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Applications of Secondary Electron Composition Contrast Imaging Method in Microstructure Studies on Heterojunction Semiconductor Devices and Multilayer Materials
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作者 刘安生 邵贝羚 +2 位作者 安生 王敬 刘铮 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1999年第2期2-8,共7页
The principle, imaging condition and experimental method for obtaining high resolution composition contrast in secondary electron image were described. A new technique of specimen preparation for secondary electron co... The principle, imaging condition and experimental method for obtaining high resolution composition contrast in secondary electron image were described. A new technique of specimen preparation for secondary electron composition contrast observation was introduced and discussed. By using multilayer P+Si1-xGex/pSi heterojunction internal photoemission infrared detector as an example, the applications of secondary electron composition contrast imaging in microstructure studies on heterojunction semiconducting materials and devices were stated. The characteristics of the image were compared with the ordinary transmission electron diffraction contrast image. The prospects of applications of the imaging method in heterojunction semiconductor devices and multilayer materials are also discussed. 展开更多
关键词 Secondary electron composition contrast image Heterojunction semiconducting devices multilayer materials electron microscopy MICROSTRUCTURE
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A review of the preparation methods and techniques of electron backscatter diffraction(EBSD)samples
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作者 Hong Rui 《Advances in Engineering Innovation》 2024年第5期20-25,共6页
In the field of materials science,Electron Backscatter Diffraction(EBSD)technology has become a powerful tool for microstructure analysis,demonstrating unique advantages in the study of material texture,grain size,and... In the field of materials science,Electron Backscatter Diffraction(EBSD)technology has become a powerful tool for microstructure analysis,demonstrating unique advantages in the study of material texture,grain size,and orientation distribution.Recognizing that the quality of EBSD sample preparation directly impacts the accuracy and reliability of data,this paper delves into the principles of EBSD technology and explores optimized methodologies for sample preparation.By examining the influence of different preparation techniques on EBSD data quality,this study systematically summarizes best practices for critical