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The Planned Conservation of the Urban Fortifications of Tuscany: Satellite Interferometry as an Innovative Monitoring Technology for Asset Management
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作者 Daniela Ladiana 《Journal of Civil Engineering and Architecture》 2020年第5期263-270,共8页
The “Monitoring City Walls” research project by the University of Pisa approaches planned conservation as a process that pursues an in-depth understanding of historic city walls and their surroundings to define a sy... The “Monitoring City Walls” research project by the University of Pisa approaches planned conservation as a process that pursues an in-depth understanding of historic city walls and their surroundings to define a system of effective risk prevention. This multidisciplinary research adopts monitoring strategies and technologies at the large scale and in relationship to natural and urban conditions. The underlying logic frames the conservation of these historic fortifications within the more general mitigation of risks generated by context. The research aims to develop an innovative approach to monitoring ancient defensive structures in historical towns. The integrated use of advanced technologies allows for the control and, most importantly, advance identification of possible risks. These new technologies, in particular satellite interferometry, make it possible to improve and increase the operational capacity of monitoring processes by facilitating the acquisition and investigation of data relative to the system defined by ancient city walls and their surroundings. These technologies also represent a cost-effective tool for managing the important transition from the observation and study of individual monuments to the monitoring of large monumental complexes or even entire historical centers. 展开更多
关键词 Infrastructure monitoring FORTIFICATIONS urban scale innovative technologies satellite interferometry
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Utilization of Extrinsic Fabry-Perot Interferometers with Spectral Interferometric Interrogation for Microdisplacement Measurement
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作者 Leonid Liokumovich Aleksandr Markvart Nikolai Ushakov 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS CSCD 2020年第1期59-75,共17页
