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Device Physics Research for Submicron and Deep Submicron Space Microelectronics Devices and Integrated Circuits
1
作者 Huang Chang, Yang Yinghua, Yu Shan, Zhang Xing, Xu Jun, Lu Quan, Chen Da 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 1992年第4期3-4,6-2,共4页
Device physics research for submicron and deep submicron space microelectronics devices and integrated circuits will be described in three topics.1.Thin film submicron and deep submicron SOS / CMOS devices and integra... Device physics research for submicron and deep submicron space microelectronics devices and integrated circuits will be described in three topics.1.Thin film submicron and deep submicron SOS / CMOS devices and integrated circuits.2.Deep submicron LDD CMOS devices and integrated circuits.3.C band and Ku band microwave GaAs MESFET and III-V compound hetrojunction HEM T and HBT devices and integrated circuits. 展开更多
关键词 GaAs MESFET CMOS Device Physics Research for submicron and deep submicron Space Microelectronics Devices and Integrated Circuits MOSFET length
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Actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers in ultra-deep submicron p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (PMOSFETs)
2
作者 刘红侠 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第7期2111-2115,共5页
Hot carrier injection (HCI) at high temperatures and different values of gate bias Vg has been performed in order to study the actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers. Hot-carrier-... Hot carrier injection (HCI) at high temperatures and different values of gate bias Vg has been performed in order to study the actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers. Hot-carrier-stress-induced damage at Vg = Vd, where Vd is the voltage of the transistor drain, increases as temperature rises, contrary to conventional hot carrier behaviour, which is identified as being related to the NBTI. A comparison between the actions of NBTI and hot carriers at low and high gate voltages shows that the damage behaviours are quite different: the low gate voltage stress results in an increase in transconductance, while the NBTI-dominated high gate voltage and high temperature stress causes a decrease in transconductance. It is concluded that this can be a major source of hot carrier damage at elevated temperatures and high gate voltage stressing of p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (PMOSFETs). We demonstrate a novel mode of NBTI-enhanced hot carrier degradation in PMOSFETs. A novel method to decouple the actions of NBTI from that of hot carriers is also presented. 展开更多
关键词 ultra-deep submicron PMOSFETs negative bias temperature instability (NBTI) hot carrier injection (HCI) positive fixed oxide charges
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Impactof Device Architecture on Performance and Reliability of Deep Submicron SOI MOSFETs( invited paper) 被引量:7
3
作者 F.Balestra(Laboratoire de Physique des Composants à Semiconducteurs, (UMR CNRS/INPG) ENSERG,23 Av.des Martyrs,BP 257,30016 Grenoble,France) 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期937-954,共18页
