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GaAs工艺监测研究 被引量：3
1
作者 于信明 崔玉兴 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期520-523,共4页
介绍了GaAs MMIC(GaAs microwave monolithic integrated circuit)工艺运用监测技术控制工艺过程,实时掌握工艺状况,保证产品的一致性、可重复性和可靠性。针对薄层电阻和接触电阻的阻值以及器件的栅阻和栅长等工艺过程中关键的参数,分... 介绍了GaAs MMIC(GaAs microwave monolithic integrated circuit)工艺运用监测技术控制工艺过程,实时掌握工艺状况,保证产品的一致性、可重复性和可靠性。针对薄层电阻和接触电阻的阻值以及器件的栅阻和栅长等工艺过程中关键的参数,分别用范德堡结构、开尔文结构和十字桥结构进行监测。采用范德堡结构测得薄层电阻Rs=(π/ln 2)V14/I23,开尔文结构得到接触电阻Rc=V13/I24,十字桥结构可以了解栅阻和栅长。然后通过运用统计过程控制技术对数据进行分析,可以有效改进工艺,提高产品质量。 展开更多
关键词 gaasmmic 工艺监测 薄层电阻 十字桥 统计过程控制
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利用扫描电镜分析、解决GaAs MMIC制作中的工艺问题
2
作者 王民娟 张浩 +2 位作者 周瑞 冯震 邵璀琦 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期406-407,共2页
关键词 扫描电镜分析 gaasmmic 低噪声放大器 制作工艺 微波通讯 频率
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使用SEM分析GaAs MMIC制作中的通孔工艺问题
3
作者 刘立浩 杨瑞霞 +2 位作者 王同祥 张雄文 周瑞 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期788-789,共2页
关键词 SEM gaasmmic 通孔工艺 制造工艺 背面通孔 扫描电镜 砷化镓微波功率场效应晶体管
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全自动在片直流测试技术对提高GaAs MMIC批量生产成品率的作用 被引量：1
4
作者 吴振海 郝西萍 +1 位作者 蒋幼泉 陈新宇 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第4期444-447,共4页
成品率高低是批量生产能否进行的关键。采用全自动在片直流测试 ,对参数进行统计分析 ,能判断成品率是否正常 ,并帮助找出影响成品率的原因。本文介绍了行之有效的测试统计和分析技术。
关键词 成品率 在片测试 gaasmmic 测试统计 微波器件
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宽带SMT控制组件
5
《国外电子元器件》 2005年第7期31-31,共1页
Hittite微波公司推出一种宽带SMT封装的GaAs MMIC SPDT开关和SMT封装的GaAsMMIC电压可变衰减器．特别适合光纤、宽带通信、测试测量、微波及军事产品。
关键词 控制组件 gaasmmic SMT封装 SPDT开关 可变衰减器 宽带通信 测试测量 微波 光纤
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面向3.5GHz WiMAX应用内建和缓旁路开关的高线性度MMIC低噪声放大器
6
作者 Tan Chew Ean 《电子与电脑》 2006年第12期86-92,共7页
关键词 gaasmmic 低噪声放大器 旁路开关 WIMAX 高线性度 应用 匹配电路 输出阻抗
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机载电子扫描相控阵雷达
7
作者 谭显裕 《航空兵器》 2001年第1期26-30,共5页
机载有源电子扫描相控阵雷达具有波束捷变快、抗干扰性强、视场广、隐蔽性好、功能强和性能可靠等突出优势,但技术复杂、难度高,目前尚存在如大规模砷化镓单片微波集成(GaAS MMIC)电路,数字波束形成和射频处理,全微波组件封装和测试以... 机载有源电子扫描相控阵雷达具有波束捷变快、抗干扰性强、视场广、隐蔽性好、功能强和性能可靠等突出优势,但技术复杂、难度高,目前尚存在如大规模砷化镓单片微波集成(GaAS MMIC)电路,数字波束形成和射频处理,全微波组件封装和测试以及综合射频传感器等关键技术。本文主要研究它的突出优势、关键技术及解决途径、发展和前景。 展开更多
关键词 电子扫描相控阵雷达 机载雷达 综合射频传感器 gaasmmic
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