steps such as surface treatment,polishing,and electrolytic polishing.The research reveals that meticulous sample preparation significantly enhances the quality of EBSD images,thereby improving the resolution and precision of diffraction data.Additionally,addressing the challenges and limitations encountered in practical applications of EBSD technology,a series of improvement measures are proposed to facilitate the widespread application of EBSD in materials science.In summary,this paper aims to provide researchers with a comprehensive EBSD sample preparation guideline,fostering advanced research and practical applications in the field of material analysis. 展开更多
关键词 electron backscatter diffraction sample preparation materials science microstructural analysis grain size
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Thermomechanical processing during warm deformation in a medium C microalloyed steel for developing spheroidised and ultrafine grained microstructures
3
作者 Yaiza Montaña Zuriñe Idoyaga Amaia Iza-Mendia 《Journal of Iron and Steel Research International》 2025年第10期3453-3468,共16页
The microstructure development of 55VNb1 microalloyed steel after warm deformation via multi-pass biaxial compression tests was studied,and the effect of thermomechanical conditions on spheroidisation of cementite lam... The microstructure development of 55VNb1 microalloyed steel after warm deformation via multi-pass biaxial compression tests was studied,and the effect of thermomechanical conditions on spheroidisation of cementite lamellae and ferrite recrystallisation for a range of deformation temperatures(600–700℃),cooling/soaking time(water quenching,air cooling,10 and 30 min of soaking time)and interpass time(0–10 s)was analysed.During deformation,the spheroidisation of pearlite is dynamically accelerated mainly by boundary splitting mechanism together with the rapid dissolution of cementite,while ferrite softening is attributed to dynamic recovery and continuous dynamic recrystallisation.The strong microstructural evolution during cooling/soaking time indicates that deformation energy accumulated is sufficient to activate metallurgical phenomena in both phases also statically.Static spheroidisation is a diffusive process,with rate controlled by the diffusion of vacancies,as suggested by the estimated activation energy.Ferrite refinement is the result of the evolution of continuous recrystallisation and pinning effect exerted by fine,globulised and homogeneously dispersed cementite particles.Increasing temperature causes accelerated kinetics in metallurgical phenomena;therefore,cooling/soaking time becomes key parameters to achieve ultrafine grained and spheroidised microstructures.Interpass time favours spheroidisation and promotes continuous recrystallisation;however,it must be carefully controlled to find a balance between recrystallisation and Ostwald ripening to optimise microstructural development. 展开更多
