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Mo-DLC/Mo薄膜在甲醇中的摩擦学性能研究
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作者 苏永要 彭浩 +4 位作者 徐照英 张腾飞 王锦标 余伟杰 阮海波 《表面技术》 北大核心 2025年第9期121-129,共9页
目的甲醇燃料的应用给内燃机喷射系统关键运动部件的稳定、高效运行带来了挑战。基于关键部件在减摩抗磨方面的迫切需求,在高速钢表面设计并制备Mo掺杂的类金刚石(Mo-DLC)薄膜。方法采用磁控溅射技术,在高速钢表面制备具有Mo过渡层的Mo-... 目的甲醇燃料的应用给内燃机喷射系统关键运动部件的稳定、高效运行带来了挑战。基于关键部件在减摩抗磨方面的迫切需求,在高速钢表面设计并制备Mo掺杂的类金刚石(Mo-DLC)薄膜。方法采用磁控溅射技术,在高速钢表面制备具有Mo过渡层的Mo-DLC/Mo薄膜,并与未制备过渡层的Mo-DLC薄膜进行对比研究。利用激光拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机等检测设备,对薄膜的微观结构、形貌、力学性能、摩擦磨损性能进行系统研究。结果Mo-DLC/Mo薄膜的内应力约为1.85 GPa,膜基结合力约为210 mN。与未制备过渡层的Mo-DLC薄膜(2.18 GPa,100 mN)相比,内应力降低了约15%,膜基结合力提高了110%。此外,Mo-DLC/Mo薄膜还具有优异的耐磨损性能和环境适应性,在空气和甲醇中的磨损率均较低,分别为4.6×10^(−8)、5.8×10^(−8)mm^(3)/(N·m)。结论Mo过渡层对Mo-DLC的力学性能、摩擦学性能的影响显著,Mo-DLC/Mo薄膜在甲醇中展现出优异的摩擦磨损性能,可为低应力DLC的制备及其在醇类内燃机行业的应用提供理论基础和技术储备。 展开更多
关键词 磁控溅射 dlc薄膜 过渡层 摩擦磨损 甲醇
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HiPIMS制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜结构及性能的影响 被引量:1
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作者 滑利强 苏峰华 +1 位作者 李吉 林松盛 《表面技术》 北大核心 2025年第1期62-73,共12页
目的探究高功率脉冲磁控溅射功率制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜性能的影响,以制备具有优良结合强度、摩擦磨损性能和耐腐蚀性能的DLC薄膜。方法利用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流磁控溅射(DCMS)在304不锈钢和YG6硬质合金... 目的探究高功率脉冲磁控溅射功率制备Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层对DLC薄膜性能的影响,以制备具有优良结合强度、摩擦磨损性能和耐腐蚀性能的DLC薄膜。方法利用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流磁控溅射(DCMS)在304不锈钢和YG6硬质合金表面制备具有Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层的DLC薄膜,研究不同HiPIMS电源功率下制备的Cr/Cr_(x)C_(y)过渡层对DLC薄膜的结构和性能的影响。采用SEM、AFM对薄膜的表面、截面形貌进行观察。利用UMT-Tribolab摩擦磨损划痕实验机测试薄膜的膜基结合强度和摩擦磨损性能,利用光学显微镜观察划痕,并测算结合力,分析磨损机制。利用电化学工作站对制备的DLC薄膜进行耐腐蚀试验。结果随着HiPIMS电源功率的提升,Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层的厚度随之增加,最厚为200 nm,薄膜的表面粗糙度随之下降,由对照组S1的4.69 nm降至S5的1.15 nm。