The main electrical properties of advanced Silicon On Insulator MOSFETs are addressed. The subthreshold and high field operations are analysed as a function of device architecture. The special SOI parasitic phenomena,... The main electrical properties of advanced Silicon On Insulator MOSFETs are addressed. The subthreshold and high field operations are analysed as a function of device architecture. The special SOI parasitic phenomena, such as the floating body potential and temperature, are critically reviewed. The main limitations of submicron MOSFET are comparatively evaluated for various SOI structures. Short channel and hot carrier effects as well as the reliability of the SOI technology are investigated for gate length down to sub\|0 1 micron. 展开更多
关键词 SOI MOSFET 体系结构 可靠性
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Hot-carrier effects on irradiated deep submicron NMOSFET
4
作者 崔江维 郑齐文 +6 位作者 余学峰 丛忠超 周航 郭旗 文林 魏莹 任迪远 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2014年第7期52-55,共4页
We investigate how F exposure impacts the hot-carrier degradation in deep submicron NMOSFET with different technologies and device geometries for the first time. The results show that hot-carrier degradations on irrad... We investigate how F exposure impacts the hot-carrier degradation in deep submicron NMOSFET with different technologies and device geometries for the first time. The results show that hot-carrier degradations on irradiated devices are greater than those without irradiation, especially for narrow channel device. The reason is attributed to charge traps in STI, which then induce different electric field and impact ionization rates during hotcarrier stress. 展开更多
关键词 F ray irradiation deep submicron hot-carrier effect
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不同特征尺寸微处理器的总剂量效应实验研究
5
作者 范恒 梁润成 +2 位作者 陈法国 郭荣 郑智睿 《微电子学》 北大核心 2025年第1期59-64,共6页
针对不同特征尺寸商用微处理器在总剂量效应失效模式和失效剂量方面的差异,以同一制造商180 nm、90 nm、40 nm特征尺寸的微处理器为研究对象,利用自主研制的可扩展式微处理器总剂量效应在线测试系统,对微处理器在~(60)Co辐照期间的通信... 针对不同特征尺寸商用微处理器在总剂量效应失效模式和失效剂量方面的差异,以同一制造商180 nm、90 nm、40 nm特征尺寸的微处理器为研究对象,利用自主研制的可扩展式微处理器总剂量效应在线测试系统,对微处理器在~(60)Co辐照期间的通信、数模信号转换、非易失性存储、随机访问存储、直接存储器访问、功耗电流、时钟/定时器等功能的变化情况开展了原位在线测试。实验结果表明,3种微处理器的辐照错误剂量分别为331±36.28 Gy(Si),355.5±41.51 Gy(Si)和365.28±20.15 Gy(Si),不同特征尺寸微处理器的失效模式不同,其中180 nm微处理器的辐照最敏感单元为片内非易失性存储器,90 nm和40 nm微处理器的辐照最敏感单元为器件内核。 展开更多
关键词 总剂量效应 微处理器 纳米工艺 深亚微米工艺
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A Novel Empirical Model of I-V Characteristics for LDD MOSFET Including Substrate Current
6
作者 于春利 郝跃 杨林安 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期778-783,共6页
A compact model for LDD MOSFET is proposed,which involves the hyperbolic tangent function description and the physics of device with emphasis on the substrate current modeling.The simulation results demonstrate good ... A compact model for LDD MOSFET is proposed,which involves the hyperbolic tangent function description and the physics of device with emphasis on the substrate current modeling.The simulation results demonstrate good agreement with measurement,and show that deep submicron LDD MOSFET has larger substrate current than submicron device does.The improved model costs low computation consumption,and is effective in manifestation of hot carrier effect and other effects in deep submicron devices,in turn is suitable for design and reliability analysis of scaling down devices. 展开更多
