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AlGaInAs/InP应变补偿多量子阱激光器 被引量:1
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作者 朱天雄 贾华宇 +3 位作者 李灯熬 罗飚 刘应军 田彦婷 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期654-658,共5页
为了优化在长距离光纤通讯系统中采用的1.31μm波长的量子阱激光器,对AlGaInAs/InP材料的有源区应变补偿的量子阱激光器进行了设计研究。采用应变补偿的方法,根据克龙尼克-潘纳模型理论计算出量子阱的能带结构,设计出有源区由1.12%的压... 为了优化在长距离光纤通讯系统中采用的1.31μm波长的量子阱激光器,对AlGaInAs/InP材料的有源区应变补偿的量子阱激光器进行了设计研究。采用应变补偿的方法,根据克龙尼克-潘纳模型理论计算出量子阱的能带结构,设计出有源区由1.12%的压应变AlGaInAs阱层和0.4%的张应变AlGaInAs垒层构成。使用ALDS软件对所设计出的器件进行了建模仿真,对其进行了阈值分析和稳态分析。结果表明,在室温25℃下,该激光器具有9mA的低阈值电流和0.4W/A较高的单面斜率效率;在势垒层采用与势阱层应变相反的适当应变,可以降低生长过程中的平均应变量,保证有源区良好的生长,改善量子阱结构的能带结构,提高对载流子的限制能力,降低阈值电流,提高饱和功率,改善器件的性能。 展开更多
关键词 激光器 量子阱结构 应变补偿 Algainas/inp
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1.31μm AlGaInAs/InP多量子阱激光器设计及其温度特性 被引量:2
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作者 任大为 贾华宇 +3 位作者 赵霞飞 李灯熬 汤宝 罗飚 《激光杂志》 北大核心 2018年第6期16-22,共7页
为了优化适用于长距离的光纤通讯系统的1.31μm波长的量子阱激光器,采用AlGaInAs/InP材料设计应变多量子阱激光器,选取合适的量子阱个数、合适的应变量,并研究其温度特性。采用载流子和光分别限制的梯度折射率波导(GRIN-SCH)结构设计... 为了优化适用于长距离的光纤通讯系统的1.31μm波长的量子阱激光器,采用AlGaInAs/InP材料设计应变多量子阱激光器,选取合适的量子阱个数、合适的应变量,并研究其温度特性。采用载流子和光分别限制的梯度折射率波导(GRIN-SCH)结构设计了多量子阱结构,采用BCB(苯并环丁烯)材料平面化脊波导结构,使用E-beam曝光技术和低损伤ICP干法刻蚀技术制作非对称相移光栅,设计了AlGaInAs/InP应变多量子阱激光器。使用ALDS激光器材料和结构设计软件包,选取了最佳量子阱个数,在此基础上,通过实验对比引入合适的应变量,并选取最佳温度。仿真及实验结果表明,在量子阱个数为10时达到最佳量子阱个数;有源区由1.3%的压应变AlGaInAs阱层和0.6%的张应变AlGaInAs垒层构成时,温度在25℃时,激光器发光特性得到优化。 展开更多
关键词 Algainas/inp 量子阱个数 应变 温度特性
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MOCVD生长AlGaInAs/InP多量子阱激光器 被引量:1
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作者 朱天雄 贾华宇 +2 位作者 李灯熬 罗飚 刘应军 《光通信研究》 北大核心 2018年第4期31-34,60,共5页
为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器,文章在理论上计算了应变补偿,实验选用了金属有机物化学气相沉淀(MOCVD)工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构,最终有源区采用了7组张压应变交替的势垒和势阱层。激光器样本芯片采... 为研制符合高线性大功率的应变多量子阱激光器,文章在理论上计算了应变补偿,实验选用了金属有机物化学气相沉淀(MOCVD)工艺来研制生长AlGaInAs应变补偿多量子阱结构,最终有源区采用了7组张压应变交替的势垒和势阱层。激光器样本芯片采用共面电极结构,使得激光器的工作电流无需通过衬底,从而降低了激光器工作电容,其电容与传统激光器相比得到相应地减小,提高了激光器的光电特性。实验室制作出了应变多量子阱激光器样本芯片,光荧光分析得出光致发光谱,激射波长为1 304nm;阈值电流为Ith≤9mA;单面斜率效率为0.44 W/A。测试结果表明该器件有良好的性能参数。 展开更多
关键词 激光器 量子阱 金属有机物化学气相沉淀 应变补偿 Algainas/inp 共面电极
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1.3μm AlGaInAs/InP量子阱激光器材料研究 被引量:2
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作者 陈宏泰 车相辉 +6 位作者 张宇 赵润 杨红伟 余般梅 王晶 位永平 林琳 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期220-223,共4页
设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激... 设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激光器芯片,解理为250,500和750μm不同腔长,进行了内部参数提取,内量子效率ηi为76%、内损耗αi为7.06/cm、模式增益Γg0为81.90/cm、透明电流密度Jtr为1 045 A/cm2。对250μm腔长管芯镀膜,进行电光特性测试,室温性能指标为:阈值电流Ith<10 mA,斜率效率η=0.6 W/A,达到国际同类产品水平,实现1.3μm FP材料国产化。 展开更多
关键词 1 3 μm FP激光器材料 无致冷 ALgainas inp MOCVD
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1.55μm AlGaInAs/InP小发散角量子阱激光器的仿真和制备(英文) 被引量:2
