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Recursive weighted least squares estimation algorithm based on minimum model error principle 被引量:2
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作者 雷晓云 张志安 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期545-558,共14页
Kalman filter is commonly used in data filtering and parameters estimation of nonlinear system,such as projectile's trajectory estimation and control.While there is a drawback that the prior error covariance matri... Kalman filter is commonly used in data filtering and parameters estimation of nonlinear system,such as projectile's trajectory estimation and control.While there is a drawback that the prior error covariance matrix and filter parameters are difficult to be determined,which may result in filtering divergence.As to the problem that the accuracy of state estimation for nonlinear ballistic model strongly depends on its mathematical model,we improve the weighted least squares method(WLSM)with minimum model error principle.Invariant embedding method is adopted to solve the cost function including the model error.With the knowledge of measurement data and measurement error covariance matrix,we use gradient descent algorithm to determine the weighting matrix of model error.The uncertainty and linearization error of model are recursively estimated by the proposed method,thus achieving an online filtering estimation of the observations.Simulation results indicate that the proposed recursive estimation algorithm is insensitive to initial conditions and of good robustness. 展开更多
关键词 minimum model error Weighted least squares method State estimation Invariant embedding method Nonlinear recursive estimate
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Monte Carlo Method for the Uncertainty Evaluation of Spatial Straightness Error Based on New Generation Geometrical Product Specification 被引量:10
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作者 WEN Xiulan XU Youxiong +2 位作者 LI Hongsheng WANG Fenglin SHENG Danghong 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第5期875-881,共7页
Straightness error is an important parameter in measuring high-precision shafts. New generation geometrical product speeifieation(GPS) requires the measurement uncertainty characterizing the reliability of the resul... Straightness error is an important parameter in measuring high-precision shafts. New generation geometrical product speeifieation(GPS) requires the measurement uncertainty characterizing the reliability of the results should be given together when the measurement result is given. Nowadays most researches on straightness focus on error calculation and only several research projects evaluate the measurement uncertainty based on "The Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement(GUM)". In order to compute spatial straightness error(SSE) accurately and rapidly and overcome the limitations of GUM, a quasi particle swarm optimization(QPSO) is proposed to solve the minimum zone SSE and Monte Carlo Method(MCM) is developed to estimate the measurement uncertainty. The mathematical model of minimum zone SSE is formulated. In QPSO quasi-random sequences are applied to the generation of the initial position and velocity of particles and their