薄膜的纳米硬度出现逐渐升高的现象,由S1的18.76 GPa升至S5的23.77 GPa。薄膜的膜基结合力表现出先减小后增大的趋势,S5组样品的膜基结合力最大,为22.19 N。薄膜的摩擦因数随着HiPIMS功率的升高而降低,最低为S5组的0.0322,对应薄膜的磨损率为4.2×10^(−7)mm^(3)/(N·m)。电化学试验结果表明,当HiPIMS电源功率为2.4 kW时,所制备的DLC薄膜具有最低的腐蚀电流密度和最高的界面电荷转移电阻,其耐腐蚀性能最优。结论利用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC薄膜的Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层可以有效提高薄膜的表面质量,提高薄膜的膜基结合力,降低薄膜的残余应力,同时降低薄膜的摩擦因数,提高薄膜的耐磨性。采用HiPIMS制备的Cr/Cr_(x)C_(y)梯度过渡层DLC薄膜具有较低的腐蚀电流密度和较高的界面电荷转移电阻,其耐腐蚀性能得到提升。 展开更多
关键词 HIPIMS dlc薄膜 摩擦学性能 过渡层 耐磨性 耐腐蚀性能
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DLC薄膜固体超滑机理及影响因素研究进展 被引量:1
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作者 于卿源 陈新春 张晨辉 《中国表面工程》 北大核心 2025年第1期1-22,共22页
类金刚石碳基(Diamond-like carbon,DLC)薄膜可在干燥固体接触工况下表现出0.001量级的极低摩擦因数(固体超滑),为解决真空、高应力及宽温域等极端工况下的摩擦学问题提供新的技术路线,近年来引起学界的广泛关注。然而,DLC的制备工艺路... 类金刚石碳基(Diamond-like carbon,DLC)薄膜可在干燥固体接触工况下表现出0.001量级的极低摩擦因数(固体超滑),为解决真空、高应力及宽温域等极端工况下的摩擦学问题提供新的技术路线,近年来引起学界的广泛关注。然而,DLC的制备工艺路线及成分结构复杂多样,并且其自润滑特性同时受内在成分结构和外部工况条件的显著影响,为其工程服役性能带来较大不确定性。鉴于此,归纳了DLC目前的结构体系、沉积工艺原理发展概况,介绍了DLC面向固体超滑的结构调控研究进展;回顾了超滑现象的发现及DLC超滑研究历程,并根据超滑界面材料、润滑机理汇总介绍了其最新研究进展;讨论了薄膜成分及成键结构、环境氛围、接触应力及环境温度等因素对DLC固体超滑行为的影响规律和微观机制;从机械特性、界面元素成分及成键结构演化角度总结分析了DLC固体超滑的机理,指明了转移膜的形成及其界面悬键钝化、类石墨结构演化对DLC实现鲁棒性超滑的关键作用;最后对DLC摩擦学领域科学及工程问题、未来研究方向进行了展望。研究可为新一代面向极端工况的固体润滑涂层设计提供理论支持。 展开更多
关键词 类金刚石碳基(dlc)薄膜 固体超滑 极端工况 结构演化
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占空比对硬质合金微钻沉积AlCrSiN-DLC涂层性能与PCB钻孔质量的影响
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作者 林源琳 陈俊荣 +3 位作者 耿子航 孙世龙 魏莎莎 林荣川 《热加工工艺》 北大核心 2025年第22期45-51,共7页
在现代电子制造领域,印制电路板(PCB)的生产扮演着关键角色,其中微钻孔技术是电子产品精密制造的基石,在硬质合金微钻上沉积高性能的类金刚石(DLC)复合涂层可以改善微孔钻削质量。采用磁过滤阴极电弧沉积方法,探讨了占空比变化对沉积在... 在现代电子制造领域,印制电路板(PCB)的生产扮演着关键角色,其中微钻孔技术是电子产品精密制造的基石,在硬质合金微钻上沉积高性能的类金刚石(DLC)复合涂层可以改善微孔钻削质量。采用磁过滤阴极电弧沉积方法,探讨了占空比变化对沉积在硬质合金试片上的AlCrSiN-DLC复合涂层形貌结构、涂层厚度和结合力的影响,并研究了占空比对涂层微钻PCB钻孔质量的影响。结果表明,制备的AlCrSiN-DLC复合涂层与基体结合强度优异,随着占空比的增加,涂层厚度和表面粗糙度减少,微钻刀面磨损先减少后增大,孔位精度、孔壁粗糙度与刀面磨损呈正相关;微钻存在“自锐”的过程,并解决了钻削PCB时微钻缠丝的问题。其中,占空比为50%时,制备的涂层微钻在钻孔时刀面磨损和孔壁粗糙度最佳,综合性能最优。优化占空比能有效提高AlCrSiN-DLC涂层的性能,从而提高硬质合金微钻的钻孔质量和寿命。 展开更多
