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用H-S波前传感器测量穿过超声速流场的激光像差特性 被引量:4
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作者 张翔 王春鸿 +1 位作者 鲜浩 柳建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1003-1007,共5页
用Hartmann-Shack(H-S)波前传感器可以准确测量穿过超声速流场的激光波面及其变化过程,进一步计算可以获得光束质心漂移、远场分布等数据。给出了H-S方法测量穿过超声速流场激光波面的原理,采用模式法进行了波前重构,计算了在几种流场... 用Hartmann-Shack(H-S)波前传感器可以准确测量穿过超声速流场的激光波面及其变化过程,进一步计算可以获得光束质心漂移、远场分布等数据。给出了H-S方法测量穿过超声速流场激光波面的原理,采用模式法进行了波前重构,计算了在几种流场条件下的激光波面像差特性PV值,RMS值和Zernike像差系数、Strehl比和环围能量曲线等。结果表明,H-S法可以很好地反映流场建立、稳定和结束过程中Zernike像差的变化。比较无流场和给定参数的超声速流场,激光穿越后产生的最明显的像差变化为离焦和低阶像散的增大。在相同流场参数下,无模型时光束质量好于有模型时光束质量。 展开更多
关键词 超声速流场 激光传输 H—S波前传感器 光束波面像差 Zernike像差系数
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穿越流场激光像差特性的动态测量——H-S波前传感器方法 被引量:1
2
作者 张翔 蔡青 朱兴华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S1期103-106,共4页
用H-S(Hartmann-Shack)波前传感器可以精确测量穿过超声速流场的激光动态波面及其变化过程,进一步计算还可以获得光束质心漂移、远场分布等数据。讨论了利用H-S波前传感器测量穿过超声速流场激光波面的原理,并采用模式法进行波前重构,... 用H-S(Hartmann-Shack)波前传感器可以精确测量穿过超声速流场的激光动态波面及其变化过程,进一步计算还可以获得光束质心漂移、远场分布等数据。讨论了利用H-S波前传感器测量穿过超声速流场激光波面的原理,并采用模式法进行波前重构,得到了在几种流场条件下的激光波面像差特性如PV和RMS、各阶Zernike像差系数,环围能量分布和Strehl比等。结果表明,采用H-S传感器进行测量、并用模式法进行波前重构可以较好反映流场建立、稳定和结束过程中各阶Zernike像差的变化。比较无流场和给定参数的超声速流场,激光穿越后产生的最明显变化为离焦A3和低阶像散A5的增大。 展开更多
关键词 超声速流场 h-s波前传感器 激光传输特性 波前像差 Zernike像差系数
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基于H-S波前传感器的正支共焦腔调腔方法的研究 被引量:1
3
作者 张翔 许冰 杨伟 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期398-402,共5页
采用H-S波前传感器对于非稳腔进行了实验调腔技术研究,指出了正支共焦腔调腔的原则,以输出光束近场强度和相位分布这一双重依据作为谐振腔是否调好的标准。进行非稳腔调腔时,首先应当保证整个光路共光轴使输出强度分布均匀,但此时光束... 采用H-S波前传感器对于非稳腔进行了实验调腔技术研究,指出了正支共焦腔调腔的原则,以输出光束近场强度和相位分布这一双重依据作为谐振腔是否调好的标准。进行非稳腔调腔时,首先应当保证整个光路共光轴使输出强度分布均匀,但此时光束中可能还包含离焦等高阶像差,因此在腔外用Hartmann-Shack波前传感器进行光束相位测量,得到了35阶像差Zernike系数、波面PV和RMS值,进一步计算得到远场分布和环围能量曲线等。从而可以全面了解输出光束质量,并能有针对性地对光腔进行调整,从而达到较理想的光腔调整共轴状态。 展开更多
关键词 信息光学 正支共焦腔 h-s波前传感器 调腔共轴方法 Zernike像差
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基于H-S波前传感器的高能激光材料热效应参量测试 被引量:4
4
作者 樊红英 张浩 +3 位作者 赵琦 蒋泽伟 贾静 陈好 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期201-205,共5页
为了实现高能激光材料热效应参量的在线测试,设计了一套50mm口径的测量装置。装置采用准直He-Ne激光为光源,准直光经激光材料后的光程差用Hartmann-Shack波前传感器检测。根据波像差分解理论及波前变换关系,获得了高能激光材料热效应... 为了实现高能激光材料热效应参量的在线测试,设计了一套50mm口径的测量装置。装置采用准直He-Ne激光为光源,准直光经激光材料后的光程差用Hartmann-Shack波前传感器检测。根据波像差分解理论及波前变换关系,获得了高能激光材料热效应参量。分析评估了装置的扩展测量不确定度,对影响测量不确定度的系统参量进行了校准,最后设计并完成了测量不确定度对比验证实验。结果表明,系统波前畸变测量不确定度为0.06λ,30m^120m范围热焦距的扩展测量不确定度为8.4%。该系统能有效地用于高能激光材料热效应参量的在线测试。 展开更多
关键词 测量与计量 热效应 Hartmann-Shack波前传感器 长焦距测量 激光材料 测量不确定度
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基于H-S波前传感器的正支共焦腔准直技术研究
5
作者 张翔 向安平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期430-433,共4页
