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FIB-TEM解析微生物铀矿化:以松辽盆地海力锦砂岩型铀矿为例 被引量:2
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作者 金伟国 尹烁 +1 位作者 王庆飞 潘家永 《现代地质》 北大核心 2025年第2期248-262,共15页
针对砂岩型铀矿中微生物与矿物互作机制证据链薄弱的关键科学问题,本研究以松辽盆地海力锦矿床姚家组下段含铀独居石为研究对象,通过微区矿物学分析揭示其溶蚀过程与铀活化机理。基于钻孔岩心系统取样,采用FIB-TEM联用技术首次在独居石... 针对砂岩型铀矿中微生物与矿物互作机制证据链薄弱的关键科学问题,本研究以松辽盆地海力锦矿床姚家组下段含铀独居石为研究对象,通过微区矿物学分析揭示其溶蚀过程与铀活化机理。基于钻孔岩心系统取样,采用FIB-TEM联用技术首次在独居石溶蚀界面识别出氢铀云母与沥青铀矿纳米矿物组合,结合电子探针原位分析发现溶蚀相独居石平均损失75%初始铀。研究揭示:(1)石英包裹效应导致独居石选择性溶蚀特征,开放体系下溶蚀强度提升3~4个数量级;(2)溶蚀界面纳米矿物相的定向分布指示微生物代谢产生的有机酸主导磷铀耦合释放过程;(3)建立的生物膜催化动力学模型显示,微生物介导的界面反应使铀活化至沉淀。该研究不仅为微生物与纳米矿物间协同成矿机制提供了关键的显微尺度证据,而且对于促进铀矿地质学研究向更精细的微观领域深入拓展具有重要的意义。 展开更多
关键词 海力锦铀矿床 独居石溶解动力学 微生物铀矿化 fib-tem联用技术 纳米矿物
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聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品 被引量:10
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作者 王雪丽 张伟 +1 位作者 贾志宏 刘庆 《电子显微学报》 CAS CSCD 2013年第5期420-425,共6页
制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用。聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用。本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法("V-cut"... 制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用。聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用。本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法("V-cut"),并与传统的FIB制备TEM样品的方法("U-cut")进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性。 展开更多
关键词 FIB TEM样品制备 V-Cut
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应变水平对锆合金动载下塑性变形机制的影响 被引量:3
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作者 郭亚昆 帅茂兵 +2 位作者 邹东利 肖大武 何立峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期1584-1589,共6页
基于实验设计研究了应变参数对锆合金动载下塑性变形机制的影响。通过控制应变速率,采用应变限位环的方法实现了锆合金高应变速率下应变参数的单一分离,应变速率为2300 s^(-1)时,获得了4个不同的应变水平:0.11、0.21、0.30、0.33。基于... 基于实验设计研究了应变参数对锆合金动载下塑性变形机制的影响。通过控制应变速率,采用应变限位环的方法实现了锆合金高应变速率下应变参数的单一分离,应变速率为2300 s^(-1)时,获得了4个不同的应变水平:0.11、0.21、0.30、0.33。基于锆合金高应变速率不同应变下微观组织的表征,预测了应变参数对锆合金动载下塑性变形过程的影响。结果表明:形变带和转变带是锆合金不同应变阶段塑性变形的重要方式,形变带内部由严重变形的晶粒组成,而转变带内部主要由100~300 nm的细小等轴晶粒组成。在变形初始阶段,锆合金变形以柱面滑移和锥面滑移为主,以孪生为辅;随着应变的增加,位错持续增殖,位错的塞积导致应力增加,直至最大抗压强度;当应变达到一个临界值时,形成形变带;随应变继续增加,形变带发生动态再结晶,演化为转变带;应变继续增加,便会在剪切带内部诱发微空洞、微裂纹,直至材料断裂。 展开更多
关键词 锆合金 应变 绝热剪切带 FIB/TEM
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冷喷涂单颗粒铜在铝基体上的显微结构研究 被引量:3
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作者 马广璐 孔令艳 +3 位作者 李铁藩 Nuria Cinca Josep M.Guilemany 熊天英 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1166-1173,共8页
