科技大学郝跃院士、张进成教授课题组李祥东团队与广东致能科技联合攻关,首次展示了全球首片8英寸蓝宝石基GaN HEMTs晶圆。据李祥东教授在会上介绍,通过调控外延工艺,其GaN外延片不均匀性控制... 4月10日,在2024武汉九峰山论坛上,西安37电子科技大学郝跃院士、张进成教授课题组李祥东团队与广东致能科技联合攻关,首次展示了全球首片8英寸蓝宝石基GaN HEMTs晶圆。据李祥东教授在会上介绍,通过调控外延工艺,其GaN外延片不均匀性控制在4%以内,所制备的HEMTs器件的cp测试良率超过95%,击穿电压轻松突破2000V。 展开更多
关键词 外延工艺 击穿电压 hemts 外延片 GaN 电子科技大学 晶圆 均匀性控制
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A novel small-signal equivalent circuit model for GaN HEMTs incorporating a dual-field-plate
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作者 Jinye Wang Jun Liu Zhenxin Zhao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第5期61-68,共8页
An accurate and novel small-signal equivalent circuit model for GaN high-electron-mobility transistors(HEMTs)is proposed,which considers a dual-field-plate(FP)made up of a gate-FP and a source-FP.The equivalent circui... An accurate and novel small-signal equivalent circuit model for GaN high-electron-mobility transistors(HEMTs)is proposed,which considers a dual-field-plate(FP)made up of a gate-FP and a source-FP.The equivalent circuit of the overall model is composed of parasitic elements,intrinsic transistors,gate-FP,and source-FP networks.The equivalent circuit of the gate-FP is identical to that of the intrinsic transistor.In order to simplify the complexity of the model,a series combination of a resistor and a capacitor is employed to represent the source-FP.The analytical extraction procedure of the model parameters is presented based on the proposed equivalent circuit.The verification is carried out on a 4×250μm GaN HEMT device with a gate-FP and a source-FP in a 0.45μm technology.Compared with the classic model,the proposed novel small-signal model shows closer agreement with measured S-parameters in the range of 1.0 to 18.0 GHz. 展开更多
关键词 small-signal model dual field-plate(FP) GaN high-electron-mobility transistors(HEMT) parameter extraction
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钝化前表面预处理对AlGaN/GaN HEMTs性能的影响 被引量:1
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作者 李诚瞻 刘丹 +4 位作者 郑英奎 刘新宇 刘键 魏珂 和致经 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期329-333,共5页
提出一种新的钝化技术——采用盐酸和氢氟酸混合预处理溶液(HF:HCl:H2O=1:4:20)对AlGaN/GaNHEMTs进行表面预处理后再淀积Si3N4钝化,研究了新型钝化技术对AlGaN/GaNHEMTs性能的影响并分析其机理.与用常规方法钝化的器件相比,经过表面预... 提出一种新的钝化技术——采用盐酸和氢氟酸混合预处理溶液(HF:HCl:H2O=1:4:20)对AlGaN/GaNHEMTs进行表面预处理后再淀积Si3N4钝化,研究了新型钝化技术对AlGaN/GaNHEMTs性能的影响并分析其机理.与用常规方法钝化的器件相比,经过表面预处理再钝化,成功地抑制了AlGaN/GaNHEMTs肖特基特性的恶化,有效地增强抑制电流崩塌效应的能力,将GaN基HEMTs的输出功率密度提高到5.2W/mm,并展现良好的电学可靠性.通过X射线光电子谱(XPS)检测预处理前后的AlGaN表面,观察到经过预处理后的AlGaN表面氧元素的含量大幅度下降.表面氧元素的含量下降,能有效地降低表面态密度和表面电荷陷阱密度,被认为是提高AlGaN/GaNHEMTs性能的主要原因. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN hemts 钝化 表面预处理 初始氧化层
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AlGaN/GaN HEMTs Power Amplifier MIC with Power Combining at C-Band 被引量:1
8
作者 姚小江 李宾 +8 位作者 陈延湖 陈小娟 魏珂 李诚瞻 罗卫军 王晓亮 刘丹 刘果果 刘新宇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期514-517,共4页
