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机载干泵—一个革新的真空技术
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作者 Kirel Tang 王颖佩 《集成电路应用》 2005年第4期48-49,共2页
传统中为了得到良好的运行,真空干泵总是被安装在远离对真空环境要求苛刻的机台的地方。这主要因为真空泵的洁净度、稳定性、重量、尺寸、振动、噪声和表面温度都会直接影响到机台运行。BOC Edwards创造性的开发生产了一款既小又轻的干... 传统中为了得到良好的运行,真空干泵总是被安装在远离对真空环境要求苛刻的机台的地方。这主要因为真空泵的洁净度、稳定性、重量、尺寸、振动、噪声和表面温度都会直接影响到机台运行。BOC Edwards创造性的开发生产了一款既小又轻的干泵-EPX180,它符合所有机载真空的要求。此外,这种独特的设计还使得EPX500真空泵能达到更低的压力和更高的抽速。其优点是在高真空工艺中用一个EPX泵代替组泵,并且就只需一个阀件。此技术可以使一个单泵从大气抽到10-7 Torr。 展开更多
关键词 机载干泵 真空技术 真空泵 epx180 抽速
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