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Pumping speed of cryopump for xenon 被引量:3
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作者 LING Gui-long WEI Li-jun CAI Guo-biao 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1731-1736,共6页
The xenon pumping speed testing system of the large-diameter external cryopump was designed to meet the plume test requirements for prototype electric propulsion.The flowmeter method was utilized to measure the xenon ... The xenon pumping speed testing system of the large-diameter external cryopump was designed to meet the plume test requirements for prototype electric propulsion.The flowmeter method was utilized to measure the xenon pumping speed.The test results show that the averaged effective pumping speed of doublecryopumps is 52 200L/s,and that of single-cryopump is 27 100L/s.The pumping speed ratio of two configurations is 1.93.It can be concluded that the pumping speed has in linear relationship with the number of cryopump,and the coefficient is irrelevant with the gas type.The averaged effective pumping speed of xenon is less than its nominal pumping speed,and the averaged pumping efficiency is 0.83.Under the identical inflow conditions,the averaged effective pumping speed ratio of nitrogen is 0.53,slightly less than the theoretical pumping speed ratio of 0.55.Consequently,it can be concluded that results assessment of large-diameter external cryopump design index can guide the engineering application,showing certain reference significance. 展开更多
关键词 VACUUM PLUME large-diameter external cryopump XENON pumping speed test
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Engineering of Cryopump for Neutral Beam Injection 被引量:1
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作者 谢远来 胡纯栋 欧阳峥嵘 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期352-354,共3页
Neutrals beam injection (NBI) has proven to be a very effective method for plasma heating. A set of positive-ion-based NBI system is being designed, manufactured and tested at ASIPP. The aim of this study was to asc... Neutrals beam injection (NBI) has proven to be a very effective method for plasma heating. A set of positive-ion-based NBI system is being designed, manufactured and tested at ASIPP. The aim of this study was to ascertain the most effective cryocondensation pump structure for the hydrogen NBI system. The parameter design and mechanical design were made to determine the optimum parameters and structure of the cryocondensation pump. The lowest pressure of 7.2 × 10^-6 Pa was achieved in the vacuum chamber, which indicated that this type of liquid helium cryocondensation pump could meet the requirement of the NBI system quite well. 展开更多
关键词 cryopump NBI liquid helium VACUUM