采用H-S波前传感器对非稳腔进行了实验调腔技术研究,指出了正支共焦腔调腔的原则,以输出光束近场强度和相位分布这一双重依据作为谐振腔是否调好的标准。进行非稳腔调腔时,首先应当保证整个光路共光轴使输出强度分布均匀,但此时光束中... 采用H-S波前传感器对非稳腔进行了实验调腔技术研究,指出了正支共焦腔调腔的原则,以输出光束近场强度和相位分布这一双重依据作为谐振腔是否调好的标准。进行非稳腔调腔时,首先应当保证整个光路共光轴使输出强度分布均匀,但此时光束中可能还包含离焦等高阶像差,因此在腔外用Hartmann-Shack波前传感器进行光束相位测量,得到了35阶像差Zernike系数、波面PV和RMS值,进一步计算得到环围能量曲线等,从而可以全面了解输出光束质量并能有针对性地对光腔进行调整,达到较理想的光腔共轴状态。 展开更多
关键词 信息光学 正支共焦腔 h-s波前传感器 调腔共轴方法 Zernike像差
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模拟H-S传感器进行波前重构新方法
6
作者 吴伟伟 孙华燕 宋丰华 《装备指挥技术学院学报》 2009年第5期77-81,共5页
提出了一种软件模拟H-S传感器进行波前重构的新方法。根据重构矩阵与待测波前无关的性质,利用软件动态生成模拟的H-S传感器,并结合图像处理技术,分析经小孔采样后的子孔径光斑阵列,从而重构出实际待测光斑的波阵面。这种方法采用间接光... 提出了一种软件模拟H-S传感器进行波前重构的新方法。根据重构矩阵与待测波前无关的性质,利用软件动态生成模拟的H-S传感器,并结合图像处理技术,分析经小孔采样后的子孔径光斑阵列,从而重构出实际待测光斑的波阵面。这种方法采用间接光斑测量体制,能够直接测量大口径光斑的波前分布;同时模拟H-S传感器的大小和采样点数根据选取的小孔板动态可变,能够适应不同精度要求的测量。 展开更多
关键词 激光技术 h-s传感器 波前畸变 波前重构
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采用H-S波前传感器探测虚共焦非稳腔输出光束波前像差
7
作者 张翔 蔡青 向安平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S3期196-199,共4页
在腔内失调理论分析基础上,实验研究了无源虚共焦非稳腔失调前、后输出光束波前像差特性。结果表明,用Hartmann-Shack波前传感器进行探测,并用模式法进行波前重构可以较好反映输出光束波前像差,虚共焦腔耦合输出调腔光的波前Zernike像... 在腔内失调理论分析基础上,实验研究了无源虚共焦非稳腔失调前、后输出光束波前像差特性。结果表明,用Hartmann-Shack波前传感器进行探测,并用模式法进行波前重构可以较好反映输出光束波前像差,虚共焦腔耦合输出调腔光的波前Zernike像差主要集中在前15阶,其中比较显著的像差有离焦Z3、低阶像散Z4和Z5、以及球差Z10。且腔内倾斜扰动对光束强度分布有显著的影响,可能引起某些Zernike高阶像差如离焦、慧差和像散的增加,但首先带来的是Zernike倾斜像差的增大。因此在作腔内像差补偿时,应首先考虑腔内倾斜像差的补偿。 展开更多
关键词 激光光学 虚共焦非稳腔 h-s波前传感器 波前重构 Zernike像差
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扇形子孔径布局H-S传感器对圆域的探测性能研究
8
作者 刘进舟 王海英 +1 位作者 魏凌 张雨东 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期20-23,34,共5页
通过Zernike模式波前重构算法进行计算机仿真计算,对扇形子孔径布局的Hartmann-Shack波前传感器探测性能进行仿真研究,对比分析了方形子孔径布局Hartmann-Shack波前传感器的探测性能。结果表明,扇形子孔径布局是一种有效的Hartmann-Shac... 通过Zernike模式波前重构算法进行计算机仿真计算,对扇形子孔径布局的Hartmann-Shack波前传感器探测性能进行仿真研究,对比分析了方形子孔径布局Hartmann-Shack波前传感器的探测性能。结果表明,扇形子孔径布局是一种有效的Hartmann-Shack波前传感器的布局方式,在低子孔径密度且孔径数目差异不多的条件下,比方形孔径布局探测精度更高。 展开更多
关键词 子孔径布局 探测性能 波前重构 h-s波前传感器 自适应光学
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A modified phase diversity wavefront sensor with a diffraction grating 被引量:2
9
作者 罗群 黄林海 +1 位作者 顾乃庭 饶长辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期251-258,共8页
The phase diversity wavefront sensor is one of the tools used to estimate wavefront aberration, and it is often used as a wavefront sensor in adaptive optics systems. However, the performance of the traditional phase ... The phase diversity wavefront sensor is one of the tools used to estimate wavefront aberration, and it is often used as a wavefront sensor in adaptive optics systems. However, the performance of the traditional phase diversity wavefront sensor is limited by the accuracy and dynamic ranges of the intensity distribution at the focus and defocus positions of the CCD camera. In this paper, a modified phase diversity wavefront sensor based on a diffraction grating