关键词 Spheroidised steel Ultrafine grained material Thermomechanical processing electron backscattered diffraction Continuous recrystallisation
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基于背散射电子-X射线能谱图像智能分析的胶凝材料微观多模态多视图表征
4
作者 李粒珲 王相权 +2 位作者 姚羿舟 毛丽璇 杨健 《硅酸盐学报》 北大核心 2025年第8期2362-2373,共12页
背散射电子(BSE)与能量色散X射线谱(EDS)图像分析技术凭借其出色的二维空间分辨能力,已成为表征土木工程材料微观结构的重要技术手段。本工作提出一种标准化的图像预处理策略,通过整合BSE图像和同视场的定性与定量EDS元素面谱,建立以超... 背散射电子(BSE)与能量色散X射线谱(EDS)图像分析技术凭借其出色的二维空间分辨能力,已成为表征土木工程材料微观结构的重要技术手段。本工作提出一种标准化的图像预处理策略,通过整合BSE图像和同视场的定性与定量EDS元素面谱,建立以超像素为基本分析单元的多模态数据集,有效克服孔隙存在及特征X射线与样品相互作用体积过大对物相识别的影响。结合降维和聚类算法,开发可解释的BSE-EDS图像分析模型,实现水泥矿渣复合胶凝体系物相组成的自动化分类。基于Glue平台构建多视图交互分析技术,实现化学元素特征、物相含量分布和离子迁移路径的可视化、同步、联动表征。基于PHATE(Potential of heat-diffusion for affinity-based trajectory embedding)图像构建物相网络拓扑图,通过节点-连接拓扑关系量化物相演化动态特征。最终形成以EDS图像为核心、BSE图像为辅助的智能分析范式,实现化学模态(元素组成、物相类别)与空间模态(孔隙分布、物相分布)的协同定量表征,达成“单次独立微观表征-多模态特征融合分析”的技术愿景,为胶凝体系反应机理研究及微观结构动态演化分析提供较为综合全面的技术支撑。 展开更多
关键词 胶凝材料 背散射电子图像 能谱图像 微观表征 图像处理
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基于BSE图像的水泥基修补材料物相分析方法对比
5
作者 张高望 吕江鹏 +2 位作者 陈泽鑫 袁捷 杨小刚 《建筑材料学报》 北大核心 2025年第8期816-824,共9页
基于背散射电子(BSE)图像,对比了频率-灰度直方图法、累计频率-灰度直方图法和高斯混合模型(GMM)法在水泥基修补材料(CRM)物相分析中的表现,并基于表现最优的方法研究了修补界面过渡区的物相占比。结果表明:GMM法具有最好的稳定性和一致... 基于背散射电子(BSE)图像,对比了频率-灰度直方图法、累计频率-灰度直方图法和高斯混合模型(GMM)法在水泥基修补材料(CRM)物相分析中的表现,并基于表现最优的方法研究了修补界面过渡区的物相占比。结果表明:GMM法具有最好的稳定性和一致性,推荐在物相定量分析的灰度阈值分割中使用;修补界面过渡区的孔隙和未反应颗粒分布较密,其中改性硅酸盐水泥基修补材料的未水化颗粒含量较高,磷酸盐水泥基修补材料的孔隙率较高,在修补工作中应作相应处理,以提升修补效果。 展开更多
关键词 水泥基修补材料 背散射电子图像 修补界面过渡区 灰度分割阈值 物相占比
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透射模式电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用 被引量:4
6
作者 刘紫微 华佳捷 +2 位作者 林初城 姜彩芬 曾毅 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期833-837,共5页
为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研... 为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析,其结果的平均角度偏差(MAD)值仅为0.38,成功鉴定出小于30nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相;将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上,采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析,成功鉴定了锐钛矿相和金红石相TiO2,其中纳米锐钛矿TiO2粉体的最小尺寸为20nm左右,使得扫描电镜中相鉴定的最小分辨率从目前的约100nm提高到小于30nm,大大拓展了电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用范围。 展开更多
关键词 透射模式电子背散射衍射 高分辨率 相鉴定 纳米材料
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电子束在多层材料中的背散射效应 被引量:1
7