velocities are modified by the constriction factor approach. The flow of measurement uncertainty evaluation based on MCM is proposed, where the heart is repeatedly sampling from the probability density function(PDF) for every input quantity and evaluating the model in each case. The minimum zone SSE of a shaft measured on a Coordinate Measuring Machine(CMM) is calculated by QPSO and the measurement uncertainty is evaluated by MCM on the basis of analyzing the uncertainty contributors. The results show that the uncertainty directly influences the product judgment result. Therefore it is scientific and reasonable to consider the influence of the uncertainty in judging whether the parts are accepted or rejected, especially for those located in the uncertainty zone. The proposed method is especially suitable when the PDF of the measurand cannot adequately be approximated by a Gaussian distribution or a scaled and shifted t-distribution and the measurement model is non-linear. 展开更多
关键词 uncertainty evaluation Monte Carlo method spatial straightness error quasi particle swarm optimization minimum zone solution geometrical product specification
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A Low-Complexity Signal Detection Utilizing AOR Iterative Method for Massive MIMO Systems 被引量:3
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作者 Zhenyu Zhang Xiaoming Dai +2 位作者 Yuanyuan Dong Xiyuan Wang Tong Liu 《China Communications》 SCIE CSCD 2017年第11期269-278,共10页
Massive multiple-input multiple-output(MIMO) system is capable of substantially improving the spectral efficiency as well as the capacity of wireless networks relying on equipping a large number of antenna elements at... Massive multiple-input multiple-output(MIMO) system is capable of substantially improving the spectral efficiency as well as the capacity of wireless networks relying on equipping a large number of antenna elements at the base stations. However, the excessively high computational complexity of the signal detection in massive MIMO systems imposes a significant challenge for practical hardware implementations. In this paper, we propose a novel minimum mean square error(MMSE) signal detection using the accelerated overrelaxation(AOR) iterative method without complicated matrix inversion, which is capable of reducing the overall complexity of the classical MMSE algorithm by an order of magnitude. Simulation results show that the proposed AOR-based method can approach the conventional MMSE signal detection with significant complexity reduction. 展开更多
关键词 massive multiple-input multiple-output(MIMO) accelerated overrelaxation(AOR) iterative method minimum mean square error(MMSE) convergence complexity
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Low-complexity signal detection for massive MIMO systems via trace iterative method
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作者 IMRAN A.Khoso ZHANG Xiaofei +2 位作者 ABDUL Hayee Shaikh IHSAN A.Khoso ZAHEER Ahmed Dayo 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE CSCD 2024年第3期549-557,共9页