is proposed to improve the ability to measure the wavefront aberration with larger amplitude and higher spatial frequency. The basic principle and the optics construction of the proposed method are also described in detail. The noise propagation property of the proposed method is also analysed by using the numerical simulation method, and comparison between the diffraction grating phase diversity wavefront sensor and the traditional phase diversity wavefront sensor is also made. The simulation results show that the diffraction grating phase diversity wavefront sensor can obviously improve the ability to measure the wavefront aberration, especially the wavefront aberration with larger amplitude and higher spatial frequency. 展开更多
关键词 phase diversity wavefront sensor diffraction grating ABERRATION signal-to-noise ratio
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Active wavefront shaping for controlling and improving multimode fi ber sensor 被引量:4
10
作者 Tianting Zhong Zhipeng Yu +3 位作者 Huanhao Li Zihao Li Haohong Li Puxiang Lai 《Journal of Innovative Optical Health Sciences》 SCIE EI CAS 2019年第4期127-135,共9页
Wavefront shaping(WFS)techniques have been used as a powerful tool to control light propagation in complex media,including multimode fibers.In this paper,we propose a new application of WFS for multimode fber-based se... Wavefront shaping(WFS)techniques have been used as a powerful tool to control light propagation in complex media,including multimode fibers.In this paper,we propose a new application of WFS for multimode fber-based sensors.The use of a single multimode fiber alone,without any special fabrication,as a sensor based on the light intensity variations is not an easy task.The twist effect on multimode fiber is used as an example herein.Experimental results show that light intensity through the multimode fiber shows no direct relationship with the twist angle,but the correlation coefficient(CC)of speckle patterns does.Moreover,if WFS is applied to transform the spatially seemingly random light pattern at the exit of the multimode fiber into an optical focus.The focal pattern correlation and intensity both can serve to gauge the twist angle,with doubled measurement range and allowance of using a fast point detector to provide the feedback.With further development,WFS may find potentials to facilitate the development of multimode fber-based sensors in a variety of scenarios. 展开更多
关键词 Multimode fiber wavefront shaping scattering media fiber sensor optical focusing
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H-S波前传感器时域采样频率对探测误差的影响
11
作者 王慎 曹根瑞 《光电工程》 EI CAS CSCD 1998年第6期24-27,共4页
波前传感器是自适应光学系统的重要组成部分。讨论了HartmannShack(HS)波前传感器的采样频率对探测误差的影响,理论分析结果说明,时域采样频率引入的探测误差是HS波前传感器的重要误差源,其大小随时域采样... 波前传感器是自适应光学系统的重要组成部分。讨论了HartmannShack(HS)波前传感器的采样频率对探测误差的影响,理论分析结果说明,时域采样频率引入的探测误差是HS波前传感器的重要误差源,其大小随时域采样频率的增大而下降。 展开更多