作者 王传珊 周树鑫 +2 位作者 罗文芸 许梦杰 陆裕清 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期166-169,共4页
研究基于简单解析表达式的电子背散射系数与入射电子能量、介质厚度和能损的关系及其对电子束辐射加工的影响。考虑到入射电子在多层介质之间反复的穿透和背散射,编制了ED410程序,计算了不同衬底材料和不同入射电子能量下能量沉... 研究基于简单解析表达式的电子背散射系数与入射电子能量、介质厚度和能损的关系及其对电子束辐射加工的影响。考虑到入射电子在多层介质之间反复的穿透和背散射,编制了ED410程序,计算了不同衬底材料和不同入射电子能量下能量沉积的深度分布和剂量因子。利用衬底材料的背散射抬高接近衬底界面处的剂量,较大地改善了辐射加工的均匀性。 展开更多
关键词 电子束 背散射效应 多层材料 辐射加工
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轧制变形量对高纯铝三叉晶界、晶界形变及退火行为的影响 被引量:3
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作者 尹文红 王卫国 +1 位作者 方晓英 秦聪祥 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期414-421,共8页
采用电子背散射衍射(electron backscattered diffraction,EBSD)技术研究了不同变形量高纯铝试样的变形行为和退火后三叉晶界及晶界的迁移行为.研究结果表明,冷轧变形后三叉晶界附近的点对原点的取向差与泰勒因子及施密特因子有很好的... 采用电子背散射衍射(electron backscattered diffraction,EBSD)技术研究了不同变形量高纯铝试样的变形行为和退火后三叉晶界及晶界的迁移行为.研究结果表明,冷轧变形后三叉晶界附近的点对原点的取向差与泰勒因子及施密特因子有很好的一致性.具有较大施密特因子或者较小泰勒因子的晶粒的取向差较大,并且随着变形量的增大取向差的最大值也增大.Kernel平均取向差(Kernel average misorientation,KAM)图表明塑性变形时,三叉晶界和晶界处应变集中.对于冷轧变形量为17%的三叉晶界,施密特因子最大的晶粒内部滑移带终止于晶内,主要原因是相邻晶粒变形时为了相互协调,晶界附近的晶粒间发生了较大偏转,出现了晶界影响区外;对于变形量为35%的三叉晶界,除了出现晶界影响区外,在施密特因子最大的晶粒内三叉结附近出现了折痕.随后试样经过第一次400?C退火15 min,三叉晶界及其相关晶界发生了迁移,并且晶界在原来的位置留下了鬼线.晶界都是由施密特因子较小的晶粒向施密特因子较大的晶粒迁移,也就是由硬取向的晶粒向软取向的晶粒迁移,并且迁移后晶界变得更弯曲,晶界的迁移距离比三叉结的大,说明在此温度下退火后,三叉结对晶界的迁移有拖曳作用.三叉晶界及其晶界的迁移量随着变形量的增大而增大,这是因为变形量大、储能高,给三叉晶界及晶界提供的驱动力也大.最后试样经过第二次400℃退火17 min,为了降低第一次退火后残留的应变能,晶界又进一步迁移. 展开更多
关键词 金属材料 三叉晶界 电子背散射衍射 晶界 鬼线
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电子背散射衍射分析技术的应用 被引量:6
9
作者 李凡 黄海波 王雷 《理化检验(物理分册)》 CAS 2007年第10期505-508,516,共5页
简要介绍了电子背散射衍射分析技术的基本原理和特点,并通过用电子背散射衍射分析方法对几种晶体材料(包括试样的制备)在物相鉴定、晶体取向、晶粒尺寸及晶界分布、材料失效机理等方面的实例分析表明,该技术是一种揭示晶体材料微观结构... 简要介绍了电子背散射衍射分析技术的基本原理和特点,并通过用电子背散射衍射分析方法对几种晶体材料(包括试样的制备)在物相鉴定、晶体取向、晶粒尺寸及晶界分布、材料失效机理等方面的实例分析表明,该技术是一种揭示晶体材料微观结构的很好的方法。 展开更多
关键词 电子背散射衍射 晶体材料 应用实例
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赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜 被引量:3
10
作者 韩丽君 江兴流 文雄伟 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期24-28,共5页
类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜 ,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用 ,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式 ,在低温衬底上重新成核、凝结 ,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜。讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的... 类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜 ,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用 ,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式 ,在低温衬底上重新成核、凝结 ,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜。讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象 ,并给出高分辨电子显微镜、X射线衍射、光电子能谱分析等方法的测试结果。研究表明 ,由于赝火花脉冲电子束高功率密度 (10 9W cm2 )的瞬态烧蚀作用 ,为研究和制备多元素氧化物薄膜、难熔金属多层膜或氧化物 展开更多