Linear minimum mean square error(MMSE)detection has been shown to achieve near-optimal performance for massive multiple-input multiple-output(MIMO)systems but inevitably involves complicated matrix inversion,which ent... Linear minimum mean square error(MMSE)detection has been shown to achieve near-optimal performance for massive multiple-input multiple-output(MIMO)systems but inevitably involves complicated matrix inversion,which entails high complexity.To avoid the exact matrix inversion,a considerable number of implicit and explicit approximate matrix inversion based detection methods is proposed.By combining the advantages of both the explicit and the implicit matrix inversion,this paper introduces a new low-complexity signal detection algorithm.Firstly,the relationship between implicit and explicit techniques is analyzed.Then,an enhanced Newton iteration method is introduced to realize an approximate MMSE detection for massive MIMO uplink systems.The proposed improved Newton iteration significantly reduces the complexity of conventional Newton iteration.However,its complexity is still high for higher iterations.Thus,it is applied only for first two iterations.For subsequent iterations,we propose a novel trace iterative method(TIM)based low-complexity algorithm,which has significantly lower complexity than higher Newton iterations.Convergence guarantees of the proposed detector are also provided.Numerical simulations verify that the proposed detector exhibits significant performance enhancement over recently reported iterative detectors and achieves close-to-MMSE performance while retaining the low-complexity advantage for systems with hundreds of antennas. 展开更多
关键词 signal detection LOW-COMPLEXITY linear minimum mean square error(MMSE) massive multiple-input multiple-output(MIMO) trace iterative method(TIM)
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Demodulation method combining virtual reference interferometry and minimum mean square error for fiber-optic Fabry–Perot sensors 被引量:1
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作者 桂新旺 Michael Anthony Galle +4 位作者 钱黎 梁伟龙 周次明 欧艺文 范典 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期30-33,共4页
We propose a cavity length demodulation method that combines virtual reference interferometry(VRI) and minimum mean square error(MMSE) algorithm for fiber-optic Fabry–Perot(F-P) sensors. In contrast to the conv... We propose a cavity length demodulation method that combines virtual reference interferometry(VRI) and minimum mean square error(MMSE) algorithm for fiber-optic Fabry–Perot(F-P) sensors. In contrast to the conventional demodulating method that uses fast Fourier transform(FFT) for cavity length estimation,our method employs the VRI technique to obtain a raw cavity length, which is further refined by the MMSE algorithm. As an experimental demonstration, a fiber-optic F-P sensor based on a sapphire wafer is fabricated for temperature sensing. The VRI-MMSE method is employed to interrogate cavity lengths of the sensor under different temperatures ranging from 28°C to 1000°C. It eliminates the "mode jumping" problem in the FFT-MMSE method and obtains a precision of 4.8 nm, corresponding to a temperature resolution of 2.0°C over a range of 1000°C. The experimental results reveal that the proposed method provides a promising, high precision alternative for demodulating fiber-optic F-P sensors. 展开更多
关键词 VRI Demodulation method combining virtual reference interferometry and minimum mean square error for fiber-optic Fabry Perot sensors