关键词 波前传感器 自适应光学 时域
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Simultaneous quantification of longitudinal and transverse ocular chromatic aberrations with Hartmann-Shack wavefront sensor 被引量:1
12
作者 Yangchun Deng Junlei Zhao +1 位作者 Yun Dai Yudong Zhang 《Journal of Innovative Optical Health Sciences》 SCIE EI CAS 2018年第4期81-91,共11页
A simple method to objectively and simultaneously measure eye's longitudinal and transverse chromatic aberrations was proposed.A dual-wavelength wavefront measurement system using two Hartmann-Shack wavefront sens... A simple method to objectively and simultaneously measure eye's longitudinal and transverse chromatic aberrations was proposed.A dual-wavelength wavefront measurement system using two Hartmann-Shack wavefront sensors was developed.The wavefronts of the red(639.1 nm)and near-infrared(786.0 nm)lights were measured simultaneously for different positions in the model eye.The chromatic wavefronts were converted into Zernike polynomials.The Zernike tilt cofficient(irst term)was used to calculate the transverse chromatic aberration along the ax-direction,while the Zernike defocus coefficient(fourth term)was used to calculate the longi-tudinal chromatic aberration.The measurement and simulation data were consistent. 展开更多
关键词 Chromatic aberration Hartmann-Shack wavefront sensor SIMULTANEITY Zernike coefficient
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High signal-to-noise ratio sensing with Shack–Hartmann wavefront sensor based on auto gain control of electron multiplying CCD 被引量:1
13
作者 朱召义 李大禹 +4 位作者 胡立发 穆全全 杨程亮 曹召良 宣丽 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期63-68,共6页
High signal-to-noise ratio can be achieved with the electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) applied in the Shack–Hartmann wavefront sensor(S–H WFS) in adaptive optics(AO).However,when the brightness ... High signal-to-noise ratio can be achieved with the electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) applied in the Shack–Hartmann wavefront sensor(S–H WFS) in adaptive optics(AO).However,when the brightness of the target changes in a large scale,the fixed electron multiplying(EM) gain will not be suited to the sensing limitation.Therefore an auto-gain-control method based on the brightness of light-spots array in S–H WFS is proposed in this paper.The control value is the average of the maximum signals of every light spot in an array,which has been demonstrated to be kept stable even under the influence of some noise and turbulence,and sensitive enough to the change of target brightness.A goal value is needed in the control process and it is predetermined based on the characters of EMCCD.Simulations and experiments have demonstrated that this auto-gain-control method is valid and robust,the sensing SNR reaches the maximum for the corresponding signal level,and especially is greatly improved for those dim targets from 6 to 4 magnitude in the visual band. 展开更多