The paper presents a number of signal processing approaches for the spectral interferometric interrogation of extrinsic Fabry-Perot interferometers(EFPIs). The analysis of attainable microdisplacement resolution is pe... The paper presents a number of signal processing approaches for the spectral interferometric interrogation of extrinsic Fabry-Perot interferometers(EFPIs). The analysis of attainable microdisplacement resolution is performed and the analytical equations describing the dependence of resolution on parameters of the interrogation setup are derived. The efficiency of the proposed signal processing approaches and the validity of analytical derivations are supported by experiments. The proposed approaches allow the interrogation of up to four multiplexed sensors with attained resolution between 30 pm and 80 pm, up to three times improvement of microdisplacement resolution of a single sensor by means of using the reference interferometer and noisecompensating approach, and ability to register signals with frequencies up to 1 kHz in the case of 1 Hz spectrum acquisition rate. The proposed approaches can be used for various applications, including biomedical, industrial inspection, and others, amongst the microdisplacement measurement. 展开更多
关键词 Absolute MEASUREMENT dynamic MEASUREMENT fabry-perot interferometer LEAST-SQUARES methods optical fiber sensors RESOLUTION analysis RESOLUTION enhancement sensor multiplexing SPECTRAL interferometry
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基于Fabry-Perot干涉测量技术的大坝安全监测系统探究
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作者 周柏兵 朱劭宇 +1 位作者 谢福临 王振平 《水利水文自动化》 2006年第3期4-8,共5页
对Fabry–Perot干涉测量技术的原理及基于该技术的光纤传感系统作了介绍,分析了Fabry-Perot干涉测量技术原理并推导了有关计算公式,展望此类技术在大坝安全监测中的应用。
关键词 fabry-perot干涉测量技术 干涉测量系统 数据采集装置 大坝安全 应用展望
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Review of Electronic Speckle Pattern Interferometry(ESPI) for Three Dimensional Displacement Measurement 被引量:24
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作者 YANG Lianxiang XIE Xin +2 位作者 ZHU Lianqing WU Sijin WANG Yonghong 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第1期1-13,共13页
Three dimensional(3D) displacements, which can be translated further into 3D strain, are key parameters tor design, manufacturing and quality control. Using different optical setups, phase-shift methods, and algorit... Three dimensional(3D) displacements, which can be translated further into 3D strain, are key parameters tor design, manufacturing and quality control. Using different optical setups, phase-shift methods, and algorithms, several different 3D electronic speckle pattern interferometry(ESPl) systems for displacement and strain measurements have been achieved and commercialized. This paper provides a review of the recent developments in ESPI systems for 3D displacement and strain measurement. After an overview of the fundamentals of ESP! theory, temporal phase-shift, and spatial phase-shift techniques, 3D deformation measurements by the temporal phase-shift ESPI system, which is suited well for static measurement, and by the spatial phase-shift ESPI system, which is particularly useful for dynamic measurement, are discussed. For each method, the basic theory, a brief derivation and different optical layouts are presented. The state of art application, potential and limitation of the ESPI systems are shown and demonstrated. 展开更多