原文传递
Measurement Uncertainty Evaluation of Conicity Error Inspected on CMM 被引量:11
6
作者 WANG Dongxia SONG Aiguo +2 位作者 WEN Xiulan XU Youxiong QIAO Guifang 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期212-218,共7页
The cone is widely used in mechanical design for rotation, centering and fixing. Whether the conicity error can be measured and evaluated accurately will directly influence its assembly accuracy and working performanc... The cone is widely used in mechanical design for rotation, centering and fixing. Whether the conicity error can be measured and evaluated accurately will directly influence its assembly accuracy and working performance. According to the new generation geometrical product specification(GPS), the error and its measurement uncertainty should be evaluated together. The mathematical model of the minimum zone conicity error is established and an improved immune evolutionary algorithm(IlEA) is proposed to search for the conicity error. In the IIEA, initial antibodies are firstly generated by using quasi-random sequences and two kinds of affinities are calculated. Then, each antibody clone is generated and they are self-adaptively mutated so as to maintain diversity. Similar antibody is suppressed and new random antibody is generated. Because the mathematical model of conicity error is strongly nonlinear and the input quantities are not independent, it is difficult to use Guide to the expression of uncertainty in the measurement(GUM) method to evaluate measurement uncertainty. Adaptive Monte Carlo method(AMCM) is proposed to estimate measurement uncertainty in which the number of Monte Carlo trials is selected adaptively and the quality of the numerical results is directly controlled. The cone parts was machined on lathe CK6140 and measured on Miracle NC 454 Coordinate Measuring Machine(CMM). The experiment results confirm that the proposed method not only can search for the approximate solution of the minimum zone conicity error(MZCE) rapidly and precisely, but also can evaluate measurement uncertainty and give control variables with an expected numerical tolerance. The conicity errors computed by the proposed method are 20%-40% less than those computed by NC454 CMM software and the evaluation accuracy improves significantly. 展开更多
关键词 minimum zone conicity error improved immune evolutionary algorithm measurement uncertainty adaptive Monte Carlo method
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异型滑块导轨间垂直度误差测算方法研究
7
作者 赵未来 祝锡晶 +3 位作者 卢圣力 郭晋竹 孔华野 刘瑶 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第8期156-162,共7页
针对传统自准直仪测量导轨滑块副垂直度误差时,因测量对象不同导致结果不一致的问题,提出了一种通用的垂直度误差计算方法。首先,分开考虑两导轨滑块副,并根据自准直仪测量原理、结合最小包容区域包络模型,对导轨直线度误差进行测量与... 针对传统自准直仪测量导轨滑块副垂直度误差时,因测量对象不同导致结果不一致的问题,提出了一种通用的垂直度误差计算方法。首先,分开考虑两导轨滑块副,并根据自准直仪测量原理、结合最小包容区域包络模型,对导轨直线度误差进行测量与分析。其次,在Matlab中编写数据处理程序,完成误差计算。最后,在某公司生产的某小型数控铣床上进行试验验证。结果表明测量值均在机床精度检验的允差范围内,证明了该计算方法的有效性,为导轨间的垂直度误差的测算提供一种更为通用的计算方法。 展开更多
关键词 垂直度误差 最小包容区域法 自准直仪 角差法 直线导轨副
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基于麻雀搜索算法的圆度误差评定
8
作者 魏安立 《计量与测试技术》 2025年第7期63-66,共4页