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Structural Analysis and Calculation for the Radiation Baffle of Cryopumps
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作者 王娟 欧阳峥嵘 +1 位作者 朱武 胡纯栋 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第4期2929-2931,共3页
To decrease the radiation heat load of the cryopanel is considered to be necessary for the design of cryopumps. In general, a radiation baffle is mounted between the cryopanel and the heat source. The radiation baffle... To decrease the radiation heat load of the cryopanel is considered to be necessary for the design of cryopumps. In general, a radiation baffle is mounted between the cryopanel and the heat source. The radiation baffle absorbs the majority of the radiated heat load. However, the motion of molecules to be pumped is baffled and the pumping speed is lowered at the same time. Therefore the selection of a good radiation baffle is a very important issue for the economical operation of the cryopump. By calculating and comprehensively analyzing the thermal transmission coefficients and the molecular transmission coefficients of baffles of different structures, a type of Chevron baffle is found to be more satisfactory. This paper focuses on the application of the Monte Carlo Method involved in the process of analysis and calculation. 展开更多
关键词 radiation baffle Monte Carlo Method transmission coefficient design of cryopumps
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The Effect of Hydrostatic Pressure and Seismic Load on ITER Lower Cryopump Ports
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作者 蔡影祥 郁杰 武松涛 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第2期216-218,共3页
The lower cryopump ports in International Thermonuclear Experimental Reactor (ITER) as a part of the vacuum vessel play many important roles. As the boundary of vacuum it must be ensured against structural damage. I... The lower cryopump ports in International Thermonuclear Experimental Reactor (ITER) as a part of the vacuum vessel play many important roles. As the boundary of vacuum it must be ensured against structural damage. In this study a finite element model of the lower cryopump ports was developed by ANSYS code with a purpose to evaluate the stress and displacement level on it. Two kinds of loads were taken into account. One was the hydrostatic pressure including the normal operation pressure and test pressure. The other was the seismic load. The analysis results show that the peak stress does not exceed the allowable stress for either the hydrostatic pressure or the seismic load according to the ITER structural design criterion, which indicates that the structure has a good safety margin. 展开更多
关键词 ITER finite element analysis cryopump port