关键词 electronic speckle pattern interferometry(ESPI) three dimensional displacement and strain measurement static loading dynamic loading phase-shift technology
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高亲和力鸡γ-干扰素兔源单克隆配对抗体的制备及鉴定
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作者 陈天祥 张庆如 +1 位作者 张念之 孙怡朋 《中国家禽》 北大核心 2025年第10期60-68,共9页
为提升对禽类细胞免疫反应的检测水平,研究制备高亲和力鸡γ-干扰素(chIFN-γ)兔源单克隆配对抗体。研究利用原核表达的chIFN-γ重组蛋白免疫兔,结合流式单B细胞分选技术筛选获得单克隆抗体,采用生物膜干涉技术和竞争结合试验对抗体的... 为提升对禽类细胞免疫反应的检测水平,研究制备高亲和力鸡γ-干扰素(chIFN-γ)兔源单克隆配对抗体。研究利用原核表达的chIFN-γ重组蛋白免疫兔,结合流式单B细胞分选技术筛选获得单克隆抗体,采用生物膜干涉技术和竞争结合试验对抗体的亲和力及配对性能进行系统评估。结果显示:共获得3株单克隆抗体(38-9、56-3和68-7),解离常数(KD)值均达10^(-12)mol/L,显示出极高的亲和力;56-3与38-9和68-7之间无竞争关系,而38-9与68-7之间存在明显竞争,由此可构建56-3/38-9和56-3/68-7两对稳定的配对抗体。研究表明,试验获得的3株单克隆抗体具备高亲和力和良好的配对特性,适用于chIFN-γ的高灵敏免疫检测,为禽类细胞免疫应答监测及chIFN-γ免疫功能研究提供了关键工具。 展开更多
关键词 鸡γ-干扰素 兔源单克隆抗体 流式细胞分选技术 生物膜干涉技术 配对抗体
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基于方波相位调制的多波长位移干涉测量
6
作者 刘琪 陈善勇 《应用光学》 北大核心 2025年第3期538-548,共11页
相位生成载波(phase generated carrier,PGC)技术是多波长光纤位移传感器(multi wavelength fiber displacement sensor,MWFDS)中的核心技术。提出一种基于方波信号相位调制和解调(square-wave phase modulation and demodulation,SWPMD... 相位生成载波(phase generated carrier,PGC)技术是多波长光纤位移传感器(multi wavelength fiber displacement sensor,MWFDS)中的核心技术。提出一种基于方波信号相位调制和解调(square-wave phase modulation and demodulation,SWPMD)的方法,研究构建了相应的光路系统,精确控制方波信号对多波长光束进行相位调制,对采集到的干涉信号进行数字处理以实现相位解调,进而复现位移信息。仿真实验部分系统地分析了不同频率调制信号及方波调制信号初始相位变化对位移复现精度的影响,无论调制参数如何变化,位移复原的均方根误差(root-mean-square error,RMSE)均稳定保持在0.15μm~0.3μm范围内。通过应用SWPMD方法,对复杂的位移轨迹进行了复现,证明了该方法在提升MWFDS性能方面的普适性和有效性。最后,计算分析了对不同步长方波位移的复现情况,证明了所提方法在理论上能够实现0.1 nm位移测量的分辨率。 展开更多
关键词 相位生成载波技术 光纤位移干涉测量 方波相位调制 解调算法 误差分析
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基于全视场外差干涉的中心偏差测量技术研究
7
作者 杨永康 刘安琪 +1 位作者 张文喜 伍洲 《光学精密工程》 北大核心 2025年第8期1179-1189,共11页
为了满足对光学镜头的中心偏差测量精度需求越来越高的要求,本文提出了基于全视场外差干涉的中心偏差测量方法。该方法采用了实际透镜光轴作为测量基准,通过测量被测透镜的反射光束与参考光束产生的干涉条纹获取波前并进行Zernike多项... 为了满足对光学镜头的中心偏差测量精度需求越来越高的要求,本文提出了基于全视场外差干涉的中心偏差测量方法。该方法采用了实际透镜光轴作为测量基准,通过测量被测透镜的反射光束与参考光束产生的干涉条纹获取波前并进行Zernike多项式拟合,然后将Zernike倾斜项系数转换为被测透镜的中心偏差,实现了对中心偏差的高精度测量,解决了对外部旋转台的依赖。基于外差干涉和中心偏差检测原理,分析了激光强度波动和外差频率波动对波前和中心偏差测量结果的影响,结果表明,测量误差与激光强度波动和外差频率波动正相关,且受到被测镜曲率,中心偏差影响。搭建了基于外差干涉的中心偏测量系统,实现了中心偏差的高精度测量,并与仿真结果进行了对比。仿真结果表明该系统的测量精度不低于0.06″,并通过实验验证了仿真结果。研究结果表明与传统的自准直法中心偏测量方法相比,外差干涉的测量方法可以实现更高的测量精度。 展开更多
关键词 外差干涉 干涉测量 中心偏差 装调设备
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Utilization and advancement of laser ultrasound testing in assessment of aerospace composite characteristics:A review