针对传统的智能搜索算法在评定圆度误差时存在收敛速度慢、易陷入最优的问题,本文根据最小区域评价准则建立数学模型,基于麻雀搜索算法,将每个麻雀个体作为待求圆心坐标的位置,通过不断迭代优化,实现最优圆心坐标的求解,并与GWO、PSO、... 针对传统的智能搜索算法在评定圆度误差时存在收敛速度慢、易陷入最优的问题,本文根据最小区域评价准则建立数学模型,基于麻雀搜索算法,将每个麻雀个体作为待求圆心坐标的位置,通过不断迭代优化,实现最优圆心坐标的求解,并与GWO、PSO、SCA和最小二乘法进行对比验证。结果表明:该方法不仅收敛速度更快、圆度误差较小,而且对效率和结果均有较大程度的提高。 展开更多
关键词 麻雀搜索算法 圆度误差 最小区域法 最小二乘法
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多支脚设备柔性基础下的激光对中动态权重调整方法
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作者 卢杰 《自动化应用》 2025年第18期218-220,224,共4页
由于激光两轴在非对中状态的调整过程中会引起激光投影位置的变化,通过定值权重进行对中时,往往存在较大偏差,为此开展了多支脚设备柔性基础下的激光对中动态权重调整方法研究。利用不同转动角度下激光投影位置间的距离计算了投影实线... 由于激光两轴在非对中状态的调整过程中会引起激光投影位置的变化,通过定值权重进行对中时,往往存在较大偏差,为此开展了多支脚设备柔性基础下的激光对中动态权重调整方法研究。利用不同转动角度下激光投影位置间的距离计算了投影实线圆的圆心坐标。在此基础上引入了最小二乘法拟合各观测点与圆心之间的距离最小误差,得到空间激光对中的动态权重参数,以此实现激光对中动态权重调整。测试结果表明,应用设计方法进行激光对中,水平误差在x方向和y方向上的分布分别稳定在0.12 mm和0.56 mm以内,角度误差在x方向和y方向上的分布分别稳定在0.13 mrad和0.06 mrad以内,达到了研究预期。 展开更多
关键词 多支脚设备 激光对中 动态权重 转动角度 圆心坐标 最小二乘法 距离最小误差
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虚拟圆度误差测量仪的研制 被引量:10
10
作者 陈立杰 张玉 张镭 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1056-1058,共3页
利用美国NI公司的LabWindows/CVI为软件开发平台,结合实验室现有的测量条件和基于PC的数据采集卡,开发研制了虚拟圆度误差测量仪·该仪器将形位误差测量技术与虚拟仪器技术相结合,用圆度误差的最小二乘圆评定法、最小区域圆评定法... 利用美国NI公司的LabWindows/CVI为软件开发平台,结合实验室现有的测量条件和基于PC的数据采集卡,开发研制了虚拟圆度误差测量仪·该仪器将形位误差测量技术与虚拟仪器技术相结合,用圆度误差的最小二乘圆评定法、最小区域圆评定法、最小外接圆评定法、最大内切圆评定法,解决了圆度误差的测量问题,并且将圆度误差图形在屏幕上形象、直观地显示出来·有利于分析误差产生的原因,以便控制制造误差·该仪器测量精度高,工作稳定,制造成本低,并具有良好的功能扩展能力,既可用于实验教学,又可用于生产实际· 展开更多
关键词 虚拟圆度误差测量仪 虚拟仪器 最小二乘圆评定法 最小区域圆评定法 形位误差
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评定直线度误差的最小二乘法与最小包容区域法精度之比较 被引量:52
11
作者 黄富贵 崔长彩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期889-893,共5页
介绍了直线度误差评定的最小二乘法和最小包容区域法的算法模型与实现方法。在三坐标测量机上对八种不同被测直线进行了采样点坐标数据提取,分别用最小二乘法和最小包容区域法的基于搜索逼近-逐次旋转逼近法进行了给定平面内直线度误差... 介绍了直线度误差评定的最小二乘法和最小包容区域法的算法模型与实现方法。在三坐标测量机上对八种不同被测直线进行了采样点坐标数据提取,分别用最小二乘法和最小包容区域法的基于搜索逼近-逐次旋转逼近法进行了给定平面内直线度误差的评定。结果表明:最小二乘法的评定结果与最小包容区域法的基于搜索逼近-逐次旋转逼近法的评定结果完全一致,即直线度误差的最小二乘法评定结果符合最小条件。 展开更多
关键词 直线度误差 评定 最小二乘法 最小包容区域法
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平面度误差的快速评定法——测点分类法 被引量:9
12
作者 岳武陵 吴勇 苏俊 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第1期29-33,共5页
针对平面度误差判定的最小包容区域法,提出一种新的、快速的实施方法,它将所有测量点分成“高点”、“低点”和“鞍点”3种类型,并指出最小包容区域法中的最高点只出现在“高点”中,最低点只出现在“低点”中,且二者均不会出现在“鞍点... 针对平面度误差判定的最小包容区域法,提出一种新的、快速的实施方法,它将所有测量点分成“高点”、“低点”和“鞍点”3种类型,并指出最小包容区域法中的最高点只出现在“高点”中,最低点只出现在“低点”中,且二者均不会出现在“鞍点”中。这就极大地减少了轮流处理(搜索)的次数,提高了软件的效率,而且测量点越多,效果越显著。通过对70个测点的典型算例,表明此算法比传统的最小区域法要快几十倍。 展开更多
关键词 计量学 平面度误差 最小包容区域法 鞍点 测点分类法
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一种基于区域搜索的平面度误差评定方法 被引量:5
13
作者 田树耀 黄富贵 张彬 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第5期506-508,共3页
以给定平面度误差的评定为例,分析最小二乘法和最小包容区域法的算法模型,并提出一种基于区域搜索的评定平面度误差的方法.在三坐标测量机上,对被测平面进行采样点坐标数据提取,分别用基于搜索逼近法的最小二乘法和最小包容区域法实现... 以给定平面度误差的评定为例,分析最小二乘法和最小包容区域法的算法模型,并提出一种基于区域搜索的评定平面度误差的方法.在三坐标测量机上,对被测平面进行采样点坐标数据提取,分别用基于搜索逼近法的最小二乘法和最小包容区域法实现给定平面度误差的评定.结果表明,基于搜索逼近法的最小包容区域法与最小二乘法相比,其评定结果精度提高了5.97%,且符合最小条件. 展开更多
关键词 平面度误差 评定 最小区域法 最小二乘法 区域搜索
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基于仿增量算法的圆度误差快速准确评定 被引量:31
14
作者 岳武陵 吴勇 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期87-91,共5页
提出按最小外接圆法和最小区域法评定圆度误差的仿增量算法。将工件轮廓看作一个点集,并在其中建立可以确定圆(环)的子集。若子集确定的圆(环)包容原点集,则可得到相应的圆度误差;否则每次给子集增加一个在包容区域外的点构成新子集,确... 提出按最小外接圆法和最小区域法评定圆度误差的仿增量算法。将工件轮廓看作一个点集,并在其中建立可以确定圆(环)的子集。若子集确定的圆(环)包容原点集,则可得到相应的圆度误差;否则每次给子集增加一个在包容区域外的点构成新子集,确定包容新子集的圆(环)并去掉其中不在圆(环)边界上的点。证明了该算法是单调收敛的。同时还提出以按最小外接圆法评定圆度误差时在包容边界上的点为最小区域法初值的新思路。该算法概念清楚、模型简单,易于在计算机上实现。几个实际零件圆度误差的评定验证了算法不仅正确,而且结果准确,耗时极少。 展开更多
