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等离子体参数诊断及其特性研究 被引量：14
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作者 符斯列 陈俊芳 +3 位作者 吴先球 赵文峰 樊双莉 马涛 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第2期77-81,共5页
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受... 利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游II区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96 3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用. 展开更多
关键词 等离子体参数诊断 朗缪尔探针 电子温度 离子密度 ecr-pemovd 微波电子回旋共振
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