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用于空间电推进系统真空环境模拟的氙泵和氪泵
5
作者 赵月帅 龚洁 +3 位作者 周盈 邵容平 汪志伟 李征 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期308-316,共9页
以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论... 以Xe/Kr等惰性气体为推进工质的电推进技术在越来越多的航天器中得到应用,这些推进系统必须在地面试验设备中进行试验验证。在这些测试设备中,采用专用的氙泵/氪泵相较于常规真空获得设备具有抽速大、极限真空度高等优势。文章通过理论分析及CFD数值仿真的方式对氙泵及氪泵的抽速、热负荷、降温过程进行了研究,讨论了冷板的形状、材料、氙/氪冰的成长等对真空泵性能的影响。同时,建立了测试系统对氙泵/氪泵的抽速进行了测试,理论计算抽速和实测抽速的结果,计算误差低于5%。 展开更多
关键词 低温抽气 电推进 氙泵 氪泵
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基于深度学习算法的G-M制冷机低温泵冷头故障诊断研究
6
作者 彭刚 王玉青 +5 位作者 王辉 朱剑豪 王旭迪 何智 武义锋 邓家良 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第5期408-413,共6页
G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗... G-M制冷机低温泵是一种广泛应用于半导体制造等领域的重要设备,对超高真空的获得与维持至关重要。由于其长期连续运行,容易引发机械磨损等故障,导致制冷能力和抽气特性下降。因此,开展有效的故障诊断显得尤为关键,文章提出一种改进型遗传算法与反向传播神经网络的故障诊断方法,克服了传统反向传播神经网络依赖初始权重与阈值设置、优化效率低的问题。研究结果表明,该方法在故障诊断中的准确率达98.05%。为低温泵健康监测与故障预警提供了科学依据。 展开更多
关键词 G-M制冷机低温泵 故障诊断 深度学习 遗传算法
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基于多物理场的低温泵电机转子分析 被引量:1
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作者 张峰瑞 胡岩 《微特电机》 2025年第1期30-34,共5页
高速低温离心泵电机转子运行时沉浸在低温流体中,除了受到旋转带来的离心力作用,还承受低温流体带来的影响,常温电机的设计方法并没有考虑到低温流体的影响。为此建立了电机电磁模型,分析了电机转子在低温环境中的损耗,搭建了低温泵电... 高速低温离心泵电机转子运行时沉浸在低温流体中,除了受到旋转带来的离心力作用,还承受低温流体带来的影响,常温电机的设计方法并没有考虑到低温流体的影响。为此建立了电机电磁模型,分析了电机转子在低温环境中的损耗,搭建了低温泵电机转子及外部流场的三维模型,基于多物理场进行热-流-固耦合分析,得到在低温浸液环境中电机腔内流体的温度分布以及转子应力分布。多物理场的耦合分析得到了气隙内的流体分布规律以及电机转子在低温环境中的受力与温度分布规律,对低温转子的设计具有参考意义。 展开更多
关键词 低温泵 高速永磁电机 多物理场 转子强度分析
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制冷机低温泵冷板阵列仿真分析及结构优化
8
作者 姚吉恺 王国栋 +1 位作者 李恒霖 陈肇玺 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期523-528,共6页
低温泵由于其运行稳定、大抽速等特性,广泛应用于半导体制造、大科学装置及环模装备。低温泵的冷板阵列作为泵送氢气的主要部件,其结构尺寸对抽气性能具有重要影响。研究以G-M制冷机低温泵为研究对象,基于稀薄气体动力学理论,对比分析... 低温泵由于其运行稳定、大抽速等特性,广泛应用于半导体制造、大科学装置及环模装备。低温泵的冷板阵列作为泵送氢气的主要部件,其结构尺寸对抽气性能具有重要影响。研究以G-M制冷机低温泵为研究对象,基于稀薄气体动力学理论,对比分析不同冷板层数及直径对抽气性能的影响,并根据抽速、降温时间、工作寿命三个指标筛选最优冷板阵列结构,最后通过热流耦合方法分析最优冷板阵列结构,对比分析不同G-M制冷机二级冷头安装高度对温度、抽气量分布及平均抽速的影响。结果表明,对于公称通径为250 mm的小口径低温泵的冷板阵列,应安装9层直径为180 mm的冷板,并分别讨论了冷头安装位置的优缺点。文章的研究方法为分析制冷机低温泵抽气性能提供了理论依据,研究结果为新型制冷机低温泵冷板阵列结构开发提供了理论支持。 展开更多
关键词 制冷机低温泵 稀薄气体流动 热−流耦合模型 冷板结构
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集成电路离子注入用低温泵
9
作者 冯欣宇 程祥 杨杨 《真空》 2025年第5期58-62,共5页
结合集成电路离子注入机台对于低温泵抽气性能与安全防护的严苛要求,介绍了离子注入用低温泵的主要性能指标、机械结构与电气系统特点、应用配置及特殊的安全吹扫流程。与PVD用低温泵相比,离子注入用低温泵口径更大,对氢气抽速与容量的... 结合集成电路离子注入机台对于低温泵抽气性能与安全防护的严苛要求,介绍了离子注入用低温泵的主要性能指标、机械结构与电气系统特点、应用配置及特殊的安全吹扫流程。与PVD用低温泵相比,离子注入用低温泵口径更大,对氢气抽速与容量的要求更高,其通过冷板与吸附阵结构设计优化了氢气抽速与容量。离子注入用低温泵控制系统设有电源切换单元和后备电池模块,独特的安全吹扫流程保证氢气能够安全排出,降低了爆炸风险。 展开更多
关键词 集成电路 离子注入 GM制冷机 低温泵 安全吹扫
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变频型氦气压缩机换热器设计与测试验证