关键词 赝火花脉冲电子束 烧蚀 制备 纳米薄膜
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Correlation Between Magnetic Properties and Allotropic Phase Transition of Fe–Co–V Alloy 被引量:1
11
作者 Saeed Hasani Ali Shafyei +4 位作者 Morteza Shamanian Peiman Behjati Hossein Mostaan Timu Juuti Jerzy A.Szpunar 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期1055-1058,共4页
In this study, the allotropic phase transition and its effect on the magnetic behavior of Fe Co–7 wt%V alloy were investigated. It was found that c phase is observed in the microstructure in the as-cast condition, an... In this study, the allotropic phase transition and its effect on the magnetic behavior of Fe Co–7 wt%V alloy were investigated. It was found that c phase is observed in the microstructure in the as-cast condition, and it diminishes after severe cold rolling(90% reduction). After annealing at temperatures higher than 500 up to 750 ℃, the c phase is observed in the structure, again. But, this phase is disappeared by annealing at temperatures above 750 ℃ due to the formation of vanadium-rich precipitates. Thermocalc software was used in order to elucidate the influence of vanadium percent on the stability of c phase in Fe–Co alloys. Also, magnetic studies showed that the saturation induction is reduced by annealing at temperatures from 500 up to 750 ℃, which is related to the formation of residual non-magnetic γ phase. 展开更多
关键词 Fe–Co–V alloy Thermocalc software Magnetic material Phase transformation electron backscatter diffraction(EBSD)
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扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用 被引量:7
12
作者 杨显 胡建军 +3 位作者 郭宁 何川 张雨晴 王静 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2018年第7期132-137,共6页
介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的3种信号探测器,分析了扫描电子显微镜成像技术中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号与金属材料表面形貌、原子序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火... 介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的3种信号探测器,分析了扫描电子显微镜成像技术中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号与金属材料表面形貌、原子序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火态球墨铸铁组织表征以及热扩渗40Cr钢渗层组织研究为例,详细阐述了普通SE、高分辨二次电子(In-Lens)及BSE三种成像模式在金属材料研究中的应用特点及选用。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 成像模式 金属材料 二次电子 In-lens 背散射电子
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加速碳化条件下混凝土界面过渡区微结构 被引量:5
13
作者 占华刚 潘钢华 王宇东 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期569-574,共6页