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作者 熊迪 郭文涛 +6 位作者 郭小峰 刘海峰 廖文渊 刘维华 张杨杰 曹营春 谭满清 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期412-418,共7页
理论仿真和实验制备了AlGaInAs/InP材料1.55 μm小发散角量子阱激光器.为了扩展近场光场并减小内损耗,将一个非对称模式扩展层插入到外延结构的下盖层当中.仿真结果表明,该模式扩展层除了少量增加激光器阈值电流以外,在不影响激光器其... 理论仿真和实验制备了AlGaInAs/InP材料1.55 μm小发散角量子阱激光器.为了扩展近场光场并减小内损耗,将一个非对称模式扩展层插入到外延结构的下盖层当中.仿真结果表明,该模式扩展层除了少量增加激光器阈值电流以外,在不影响激光器其它性能的情况下能显著减小激光器的垂直远场发散角.实验结果与理论仿真高度吻合.成功制备出脊宽4 μm,腔长1 000 μm的脊波导小发散角激光器.在端面未镀膜的情况下,该激光器阈值电流为56 mA,输出功率为17.38 mw@120 mA,斜率效率可以达到0.272 W/A.实验测得垂直远场发散角为29.6°,相比较传统激光器减小了约35.3%. 展开更多
关键词 铟磷基激光器 发散角 光场分布
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生长温度对长波长InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长的影响
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作者 陈博 王圩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1054-1058,共5页
研究不同生长温度下的InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长,用光致发光和X射线双晶衍射等测试手段分析了其材料特性,得到了室温脉冲激射1.3μm AlGaInAs 有源区SCH-MQW 结构材料,为器件... 研究不同生长温度下的InP/AlGaInAs/InP材料LP-MOCVD生长,用光致发光和X射线双晶衍射等测试手段分析了其材料特性,得到了室温脉冲激射1.3μm AlGaInAs 有源区SCH-MQW 结构材料,为器件制作研究打下了基础. 展开更多
关键词 半导体激光器 inp ALgainas LP-MOCVD 生长温度
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Fabrication of a 10 Gb/s InGaAs/InP Avalanche Photodiode with an AlGaInAs/InP Distributed Bragg Reflector
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作者 YUE Ai-Wen WANG Ren-Fan +1 位作者 XIONG Bing SHI Jing 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第3期186-189,共4页
A new planar InGaAs/InP avalanche photodiode(APD)is proposed and fabricated,which incorporates a high reflective AlGaInAs/InP distributed Bragg reflector(DBR)to improve its responsivity.The fabricated APD exhibits a l... A new planar InGaAs/InP avalanche photodiode(APD)is proposed and fabricated,which incorporates a high reflective AlGaInAs/InP distributed Bragg reflector(DBR)to improve its responsivity.The fabricated APD exhibits a low dark current of less than 3 nA at M=10 and high responsivity of 0.92 A/W at M=1.The gain bandwidth product of the device is above 80 GHz.The APD receiver exhibits a sensitivity of over-26 dBm at BER=10^-(12),which is sufficient for 10 Gb/s communication systems. 展开更多
关键词 INGAAS/inp Gb/s REFLECTIVE
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Low Distortion 1.31μm AlGaInAs/InP MQW DFB Laser Module for CATV Systems
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作者 YANG Xin-min, LIU Tao, ZHOU Ning, JIN Jin-yan, HUANG Tao, WANG Chang-hong, LI Tong-ning (Wuhan Telecommunication Devices Co.,Wuhan 430074,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1999年第2期92-95,共4页