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作者 冯欣宇 程祥 +2 位作者 王浩 邓家良 郑佳 《机电工程技术》 2025年第17期144-150,共7页
氦气压缩机作为低温泵的主要组成部件,为低温泵工作提供循环高纯氦制冷工质。变频型氦气压缩机的换热器设计与压差控制算法是实现整机性能的关键技术。首先分析了氦气压缩机的类型与特点,并比较了两款集成电路制造用变频型氦气压缩机的... 氦气压缩机作为低温泵的主要组成部件,为低温泵工作提供循环高纯氦制冷工质。变频型氦气压缩机的换热器设计与压差控制算法是实现整机性能的关键技术。首先分析了氦气压缩机的类型与特点,并比较了两款集成电路制造用变频型氦气压缩机的主要性能指标。然后依据氦气压缩机的工作原理,利用热力学公式,计算出了氦气与冷冻油的换热量,进一步计算出了板式换热器气路与油路的换热面积。根据氦气压缩机压差控制目标,设计了双闭环PID控制算法,参考氦压缩泵电机的V/F曲线完成了变频器匹配。最后介绍了氦气压缩机在集成电路制造中的典型应用与配置,完成了整机换热器测试与控制算法测试,当冷却水进水温度为25℃,流量14 L/min时,换热后的氦气与冷冻油最高温度分别为29.9℃与30.3℃,运行压差误差为0.01 MPa,均符合实际工况需求。 展开更多
关键词 氦气压缩机 换热器设计 低温泵 集成电路制造
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一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵
11
作者 王君 杨杨 +2 位作者 曾环 邓家良 陆广宝 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期267-271,共5页
文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。... 文章成功设计了一种新型大抽速CP1250Xe复合低温泵,通过结构优化显著提高了Xe抽速,并能够有效抽除N_(2)、H_(2)等常规气体。实验结果表明,该低温泵的Xe抽速高达65000 L/s,对N_(2)和H_(2)的抽速也分别达到了60000 L/s,抽氢容量为150 L。这些成果证实了新型大抽速CP1250Xe复合低温泵在提升氙气抽速方面的显著优势,解决了传统低温泵Xe抽速无法达到理想抽速的问题,同时具备常规气体的抽气能力,为真空获得提供了强有力的技术支持。 展开更多
关键词 低温泵 抽氙速度 真空获得
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LNG低温潜液泵结构及设计分析 被引量:21
12
作者 罗资琴 任永平 +2 位作者 陈叔平 冯琛然 葛娟 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期13-16,共4页
详细介绍了大型LNG储罐和LNG船用低温潜液泵的导流器、扩散器、TEM、电机、电缆、轴承等主要结构的特点,分析了电机冷却及润滑、泵内气蚀、推力自平衡、监测与保护等关键技术,提出了该种类型LNG低温潜液泵的设计要点。
关键词 低温潜液泵 LNG 结构 设计
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低温真空泵辐射挡板流导几率的计算 被引量:11
13
作者 彭楠 熊联友 +1 位作者 刘立强 张亮 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期21-24,34,共5页
详细介绍了分析法和试验粒子蒙特卡罗法两种计算挡板流导几率的方法,并分别以百叶窗和人字形挡板为例进行计算分析。计算结果表明分析法能正确地给出流导几率变化趋势,但部分结果与现有实验值有差距,而试验粒子蒙特卡罗法得出的结果与... 详细介绍了分析法和试验粒子蒙特卡罗法两种计算挡板流导几率的方法,并分别以百叶窗和人字形挡板为例进行计算分析。计算结果表明分析法能正确地给出流导几率变化趋势,但部分结果与现有实验值有差距,而试验粒子蒙特卡罗法得出的结果与实验数据符合较好。 展开更多
关键词 低温泵 辐射挡板 流导几率
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EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的设计 被引量:7
14
作者 崔伟 胡纯栋 +2 位作者 谢远来 陶玲 刘志伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期458-461,共4页
为了维持EAST-NBI内的真空环境以满足中性束生成与传输过程对真空压力分布的要求,设计了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵。本文概述了中性束注入加热的原理以及EAST-NBI真空系统的组成,详细阐述了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的结构设计,抽... 为了维持EAST-NBI内的真空环境以满足中性束生成与传输过程对真空压力分布的要求,设计了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵。本文概述了中性束注入加热的原理以及EAST-NBI真空系统的组成,详细阐述了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵的结构设计,抽速和冷凝面积的确定,液氦系统和液氮系统热负荷的计算等关键问题。该差分式低温冷凝泵通过在EAST-NBI综合测试台上进行大量实验验证,完全满足EAST-NBI对真空系统的要求。 展开更多
关键词 中性束注入加热 差分式低温冷凝泵 冷凝面积 热负荷
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G-M制冷机作为冷凝泵在传导冷却超导磁体系统中的应用 被引量:3
15
作者 赵保志 王秋良 +4 位作者 宋守森 雷沅忠 戴银明 黄晖 王晖 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-21,共4页