A power amplifier MIC with power combining based on AlGaN/GaN HEMTs was fabricated and measured. The amplifier consists of four 10 × 120μm transistors. A Wilkinson splitters and combining were used to divide and... A power amplifier MIC with power combining based on AlGaN/GaN HEMTs was fabricated and measured. The amplifier consists of four 10 × 120μm transistors. A Wilkinson splitters and combining were used to divide and combine the power. By biasing the amplifier at VDS = 40V, IDS = 0.9A, a maximum CW output power of 41.4dBm with a maximum power added efficiency (PAE) of 32.54% and a power combine efficiency of 69% was achieved at 5.4GHz. 展开更多
关键词 AlGaN/GaN hemts power combining MIC power amplifiers
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A New Method for InGaAs/InP Composite Channel HEMTs Simulation
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作者 刘亮 张海英 +4 位作者 尹军舰 李潇 徐静波 宋雨竹 刘训春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1706-1711,共6页
A new method is used to simulate InGaAs/InP composite channel high electron mobility transistors (HEMTs). By coupling the hydrodynamic model and the density gradient model, the electron density distribution in the c... A new method is used to simulate InGaAs/InP composite channel high electron mobility transistors (HEMTs). By coupling the hydrodynamic model and the density gradient model, the electron density distribution in the channel in different electric fields is obtained. This method is faster and more robust than traditional meth- ods and should be applicable to other types of HEMTs simulations. A detailed study of the InGaAs/InP composite channel HEMTs is presented with the help of simulations. 展开更多
关键词 InP INGAAS composite channel hemts SIMULATION
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Cascode Connected AlGaN/GaN Microwave HEMTs on Sapphire Substrates
10
作者 邵刚 刘新宇 +2 位作者 和致经 刘健 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1567-1572,共6页
Fabrication and characteristics of cascade connected AlGaN/GaN HEMTs grown on sapphire substrates are reported.The circuit employs a common source device,which has a gate length of 0.8μm cascode connected to a 1μm c... Fabrication and characteristics of cascade connected AlGaN/GaN HEMTs grown on sapphire substrates are reported.The circuit employs a common source device,which has a gate length of 0.8μm cascode connected to a 1μm common gate device.The second gate bias will not only remarkably affect saturated current and transconductance,but also realize power gain control.Cascode device exhibits a slight lower of f T,a less feedback,a largely greater of maximum available gain and a higher impedance compare to that of common source device. 展开更多
关键词 CASCADE broadband ALGAN/GAN hemts SAPPHIRE
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δ掺杂的赝形HEMTs AlGaAs/InGaAs/GaAs傅里叶变换光致发光光谱
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作者 沈文忠 唐文国 +1 位作者 李自元 沈学础 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第12期814-819,共6页
本文首次报道了δ掺杂的赝形高电子迁移率晶体管结构(HEMTs)Al0.30Ga0.70As/In0.15Ga0.85As/GaAs中的傅里叶变换光致发光光谱.观察到了n=1电子子带和n=2电子子带到n=1重空穴子带的... 本文首次报道了δ掺杂的赝形高电子迁移率晶体管结构(HEMTs)Al0.30Ga0.70As/In0.15Ga0.85As/GaAs中的傅里叶变换光致发光光谱.观察到了n=1电子子带和n=2电子子带到n=1重空穴子带的强发光峰以及n=2电子子带到浅受主的弱发光峰,由于费米能级处在高于n=2电子子带的位置上,没有观察到属于费米边的发光峰,证实了理论上所预言的δ掺杂HEMTS系统具有转移效率高的优点. 展开更多
关键词 hemts 砷化镓铝 砷化镓 傅里叶变换 光致发光
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AlGaN/GaN共栅共源HEMTs器件
12
作者 邵刚 刘新宇 +1 位作者 刘键 和致经 《电子器件》 CAS 2004年第3期385-388,共4页