采用冷喷涂法在铝(Al)基体上沉积单颗粒铜(Cu),利用聚焦离子束/电子束(FIB/SEM)系统精确定位并原位制备了完整单个颗粒Cu沉积在Al基体上的透射样品,分析其显微结构及形成原因。实验结果表明,撞击过程中温度与应力分布不均匀,导致沉积Cu... 采用冷喷涂法在铝(Al)基体上沉积单颗粒铜(Cu),利用聚焦离子束/电子束(FIB/SEM)系统精确定位并原位制备了完整单个颗粒Cu沉积在Al基体上的透射样品,分析其显微结构及形成原因。实验结果表明,撞击过程中温度与应力分布不均匀,导致沉积Cu颗粒不均匀形变。Cu/Al界面受影响较大:颗粒动能转化为形变能和热能,打破了界面处氧化膜,使界面附近温度迅速升高,发生动态再结晶,生成金属间化合物Cu_9Al_4;Cu颗粒内距界面越远的区域,受温度和应力的影响越小,其变形主要是通过晶体内位错增殖和移动;沉积颗粒顶部,远离Cu/Al界面,几乎不受应力和温度影响,保持原始显微结构。 展开更多
关键词 聚焦离子束 透射 CU-AL 冷喷涂颗粒形变
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合金化热镀锌IF钢板镀层显微组织的TEM观察 被引量:2
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作者 余金山 张津徐 +2 位作者 吴建生 刘俊亮 陈家光 《理化检验(物理分册)》 CAS 2004年第11期541-543,560,共4页
介绍了用聚焦离子束方法制备合金化热镀锌IF钢板镀层横截面TEM试样,应用透射电镜对其显微结构进行了观察。结果表明,商用合金化热镀锌IF钢板镀层显微结构由近界面的牙齿状Γ相层和等轴Γ1相及δ相组成,晶粒尺寸为0.5~1μm;δ相电子衍... 介绍了用聚焦离子束方法制备合金化热镀锌IF钢板镀层横截面TEM试样,应用透射电镜对其显微结构进行了观察。结果表明,商用合金化热镀锌IF钢板镀层显微结构由近界面的牙齿状Γ相层和等轴Γ1相及δ相组成,晶粒尺寸为0.5~1μm;δ相电子衍射斑点中存在明显的超点阵斑点。 展开更多
关键词 合金化热镀锌 聚焦离子束 透射电镜
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基于FIB/SEM切片和TEM/EELS技术分析Au/Ag泡沫材料的微观结构 被引量:2
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作者 张继成 谭秀兰 +5 位作者 周民杰 韩尚君 李佳 罗江山 吴卫东 唐永建 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1664-1668,共5页
利用FIB/SEM切片、XRD、TEM和EDX、EELS等先进分析技术对微球模板法所制备的Au/Ag泡沫材料的微观结构、形貌、成分及成分分布等进行了细致的研究。结果表明:由微球状Au/Ag球壳堆积而成的泡沫材料中微球直径约8 m,微球壁厚200~1200 nm;A... 利用FIB/SEM切片、XRD、TEM和EDX、EELS等先进分析技术对微球模板法所制备的Au/Ag泡沫材料的微观结构、形貌、成分及成分分布等进行了细致的研究。结果表明:由微球状Au/Ag球壳堆积而成的泡沫材料中微球直径约8 m,微球壁厚200~1200 nm;Au/Ag泡沫材料的球壳可细分为3层,内层和外层为Au/Ag合金的微粒,中间主要是非晶碳层,夹杂有少量的Au/Ag微粒;Au/Ag泡沫材料的骨架由单个空心球壳组成,球壳之间通过接触点的金属镀层连接在一起;球壳上有小孔状结构,是在热分解法去除聚苯乙烯微球模板时形成的;球壳壁厚分布不均匀,少数球壳有塌陷、变形、破裂等现象。这些详细的分析有助于改进工艺,提高Au/Ag泡沫材料的制备质量。 展开更多
关键词 AuAg泡沫材料 微结构表征 TEM EELS FIB SEM断层成像
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合金化热镀锌镀层组织Γ相的结构分析 被引量:1
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作者 余金山 刘俊亮 +1 位作者 张津徐 吴建生 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期99-102,共4页
为了研究合金化热镀锌镀层组织Γ相的结构,采用聚焦离子束(FIB)方法制备了合金化热镀锌无间隙原子(IF)钢板镀层横截面透射电镜(TEM)试样,应用TEM对其显微结构进行了观察和选区电子衍射分析,应用X射线能谱仪(EDX)测定了Γ相的化学成分,... 为了研究合金化热镀锌镀层组织Γ相的结构,采用聚焦离子束(FIB)方法制备了合金化热镀锌无间隙原子(IF)钢板镀层横截面透射电镜(TEM)试样,应用TEM对其显微结构进行了观察和选区电子衍射分析,应用X射线能谱仪(EDX)测定了Γ相的化学成分,并介绍了FIB方法制备TEM试样的过程.结果表明,Γ相选区衍射花样中存在明显的超点阵衍射.证明Γ相是一种有序金属间化合物;计算机模拟电子衍射花样的结果给出了Γ相的原子占位. 展开更多
关键词 Γ相 TEM FIB 超点阵反射 原子占位
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高性能聚焦离子束(FIB)系统及其在材料科学领域的应用 被引量:9
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作者 周伟敏 吴国英 《实验室研究与探索》 CAS 2004年第9期19-20,52,共3页