A high power and low distortion 1.31 μm AlGaInAs/InP multiquantum well distributed feedback laser diode (MQW DFB LD) with RWG structure has been developed by MOCVD technique. The fiber output power of butterfly packa... A high power and low distortion 1.31 μm AlGaInAs/InP multiquantum well distributed feedback laser diode (MQW DFB LD) with RWG structure has been developed by MOCVD technique. The fiber output power of butterfly packaged module with optic isolator P f is more than 10 mW, threshold current is in the range of (13~20) mA, slope efficiency, E s>0.30 W/A and side mode suppression ratio, R S,M,S >35 dB. The composite second order, O C,S <-61 dBc and composite triple beat, B C,T <-65 dBc are obtained by test frequencies of (45~550) MHz with 60 PAL channels. In the test conditions the carrier to noise ratio, R C,N >51 dB. 展开更多
关键词 CATV DFB-LD Low Distortion MQW CLC number:TN248.4 Document code:A
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InP衬底上制备GaInAsP/GaInAs双结太阳电池的研究
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作者 张恒 刘如彬 +1 位作者 张启明 孙强 《电源技术》 CAS 北大核心 2024年第7期1375-1379,共5页
基于InP衬底的GaInAsP/GaInAs太阳电池是制备五至六结叠层太阳电池必需的低带隙子电池。采用MOCVD制备了与InP衬底晶格匹配的Ga_(0.47)In_(0.53)As三元材料和Ga_(0.16)In_(0.84)As_(0.3)P_(0.7)四元材料,禁带宽度分别为0.77和1.11 eV,... 基于InP衬底的GaInAsP/GaInAs太阳电池是制备五至六结叠层太阳电池必需的低带隙子电池。采用MOCVD制备了与InP衬底晶格匹配的Ga_(0.47)In_(0.53)As三元材料和Ga_(0.16)In_(0.84)As_(0.3)P_(0.7)四元材料,禁带宽度分别为0.77和1.11 eV,它们都具有较高的晶体质量。以此为有源层制备了GaInAsP/GaInAs双结叠层太阳电池,该双结太阳电池的开路电压为1.09V,光电转换效率为11.2%(AM0,25℃)。 展开更多
关键词 inp gainasP gainas 太阳电池 MOCVD
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谱导数法在光谱研究GaInAs/InP和GaInP/AlGaInP多量子阱中的应用 被引量:2
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作者 邵军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期2534-2540,共7页
在简要讨论谱导数法物理机理的基础上 ,给出了其在光吸收谱和光反射谱方法研究张应变GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的成功应用实例 .比较了不同阶谱导数对测定激子跃迁能量的影响 ,论及了其与双调制谱方法、曲线拟合方法的区别 ... 在简要讨论谱导数法物理机理的基础上 ,给出了其在光吸收谱和光反射谱方法研究张应变GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的成功应用实例 .比较了不同阶谱导数对测定激子跃迁能量的影响 ,论及了其与双调制谱方法、曲线拟合方法的区别 .指出了谱导数法在光谱研究GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的重要性和易行性 . 展开更多
关键词 谱导数法 物理机理 光谱研究 半导体 光吸收谱 光反射谱 多量子阱 激子跃迁 gainas/inp GAinp/ALGAinp
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MOCVD生长InP/GaInAsP DBR结构及相关材料特性 被引量:2
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作者 蒋红 金亿鑫 +2 位作者 缪国庆 宋航 元光 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期632-636,共5页
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法InP衬底上成功地制备了GaxIn1-xAsyP1-y/InP交替生长的分布布喇格反射镜(DBR)结构以及与之相关的四元合金GaxIn1-xAsyP1-y和InP外延层。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、低温光致发光(PL)光谱等... 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法InP衬底上成功地制备了GaxIn1-xAsyP1-y/InP交替生长的分布布喇格反射镜(DBR)结构以及与之相关的四元合金GaxIn1-xAsyP1-y和InP外延层。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、低温光致发光(PL)光谱等测量手段对材料的物理特性进行了表征。结果表明,在InP衬底上生长的InP外延层和四元合金GaxIn1-xAsyP1-y外延层77K光致发光(PL)谱线半峰全宽(FWHM)分别为9.3meV和32meV,说明形成DBRs结构的交替层均具有良好的光学质量。X射线衍射测量结果表明,四元合金GaxIn1-xAsyP1-y外延层与InP衬底之间的相对晶格失配仅为1×10-3。GaxIn1-xAsyP1-y/InP交替生长的DBR结构每层膜的光学厚度约为λ/4n(λ=1.55/μm)。根据多层膜增反原理计算得出当膜的周期数为23时,反射率可达90%。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 MOCVD 半导体材料 磷化铟 磷砷铟镓 布喇格反射镜 X射线衍射 扫描电子显微镜 低温光致发光光谱 反射率 周期数