关键词 占空比 PCB 磁过滤阴极电弧 类金刚石(dlc)复合涂层
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DLC薄膜对A100钢摩擦学及力学性能影响研究 被引量:1
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作者 杜娟 高深远 +2 位作者 虞文军 樊小强 朱旻昊 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期221-232,共12页
航空航天领域中,超高强度钢在高应力、高磨损的服役工况下仍存在较为严重的摩擦磨损。而固体润滑薄膜与润滑脂作为提升金属基体耐磨损性能的关键手段,发挥着举足轻重的作用。采用磁控溅射技术成功地在A100钢基体上沉积了致密的DLC薄膜... 航空航天领域中,超高强度钢在高应力、高磨损的服役工况下仍存在较为严重的摩擦磨损。而固体润滑薄膜与润滑脂作为提升金属基体耐磨损性能的关键手段,发挥着举足轻重的作用。采用磁控溅射技术成功地在A100钢基体上沉积了致密的DLC薄膜。试验结果表明,在石墨烯润滑脂润滑状态和干摩擦条件下,DLC薄膜均能有效降低A100钢基体的摩擦因数与磨损率。干摩擦时,磨损率由14.38×10^(−6)mm^(3)/(N·m)下降到0.47×10^(−6)mm^(3)/(N·m),显著提升其耐磨性能。进一步对A100-DLC复合材料的力学性能进行测试,结果显示相较于A100钢,该复合材料展现出更为优异的抗疲劳性和弯曲力学性能。结果表明,DLC薄膜不仅提高基体的耐磨性,还增强其整体力学性能,从而提高金属基体的使用寿命。此外,探索了固脂复合条件下的润滑效果,试验发现,DLC薄膜与石墨烯润滑脂之间产生了良好的协同效应,共同作用能够发挥更出色的减磨抗磨效果。综上所述,通过磁控溅射技术制备的DLC薄膜与石墨烯润滑脂的复合应用,为提升金属基体的耐磨损性能提供了有效的解决方案。这一研究具有重要的实际应用价值,有望为工业领域的耐磨材料设计和应用提供新的思路和方法。 展开更多
关键词 dlc薄膜 A100钢 石墨烯润滑脂 摩擦学性能 力学性能
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铜合金表面DLC涂层摩擦学特性研究
6
作者 纪磊磊 喻岚 +2 位作者 唐华 于爽爽 李多生 《功能材料》 北大核心 2025年第7期7230-7236,共7页
采用磁控增强PVD/CVD复合沉积方法,在铜合金表面沉积Cr/Cr+WC/WC-DLC/DLC多层涂层,通过设计中间梯度层WC-DLC的厚度,期望提高铜合金的力学性能。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱对DLC涂层微结构进行表征,运用纳米压痕... 采用磁控增强PVD/CVD复合沉积方法,在铜合金表面沉积Cr/Cr+WC/WC-DLC/DLC多层涂层,通过设计中间梯度层WC-DLC的厚度,期望提高铜合金的力学性能。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱对DLC涂层微结构进行表征,运用纳米压痕仪、纳米划痕测试仪及往复干式摩擦计对其力学性能进行研究。结果表明,随着中间梯度层厚度的增加,DLC涂层的纳米压痕硬度从12.9 GPa先降低到11.4 GPa后上升到14.6 GPa。铜合金与DLC涂层的结合力达到HF-1级。这种梯度层间设计使得铜锡合金与DLC涂层结合力及硬度显著提高。稳态时摩擦系数为0.089(Si_(3)N_(4))和0.193(GCr15)。相比于铜合金基体,DLC涂层呈现优异的摩擦学性能。 展开更多
关键词 dlc 中间梯度层 摩擦磨损性能 铜合金 PVD/CVD
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液冷介质中4Cr13不锈钢及DLC涂层电化学腐蚀行为