采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面,在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下,可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀,扫描离子成像等功能。该系统有三大用途:形貌观察... 采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用。离子束聚焦于样品表面,在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下,可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀,扫描离子成像等功能。该系统有三大用途:形貌观察,分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀。本文介绍了FIB技术的应用。 展开更多
关键词 聚焦离子束显微镜(FIB) 透射电子显微分析(TEM) 材料科学
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适用于深沟槽结构观测的TEM样品制备技术 被引量:1
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作者 张启华 高强 +2 位作者 李明 牛崇实 简维廷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期169-171,共3页
对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种"FIB横向切... 对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种"FIB横向切割"技术,适用于对这类结构的观测。它与传统FIB制样方法的主要区别在于,切割方向由纵向切割改为横向切割。用这种方法制备的TEM样品,可以完整地观测同一个深沟槽DRAM电容结构的所有细微结构。制样过程比较简单、速度快、成功率高。以一个实例分析、比较了传统制样方法和新的制样方法,突显了"FIB横向切割"技术的优点。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 样品制备技术 聚焦离子束 动态随机存储器电容 横向切割
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FIB-SEM双束技术简介及其部分应用介绍 被引量:28
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作者 付琴琴 单智伟 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期81-89,共9页
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展... 聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。本文介绍了双束系统中的一些关键概念及基本原理并综述了其在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜(TEM)样品制备,微纳尺度力学测试样品制备以及材料三维成像及分析。 展开更多
关键词 FIB-SEM双束系统 TEM样品制备 微纳尺度力学测试样品制备 三维成像及分析
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FIB-SEM-Ar“三束”显微镜 被引量:3
11
作者 刘同娟 《电子工业专用设备》 2008年第10期53-55,共3页
FIB-SEM-Ar"三束"显微镜在FIB/SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪,首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备。简化了样品整个加工的过程,同时大大提高了加工精度和工作效率。对"... FIB-SEM-Ar"三束"显微镜在FIB/SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪,首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备。简化了样品整个加工的过程,同时大大提高了加工精度和工作效率。对"三束"显微镜做了介绍。 展开更多
关键词 三束 聚焦离子束 投射电子显微镜 Ar离子束
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高性能聚焦离子束技术的应用 被引量:5
12
作者 周伟敏 《理化检验(物理分册)》 CAS 2004年第9期453-456,共4页
叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用。该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀。详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果。
关键词 聚焦离子束(FIB) 透射电子显微分析(TEM) 二次离子像(SIM) 样品制备
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聚焦离子束技术制备超薄TEM样品—X^2样品台的应用 被引量:5
13
作者 贾佳琦 邢远 +1 位作者 史为 贾志宏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2016年第1期70-74,共5页