关键词 LDD MOSFET substrate current hot carrier effect deep submicron
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性能驱动总体布线的关键技术及研究进展 被引量:8
7
作者 经彤 洪先龙 +2 位作者 蔡懿慈 鲍海云 许静宇 《软件学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第5期677-688,共12页
在计算机软件领域 ,超大规模集成电路技术的迅猛发展迫切需要高性能 CAD工具——电子设计自动化(EDA)软件工具的支持 .与物理设计相关的 CAD技术称为布图设计 ,总体布线是布图设计中一个极为重要的环节 .目前 ,在深亚微米、超深亚微米... 在计算机软件领域 ,超大规模集成电路技术的迅猛发展迫切需要高性能 CAD工具——电子设计自动化(EDA)软件工具的支持 .与物理设计相关的 CAD技术称为布图设计 ,总体布线是布图设计中一个极为重要的环节 .目前 ,在深亚微米、超深亚微米工艺下的超大规模、甚大规模集成电路设计中 ,性能驱动总体布线算法已成为布图设计中的一个国际研究热点 .针对这一热点 ,分析了性能驱动总体布线算法研究中亟待解决的关键技术 ,并详细阐述了国内外的重要相关研究工作进展情况 . 展开更多
关键词 总体布线 超深亚微米工艺 超大规模集成电路 布图设计 电子设计自动化
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深亚微米MOSFET热载流子退化机理及建模的研究进展 被引量:6
8
作者 张卫东 郝跃 汤玉生 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期76-80,43,共6页
本文给出了深亚微米MOS器件热载流子效应及可靠性研究与进展.对当前深亚微米MOS器件中的主要热载流子现象以及由其引起的器件性能退化的物理机制进行了详细论述.不仅对热电子,同时也对热空穴的影响进行了重点研究,为深亚微米... 本文给出了深亚微米MOS器件热载流子效应及可靠性研究与进展.对当前深亚微米MOS器件中的主要热载流子现象以及由其引起的器件性能退化的物理机制进行了详细论述.不仅对热电子,同时也对热空穴的影响进行了重点研究,为深亚微米CMOS电路热载流子可靠性研究奠定了基础.本文还讨论了深亚微米器件热载流子可靠性模型,尤其是MOS器件的热载流子退化模型. 展开更多
关键词 深亚微米 MOSFET 热载流子 可靠性 退化 模型
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一种基于SPLAT的离轴照明成像算法的研究与实现 被引量:4
9
作者 付萍 王国雄 +2 位作者 史峥 陈志锦 严晓浪 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期180-183,共4页
 如何提高光刻的分辨率已成为超深亚微米集成电路设计和制造的关键技术。文章简要介绍了分辨率提高技术之一的离轴照明的原理及其构造形式,介绍了部分相干的二维透射系统的仿真程序SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实...  如何提高光刻的分辨率已成为超深亚微米集成电路设计和制造的关键技术。文章简要介绍了分辨率提高技术之一的离轴照明的原理及其构造形式,介绍了部分相干的二维透射系统的仿真程序SPLAT的特点,并用SPLAT实现了一种新的照明结构,为实际开发光学邻近校正(OPC,OpticalProximityCorrection)仿真工具增加了新的功能。 展开更多
关键词 光刻 深亚微米IC工艺 离轴照明 光学邻近校正 集成电路 SPLAT
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超深亚微米SOI NMOSFET中子辐照效应数值模拟 被引量:5
10
作者 胡志良 贺朝会 +1 位作者 张国和 郭达禧 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期456-460,共5页
考虑3种特征尺寸的超深亚微米SOI NMOSFET的中子辐照效应。分析了中子位移辐照损伤机理,数值模拟了3种器件输出特性曲线随能量为1MeV的等效中子在不同辐照注量下的变化关系及中子辐照环境下器件工艺参数对超深亚微米SOI NMOSFET的影响... 考虑3种特征尺寸的超深亚微米SOI NMOSFET的中子辐照效应。分析了中子位移辐照损伤机理,数值模拟了3种器件输出特性曲线随能量为1MeV的等效中子在不同辐照注量下的变化关系及中子辐照环境下器件工艺参数对超深亚微米SOI NMOSFET的影响。数值模拟部分结果与反应堆中子辐照实验结果一致。 展开更多
关键词 中子辐照 超深亚微米 SOI NMOSFET 数值模拟
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深亚微米MOS器件的热载流子效应 被引量:5
11
作者 刘红侠 郝跃 孙志 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期770-773,共4页
对深亚微米器件中热载流子效应 (HCE)进行了研究 .还研究了沟道热载流子的产生和注入以及与器件工作在高栅压、中栅压和低栅压三种典型的偏置条件的关系 .在分析热载流子失效机理的基础上 ,讨论了热载流子效应对电路性能的影响 .提出影... 对深亚微米器件中热载流子效应 (HCE)进行了研究 .还研究了沟道热载流子的产生和注入以及与器件工作在高栅压、中栅压和低栅压三种典型的偏置条件的关系 .在分析热载流子失效机理的基础上 ,讨论了热载流子效应对电路性能的影响 .提出影响晶体管热载流子效应的因素有 :晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电容、输入速率及晶体管在电路中的位置 .通过对这些失效因素的研究并通过一定的再设计手段 ,可以减少热载流子效应导致的器件退化 . 展开更多
关键词 深亚微米 MOS器件 热载流子效应 可靠性
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利用RTS噪声确定MOSFET氧化层中陷阱位置的方法 被引量:5
12
作者 鲍立 包军林 庄奕琪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1426-1430,共5页
强场诱生并与电场奇异性相关的边界陷阱是影响深亚微米MOS器件可靠性的关键因素之一.文中研究了深亚微米MOS器件的随机电报信号(RTS)的时间特性,提出了一种通过正反向测量器件非饱和区噪声的手段来确定边界陷阱空间分布的新方法.对0... 强场诱生并与电场奇异性相关的边界陷阱是影响深亚微米MOS器件可靠性的关键因素之一.文中研究了深亚微米MOS器件的随机电报信号(RTS)的时间特性,提出了一种通过正反向测量器件非饱和区噪声的手段来确定边界陷阱空间分布的新方法.对0·18μm×0·15μmnMOS器件的测量结果表明,利用该方法可以准确计算深亚微米器件氧化层陷阱的二维位置,还为深亚微米器件的可靠性评估提供了一种新的手段. 展开更多