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作者 Weixin XU Pu XU +2 位作者 Yu YANG Dapeng TAN Lin LI 《Chinese Journal of Aeronautics》 2025年第12期446-481,共36页
Laser Ultrasonic Testing(LUT)holds great promise for industrial applications,particularly in Nondestructive Testing(NDT)of aerospace composites.It offers advantages such as non-contact,high-resolution,and real-time de... Laser Ultrasonic Testing(LUT)holds great promise for industrial applications,particularly in Nondestructive Testing(NDT)of aerospace composites.It offers advantages such as non-contact,high-resolution,and real-time defect detection.Traditional NDT methods struggle with the complex shapes of structural parts and in-situ testing,limiting their detection efficiency and sensitivity.We review the principles of excitation,optical detection,and laser parameter selection for LUT.It also compares applicability of LUT with other NDT techniques.We discuss strengths and limitations of LUT in detecting defects,characterizing material properties,and monitoring the health of aerospace composites.LUT has proven effective in detecting defects in aerospace materials under extreme conditions such as high temperature and pressure during manufacturing and service.However,challenges remain in defect localization,rapid identification,signal extraction in noisy environments,and micro-defect characterization.Despite these limitations,LUT stands out for its non-contact real-time capabilities and its ability to detect defects in harsh industrial conditions.This paper enhances the understanding for potential and future development of LUT,including improvements in laser generators,non-contact inspection equipment,modular inspection device design,and high-accuracy real-time inspection technologies. 展开更多
关键词 Aerospace materials Laser interferometry Laser ultrasound technology Material properties Non-contact measurement systems
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片上原子干涉关键技术研究进展
9
作者 张景瑞 宋禄 +1 位作者 宋泽源 李斌 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第12期5-9,共5页
空间基准为描述地球上的位置和空间关系提供了一个统一的参考框架,是人类认识世界的重要工具,高精度空间基准的建立离不开精密测量技术的支撑。近年来,量子精密测量技术发展迅速,其中原子干涉传感器发展迅速,但是过于庞大的体积和重量... 空间基准为描述地球上的位置和空间关系提供了一个统一的参考框架,是人类认识世界的重要工具,高精度空间基准的建立离不开精密测量技术的支撑。近年来,量子精密测量技术发展迅速,其中原子干涉传感器发展迅速,但是过于庞大的体积和重量制约着原子干涉传感器应用于空间基准建立,本文梳理了片上原子干涉关键微制造技术及其研究进展,总结片上原子干涉关键微制造技术的发展瓶颈,为片上原子干涉传感器的发展指明了方向。 展开更多
关键词 空间基准 原子干涉 微制造技术 量子精密测量
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基于循环神经网络的非接触式光声信号检测研究
10
作者 胡磊 孙滨 张君君 《激光杂志》 北大核心 2025年第10期111-117,共7页
由于非接触式检测中,光声信号需要通过空气等介质传播到接收器,这会导致信号强度显著减弱,并且容易受到环境噪声的干扰,从而影响信号的准确捕捉和分析,为了在非接触式条件下高精度地采集和检测光声信号,提出基于循环神经网络的非接触式... 由于非接触式检测中,光声信号需要通过空气等介质传播到接收器,这会导致信号强度显著减弱,并且容易受到环境噪声的干扰,从而影响信号的准确捕捉和分析,为了在非接触式条件下高精度地采集和检测光声信号,提出基于循环神经网络的非接触式光声信号检测方法。采用光外差干涉技术实现光声信号的高精度采集,从采集的原始光声信号中抽取时域和频域特征参数,并结合经验模态分解技术提取信号在不同时间尺度上的局部特征,构建全面的光声信号特征集。将该特征集输入到建立的循环神经网络中,实现信号检测。实验结果表明,该方法能够精准识别光声信号,具有较高的灵敏度和特异性。 展开更多