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AlGaInAs/InP coupled-circular microlasers 被引量:1
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作者 黄永箴 林建东 +4 位作者 姚齐峰 吕晓萌 杨跃德 肖金龙 杜云 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第9期49-51,共3页
AlGalnAs/InP coupled-circular microlasers with radius of 10-and 2-μm width middle bus waveguide are fabricated by photolithography and inductively coupled plasma etching techniques. Room-temperature continuous-wave s... AlGalnAs/InP coupled-circular microlasers with radius of 10-and 2-μm width middle bus waveguide are fabricated by photolithography and inductively coupled plasma etching techniques. Room-temperature continuous-wave single-mode operation is realized with an output power of 0.17 mW and a side-mode suppression ratio of 23 dB at 45 mA. A longitudinal mode interval of 11 nm is obtained from the lasing spectra, and mode Q factor of 6.2×10^3 is estimated from 3-dB width of a minor peak near the threshold current. The mode characteristics are simulated by finite-difference time-domain technique for coupled- circular resonators. The results show that, in addition to the coupled modes, high-radial-order whispering gallery modes with travelling wave behaviors can also have high Q factors in the coupled-circular resonators with a middle bus waveguide. 展开更多
关键词 inp BUS MODE Algainas/inp coupled-circular microlasers
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GaInAsP/InP阶梯量子阱中电子-电子的散射率
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作者 王海龙 李正 +2 位作者 胡敏 李士玲 龚谦 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1408-1414,共7页
在有效质量近似下,利用打靶法和费米黄金定则计算出GaxIn1-xAsyP1-y/In P阶梯量子阱中两个及多个电子从第一激发态子带到基态子带的散射率及平均散射率。计算结果表明,电子-电子的散射率和平均散射率随Ga组分和阱宽的增大而升高,随As组... 在有效质量近似下,利用打靶法和费米黄金定则计算出GaxIn1-xAsyP1-y/In P阶梯量子阱中两个及多个电子从第一激发态子带到基态子带的散射率及平均散射率。计算结果表明,电子-电子的散射率和平均散射率随Ga组分和阱宽的增大而升高,随As组分的增大而降低。散射率随电子初态能和外加电场强度的增大而降低,平均散射率随载流子浓度的增大而升高。电子温度对平均散射率的影响不明显,平均散射率随着电子温度的升高而稍微降低。 展开更多
关键词 GaxIn1-xAsyP1-y/inp 阶梯量子阱 电子 费米黄金定则 散射率
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用GSMBE法生长匹配型GaInAsP/InP材料及量子阱、面发射激光器结构的研究 被引量:2
14
作者 林世鸣 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期339-343,共5页
本文报道通过在位组分调整,配合X射线双晶衍射测试和光致发光测试,生长了与InP精确匹配的GaInAsP(失配度达4×10-4).生长了GaInAs/InP量子阶结构的光致发光半峰宽达5.72meV.实验表明源炉挡... 本文报道通过在位组分调整,配合X射线双晶衍射测试和光致发光测试,生长了与InP精确匹配的GaInAsP(失配度达4×10-4).生长了GaInAs/InP量子阶结构的光致发光半峰宽达5.72meV.实验表明源炉挡板开启后生长速率是不均匀的,这对生长量子阶和DBR结构是个值得注意的问题,经考虑生长速率变化后生长的面发射激光器结构样片的反射率谱与理论计算的结果很好地相符. 展开更多
关键词 gainasP/inp 磷化铟 GSMBE法 生长 激光器 量子阱
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1550nm Polarization-Insensitive Semiconductor Optical Amplifier Based on AlGaInAs-InP
15
作者 马宏 朱光喜 易新建 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期745-748,共4页