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作者 王臣淼 周先辉 +2 位作者 冯长虹 陶丽芳 刘刚 《电镀与精饰》 北大核心 2025年第5期30-38,52,共10页
为提升长耐久电子水泵芯轴材料在液冷介质中的耐蚀性,通过动电位极化曲线和电化学阻抗谱,研究了4Cr13不锈钢在不同防冻液介质及模拟海水中的电化学腐蚀行为。考查了温度、防冻液酸化、类金刚石(DLC)涂层对材料耐蚀性的影响,基于电化学... 为提升长耐久电子水泵芯轴材料在液冷介质中的耐蚀性,通过动电位极化曲线和电化学阻抗谱,研究了4Cr13不锈钢在不同防冻液介质及模拟海水中的电化学腐蚀行为。考查了温度、防冻液酸化、类金刚石(DLC)涂层对材料耐蚀性的影响,基于电化学腐蚀形貌和能谱分析探究了材料的腐蚀机理。结果表明,4Cr13及DLC涂层在防冻液中的自腐蚀电流密度均随温度的升高及防冻液酸化而增加。与基体材料相比,DLC涂层在防冻液及其酸化介质中的阻抗谱为一极大容抗弧,0.01Hz处阻抗模值增大了至少两个数量级,自腐蚀电流密度降低了一个数量级,表现出优良的耐蚀性能。酸化防冻液除使基体材料出现晶间腐蚀外,介质中的H^(+)、Cl^(-)和SO_(4)^(2-)离子还使基体材料表面局部微区溶解形成点蚀坑,C_(2)O_(4)^(2-)离子与基体材料化合成草酸盐沉积在腐蚀面。模拟海水中,基体材料及涂层阻抗谱均出现低频感抗弧,基体材料腐蚀区主要表现为晶间腐蚀和点状氧化物凸起,DLC涂层因基体点状氧化物凸起而局部脱落。 展开更多
关键词 液冷 电化学腐蚀 4Cr13不锈钢 dlc涂层
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同步脉冲偏压对HiPIMS制备DLC薄膜结构和性能的影响
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作者 李琪刚 陈仁德 +5 位作者 李昊 王振玉 郭鹏 崔丽 王梁 汪爱英 《中国表面工程》 北大核心 2025年第2期233-244,共12页
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术在其放电过程中,由于阴极高负电压对离子的吸引,发生离子回吸现象,严重限制薄膜快速生长。为改善离子回吸问题,采用同步脉冲偏压方式,研究其对HiPIMS石墨靶沉积类金刚石(DLC)薄膜结构与性能的影响。通过... 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术在其放电过程中,由于阴极高负电压对离子的吸引,发生离子回吸现象,严重限制薄膜快速生长。为改善离子回吸问题,采用同步脉冲偏压方式,研究其对HiPIMS石墨靶沉积类金刚石(DLC)薄膜结构与性能的影响。通过调控同步脉冲偏压的幅值与滞后时间,采用脉冲偏压同步HiPIMS的技术制备DLC薄膜。采用示波器对HiPIMS电源放电波形进行实时监控,同时利用Langmuir探针系统研究沉积过程中的等离子体特征。通过SEM、SPM、XPS和Raman等测试薄膜的表面形貌和微观结构,并利用纳米压痕仪、残余应力仪以及划痕仪,对比研究制备的DLC薄膜力学性能、应力和膜基结合力。结果发现:当同步脉冲偏压由-100 V增加至-900 V时,DLC薄膜的沉积速率和表面粗糙度均先增后减,在-500 V时沉积速率最大为352 nm/h,表面粗糙度最低达0.61±0.04 nm;sp^(3)含量从47%降低至34.8%,导致硬度从48.6 GPa下降至35.1 GPa,残余压应力相应由-3.39 GPa下降至-1.9 GPa。增加同步脉冲偏压滞后时间从0到40μs,DLC薄膜沉积速率单调增加,表面粗糙度变化不大,sp^(3)含量从38.3%略微增加至40.2%,但残余压应力和硬度增幅显著,分别由-1.92 GPa增加至-3.05 GPa和从37.7 GPa上升至45.4 GPa。增加同步脉冲偏压幅值能够提高沉积离子密度,减少靶表面的回吸和打弧,有利于表面光滑和高沉积速率,但偏压幅值过大会引起基体区的反溅射,降低薄膜表面质量和沉积速率,但因sp^(3)含量随偏压增加而减小,残余应力和硬度也随之下降。延长同步脉冲偏压的滞后时间,可获得高离子密度,同时提高薄膜沉积速率与sp^(3)含量,残余应力和硬度均相应上升。利用HiPIMS复合同步脉冲偏压大小和滞后时间调控,是实现高性能碳基薄膜设计制备的新思路。 展开更多