关键词 光外差干涉技术 非接触式信号采集 时域频域特征抽取 循环神经网络 光声信号检测
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基于多源数据的甘肃积石山Ms6.2级地震地表形变对比研究
11
作者 涂碧海 王建伟 +2 位作者 覃鹏 张萍 吴昊 《科学技术创新》 2025年第5期57-60,共4页
针对北京时间2023年12月18日,甘肃省临夏回族自治州积石山县发生了Ms6.2级地震,本次地震给当地造成了严重灾害损失。本研究主要使用欧空局2014年发射的Sentinel-1A卫星C波段雷达影像数据,采用合成孔径雷达干涉测量技术处理研究区范围内... 针对北京时间2023年12月18日,甘肃省临夏回族自治州积石山县发生了Ms6.2级地震,本次地震给当地造成了严重灾害损失。本研究主要使用欧空局2014年发射的Sentinel-1A卫星C波段雷达影像数据,采用合成孔径雷达干涉测量技术处理研究区范围内的同震形变场,通过不同升降轨数据的同震形变场的反演干涉结果进行对比,并结合其它数据反演结果进行验证,最后得出此次地震造成的地表形变变化,得到研究区内由于地震造成的地表抬升以及沉降结果。 展开更多
关键词 多源数据 积石山地震 合成孔径雷达干涉测量技术 同震形变
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基于高精度激光干涉技术的铁路轨道几何参数动态测量系统
12
作者 杜天军 李想 《国外电子测量技术》 2025年第8期102-107,共6页
在既有铁路轨道几何参数动态测量过程中,复杂轮轨激励下轨道高频振动耦合效应使干涉信号信噪比劣化,导致铁路轨道几何参数测量误差增加。因此,提出基于高精度激光干涉技术的铁路轨道几何参数动态测量系统设计方法。该系统由3个模块组成... 在既有铁路轨道几何参数动态测量过程中,复杂轮轨激励下轨道高频振动耦合效应使干涉信号信噪比劣化,导致铁路轨道几何参数测量误差增加。因此,提出基于高精度激光干涉技术的铁路轨道几何参数动态测量系统设计方法。该系统由3个模块组成,在基于高精度激光干涉技术的轨道特征点三维空间坐标测量模块中,设计激光干涉测量装置,并利用该装置实现铁路轨道特征点的三维空间坐标测量。在最佳分光比计算模块中,依据选用的光电二极管与激光器确定分光棱镜的最佳分光比,使得参考光路与测量光路的光强达到严格平衡,这种平衡态可产生共模抑制比,有效抵消轨道高频振动引起的共模相位噪声,避免干涉信号信噪比劣化,从而实现铁路轨道特征点三维空间坐标测量结果的优化。在几何参数计算模块中,利用高精度测量结果确定铁路轨道几何参数,包括轨距、水平、高低以及轨向,从而实现铁路轨道几何参数动态测量。测试结果表明,设计系统的轨距测量结果与实际结果最贴合,证明其轨距测量结果较为准确;动态测量多参数协同偏差系数整体低于0.04,证明设计系统在同时测量多个参数时的误差最低;动态测量高频误差累积系数整体低于0.04,证明设计系统测量结果的稳定性、准确性最高。 展开更多
关键词 高精度激光干涉技术 最佳分光比 铁路轨道 特征点三维空间坐标 几何参数动态测量
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水下声信号的激光干涉测量 被引量:27
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作者 张晓琳 唐文彦 孙和义 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期809-815,共7页
为准确测量水下目标的发声频率,在光学暗室下建立了基于激光干涉法探测水下目标的实验系统。当水下声源引起水表面波动时,用激光照射水面,携带声波信息的水面散射光与参考光干涉,利用精密光学测量装置探测光程差的改变,通过数据采集和... 为准确测量水下目标的发声频率,在光学暗室下建立了基于激光干涉法探测水下目标的实验系统。当水下声源引起水表面波动时,用激光照射水面,携带声波信息的水面散射光与参考光干涉,利用精密光学测量装置探测光程差的改变,通过数据采集和处理系统从干涉信号的频谱分析图中解调出水下声信号的频率信息。干涉信号的频谱分析图中存在以水下声信号频率为中心的频带,频带宽度与自然水表面波引起的多普勒频移有关。实验结果表明,水下发声目标引起水表面波动的振幅在纳米级,系统可以实时探测出4~15kHz的水下声信号,且测量标准偏差<7Hz。该系统可满足水下目标识别技术的实时性、准确性等要求。 展开更多
关键词 激光技术 激光干涉术 水下声信号 频率探测
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线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置 被引量:9
14
作者 金涛 刘景林 +2 位作者 杨卫 乐燕芬 侯文玫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1570-1577,共8页
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是... 直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是测量信号的回光元件。双频激光信号进入直线度干涉仪后组成几何空间对称四光路测量信号。四路测量光走过几乎完全相同的路径有效地提高了干涉仪的稳定性,并且使空程误差最小化。使用楔角为1°的楔角棱镜和2π/512细分的相位计,直线度测量分辨力为17.71nm。该方法不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,理论和实验证明空间对称测量结构避免了由俯仰,偏转和滚转角引起的阿贝误差的串扰,而且光学元件少,结构简单,方便易用,结果可以直接溯源到米的定义。 展开更多