关键词 RTS 深亚微米 边界陷阱 MOS器件 可靠性
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深亚微米VLSI物理设计中天线效应的预防及修复 被引量:6
13
作者 王伟 冯哲 +1 位作者 候立刚 吴武臣 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2007年第8期42-45,48,共5页
深亚微米超大规模集成电路(VLSI)中金属互连线的天线效应(PAE)将会严重影响芯片物理设计的结果,甚至造成设计的失败。因此详细分析了天线效应的产生、危害和计算方法,重点讨论了深亚微米VLSI芯片物理设计中的PAE预防和修复方法,并且针... 深亚微米超大规模集成电路(VLSI)中金属互连线的天线效应(PAE)将会严重影响芯片物理设计的结果,甚至造成设计的失败。因此详细分析了天线效应的产生、危害和计算方法,重点讨论了深亚微米VLSI芯片物理设计中的PAE预防和修复方法,并且针对面积和时序要求苛刻的复杂芯片设计提出了优化的迭代流程。上述方法和流程成功应用于本研究室协作承担的"风芯Ⅱ号"H.264/AVC-AVS视频解码SoC芯片的后端物理设计过程中,极大地提高了天线效应的预防和修复效率,消除了版图中全部潜在高危PAE问题且节省了18.18%的迭代次数,节约了17.39%的芯片管芯面积,确保并实现了芯片流片的一次成功。 展开更多
关键词 天线效应(PAE) 深亚微米 VLSI 物理设计 预布线 迭代
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低功耗CMOS逻辑电路设计综述 被引量:13
14
作者 甘学温 莫邦燹 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第4期263-267,共5页
分析了 CMOS逻辑电路的功耗来源,从降低电源电压、减小负载电容和逻辑电路开关活动几率等方面论述了降低功耗的途径。讨论了深亚微米器件中亚阈值电流对功耗的影响以及减小亚阈值电流的措施,最后分析了高层次设计对降低功耗的关... 分析了 CMOS逻辑电路的功耗来源,从降低电源电压、减小负载电容和逻辑电路开关活动几率等方面论述了降低功耗的途径。讨论了深亚微米器件中亚阈值电流对功耗的影响以及减小亚阈值电流的措施,最后分析了高层次设计对降低功耗的关键作用,说明低功耗设计必须从设计的各个层次加以考虑,实现整体优化设计。 展开更多
关键词 VLSI CMOS逻辑电路 低功耗电路 电路设计
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超深亚微米高速互连的信号串扰研究 被引量:2
15
作者 史江一 马晓华 +2 位作者 郝跃 方建平 朱志炜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期540-544,559,共6页
探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该... 探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该模型能够较好地表征超深亚微米电路的高速互连串扰效应,能够定量计算片上互连线间的耦合串扰,给出不同工艺的互连线长度的优化值。 展开更多
关键词 串扰 互连 超深亚微米 信号完整性
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短沟道MOSFET解析物理模型 被引量:2
16
作者 杨谟华 于奇 +2 位作者 肖兵 谢晓峰 李竞春 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期84-86,92,共4页
本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和... 本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和可缩小的漏极电流模型.模型输出与华晶等样品测试MINIMOS模拟结果较为吻合。 展开更多
关键词 短沟道 MOSFET 解析物理模型 VLSI/ULSI
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深亚微米CMOS集成电路抗热载流子效应设计 被引量:2
17
作者 陈曦 庄奕琪 +1 位作者 杜磊 胡净 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期509-512,共4页
 热载流子效应(HCE)、电介质击穿、静电放电,以及电迁移等失效机理,已经对VLSI电路的长期可靠性造成了极大的威胁。其中,热载流子效应是最主要的失效机理之一。影响CMOS电路热载流子效应的因素有:晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电...  热载流子效应(HCE)、电介质击穿、静电放电,以及电迁移等失效机理,已经对VLSI电路的长期可靠性造成了极大的威胁。其中,热载流子效应是最主要的失效机理之一。影响CMOS电路热载流子效应的因素有:晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电容、输入速率以及晶体管在电路中的位置。通过对这些因素的研究,提出了CMOS电路热载流子可靠性设计的通用准则。 展开更多
关键词 深亚微米 CMOS集成电路 热载流子效应 可靠性设计
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一种使用遗传算法在高层次综合中完成互连优化的方法 被引量:2
18
作者 王磊 粟雅娟 魏少军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期607-612,共6页
提出一种使用遗传算法在高层次综合中完成互连优化的方法 .相比同类的研究 ,该方法的主要优势在于提出一种新颖的编码方法 ,并设计了相应的遗传算子 ,避免了在计算过程中不可行解的产生 .
关键词 深亚微米 互连 高层次综合 资源分配 遗传算法
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深亚微米集成电路设计中串扰分析与解决方法 被引量:3
19
作者 马剑武 陈书明 孙永节 《计算机工程与科学》 CSCD 2005年第4期102-104,共3页
本文介绍了深亚微米集成电路设计中串扰的成因及其对信号完整性的影响,论述了串扰分析和设计解决的一般方法,对于实际设计具有一定的理论指导意义和应用参考价值。本文最后指出了我们工作的进一步研究方向。
关键词 深亚微米集成电路 电路设计 信号完整性 串扰分析
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深亚微米MOSFET模型研究进展 被引量:2
20
作者 周浩华 姚立真 郝跃 《电子科技》 1997年第2期11-14,共4页
文中在对深亚微米MOSFET的器件模型的研究基础上,提出了研究MOSFET模型值得注意的问题。
关键词 深亚微米 MOSFET 器件模型 集成电路 制造工艺
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