聚焦离子束技术在制备TEM样品方面得到了广泛的应用。普通传统的制样减薄方法存在远端薄区极易弯曲和薄区厚度不均匀的问题。针对存在的这些问题本文使用Zeiss公司的X2样品台采取交叉减薄的方法制备一个具有均匀的极薄的TEM样品。本文... 聚焦离子束技术在制备TEM样品方面得到了广泛的应用。普通传统的制样减薄方法存在远端薄区极易弯曲和薄区厚度不均匀的问题。针对存在的这些问题本文使用Zeiss公司的X2样品台采取交叉减薄的方法制备一个具有均匀的极薄的TEM样品。本文主要介绍X2样品台的工作原理和交叉减薄的实验过程,并分析了该方法在制备TEM样品时存在的优缺点以及其独特的适用性。 展开更多
关键词 FIB TEM样品制备 X2样品台
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基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法 被引量:4
14
作者 王亚 刘军 +1 位作者 陈陆 王勇 《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第6期540-544,共5页
聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,... 聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,发展了一种在原位加热芯片上快速制备出高质量TEM样品的方法。 展开更多
关键词 聚焦离子束 透射电镜截面样品 加热芯片 原位电镜
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FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用 被引量:3
15
作者 彭开武 《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期728-734,751,共8页
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积... 简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,些新技术如新型离子源Plasma、He+/Ne+离子等与现有Ga+聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。 展开更多
关键词 聚焦离子束 双束系统 纳米材料表征 纳米结构加工 电子束曝光 透射电镜样品制备
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聚焦离子束电子束系统及其在生物学和医学上的应用
16
作者 郑东 《现代仪器》 2007年第1期1-4,共4页
聚焦离子束电子束系统在材料失效分析、纳米材料结构表征与性能分析以及纳米器件研制等方面发挥着重要作用。近年来该系统在生物学和医学领域的应用日益受到人们的重视。本文介绍聚焦离子束电子束系统的组成、性能、相关功能及其在生物... 聚焦离子束电子束系统在材料失效分析、纳米材料结构表征与性能分析以及纳米器件研制等方面发挥着重要作用。近年来该系统在生物学和医学领域的应用日益受到人们的重视。本文介绍聚焦离子束电子束系统的组成、性能、相关功能及其在生物学和医学上的若干应用,包括透射电镜生物样品制备、细胞和组织内部结构观察与三维重构等。 展开更多
关键词 聚焦离子束电子束系统 双束显微镜 透射电镜生物样品制备 三维重构
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FIB参数对低介电常数介质TEM样品制备的影响 被引量:8
17
作者 杨卫明 段淑卿 +3 位作者 芮志贤 王玉科 郭强 简维廷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期241-244,共4页
研究了使用聚焦离子束(FIB)方法制备低k介质的TEM样品时离子束参数对介质微观形貌的影响,发现低k介质的微观形貌与离子束参数具有较强的相关性。传统大离子束流、高加速电压的FIB参数将导致低k介质多孔性增加、致密度下降;且k值越低,离... 研究了使用聚焦离子束(FIB)方法制备低k介质的TEM样品时离子束参数对介质微观形貌的影响,发现低k介质的微观形貌与离子束参数具有较强的相关性。传统大离子束流、高加速电压的FIB参数将导致低k介质多孔性增加、致密度下降;且k值越低,离子束参数影响越大。对于亚65nm工艺中使用的k值为2.7的介质,当离子束流减小到50pA、加速电压降低到5kV时,FIB制样方法对介质致密度的影响基本可忽略,样品微观形貌得到了显著改善;而对于65nm工艺中使用的k值为3.0的介质,其微观形貌受离子束参数的影响则相对较小。 展开更多
关键词 低介电常数介质 聚焦离子束 透射电子显微镜 样品制备
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FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法 被引量:1
18
作者 胡康康 王刘勇 +3 位作者 黄亚敏 郎莉莉 董业民 王丁 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第8期1301-1307,共7页