关键词 测试计量技术及仪器 直线度测量 外差激光干涉 阿贝误差
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FX型相关处理方案及野值剔除算法 被引量:8
15
作者 路伟涛 杨文革 +1 位作者 洪家财 史学书 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期54-61,共8页
分析了甚长基线干涉测量等干涉测量技术中FX型相关处理方案存在的问题,提出了一种新的FX相关处理方案。该方案经过两次整数比特时延补偿将两站接收信号相对时延缩小到1bit内,从而避免了相位卷绕现象的出现,同时省去了原方案中的小数比... 分析了甚长基线干涉测量等干涉测量技术中FX型相关处理方案存在的问题,提出了一种新的FX相关处理方案。该方案经过两次整数比特时延补偿将两站接收信号相对时延缩小到1bit内,从而避免了相位卷绕现象的出现,同时省去了原方案中的小数比特时延补偿,接着对新方案的计算量和相关长度做了深入的分析;改进了一种野值剔除算法,使剔除过程不受相位随频率变化趋势的影响。蒙特卡洛仿真和"嫦娥二号"实测数据处理结果验证了改进的准确性和有效性。 展开更多
关键词 干涉测量技术 相关处理 时延估计 相位卷绕 野值剔除 深空探测
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四步数字相移全息干涉术三维变形测量 被引量:8
16
作者 郭俊 王刚 +2 位作者 孙杰 武凤栖 王文生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期2808-2813,共6页
针对目前相移控制器件费用高、操作复杂等不足,提出了一种数字相移方法。并将其与全息干涉术相结合,进行了相移全息干涉术的实验研究。应用MATLAB软件,结合图像处理方法,通过对全息干涉条纹精确控制使其定向移动,实现了四步相移,获得4... 针对目前相移控制器件费用高、操作复杂等不足,提出了一种数字相移方法。并将其与全息干涉术相结合,进行了相移全息干涉术的实验研究。应用MATLAB软件,结合图像处理方法,通过对全息干涉条纹精确控制使其定向移动,实现了四步相移,获得4个干涉图。应用四步相移法原理和相位去包裹方法,最终成功求得物体变形引起的三维位相差,实现物体变形的三维测试。实验表明,该方法不仅简化了全息干涉测试的光学装置,避免传统相移器件相移精度低、容易造成相移误差的缺点,且操作简单,测试精度高,其精度容易达到1/10波长。 展开更多
关键词 全息干涉术 四步数字相移法 图像处理 相位去包裹 三维变形测试
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表面安装技术(SMT)可靠性问题研究的实验测试方法及其研究现状与进展 被引量:4
17
作者 王卫宁 梁镜明 《首都师范大学学报(自然科学版)》 1997年第S1期102-106,共5页
在表面安装技术中,焊点既起电气连接作用又起机械连接作用,所以焊点的可靠性问题是人们长期关注的最关键问题之.本文对解决焊点可靠性问题的不同实验测试方法的研究现状与进展进行了回顾与总结,并对实时全息干涉度量和云纹干涉实验... 在表面安装技术中,焊点既起电气连接作用又起机械连接作用,所以焊点的可靠性问题是人们长期关注的最关键问题之.本文对解决焊点可靠性问题的不同实验测试方法的研究现状与进展进行了回顾与总结,并对实时全息干涉度量和云纹干涉实验系统及研究方法进行了介绍.在此基础上。 展开更多
关键词 表面安装技术 焊点 可靠性 全息干涉度量 云纹干涉法
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基于相位凝固技术的激光反馈干涉术 被引量:2
18
作者 刘惠兰 张晓青 +1 位作者 曹文娟 王俊杰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1172-1176,共5页
针对激光反馈干涉术,提出基于相位凝固技术的调制解调方法,用以提高位移测量的分辨率,并设计了利用相位调制器进行调制的位移测量系统.利用调制器进行外腔相位调制,采集调制相位相对固定的干涉光信号,通过解调重构得到被测的位移信息.... 针对激光反馈干涉术,提出基于相位凝固技术的调制解调方法,用以提高位移测量的分辨率,并设计了利用相位调制器进行调制的位移测量系统.利用调制器进行外腔相位调制,采集调制相位相对固定的干涉光信号,通过解调重构得到被测的位移信息.进行了信号调制、采样、重构技术的研究以及误差分析,并通过仿真验证了方法的可行性.结果表明,采用5点相位凝固采样技术,测量准确度可以达到λ/20.此方法可提高激光反馈干涉术的测量分辨率,实现信号实时采集处理,可用于位移的实时测量. 展开更多
关键词 相位凝固技术 激光反馈干涉 位移测量 电光调制器
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InNSAR在地震研究中的应用 被引量:3
19
作者 张国安 陈耿琦 +1 位作者 胡坚 崔秋文 《华南地震》 2003年第1期68-73,共6页
介绍了将InSAR用于检测地表形变 (地壳形变和火山形变 )和地震研究取得的成果与相关问题 。
关键词 地壳形变 火山形变 地震研究 合成孔径雷达干涉测量 发震机制
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微机电系统动态特性的光学检测方法 被引量:3
20
作者 陈津平 郭彤 胡小唐 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2006年第2期30-34,共5页
微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方... 微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方法,对MEMS器件的面内和离面运动特性进行了测量。通过对一个微加工水平谐振器的运动特性测量实验说明了系统具有的功能。 展开更多
关键词 微机电系统 光学检测 动态特性 光流技术 显微干涉 频闪照明
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