关键词 adaptive optics Shack–Hartmann wavefront sensor electron multiplying charge-coupled-device(EMCCD) auto-gain-control method
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Wavefront detection performance analysis of plenoptic sensor 被引量:1
14
作者 JIANG Tao ZHANG Jinghui +2 位作者 WANG Haitao QIAO Chunhong FAN Chengyu 《Optoelectronics Letters》 EI 2023年第9期526-531,共6页
A numerical simulation model of plenoptic sensor aberration wavefront detection is established to simulate and analyze the detection performance of plenoptic sensor aberration wavefront for different turbulence intens... A numerical simulation model of plenoptic sensor aberration wavefront detection is established to simulate and analyze the detection performance of plenoptic sensor aberration wavefront for different turbulence intensities.The results show that the plenoptic sensor can achieve better distortion wavefront detection,and its wavefront detection accuracy improves with turbulence intensity.The unique optical structure design of the plenoptic sensor makes it more suitable for aberration wavefront detection in strong turbulent conditions.The wavefront detection performance of the plenoptic sensor is not only related to its wavefront reconstruction algorithm but also closely related to its structural parameter settings.The influence of structural parameters on the wavefront detection accuracy of plenoptic sensors under different turbulence intensities is simulated and analyzed.The variation law of wavefront detection accuracy and structural parameters under different turbulence intensities is summarized to provide a reference for the structural design and parameter optimization of plenoptic sensors. 展开更多
关键词 wavefront detection performance analysis of plenoptic sensor
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H-S波前传感器在大尺寸测量中的应用研究
15
作者 周国斌 周肇飞 尹博彪 《机械》 2006年第10期57-59,共3页
针对目前激光大尺寸测量系统中的空气扰动问题,提出一种采用波前探测和图像恢复技术相结合的解决方法。该方法采用Hartman-Shack波前探测器,直接应用Zernike多项式来波前重构,然后运用图像解卷积运算进行图像恢复,以减小和消除测量激光... 针对目前激光大尺寸测量系统中的空气扰动问题,提出一种采用波前探测和图像恢复技术相结合的解决方法。该方法采用Hartman-Shack波前探测器,直接应用Zernike多项式来波前重构,然后运用图像解卷积运算进行图像恢复,以减小和消除测量激光束因大气扰动而产生的抖动、变形,从而提高测量精度。 展开更多
关键词 大尺寸测量 Hartman—Shack波前探测器 图像恢复技术 Zernile多项式
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基于深度学习的机载遥感通信自适应光学波前校正方法
16
作者 涂芳 周华涛 袁晓桂 《激光杂志》 北大核心 2025年第6期232-237,共6页