成功研制了 6TNbTi传导冷却超导磁体系统 ,制冷机为二级G M制冷机。磁体冷却到4K需用 74h左右 ,目前磁体系统已分别完成了 115A(6T) ,4 5h和 95A ,2 6 4h的无间断运行实验。制冷机可在长达 15d(35 9h)的时间里 ,对系统抽真空 ,然后维持... 成功研制了 6TNbTi传导冷却超导磁体系统 ,制冷机为二级G M制冷机。磁体冷却到4K需用 74h左右 ,目前磁体系统已分别完成了 115A(6T) ,4 5h和 95A ,2 6 4h的无间断运行实验。制冷机可在长达 15d(35 9h)的时间里 ,对系统抽真空 ,然后维持系统真空在 1 5× 10 - 2 Pa左右 ,其间不再使用扩散泵对超导磁体系统抽真空。 展开更多
关键词 G-M制冷机 超导磁体 扩散泵 再使用 抽真空 传导冷却 间断 系统 实验 时间
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NBI综合测试台后低温冷凝泵热负荷分析与计算 被引量:6
16
作者 刘志伟 胡纯栋 +1 位作者 谢远来 崔伟 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期19-22,62,共5页
NBI综合测试台的建立,是为了对未来用于EAST装置的中性束注入器(NBI)进行性能测试并进行相关物理实验。低温冷凝泵是为NBI提供稳定的动态真空环境的重要部件,低温泵的工作状况直接关系到束的传输效率。结合后低温冷凝泵的工作情况,对其... NBI综合测试台的建立,是为了对未来用于EAST装置的中性束注入器(NBI)进行性能测试并进行相关物理实验。低温冷凝泵是为NBI提供稳定的动态真空环境的重要部件,低温泵的工作状况直接关系到束的传输效率。结合后低温冷凝泵的工作情况,对其进行了热负荷计算,并对影响热负荷的一些因素进行了分析,为后续的热应力分析和低温系统的设计提供参考。 展开更多
关键词 NBI 后低温冷凝泵 热负荷 计算 分析
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用制冷机低温泵获得清洁无油高真空 被引量:9
17
作者 茹晓勤 祁妍 吴树迎 《航天器环境工程》 2006年第2期119-121,共3页
制冷机低温泵以其抽速大和无污染的特点,在各行各业得到了广泛的应用。文章介绍了制冷机低温泵的工作原理、结构和特点,以及在国外空间环境模拟设备上的使用情况。着重介绍了自主设计生产的制冷机低温泵在国内最大的空间环境模拟设备中... 制冷机低温泵以其抽速大和无污染的特点,在各行各业得到了广泛的应用。文章介绍了制冷机低温泵的工作原理、结构和特点,以及在国外空间环境模拟设备上的使用情况。着重介绍了自主设计生产的制冷机低温泵在国内最大的空间环境模拟设备中调试和测量的情况,为获得清洁无油高真空取得了良好的效果。 展开更多
关键词 制冷机 低温泵 清洁 无油 环境模拟设备 结构和特点 自主设计 使用情况 外空间 工作原理 无污染 高真空 应用 生产 国内 调试 测量
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新型HIRFL-800低温泵的设计及热负荷的计算 被引量:7
18
作者 吴德忠 周利娟 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期48-52,共5页
介绍了近代物理研究所自行研制的新型HIRFL 80 0低温泵。对其抽速、低温冷凝板和屏蔽板的热负荷进行了具体的分析和计算。肯定了新型HIRFL 80
关键词 HIRFL-800低温泵 设计 热负荷 抽速 辐射系数 真空泵
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中型空间环境模拟器真空系统的设计与模拟 被引量:3
19
作者 王娟 庄达民 王浚 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期21-26,共6页
探讨了用于舱外航天服性能实验的中型空间环境模拟器真空系统的设计和模拟。通过对低温泵的真空度及其抽速与液氦低温板温度的关系进行模拟,验证了真空系统设计的合理性。对中型环境模拟系统预冷采用开放式液氮以简化系统结构;对系统的... 探讨了用于舱外航天服性能实验的中型空间环境模拟器真空系统的设计和模拟。通过对低温泵的真空度及其抽速与液氦低温板温度的关系进行模拟,验证了真空系统设计的合理性。对中型环境模拟系统预冷采用开放式液氮以简化系统结构;对系统的主要部件液氦低温板和辐射挡板进行了构造分析和热负荷计算;分析了液氦低温板的凝结层对低温泵性能的影响。通过对液氦低温板温度场进行模拟及分析,对液氦低温冷凝面进行了优化设计与性能验证。通过对航天员氧消耗量的分析合理估算了航天员自身代谢产热,据此确定了中型空间环境模拟系统热负荷及液氦供应量。 展开更多
关键词 热载荷 低温泵 液氦低温板 真空系统 中型空间环境仿真器 航天服
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基于CFD方法的低温泵热力学设计与数值仿真研究 被引量:2
20
作者 赵月帅 孙立臣 +1 位作者 邵容平 孙伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期443-449,共7页
通过CFD数值仿真的方法对低温泵一级冷阵和二级冷阵降温过程以及稳态平衡过程的热力学情况进行了研究。研究针对低温泵不同的运行工况,导热柱的设置以及冷屏厚度等因素的影响,分析了各种情况下低温泵的温度分布情况。同时文章还对低温... 通过CFD数值仿真的方法对低温泵一级冷阵和二级冷阵降温过程以及稳态平衡过程的热力学情况进行了研究。研究针对低温泵不同的运行工况,导热柱的设置以及冷屏厚度等因素的影响,分析了各种情况下低温泵的温度分布情况。同时文章还对低温泵降温过程分别采用稳态物性和变化物性进行计算,分析物性的定性温度以及低温泵一级冷阵的结构对计算结果的影响。针对DN400低温泵建立测试系统进行降温情况的测试,通过测试和仿真计算的结果进行对比,确认了设计和分析方法的有效性,降温时间的计算误差约为7%。 展开更多
关键词 低温泵 数值仿真 计算流体动力学 热力学设计
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