关键词 最小外接圆法 最小区域法 圆度误差 误差评定 计算几何 仿增量算法
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平面度误差最小区域新算法——有序判别法 被引量:18
15
作者 张之江 于瀛洁 张善钟 《计量学报》 CSCD 北大核心 1998年第1期15-21,共7页
提出一种平面度误差最小区域新算法———有序判别法。该方法以最小区域准则为基础,直接以排序的高点和低点构成的初始评定平面进行最小包容区域的判定和搜索,最终求得平面度误差值。该方法易于理解和掌握,搜索判别有序。实例运算表... 提出一种平面度误差最小区域新算法———有序判别法。该方法以最小区域准则为基础,直接以排序的高点和低点构成的初始评定平面进行最小包容区域的判定和搜索,最终求得平面度误差值。该方法易于理解和掌握,搜索判别有序。实例运算表明,首轮搜索成功率高、速度快。 展开更多
关键词 平面度 最小区域法 误差
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一种基于MATLAB的形位误差评定方法 被引量:8
16
作者 田树耀 黄富贵 +1 位作者 田辉 侯学峰 《工具技术》 北大核心 2008年第4期95-97,共3页
提出一种基于MATLAB的形位误差评定新方法——最优函数法,并分别对直线度、平面度和圆度误差进行了分析评定。结果表明,最优函数法的评定精度可比最小二乘法的评定精度提高2%~16%,且符合最小条件。
关键词 形位误差 直线度 平面度 圆度 最小二乘法 MATLAB
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轴线直线度误差虚拟测量仪的研制 被引量:5
17
作者 陈立杰 田文元 张镭 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期250-253,共4页
利用美国NI公司的LabWindows/CVI为软件开发平台,结合实验室现有的测量条件和基于PC的数据采集卡,开发研制了轴线直线度误差虚拟测量仪.该仪器将形位误差测量技术与虚拟仪器技术相结合,用轴线直线度误差的最小二乘评定法、最小区域评定... 利用美国NI公司的LabWindows/CVI为软件开发平台,结合实验室现有的测量条件和基于PC的数据采集卡,开发研制了轴线直线度误差虚拟测量仪.该仪器将形位误差测量技术与虚拟仪器技术相结合,用轴线直线度误差的最小二乘评定法、最小区域评定法,解决了轴线直线度误差的测量问题.并且将误差图形在屏幕上形象、直观地显示出来,有利于分析误差产生的原因,以便控制制造误差.该仪器测量精度高,工作稳定,制造成本低,并具有良好的功能扩展能力,既可用于实验教学,又可用于生产实际. 展开更多
关键词 虚拟仪器 轴线直线度误差 测量仪 最小二乘评定法 最小区域评定法
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基于几何搜索逼近的球度误差最小区域评定 被引量:6
18
作者 雷贤卿 高作斌 +1 位作者 马文锁 段明德 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期123-127,共5页
结合球度误差的几何定义,提出了一种基于几何搜索的球度误差最小区域评价方法。首先,以初始参考点为基准,布置一定边长的正方体,依次以正方体的每个顶点为假定理想球心计算所有测量点的半径值,通过比较判断,调整正方体的位置及边长,最... 结合球度误差的几何定义,提出了一种基于几何搜索的球度误差最小区域评价方法。首先,以初始参考点为基准,布置一定边长的正方体,依次以正方体的每个顶点为假定理想球心计算所有测量点的半径值,通过比较判断,调整正方体的位置及边长,最终获得包容所有测点的最小区域,实现球度的最小区域评定。在终止搜索条件为0.00001mm时,对同一组测量数据,该算法的结果比最小二乘法减小了0.6μm,并与解析法、遗传算法的结果相一致。计算过程及结果表明,该算法不仅能准确地得到最小区域解,而且计算结果有良好的稳定性。 展开更多
关键词 计量学 球度 形状误差 几何搜索逼近法 最小区域法
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圆度误差置换算法的研究 被引量:4
19
作者 郑鹏 侯伯杰 曹智军 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 2002年第4期107-109,共3页
对圆度误差评定理论及应用进行了探讨 ,构造了圆度误差数学模型 ,利用置换算法按最小条件求得圆度误差 .给出一个圆度误差评定的实例 ,结果证明 ,该方法有较高的精度和速度 .另外 ,此评定方法具有很强的通用性 ,可为其它形状误差的求解... 对圆度误差评定理论及应用进行了探讨 ,构造了圆度误差数学模型 ,利用置换算法按最小条件求得圆度误差 .给出一个圆度误差评定的实例 ,结果证明 ,该方法有较高的精度和速度 .另外 ,此评定方法具有很强的通用性 ,可为其它形状误差的求解提供参考 . 展开更多
关键词 圆度误差 最小二乘圆法 置换算法 最小条件 数学模型 评定方法
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误差分离技术在平面镜瑞奇-康芒法检测中的应用 被引量:12
20
作者 朱硕 张晓辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期7-12,共6页
为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度,提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析,解算了由光路调整引入的离焦误差,获得了更为真实的平面镜面形误差。理论仿真分... 为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度,提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析,解算了由光路调整引入的离焦误差,获得了更为真实的平面镜面形误差。理论仿真分析显示,此方法的平面镜测量误差可控制在λ/100(λ=632.8nm)量级。对口径为40mm的小口径平面镜进行了实际检测,检测过程中通过多角度旋转被测平面镜,利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复,在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0.018 6λ,与干涉仪直接检测得到的RMS值0.021λ相比,残差为0.002 4λ。实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇-康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性。 展开更多
关键词 光学检测 平面镜 瑞奇-康芒法 误差分离 最小二乘法
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