为了提升机载遥感通信系统的成像质量,增强遥感通信效能,提出基于深度学习的机载遥感通信自适应光学波前校正方法。首先利用H-S波前传感器实施波前探测,结合Zernike多项式,构建携带Zernike系数的详细遥感波前畸变的信息。然后,利用基于... 为了提升机载遥感通信系统的成像质量,增强遥感通信效能,提出基于深度学习的机载遥感通信自适应光学波前校正方法。首先利用H-S波前传感器实施波前探测,结合Zernike多项式,构建携带Zernike系数的详细遥感波前畸变的信息。然后,利用基于深度学习的卷积神经网络对波前畸变信息实施分析,结合CBAM注意力机制,实现波前畸变的特征识别及分类,并利用网络全连接层的整合逼近能力,实现波前畸变特征的量化。最后,根据波前畸变特征量化构建电压补偿相位,结合SPGD算法自适应生成DM变形镜的控制信号,通过控制信号的迭代生成,达到波前畸变的校正目的。实验表明,所提方法畸变校正效果显著,能够有效改善机载遥感通信系统的成像质量,为可靠遥感数据的生成提供技术支持。 展开更多
关键词 h-s波前传感器 ZERNIKE多项式 Zernike系数 CBAM注意力机制 SPGD算法
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面向自由空间光通信波前校正的改进模拟退火算法
17
作者 李洪利 刘欣悦 +2 位作者 杜博军 曹景太 张恒 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第4期784-793,共10页
为了补偿大气湍流对相干自由空间光通信的影响,本文研发了一种基于改进模拟退火算法的自适应光学系统,旨在优化系统的混频效率和降低误码率,从而提升整体系统性能。首先,介绍了含有无波前自适应光学部分的相干光通信系统的组成,并重点... 为了补偿大气湍流对相干自由空间光通信的影响,本文研发了一种基于改进模拟退火算法的自适应光学系统,旨在优化系统的混频效率和降低误码率,从而提升整体系统性能。首先,介绍了含有无波前自适应光学部分的相干光通信系统的组成,并重点分析了混频效率和误码率等关键参数。随后,详细阐述了改进模拟退火算法的工作原理及其在自适应光学系统中的应用。为了验证算法的有效性,进行了数值模拟分析,并与传统算法进行了对比分析。最后,在实验平台上收集实际数据以进一步评估算法性能。实验结果表明:改进模拟退火算法相比于普通模拟退火算法,迭代次数减少50%的情况下,误码率降低到10^(-9),混频效率提高到0.9。改进模拟退火算法可以减少传统自适应光学系统的迭代次数,提高波前校正精度,满足通信系统的需求。 展开更多
关键词 波前校正 自适应光学 无波前传感 混频效率 误码率
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哈特曼传感器检测微透镜波前方法
18
作者 杨伟斌 王春艳 +4 位作者 张为国 王金玉 夏良平 杜春雷 孙昊 《应用光学》 北大核心 2025年第2期380-387,共8页
随着微透镜的广泛应用,微透镜光学性能的快速检测是使用者和加工人员亟待解决的关键问题。提出利用哈特曼波前传感器来检测微透镜波前,从而快速表征其光学性能。为了验证该方法的可行性,设计了利用哈特曼传感器测量微透镜波前的总体方案... 随着微透镜的广泛应用,微透镜光学性能的快速检测是使用者和加工人员亟待解决的关键问题。提出利用哈特曼波前传感器来检测微透镜波前,从而快速表征其光学性能。为了验证该方法的可行性,设计了利用哈特曼传感器测量微透镜波前的总体方案,搭建了测量实验系统,并对测量的误差源进行了分析。结合实验方案,研究质心提取算法、Zernike多项式波前重构算法,保证光斑质心提取精度及波前重构精度,并分析了待测透镜孔径衍射对波前检测精度的影响。结合200μm的凸透镜进行波前检测实验,得到了其波前误差和初级像差信息,为微透镜光学性能的快速检测提供了一种全新的思路。 展开更多
关键词 微透镜 哈特曼传感器 质心提取 波前重构 光学性能
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基于哈特曼波前传感器的白天天光背景时空特性分析
19
作者 欧阳朴秀 陈凯余 +1 位作者 郭友明 饶长辉 《光学精密工程》 北大核心 2025年第21期3431-3440,共10页
针对白天自适应光学系统受强烈天光背景干扰的问题,提出一种在不引入额外设备的前提下,利用哈特曼波前传感器标定并计算天光背景等效星等的方法,以定量评估其亮度分布及其对观测的影响。实验结果表明,天光背景星等值随太阳高度增加与观... 针对白天自适应光学系统受强烈天光背景干扰的问题,提出一种在不引入额外设备的前提下,利用哈特曼波前传感器标定并计算天光背景等效星等的方法,以定量评估其亮度分布及其对观测的影响。实验结果表明,天光背景星等值随太阳高度增加与观测俯仰角减小而降低,在常规目标跟踪过程中,同一方位天光背景亮度变化可达约1 mag,星等计算值与Kasten-Young线性大气质量模型高度一致。对哈特曼靶面时空特性进一步分析发现,不同子孔径间灰度均值差异显著,但短时波动趋势一致,子孔径内天光背景图像在空间上的起伏标准差显著高于时间上的起伏标准差,比值约为1.68。为实现有效的白天目标观测,需重点考虑子孔径内部空间非均匀性,对天光背景进行逐像素动态建模。本研究可为自适应光学系统动态参数调整与噪声抑制提供数据支撑,从而提升白天观测效率与目标探测能力。 展开更多
关键词 自适应光学 白天天光背景 哈特曼波前传感器 星等 时空特性
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基于哈特曼波前探测的显微物镜像差检测方法研究
20
作者 布一帆 邹有云 +3 位作者 杜文杰 邓杰 葛鑫磊 马剑强 《光电工程》 北大核心 2025年第7期123-132,共10页
显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方... 显微物镜的光学性能决定显微成像质量,这对波前像差检测具有重要意义。因此,提出一种基于哈特曼波前传感器的显微物镜像差检测方法。该方法可利用双球面法标定系统误差,实现显微物镜像差的检测。建立仿真模型并模拟分析,结果表明,该方法测量的显微物镜像差与实际像差近似相等,验证了该方法的有效性。搭建实验装置并对显微物镜进行像差检测,结果表明,物镜的均方根值(RMS)检测精度≤10 nm,重复性精度<0.3 nm,验证了该方法的可行性,为中低倍数显微物镜波前像差检测提供了一种检测方法。 展开更多
关键词 波前像差检测 哈特曼波前传感器 绝对检测技术 显微物镜
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