关键词 磁控溅射 同步脉冲偏压 dlc薄膜 微结构
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调制比对DLC复合薄膜组织和耐腐蚀性能的影响
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作者 杨相栋 张树玲 +4 位作者 江迪 马兴华 刘毅 曹国帅 郭峰 《表面技术》 北大核心 2025年第22期31-43,共13页
目的基于431不锈钢零件在海水环境中的耐腐蚀性有限,探究薄膜组织结构对431不锈钢耐腐蚀性能的改善作用。方法利用磁控溅射物理气相沉积技术制备了不同调制比结构的DLC复合薄膜;采用SEM、Raman、XRD、XPS及电化学工作站对薄膜的形貌、... 目的基于431不锈钢零件在海水环境中的耐腐蚀性有限,探究薄膜组织结构对431不锈钢耐腐蚀性能的改善作用。方法利用磁控溅射物理气相沉积技术制备了不同调制比结构的DLC复合薄膜;采用SEM、Raman、XRD、XPS及电化学工作站对薄膜的形貌、结构和性能进行测试。结果调制比为1∶4时,薄膜表面粗糙度最小、致密度最高,薄膜中CrC和Cr N的原子百分比含量分别达到峰值。此外,薄膜中出现了CrN(100)和CrN(110)的强衍射峰以及较弱的Cr_(2)N(110)衍射峰,且能够观察到C(111)衍射峰。电化学实验表明,调制比为1∶4时,薄膜在人工海水溶液中具有最低的致钝电流密度、维钝电流密度、最高的电荷转移电阻和最低的点蚀因子。结论改变薄膜调制比参数能够改变DLC复合薄膜的组织结构从而改善薄膜的耐腐蚀性能。调制比<1∶4时,中间层在沉积过程中极易生长为粗大柱状晶,表界面缺陷增加,致密度降低,无法有效抵抗腐蚀介质的渗透;调制比为1∶4的过渡层结构能促进Cr与C 2种元素互扩散,形成元素过渡界面,降低界面应力,提升薄膜致密度,在腐蚀过程中易于形成致密的钝化膜,有效抑制点蚀发展进程,提升薄膜的耐腐蚀性能;继续增加调制比,过渡层厚度进一步降低,薄膜均匀性下降,点蚀发展迅速,耐腐蚀性能下降。 展开更多
关键词 dlc复合薄膜 调制比 组织结构 耐腐蚀性能 点蚀 腐蚀防护
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激光织构化DLC/TiAlN复合涂层刀具切削性能研究
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作者 李海山 姜明晶 +2 位作者 张闯 殷俊豪 张克栋 《现代制造工程》 北大核心 2025年第3期1-8,30,共9页
为实现难加工材料的高性能干切削,将高硬度和高结合强度的TiAlN作为支撑层,以具有自润滑特性的DLC涂层作为功能顶层,制备出兼具减摩性与耐磨性的DLC/TiAlN复合涂层刀具,并在DLC/TiAlN界面间进行液相辅助激光织构化处理,以增强层间结合... 为实现难加工材料的高性能干切削,将高硬度和高结合强度的TiAlN作为支撑层,以具有自润滑特性的DLC涂层作为功能顶层,制备出兼具减摩性与耐磨性的DLC/TiAlN复合涂层刀具,并在DLC/TiAlN界面间进行液相辅助激光织构化处理,以增强层间结合强度。利用干切削316不锈钢试验,研究了仅TiAlN涂层(NC)的刀具、未处理的DLC/TiAlN复合涂层(UC)刀具、空气下激光处理的DLC/TiAlN复合涂层(AC)刀具和液相辅助激光处理的DLC/TiAlN复合涂层(LC)刀具4种刀具在不同切削参数下干切削不锈钢时切削力/热、切屑形态、涂层剥落和刀具黏结等切削性能。结果表明,相比于NC刀具,UC、AC和LC刀具的切削力得到了不同程度的降低。当切削速度为200 m/min时,LC刀具的总切削力最低,降低了26.5%,同时,LC刀具的前刀面磨损最为轻微,涂层完整性最好。 展开更多
关键词 dlc/TiAlN涂层 液相辅助 激光处理 切削性能
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乙炔含量对DLC涂层结构及力学性能的影响
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作者 赵彦辉 于泽洋 +1 位作者 郭兆信 于晓明 《表面技术》 北大核心 2025年第7期98-108,共11页