为研究界面过渡区微结构在碳化过程中的演变规律,运用背散射(BSE)图像分析技术,使用灰度值统计方法,对比分析了水胶比ρ=0.53,0.35,0.23时混凝土试件中界面过渡区和基体在碳化前后的微结构特征.结果表明,当ρ=0.53,0.35时,试件界面过渡... 为研究界面过渡区微结构在碳化过程中的演变规律,运用背散射(BSE)图像分析技术,使用灰度值统计方法,对比分析了水胶比ρ=0.53,0.35,0.23时混凝土试件中界面过渡区和基体在碳化前后的微结构特征.结果表明,当ρ=0.53,0.35时,试件界面过渡区的孔隙率分别从碳化前的24.97%和16.07%减小到碳化后的20.29%和12.27%,而当ρ=0.23时试件碳化后孔隙率则有所提高.同时,各试件界面过渡区和基体的未水化水泥含量在碳化后均有所下降.因此,在加速碳化条件下,不同水胶比试件的微结构演变规律存在较大差异,界面过渡区和基体的碳化现象也有所差别,且当ρ=0.53时两者的碳化现象最明显,ρ=0.23时碳化现象最不明显. 展开更多
关键词 水泥基材料 界面过渡区 碳化 背散射图像
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基于Geant4的微型透射式X射线管中背散射电子对出射光束影响 被引量:1
14
作者 董浪 王明 +6 位作者 孙甜甜 代伟 张磊 李国栋 张庆贤 谷懿 曾国强 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期58-65,共8页
X射线管工作时,管内会产生大量的背散射电子。在X射线管内电场的作用下,背散射电子会被电场拉回到阳极靶上,并产生额外的X射线,最终对出射光束质量产生不利影响。背散射电子的分布与X射线管的特性(管电压和靶材料)密切相关。因此,本文... X射线管工作时,管内会产生大量的背散射电子。在X射线管内电场的作用下,背散射电子会被电场拉回到阳极靶上,并产生额外的X射线,最终对出射光束质量产生不利影响。背散射电子的分布与X射线管的特性(管电压和靶材料)密切相关。因此,本文将从透射式X射线管中背散射电子的分布规律出发,系统讨论靶材料和管电压引起的背散射电子变化以及其对出射光束质量的影响。首先,在Geant4代码中建立了透射式X射线管的物理模型,并将计算结果与文献数据进行对比验证;其次,开展了不同管电压与靶材料对X射线管中背散射电子分布的影响分析;最后,探究了在管电压作用下背散射电子对出射光束质量的影响。结果显示:当考虑电场时,X射线管的出射光束半高全宽(Full Width at Half Maxima, FWHM)、光子产额和特征峰产额会有所增加,表明背散射电子会对出射光束的质量产生一定的影响。结果同时显示:对出射光束质量影响程度最高主要是第一代和第二代被电场拉回的背散射电子。当管电压发生改变时,背散射电子对出射光束质量的影响程度也会改变,管电压越大,背散射电子对X射线管出射光束质量的影响也越明显。本研究结果为未来开展微型透射式X射线管的数值仿真计算提供参考。 展开更多
关键词 透射式X射线管 背散射电子 管电压 靶材料 GEANT4
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电子背散射衍射技术及其在微观力学行为研究中的应用 被引量:3
15
作者 刘飞 马晓桐 +1 位作者 刘战伟 谢惠民 《力学与实践》 北大核心 2023年第6期1321-1330,共10页
电子背散射衍射(electron backscatter diffraction, EBSD)技术不仅能表征材料微观组织,还能定性分析测试区域的弹性应变和塑性应变,目前该技术已被广泛用于晶体材料微结构的表征。考虑到服役过程中材料微结构及其应力状态可能会发生变... 电子背散射衍射(electron backscatter diffraction, EBSD)技术不仅能表征材料微观组织,还能定性分析测试区域的弹性应变和塑性应变,目前该技术已被广泛用于晶体材料微结构的表征。考虑到服役过程中材料微结构及其应力状态可能会发生变化,因此,研究不同服役环境下晶体微观组织与应变场演化之间的内在联系对于研究材料的失效行为和机理有重要意义。本文介绍了EBSD技术的基本原理、常用制样方法及其主要功能,给出了基于EBSD技术在材料科学领域的应用实例,探讨了使用EBSD不同成像数据研究材料微结构及其微观力学行为的分析方法。 展开更多
关键词 电子背散射衍射 金属材料 应变场 疲劳行为 微观组织
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(TiB+La2O3)/IMI834钛基复合材料超塑性变形行为及显微组织演变 被引量:3
16
作者 来晓君 邱培坤 +1 位作者 吕维洁 韩远飞 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期32-37,43,共7页
对(TiB+La2O3)/IMI834钛基复合材料进行超塑性变形,研究了不同温度(850,900,950,1000℃)和初始应变速率(0.0005,0.0010,0.0050s^-1)对其超塑性变形行为及显微组织的影响。结果表明:该复合材料由α-Ti、TiB、La2O3相及弥散分布的(TiZr)xS... 对(TiB+La2O3)/IMI834钛基复合材料进行超塑性变形,研究了不同温度(850,900,950,1000℃)和初始应变速率(0.0005,0.0010,0.0050s^-1)对其超塑性变形行为及显微组织的影响。结果表明:该复合材料由α-Ti、TiB、La2O3相及弥散分布的(TiZr)xSi颗粒组成;复合材料具有较好的超塑性,在900℃、0.0010s^-1条件下,断后伸长率最大,为505%;复合材料的应变速率敏感系数高于0.30,随应变速率增加,流变应力和变形激活能增大;随变形程度增加,复合材料中片层α相逐渐等轴化,小角度晶界向大角度晶界转变,但孔洞缺陷增多;晶界滑动、晶粒转动和动态再结晶是(TiB+La2O3)/IMI834钛基复合材料超塑性变形的主要变形机制。 展开更多
关键词 钛基复合材料 超塑性变形 电子背散射衍射 组织演变
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铝/钢等离子弧熔-钎焊接头界面电子背散射衍射分析
17