研究了蓝宝石衬底 Al Ga N/Ga N共栅共源器件的特性。该器件包括栅长 0 .8μm共源器件与栅长 1 μm的共栅器件。研究表明 ,共栅共源器件的第二栅压对的器件饱和电流与跨导有明显的调制作用 ,容易实现功率增益控制。与共源器件相比 ,共... 研究了蓝宝石衬底 Al Ga N/Ga N共栅共源器件的特性。该器件包括栅长 0 .8μm共源器件与栅长 1 μm的共栅器件。研究表明 ,共栅共源器件的第二栅压对的器件饱和电流与跨导有明显的调制作用 ,容易实现功率增益控制。与共源器件相比 ,共栅共源器件在微波特性上 f T 大约 9GHz,比共源器件稍小 ,但是具有较低的反馈 ,显著增加的功率资用增益及较高的端口阻抗 ,与共源器件相比 ,稳定性更好 ,可以避免振荡的产生 ,结合 Ga N的高功率特性 Ga 展开更多
关键词 共栅共源AlGaN/GaN hemts 微波 功率增益
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太赫兹InP HEMTs的神经网络建模方法 被引量:2
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作者 杜光伟 胡志富 +2 位作者 刘亚男 孙希国 崔玉兴 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第S1期52-55,共4页
包含新技术、新材料的非传统器件的不断涌现使现有的模型已不能完全表征THz器件的特性。而采用神经网络建模的方法,可极大地提高建模的效率和精确度,解决一系列传统模型所无法解决的问题,是一种新型的CAD建模方法。本文采用神经网络空... 包含新技术、新材料的非传统器件的不断涌现使现有的模型已不能完全表征THz器件的特性。而采用神经网络建模的方法,可极大地提高建模的效率和精确度,解决一系列传统模型所无法解决的问题,是一种新型的CAD建模方法。本文采用神经网络空间映射的方法,在传统的粗模型的基础上对输入信号进行有效地修正,从而得到适合太赫兹器件的精确模型,器件的截止频率Ft和最高振荡频率Fmax分别为220GHz和310GHz。模型在直流IV和1-110GHz范围内的S参数与测试结果吻合较好,比传统粗模型的精度有了较大的提高。 展开更多
关键词 太赫兹 神经网络 空间映射 模型 INP hemts
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基于粒子群优化算法提取GaN HEMTs外部寄生参数 被引量:2
14
作者 郑良川 王军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第8期819-825,共7页
GaN HEMTs作为第三代半导体器件,它的工作频率高,功率密度大,而且耐高温、高压,不仅是功放控制电路中的重要组成部分,也是毫米波时代5G无线通信电路中的理想射频功率器件。基于GaN HEMTs器件的19参数小信号等效电路模型,提出了一种在冷... GaN HEMTs作为第三代半导体器件,它的工作频率高,功率密度大,而且耐高温、高压,不仅是功放控制电路中的重要组成部分,也是毫米波时代5G无线通信电路中的理想射频功率器件。基于GaN HEMTs器件的19参数小信号等效电路模型,提出了一种在冷场条件下,利用粒子群优化算法(PSO)获取器件小信号模型的外部寄生参数的方法。最后通过对比不同尺寸GaN HEMTs器件在冷场偏置条件下的实际测量和仿真S参数验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 GaN hemts PSO 参数 算法
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GaN HEMTs小信号等效电路建模与参数直接提取 被引量:2
15
作者 郑良川 王军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期72-76,共5页
半导体技术飞速进步,第三代半导体氮化镓(GaN)因其优越的性能近年来受到了广泛的关注与研究。数以万计的氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)应用于微波和毫米波等领域,成为半导体产业研究的热点。本文在传统的氮化镓高电子迁移率晶体管... 半导体技术飞速进步,第三代半导体氮化镓(GaN)因其优越的性能近年来受到了广泛的关注与研究。数以万计的氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)应用于微波和毫米波等领域,成为半导体产业研究的热点。本文在传统的氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMTs)小信号等效电路模型的基础上将所建立模型的参数数量提高到20个,提出了一种精确地直接提取模型参数的算法,并通过MATLAB编程计算出模型参数值。最后再将此模型的仿真S参数结果与实验结果相比较,验证了此模型的准确性与方法的可靠性。 展开更多
关键词 GaN hemts 小信号等效电路 参数提取 算法
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X-Band GaN Power HEMTs with Power Density of 2.23 W/mm Grown on Sapphire by MOCVD 被引量:3
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作者 王晓亮 刘新宇 +9 位作者 胡国新 王军喜 马志勇 王翠梅 李建平 冉军学 郑英奎 钱鹤 曾一平 李晋闽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1865-1870,共6页
The growth, fabrication, and characterization of 0. 2μm gate-length AlGaN/GaN HEMTs, with a high mobility GaN thin layer as a channel,grown on (0001) sapphire substrates by MOCVD,are described. The unintentionally ... The growth, fabrication, and characterization of 0. 2μm gate-length AlGaN/GaN HEMTs, with a high mobility GaN thin layer as a channel,grown on (0001) sapphire substrates by MOCVD,are described. The unintentionally doped 2.5μm thick GaN epilayers grown with the same conditions as the GaN channel have a room temperature electron mobility of 741cmz^2(V· s) at an electron concentration of 1.52 × 10^16 cm^-3. The resistivity of the thick GaN buffer layer is greater than 10^8Ω· cm at room temperature. The 50mm HEMT wafers grown on sapphire substrates show an average sheet resistance of 440.9Ω□ with uniformity better than 96%. Devices of 0.2μm× 40μm gate periphery exhibit a maximum extrinsic transconductance of 250mS/mm and a current gain cutoff frequency of 77GHz. The AlGaN/GaN HEMTs with 0.8mm gate width display a total output power of 1.78W (2.23W/mm) and a linear gain of 13.3dB at 8GHz. The power devices also show a saturated current density as high as 1.07A/mm at a gate bias of 0.5V. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT MOCVD power device
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高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制 被引量:4
17
作者 邵刚 刘新宇 +6 位作者 和致经 刘键 魏珂 陈晓娟 吴德馨 王晓亮 陈宏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期88-91,共4页
报道了基于蓝宝石衬底的高性能 1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件 .为了提高微波功率器件性能 ,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案 .测试表明 ,器件电流密度为 0 784A/mm ,跨导 197mS/mm ,击穿电压大于 4 0V ,截止态漏电较小 ,1mm栅宽器件的... 报道了基于蓝宝石衬底的高性能 1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件 .为了提高微波功率器件性能 ,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案 .测试表明 ,器件电流密度为 0 784A/mm ,跨导 197mS/mm ,击穿电压大于 4 0V ,截止态漏电较小 ,1mm栅宽器件的单位截止频率达到 2 0GHz,最大振荡频率为 2 8GHz ,功率增益为 11dB ,功率密度为 1 2W/mm ,PAE为 32 % 。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 微波功率 单位截止频率
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蓝宝石衬底AlGaN/GaN功率HEMTs研制 被引量:3
18
作者 邵刚 刘新宇 +4 位作者 和致经 刘键 魏珂 陈晓娟 吴德馨 《电子器件》 CAS 2004年第3期381-384,共4页
基于蓝宝石衬底的高微波特性 Al Ga N/Ga N HEMTs功率器件 ,器件采用了新的欧姆接触和新型空气桥方案。测试表明 ,器件电流密度 0 .784A/mm,跨导 1 97m S/mm,关态击穿电压 >80 V,截止态漏电很小 ,栅宽 1 mm的器件的单位截止频率 ( f... 基于蓝宝石衬底的高微波特性 Al Ga N/Ga N HEMTs功率器件 ,器件采用了新的欧姆接触和新型空气桥方案。测试表明 ,器件电流密度 0 .784A/mm,跨导 1 97m S/mm,关态击穿电压 >80 V,截止态漏电很小 ,栅宽 1 mm的器件的单位截止频率 ( f T)达到 2 0 GHz,最大振荡频率 ( fmax) 2 8GHz,2 GHz脉冲测试下 ,栅宽 0 .75 mm器件 ,功率增益1 1 .8d B,输出功率 3 1 .2 d Bm,功率密度 1 .75 W/mm。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 微波功率 单位截止频率
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AlGaN/GaN HEMTs器件布局对器件性能影响分析 被引量:2
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作者 刘果果 魏珂 +2 位作者 郑英奎 刘新宇 和致经 《电子器件》 CAS 2008年第6期1769-1771,1775,共4页
比较了空气桥跨细栅和空气桥跨栅总线两种源连接结构的1 mm AlGaN/GaN HEMTs器件的特性,对两种结构的管芯进行了等效电路参数提取。测试了两种布局方式下的不同源场板结构器件的射频以及功率性能,比较分析表明,空气桥跨细栅的源连接方... 比较了空气桥跨细栅和空气桥跨栅总线两种源连接结构的1 mm AlGaN/GaN HEMTs器件的特性,对两种结构的管芯进行了等效电路参数提取。测试了两种布局方式下的不同源场板结构器件的射频以及功率性能,比较分析表明,空气桥跨细栅的源连接方式由于有效地降低了栅漏电容以及栅源电容,比空气桥跨栅总线源连接的器件能取得更好的频率特性以及功率特性。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN HEMT 器件布局 寄生参数 空气桥
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X波段AlGaN/GaN HEMTs Γ栅场板结构研究(英文)
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作者 王冬冬 刘果果 +2 位作者 刘丹 李诚瞻 刘新宇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期850-854,922,共6页
基于SiC衬底成功研制X波段0.25μm栅长带有Γ栅场板结构的AlGaN/GaN HEMT,对比T型栅结构器件,研究了Γ栅场板引入对器件直流、小信号及微波功率特性的影响。结果表明,Γ栅场板结构减小器件截止频率及振荡频率,但明显改善器件膝点电压和... 基于SiC衬底成功研制X波段0.25μm栅长带有Γ栅场板结构的AlGaN/GaN HEMT,对比T型栅结构器件,研究了Γ栅场板引入对器件直流、小信号及微波功率特性的影响。结果表明,Γ栅场板结构减小器件截止频率及振荡频率,但明显改善器件膝点电压和输出功率密度。针对场板长度分别为0.4、0.7、0.9、1.1μm,得出一定范围内增加场板长度,器件输出功率大幅度提高,并结合器件小信号模型提参结果分析原因。在频率8 GHz下,总栅宽1 mm,场板长度0.9μm的器件,连续波输出功率密度7.11 W/mm,功率附加效率(PAE)35.31%,相应线性增益10.25 dB。 展开更多
关键词 ALGAN/GAN hemts Γ栅场板 截止频率 功率密度
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