目的研究工作气氛中C_(2)H_(2)气体含量对含氢DLC涂层微观组织结构变化特征、力学性能、摩擦学性能及生物腐蚀性能的影响。方法采用电弧增强辉光放电(Arc Enhanced Glow Discharge,AEGD)离子源辅助电弧离子镀,在316L不锈钢表面沉积以Cr/... 目的研究工作气氛中C_(2)H_(2)气体含量对含氢DLC涂层微观组织结构变化特征、力学性能、摩擦学性能及生物腐蚀性能的影响。方法采用电弧增强辉光放电(Arc Enhanced Glow Discharge,AEGD)离子源辅助电弧离子镀,在316L不锈钢表面沉积以Cr/CrC为过渡层的含氢DLC复合涂层,利用扫描电镜、激光3D显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱仪表征DLC涂层的微观结构,采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机研究涂层的力学、摩擦学性能,采用电化学工作站研究涂层的生物腐蚀性能。结果随着C_(2)H_(2)含量的增加,真空室内离子密度降低,对涂层表面的轰击作用减弱,涂层的表面粗糙度增大,同时水静态接触角降低;拉曼光谱和XPS结果表明,随着C_(2)H_(2)含量的增加,涂层中拉曼谱峰强度ID/IG的比值呈现先降低后增大的趋势,涂层中sp^(3)键含量呈现先增加后降低的趋势,在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的sp^(3)键含量高达78%;纳米压痕结果表明,涂层硬度、弹性模量、磨损率随着C_(2)H_(2)的含量呈先增加后降低的趋势;在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的硬度和模量分别可高达61、414 GPa,摩擦磨损结果表明,磨损率随着C_(2)H_(2)含量的增加,呈先降低后略增加的趋势。结论在体积分数33%的C_(2)H_(2)条件下制备的涂层的硬度和弹性模量最高,摩擦因数最低,磨损率最低,耐磨性能最佳;在70%的C_(2)H_(2)下制备的涂层的腐蚀电流密度最低,自腐蚀电位最高,耐蚀性最佳。 展开更多
关键词 dlc涂层 C_(2)H_(2)含量 纳米硬度 摩擦性能 电化学腐蚀
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Effects of Acetylene Gas on Mechanical Properties of DLC Film Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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作者 Li Tong Chang Yixiang +3 位作者 Zhang Tong Zhang Yi Yin Yansheng Lu Jinlin 《稀有金属材料与工程》 北大核心 2025年第12期3048-3053,共6页
To improve the mechanical properties of 2024 aluminum alloy,a kind of diamond-like carbon(DLC)film was deposited on the surface of 2024 aluminum alloy by plasma-enhanced chemical vapor deposition technique.The effects... To improve the mechanical properties of 2024 aluminum alloy,a kind of diamond-like carbon(DLC)film was deposited on the surface of 2024 aluminum alloy by plasma-enhanced chemical vapor deposition technique.The effects of acetylene gas on the microstructure,hardness,wear resistance,and adhesion of DLC film were investigated by field emission scanning electron microscope,nano-indentation