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基于HBAR的X波段低相噪频率合成方法 被引量:4
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作者 穆晓华 沈文渊 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期923-925,共3页
基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的高Q值梳谱信号产生的特性提出了一种低相位噪声频率合成方法。该文根据HBAR的工作原理,采用HBAR与声表滤波器级联的方法共同构成低噪声振荡环路直接产生S波段信号,然后通过四倍频模块输出X波段频率信... 基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的高Q值梳谱信号产生的特性提出了一种低相位噪声频率合成方法。该文根据HBAR的工作原理,采用HBAR与声表滤波器级联的方法共同构成低噪声振荡环路直接产生S波段信号,然后通过四倍频模块输出X波段频率信号。采用HBAR与声表滤波器串联的方式提高了带外频响抑制,输出的2.2GHz信号的相位噪声达-118.9dBc/Hz@1kHz,四倍频后得到的X波段信号8.8GHz的相噪达到-107.4dBc/Hz@1kHz。 展开更多
关键词 hbar 声学梳谱 相位噪声 微波
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高模薄膜体声波谐振器(HBAR)的研究
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作者 董树荣 王德苗 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1927-1929,共3页
高次模薄膜体声波谐振器(HBAR)具有简单的半导体工艺特性和良好的高频特性能,在分析HBAR结构和工作模式的基础上,用MBVD模型在ADS上仿真设计了2GHz谐振频率间隔20MHz的HBAR,实验采用掩模合射频溅射制备了这种HBAR,实测谐振频率间隔22MHz... 高次模薄膜体声波谐振器(HBAR)具有简单的半导体工艺特性和良好的高频特性能,在分析HBAR结构和工作模式的基础上,用MBVD模型在ADS上仿真设计了2GHz谐振频率间隔20MHz的HBAR,实验采用掩模合射频溅射制备了这种HBAR,实测谐振频率间隔22MHz,与理论接近,显示了较好的频率特性,实验同时制备了的高C轴取向的AlN薄膜. 展开更多
关键词 FBAR hbar 压电薄膜 射频反应磁控溅射 谐振频率
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掺钪AlN材料特性及HBAR器件性能研究 被引量:2
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作者 朱宇波 母志强 +3 位作者 陈玲丽 朱雷 李卫民 俞文杰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期299-303,309,共6页
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e_(33)增加、刚度C^(D)_(33)下降,导致Al_(1-x)Sc_(x) N... 该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e_(33)增加、刚度C^(D)_(33)下降,导致Al_(1-x)Sc_(x) N压电薄膜的机电耦合系数k^(2)_(t)从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数(k^(2)_(eff))提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al_(1-x)Sc_(x) N(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 展开更多
关键词 高次谐波体声波谐振器(hbar) ALN 压电薄膜 掺钪AlN 机电耦合系数
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沿河公路桥对山区河道壅水长度的影响 被引量:1
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作者 王俊鸿 覃光华 童旭 《武汉大学学报(工学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1041-1047,共7页
随着中国西部在山区河流密集的地方修筑公路的持续推进,研究沿河公路桥与山区河道水力学间的关系变得越来越迫切.以四川省阿坝州沙坝大桥为例,利用Hec-Ras模型改进特征参数的设置分析了沿河公路桥对山区河道壅水长度的影响规律,基于跨... 随着中国西部在山区河流密集的地方修筑公路的持续推进,研究沿河公路桥与山区河道水力学间的关系变得越来越迫切.以四川省阿坝州沙坝大桥为例,利用Hec-Ras模型改进特征参数的设置分析了沿河公路桥对山区河道壅水长度的影响规律,基于跨河桥壅水长度的一般公式引入了单独壅高和附加壅高的概念,并提出了沿河公路桥的壅水长度公式.从公式中可以看出沿河公路桥对山区河道的影响程度和影响范围通常比跨河桥更大,约为桥长的2倍以上,壅水高度从桥位区间的下游至上游几乎呈倍数增长. 展开更多
关键词 沿河公路桥 山区河道 单独壅高 辅加壅高 柱状桥墩
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一种新颖的跳频振荡器
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作者 张显满 《微波学报》 CSCD 北大核心 1992年第4期25-32,共8页
摘要本文综合考虑到频率合成技术及单端口体波谐振器HBAR的特点提出了一种基于一阶非线性PLL的锁相频率合成方案。文中对这种跳频方案的原理、性能特点作了详细论述、并通过实验、从不同角度对本方案进行了说明、同时对整机的各项指标... 摘要本文综合考虑到频率合成技术及单端口体波谐振器HBAR的特点提出了一种基于一阶非线性PLL的锁相频率合成方案。文中对这种跳频方案的原理、性能特点作了详细论述、并通过实验、从不同角度对本方案进行了说明、同时对整机的各项指标作了详尽测试:在HBAR无载Q_N值为4000的情况下,该多模跳频振荡源的捷变范围为770MHz—840MHz、捷变时间小于20μS。杂散分量低于—60dB、二次谐波分量低于—34dB。离散捷变频率点为16点,构成闭环跳频系统后,对开环VCO的短稳改善了三个量级:从1.3×10^(-5)/ms到1.6×10^(-8)/ms及9.56×^(-7)/s到1.69×!0^(-9)/s,尤为重要的是该多模跳频振荡源达到此性能所需的硬件量很小,因此在对体积要求苛刻的场合、此种跳频方案具有极强的竞争力。 展开更多
关键词 跳频振荡器 振荡器 锁相环
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Switchable and tuneable high-performance acoustic modes in the L-X band using ferroelectric thin film on sapphire
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作者 Sandeep Sharma Kongbrailatpam Akhil Raman T S +1 位作者 James Raju K C Gayathri Pillai 《Microsystems & Nanoengineering》 2025年第6期195-206,共12页
High overtone bulk acoustic resonators(HBAR)are advantageous for on-chip quantum acoustodynamics(QAD)system as it gives access to stream of phonon modes with high lifetime in the microwave frequency range while retain... High overtone bulk acoustic resonators(HBAR)are advantageous for on-chip quantum acoustodynamics(QAD)system as it gives access to stream of phonon modes with high lifetime in the microwave frequency range while retaining low power consumption and microscale footprint.In this paper we present a HBAR based on barium strontium titanate(BST)thin-film mounted on sapphire with modes exhibiting frequency quality factor product(fQ)of 1.72×10^(15)Hz which is the highest reported for a bulk acoustic wave resonator utilizing polycrystalline ferroelectric material as a means for acoustic wave excitation.Unlike other piezoelectric based HBARs,the DC field-induced piezoelectricity utilized in this work offers multiple on-chip tuneability of resonator’s dynamic parameters such as phonon lifetime,frequency modulation and coupling.The higher overtone feature can enable qubit(s)in a hybrid quantum circuit to interact with one or more acoustic modes to form a quantum transducer.Here,the multi-mode resonator exhibits a unique DC bias dependency,and this feature of the ferroelectric thin film adds control variables that efficiently tune static and dynamic material,mechanical and electrical properties of the device.The resonator records a loaded quality factor of 180,000 in X band and 140,000 in the L band when measured at 10 K.A controllable robust resonator with simple fabrication technique offering high fQ can be a strong platform to be used in QAD circuits for applications in metrology,quantum memory and quantum information processing. 展开更多
关键词 quantum acoustodynamics qad system tuneable high performance acoustic barium strontium titanate bst thin film bulk acoustic resonators hbar stream phonon modes switchable
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