作者 吴迪 耿文华 +1 位作者 李洪梅 孙大千 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1331-1337,共7页
采用电子背散射衍射(EBSD)技术对铝合金/超高强钢等离子弧熔-钎焊接头界面的组织构成、晶粒取向和取向差分布、晶粒尺寸、织构情况进行了研究。结果表明:铝合金/超高强钢等离子弧熔-钎焊接头界面组织呈明显的双层结构,由Fe_(4)Al_(13)相... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术对铝合金/超高强钢等离子弧熔-钎焊接头界面的组织构成、晶粒取向和取向差分布、晶粒尺寸、织构情况进行了研究。结果表明:铝合金/超高强钢等离子弧熔-钎焊接头界面组织呈明显的双层结构,由Fe_(4)Al_(13)相和Fe_(2)Al_(5)相组成,两相在晶粒尺寸和形态上存在明显差异。Fe_(4)Al_(13)相呈细小的等轴晶形态,以大角度晶界为主,Fe_(2)Al_(5)相呈柱状晶形态,以小角度晶界为主。Fe_(4)Al_(13)相的晶粒尺寸明显小于Fe_(2)Al_(5)相晶粒尺寸。Fe_(4)Al_(13)相的主要织构为<010>丝织构,Fe_(2)Al_(5)相晶粒具有明显的择优取向,其主要织构为<001>丝织构。 展开更多
关键词 金属材料 铝合金/超高强钢 等离子弧熔-钎焊 界面组织 织构 电子背散射衍射
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背散射电子成像与能谱技术结合用于金属负载型催化剂的分散性研究 被引量:2
18
作者 薛青松 陈丽 +2 位作者 倪宾 王奕文 巩志伟 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期237-242,共6页
扫描电子显微(配备能谱仪附件)技术作为表面微观分析的重要手段之一,可充分展现催化剂的表面形貌和微区成分,对催化剂的研制和开发具有重要意义。本文将背散射电子成像与X射线能谱仪结合,研究了Au-Ni复合催化剂的表面形貌及活性组分的... 扫描电子显微(配备能谱仪附件)技术作为表面微观分析的重要手段之一,可充分展现催化剂的表面形貌和微区成分,对催化剂的研制和开发具有重要意义。本文将背散射电子成像与X射线能谱仪结合,研究了Au-Ni复合催化剂的表面形貌及活性组分的分散状态,并详细探讨了图像清晰度与扫描速度、工作电压、工作距离等的关系。研究发现,在扫描速度10 s/frame、工作电压5 kV、工作距离4 mm条件下,采集背散射电子图像并结合能谱分析,可以获得充分展现催化剂性质的图像,为Au-Ni复合催化剂的催化活性机理研究提供重要的实验数据支撑。该研究提供了一种行之有效且快速方便的、纳米量级的分析准确度及分辨率的表征技术,有助于电镜相关人员更好地理解背散射现象的物理机制。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 背散射电子像 能谱仪 Au-Ni复合催化剂
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生长温度对纳米AlN薄膜的表面形貌和结晶特性的影响
19
作者 郑晓娟 王娟 +1 位作者 李善锋 张庆瑜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期93-96,共4页
采用射频(RF)反应磁控溅射方法制备了具有原子级平滑表面的纳米AlN薄膜.利用傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、卢瑟福背散射(RBS)等分析方法对不同实验条件下合成的AlN薄膜进行了表征,研究了不同沉积温度... 采用射频(RF)反应磁控溅射方法制备了具有原子级平滑表面的纳米AlN薄膜.利用傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)、卢瑟福背散射(RBS)等分析方法对不同实验条件下合成的AlN薄膜进行了表征,研究了不同沉积温度(室温约550℃)下的AlN薄膜的表面形貌特征和结晶特性,探讨了AlN薄膜表面形貌的变化规律及纳米薄膜的形成机制.分析结果显示:不同沉积温度下合成的AlN薄膜均具有原子量级平滑的表面,薄膜表面粗糙度(RMS)为0.2~0.4 nm,且不随沉积温度的增加而发生明显变化;薄膜的晶粒尺度为20~30nm,薄膜的折射率随沉积温度的增加而增加. 展开更多
关键词 氮化铝 磁控溅射 表面形貌 结晶特性
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背散射电子成像在纳米多层膜形貌观察中的应用 被引量:7
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作者 赵梦鲤 毛栋 +1 位作者 董磊 董雷 《大学物理》 2020年第7期40-44,共5页
本文以背散射成像技术在扫描电镜观察纳米多层膜形貌中的应用为背景,简要介绍了扫描电子显微镜背散射电子成像的工作原理,并从分析准确度、分辨率及取出角对背散射电子成像影响的3个角度研究了其在纳米多层膜表面形貌观察中的应用.结果... 本文以背散射成像技术在扫描电镜观察纳米多层膜形貌中的应用为背景,简要介绍了扫描电子显微镜背散射电子成像的工作原理,并从分析准确度、分辨率及取出角对背散射电子成像影响的3个角度研究了其在纳米多层膜表面形貌观察中的应用.结果表明:利用扫描电镜背散射电子成像技术可有效表征纳米多层膜样品微区成分变化,能够快速了解样品的组成和结构特征,其分析准确度、分辨率均在纳米量级.该方法可为纳米多层膜调制结构的表征及鉴别提供快速、简便、有效的分析手段.同时,对该技术的探讨将帮助物理学专业学生更好的理解背散射现象的物理机制,帮助材料专业的学生更好的应用该表征技术. 展开更多
关键词 背散射像 纳米多层膜 分辨率 分析准确度 取出角
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