tester,and friction-wear tester.The results indicate that the thickness of the DLC film increases gradually with increasing the proportion of acetylene.There is an obvious transition layer between the DLC film and matrix.When the ratio of argon to acetylene is 1:3,the hardness of DLC film is enhanced significantly because of the content changes of sp^(3) and sp^(2) bonds within the film.At the same time,the friction coefficient of DLC film is reduced. 展开更多
关键词 plasma-enhanced chemical vapor deposition dlc film aluminum alloy wear resistance HARDNESS
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PBII制备TiN_x/DLC多层膜的结构及摩擦学性能 被引量:7
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作者 李光 孙跃 +1 位作者 夏立芳 高超 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2003年第1期20-24,共5页
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5k... 采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5kV制得的DLC膜具有较多的C-H键结构,因而硬度最低,仅有8 3GPa;而-15kV的DLC膜由于含有较多的sp3键,获得了最高的显微努氏硬度(23 6GPa).DLC膜与GCr15钢球大气下的摩擦因数为0 17左右,其磨损性能由于TiNx过渡层引入而显著提高. 展开更多
关键词 PBⅡ TiNx/dlc多层膜 结构 等离子体基离子注入 dlc 喇曼光谱 摩擦性能 类金刚石碳 30CRMNSI钢 氮化钛
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DLC涂层在高温球形阀门领域的研究与应用
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作者 白思航 窦坚 +2 位作者 阮航 丁继才 宁英豪 《阀门》 2025年第12期1355-1360,共6页
高温球形阀门作为控制核心装置,具备工作温度高、可靠性高与寿命要求高等特点,密封面通常采用钴基合金材料,密封副之间的干摩擦极易导致密封面划伤,使用寿命难以满足应用需求。本文系统探讨了DLC涂层的基本概念与特性、制备方法以及在... 高温球形阀门作为控制核心装置,具备工作温度高、可靠性高与寿命要求高等特点,密封面通常采用钴基合金材料,密封副之间的干摩擦极易导致密封面划伤,使用寿命难以满足应用需求。本文系统探讨了DLC涂层的基本概念与特性、制备方法以及在阀门领域的应用情况,并以高温、高寿命要求下的球形调节阀为对象,对“沉积层+过渡层”的多层DLC涂层工艺进行深入研究,以提升阀门的使用寿命。经试验验证,阀门使用DLC涂层后,使用寿命由不足3000次提升至20000次以上,且降低了阀门维护成本。未来可通过优化DLC涂层制备工艺、拓展特殊功能阀门应用场景、提升极端工况适配性等进一步发挥DLC涂层的技术优势。 展开更多
关键词 dlc涂层 高温球形阀门 寿命试验 表面强化
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PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用
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作者 绪方洁 铃木泰雄 毕婷婷 《真空》 2025年第2期68-76,共9页
