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磁记录硬盘用L1_(0)-FePt薄膜的研究进展
1
作者 施晨琦 赵琪 +5 位作者 巢云秀 李思勰 沈月 许彦亭 王传军 闻明 《机械工程材料》 北大核心 2025年第6期25-31,共7页
L1_(0)-FePt薄膜因具有高磁晶各向异性、高饱和磁化强度等优良的磁学性能及良好的化学稳定性,成为下一代超高密度磁记录存储介质的最佳候选者之一。介绍了磁控溅射法、分子束处延法和化学合成法等L1_(0)-FePt薄膜制备方法,阐述了薄膜的... L1_(0)-FePt薄膜因具有高磁晶各向异性、高饱和磁化强度等优良的磁学性能及良好的化学稳定性,成为下一代超高密度磁记录存储介质的最佳候选者之一。介绍了磁控溅射法、分子束处延法和化学合成法等L1_(0)-FePt薄膜制备方法,阐述了薄膜的理想结构和性能,综述了特殊热退火处理、添加隔离介质、制备多层膜结构等3种薄膜结构调控方法,总结了真空热压法、热等静压法和放电等离子烧结法等FePt合金靶材制备工艺,指出了目前研究存在的问题,展望了高密度磁记录存储介质的发展方向。 展开更多
关键词 L1_(0)-fept薄膜 fept靶材 隔离介质 多层膜结构
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Influence of Ti on Microstructure and Magnetic Properties of FePt Granular Films
2
作者 许佳玲 孙会元 +4 位作者 杨素娟 封顺珍 苏振访 胡骏 于红云 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第A02期137-140,共4页
在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30 nm)／Ti(t nm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火。详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响。X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和... 在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30 nm)／Ti(t nm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火。详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响。X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和FePt形成了三元FePtTi合金。当Ti层厚度t=5 nm、退火温度Ta=500℃时,样品具有高度有序的L10织构、小的颗粒尺寸和优异的磁特性。矫顽力超过了6．7 kOe,饱和磁化强度为620emu／cc。并且具有较小的开关场分布。结果表明FePt／Ti颗粒膜系统可作为超高密度磁记录介质的候选者。 展开更多
关键词 fept/Ti颗粒膜 对靶磁控溅射系统 磁记录介质
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Ti含量对FePt/Ti_x(FePt)_(100-x)薄膜微结构和磁特性的影响
3
作者 张玉杰 赵建国 +2 位作者 孙会元 于红云 封顺珍 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2006年第5期535-537,共3页
应用直流对靶磁控溅射法在玻璃基片上沉积了FePt/Tix(FePt)100-x薄膜,并在真空中进行原位退火.研究表明,衬底层Ti含量对FePt/Tix(FePt)100-x薄膜的微结构和磁特性影响很大.在退火温度为550℃,衬底层中的Ti含量为78%条件下,FePt形成了高... 应用直流对靶磁控溅射法在玻璃基片上沉积了FePt/Tix(FePt)100-x薄膜,并在真空中进行原位退火.研究表明,衬底层Ti含量对FePt/Tix(FePt)100-x薄膜的微结构和磁特性影响很大.在退火温度为550℃,衬底层中的Ti含量为78%条件下,FePt形成了高度有序的L10织构,表面颗粒尺寸分布均匀,粒径减小到11 nm,矫顽力达到最大. 展开更多
关键词 对靶磁控溅射 磁记录介质 fept薄膜 有序L10织构 矫顽力
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