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气流式加速度传感器性能的研究
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作者 吴建义 任宏超 张福学 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第10期10-12,15,共4页
本文根据研制气流式加速度传感器所遇到的实际问题,用理论和实验的方法对其进行了分析和研究。并研究了工艺结构、供电电源电压和环境温度等因素对气流式加速度传感器性能的影响。分析了使气流式加速度传感器的性能指标得到了提高的因素。
关键词 气流式 加速度传感器 工艺结构 传感器
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