Polarization insensitive AlGaInAs InP semiconductor optical amplifier is realized at a wavelength of 1550nm.The active layer consists of three tensile strained wells with strain 0 40%.The amplifiers are fabricated ... Polarization insensitive AlGaInAs InP semiconductor optical amplifier is realized at a wavelength of 1550nm.The active layer consists of three tensile strained wells with strain 0 40%.The amplifiers are fabricated to ridge waveguide structure with 7° tilted cavity.The two facets are coated with two layers of anti reflection Ti 3O 5/Al 2O 3 films.Residual facet reflectivity is found to be less than 0 03%.The semiconductor optical amplifer exhibits 20dB of signal gain and 7 2dBm of saturation output power with an excellent polarization insensitivity (less than 0 8dB) at 200mA and 1540nm window. 展开更多
关键词 polarization insensitive Algainas inp optical amplifier MOCVD
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GaInAsP/InP跑道型环形谐振腔的制备及其性能测试 被引量:1
16
作者 鲁德初 吕昊 《孝感学院学报》 2008年第3期31-34,共4页
采用等离子增强型化学汽相沉积和电子束刘蚀相结合方法制备了直径为1~20μm的GalnAsP/InP跑道型环形谐振腔,采用扫面电镜等方法对其进行了研究。结果表明;直径为4.5μm、跑道长度为5μm,直径为10.5μm、跑道长度为5μm和直径为19... 采用等离子增强型化学汽相沉积和电子束刘蚀相结合方法制备了直径为1~20μm的GalnAsP/InP跑道型环形谐振腔,采用扫面电镜等方法对其进行了研究。结果表明;直径为4.5μm、跑道长度为5μm,直径为10.5μm、跑道长度为5μm和直径为19.5μm、跑道长度为3μm的环形谐振腔的自由频谱范围分别为28nm、16nm和9.5nm;随着环形直径的增加,其自由频谱范围减小;在相同的直径下,随着跑道的长度增加,自由频谱范围减小。 展开更多
关键词 GalnAsP/inp环形谐振腔 自由频谱范围 跑道长度
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在n—InP(100)衬底上低温液相外延生长1.55μm GaInAsP双异质结构层的研究
17
作者 邢启江 王舒民 +2 位作者 陈娓兮 章蓓 王若鹏 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1990年第4期324-328,332,共6页
在590℃温度下,不使用1.3μm GaInAsP 防回熔层,直接在 n-InP(100)衬底上液相外延生长出1.55μm InP/GaInAsP/InP 双异质结构外延片。对这种外延片的生长情况及其特性和 InP 衬底的热损伤情况,本文作了详细的分析和讨论。
关键词 gainasP 异质结构 液相外延 n-inp
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MOVPE生成AlGaInAs/InP应变量子阱材料研究
18
作者 马宏 金锦炎 +1 位作者 江斌 赵修建 《武汉工业大学学报》 EI CSCD 2001年第2期12-14,共3页
用低压金属有机化学气相沉积 (L P- MOCVD)设备生长了 Al Ga In As压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试 ,通过二次离子质谱仪 (SIMS)的测试讨论了材料中氧含量对材料特性的影响 ,通过采用高纯原料和纯化载气 ,... 用低压金属有机化学气相沉积 (L P- MOCVD)设备生长了 Al Ga In As压应变量子阱材料、应变补偿量子阱材料并进行了材料特性的测试 ,通过二次离子质谱仪 (SIMS)的测试讨论了材料中氧含量对材料特性的影响 ,通过采用高纯原料和纯化载气 ,生长出了较高质量的 Al Ga In As应变量子阱材料 :氧含量小 ,光荧光强度大 (2 5 m W,PL=0 .3) ,光荧光谱线窄 (FWHM=31me V) 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 ALgainas inp 应变量子阱材料 应变补偿 二次离子质谱仪
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长波长GaInAs/InP PIN光电探测器的纯化保护
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作者 程宗权 王惠民 《上海半导体》 1990年第3期18-19,共2页
关键词 光电探测器 纯化保护 gainas/inp
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超薄GaInP/GaInAs/Ge太阳电池研究 被引量:3
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作者 高伟 张宝 +2 位作者 薛超 高鹏 王保民 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1069-1070,1142,共3页
通过特殊的MOCVD技术和器件工艺,应用超薄衬底和对正常衬底的减薄两种方法,成功地制作出了80 mm厚的超薄GaInP/GaInAs/Ge结构的太阳电池。对太阳电池进行了相关的测试,并对实验结果进行了分析和讨论。
关键词 MOCVD技术 器件工艺 GAinp gainas Ge太阳电池
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