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过... 制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过程中从技术角度提出了两种自下而上制样方案来抑制窗帘效应。为扩大样品的可表征视场范围,在避免样品弯曲的前提下,提出了一种薄片提取方法。结果表明,离子束流越大,窗帘效应越严重,自下而上方法能有效规避窗帘效应;离子束电压30 kV时采用清洗截面(CCS)模式、5 kV/2 kV时采用矩形模式,样品台倾斜补偿角度为1.5°~3.5°,进行交叉减薄,且最终铣削长度控制在1μm时减薄效果最好;新的薄片提取方法改变了样品的铣削方向,在避免窗帘效应破坏感兴趣结构和样品弯曲的前提下,将样品的可表征视场范围扩大了5倍。研究结果对优化TEM样品制备方法以及芯片失效分析提供了参考。 展开更多
关键词 聚焦离子束(FIB) 透射电子显微镜(TEM)样品 14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET) 窗帘效应 失效分析
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Comparative TEM investigation on the precipitation behaviors in Cu-15wt% Sn alloy 被引量:2
19
作者 Zeng-Jie Wang Konno J. Toyohiko Chao-Li Ma 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第2期139-143,共5页
The decomposition and precipitation behaviors of a quenched Cu-15wt%Sn alloy as a function of aging temperature were investigated using transmission electron microscopy (TEM). Focused ion beam (FIB) was employed t... The decomposition and precipitation behaviors of a quenched Cu-15wt%Sn alloy as a function of aging temperature were investigated using transmission electron microscopy (TEM). Focused ion beam (FIB) was employed to assist TEM specimen preparation. At 300 ℃, the decomposition of the supersaturated phase occurred at grain boundaries, displaying a cellular morphology. The lamellae were found with and phases, rather than with the equilibrium e and phases. The and phases exhibit a welldefined orientation relationship (OR) as On the other hand, at 320 ℃, only incipient lamellar structures of several micron meters were observed, which were composed of the 6 and phases. At the same time, abundant intragranular precipitation of the e phase in the form of platelets was observed, and OR as (lil)J/ (001), [110] J/[100] exists between e phase and the ct phase. These contrasting precipitation behaviors are discussed from the viewpoint of crystallographic coherency of these phases. 展开更多
关键词 Cu-Sn alloy Precipitation behaviorsFocused ion beam (FIB) TEM CRYSTALLOGRAPHY
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聚焦离子束快速精准制备玻璃透射电镜样品 被引量:4
20
作者 丁莹 史学芳 +3 位作者 杨修波 郑岚 高翔宇 刘峰 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2022年第8期31-34,共4页
为了解决受荷电效应影响导致玻璃类绝缘样品加工难的问题,提出了改进聚焦离子束常规制备透射电镜样品的方法。改进的方法主要是在制备过程中引入电子束辅助沉积和机械手辅助切割,并搭配合理的离子束加工束流。其中,电子束辅助沉积可以... 为了解决受荷电效应影响导致玻璃类绝缘样品加工难的问题,提出了改进聚焦离子束常规制备透射电镜样品的方法。改进的方法主要是在制备过程中引入电子束辅助沉积和机械手辅助切割,并搭配合理的离子束加工束流。其中,电子束辅助沉积可以帮助操作人员在因荷电效应而模糊不清的图像中迅速且精准地找到关键区;机械手辅助切割可通过建立更好的电荷接地通道来减弱切割过程中材料表面的荷电现象;合理的离子束加工束流则是为了平衡荷电效应和加工速率之间的矛盾。结果表明,改进后的方法能够在保证加工速率的前提下,有效改善材料表面的荷电现象,实现离子束对玻璃材料的快速精准加工,获得良好的透射电镜样品。 展开更多
关键词 聚焦离子束 电子束辅助 机械手辅助 绝缘材料 透射电镜样品
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