介绍了等离子注入成膜(PIAD)方式的原理和特征,即通过高频放电使原料气体离化而生成离子,然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石(DLC)薄膜的特征和应用案例,结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他... 介绍了等离子注入成膜(PIAD)方式的原理和特征,即通过高频放电使原料气体离化而生成离子,然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石(DLC)薄膜的特征和应用案例,结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他成膜参数控制DLC薄膜中sp2结构石墨层以及sp3结构金刚石层的生长,因此可以制备出具有耐腐蚀性和导电性功能的DLC薄膜。重点介绍了关于PIAD方式功能性DLC薄膜在燃料电池金属双极板表面处理上的应用研究成果。 展开更多
关键词 dlc 燃料电池 金属双极板 薄膜涂层
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DLC类金刚石膜层技术在高端五金刀剪工业设计中的创新应用与性能优化研究
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作者 吴汝焱 《五金科技》 2025年第6期83-85,共3页
为解决高端五金刀剪“耐用性不足、功能性单一、外观质感低端”的设计痛点,本研究聚焦DLC(类金刚石)膜层技术的引入、定制化开发与工业设计适配,结合五金刀剪的使用特性与高端市场需求,通过定制专有DLC镀膜设备、优化膜层制备工艺、设... 为解决高端五金刀剪“耐用性不足、功能性单一、外观质感低端”的设计痛点,本研究聚焦DLC(类金刚石)膜层技术的引入、定制化开发与工业设计适配,结合五金刀剪的使用特性与高端市场需求,通过定制专有DLC镀膜设备、优化膜层制备工艺、设计“性能-外观-场景”协同的工业方案,实现膜层与刀剪产品的深度融合。所研发的DLC膜层硬度达2000-2500 HV(远超玻璃的600-700 HV和陶瓷的1200-1500 HV),摩擦系数低至0.05,兼具优异的防锈腐蚀性与生物相容性,并呈现高端金属黑灰色外观。自2024年9月实现产业化应用以来,该技术使刀剪产品使用寿命延长3倍以上,清洁便利性提升80%,助力客户产品成功跻身高端市场,同时巩固了阳江市新辉科技有限公司在五金刀剪配套加工领域的领军地位,为高端五金制品的工业设计创新提供了有力的技术支撑。 展开更多
关键词 dlc类金刚石膜层 高端五金刀剪 工业设计 性能优化 耐用性
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低温化学气相沉积两种DLC膜的摩擦性能研究 被引量:2
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作者 陈文刚 葛世荣 张涌海 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期688-691,共4页
低温条件下在单晶硅表面沉积DLC膜和Si-DLC膜层,采用UMT-2微摩擦磨损实验机研究了两种膜层的摩擦磨损特性,借助拉曼光谱、X射线衍射仪及立体三维形貌仪分析了两种膜层的表面形貌和组成。使用扫描电子显微镜检测了两种膜层磨损后的表面... 低温条件下在单晶硅表面沉积DLC膜和Si-DLC膜层,采用UMT-2微摩擦磨损实验机研究了两种膜层的摩擦磨损特性,借助拉曼光谱、X射线衍射仪及立体三维形貌仪分析了两种膜层的表面形貌和组成。使用扫描电子显微镜检测了两种膜层磨损后的表面形貌。结果表明两种膜层表面都非常平滑,属于纳米硬膜;两种膜层都具有良好的减摩抗磨作用,其中DLC膜层的减磨性能好于Si-DLC膜,而Si-DLC膜的抗磨性能优于DLC膜。分析认为这是由于具有Si过渡层的DLC膜与硅基体的结合更为牢固造成的,但其同时促使DLC膜的减摩性能降低。 展开更多
关键词 单晶硅 dlc Si-dlc 摩擦磨损
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